JPS5965951A - 情報記憶媒体用原盤 - Google Patents
情報記憶媒体用原盤Info
- Publication number
- JPS5965951A JPS5965951A JP57176249A JP17624982A JPS5965951A JP S5965951 A JPS5965951 A JP S5965951A JP 57176249 A JP57176249 A JP 57176249A JP 17624982 A JP17624982 A JP 17624982A JP S5965951 A JPS5965951 A JP S5965951A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lower layer
- information storage
- layer
- depth
- upper layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/09—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
- G03F7/095—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers having more than one photosensitive layer
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B23/00—Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture
- G11B23/0057—Intermediate mediums, i.e. mediums provided with an information structure not specific to the method of reproducing or duplication such as matrixes for mechanical pressing of an information structure ; record carriers having a relief information structure provided with or included in layers not specific for a single reproducing method; apparatus or processes specially adapted for their manufacture
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
- G11B7/261—Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Architecture (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は集光したレーザー光忙て情報を読取ることが可
能な情報記憶媒体の作成に用いる原盤に関するものであ
る〇 〔発明の技術的背景とその問題点〕 情報記憶媒体としては、例えばディジタルオーディオデ
ィスク（ＤＡＤ）に用いられるコンパクトディスク（Ｃ
Ｄ）や光学式ビイデイオディスクに代表されるようにデ
ィスク形状をし、集光したレーザー光によシ情報を読取
ることが可能な読取り専用の情報記憶媒体、画像ファイ
ルやコンピュータアウトプットメモリ （ＣＯＭ）など
に用いられているもののようにディスク形状をし、集光
したＶ −ブー光によフ記録層に対して情報の書込みや
そこからの情報の読取りが可能な記録再生用情報記憶媒
体及び消去可能な情報記憶媒体などを挙げることができ
る。
能な情報記憶媒体の作成に用いる原盤に関するものであ
る〇 〔発明の技術的背景とその問題点〕 情報記憶媒体としては、例えばディジタルオーディオデ
ィスク（ＤＡＤ）に用いられるコンパクトディスク（Ｃ
Ｄ）や光学式ビイデイオディスクに代表されるようにデ
ィスク形状をし、集光したレーザー光によシ情報を読取
ることが可能な読取り専用の情報記憶媒体、画像ファイ
ルやコンピュータアウトプットメモリ （ＣＯＭ）など
に用いられているもののようにディスク形状をし、集光
したＶ −ブー光によフ記録層に対して情報の書込みや
そこからの情報の読取りが可能な記録再生用情報記憶媒
体及び消去可能な情報記憶媒体などを挙げることができ
る。
このような情報記憶媒体は情報の高密度化を図るために
トラックピッチが狭くなっている。このため、読取フ又
は書込み時に光学ヘッドを所定のトラックに追従させる
ために、予めこの種の情報記憶媒体には、平坦面に対し
て段差を有する溝や凸部から成るトラッキングガイドが
形成されている。さらに、情報を記録した位置を示すト
ラック番号やセクタ位置などのトランクの位置情報を事
前に記録しておけば、記録再生装置によるソフトウェア
が容易になるため、前記トラッキングガイドは、平坦面
に対して段差を有する溝や凸部から成る信号情報用ビッ
トを併せ備えたもの（プリフォーマツティング付きトラ
ッキングガイドともいう）となっている。
トラックピッチが狭くなっている。このため、読取フ又
は書込み時に光学ヘッドを所定のトラックに追従させる
ために、予めこの種の情報記憶媒体には、平坦面に対し
て段差を有する溝や凸部から成るトラッキングガイドが
形成されている。さらに、情報を記録した位置を示すト
ラック番号やセクタ位置などのトランクの位置情報を事
前に記録しておけば、記録再生装置によるソフトウェア
が容易になるため、前記トラッキングガイドは、平坦面
に対して段差を有する溝や凸部から成る信号情報用ビッ
トを併せ備えたもの（プリフォーマツティング付きトラ
ッキングガイドともいう）となっている。
前記トラッキングガイドは、同心円状又はスパイ５ｆｉ
ｖ状に形成された溝（凹形状）もしくは土手（凸形状）
によって形成され、そこから反射した光の回折パターン
によるトラックずれ検知信号を大きくして安定したトラ
ッキングができるように、−ブー光の波長であシ、ルは
整数である。以下同じ。）で、幅がｄ／２（ｔｔは、読
取用レーザー光の集光点におけるビーム幅での強度分布
が１７ｅ２になる所でのビームスポット径である。以下
同じ。）となる断面形状（トラッキングガイドの形成方
向に直角な断面）を備えるものが最適とされている。
ｖ状に形成された溝（凹形状）もしくは土手（凸形状）
によって形成され、そこから反射した光の回折パターン
によるトラックずれ検知信号を大きくして安定したトラ
ッキングができるように、−ブー光の波長であシ、ルは
整数である。以下同じ。）で、幅がｄ／２（ｔｔは、読
取用レーザー光の集光点におけるビーム幅での強度分布
が１７ｅ２になる所でのビームスポット径である。以下
同じ。）となる断面形状（トラッキングガイドの形成方
向に直角な断面）を備えるものが最適とされている。
また前記信号情報用ビットは、最大の変調度（信号情報
用ピントの真上に読取用レーザー光を照射したとき、そ
こからの反射光強度が最／Ｊ％になるということ）をと
れるように深さが＋Ｊ／４＋ ｎ）で、−２ 幅がｄ／３となる断面形状を備えるものが最適とされて
いる。
用ピントの真上に読取用レーザー光を照射したとき、そ
こからの反射光強度が最／Ｊ％になるということ）をと
れるように深さが＋Ｊ／４＋ ｎ）で、−２ 幅がｄ／３となる断面形状を備えるものが最適とされて
いる。
このようなトラッキングガイドや信号情報用ビットを備
えた情報記憶媒体を量産するには、上記トラッキングガ
イド・及び信号情報用ビットに対応する凹凸を備えた原
盤を形成し、この原盤の凹凸を種々の工程によって情報
記憶媒体の記録層に転写することになる。したがって情
報記憶媒体を量産するために用いる情報記憶媒体用原盤
には上述のようなトラッキングガイドと信号情報用ビッ
トとが備えられている。
えた情報記憶媒体を量産するには、上記トラッキングガ
イド・及び信号情報用ビットに対応する凹凸を備えた原
盤を形成し、この原盤の凹凸を種々の工程によって情報
記憶媒体の記録層に転写することになる。したがって情
報記憶媒体を量産するために用いる情報記憶媒体用原盤
には上述のようなトラッキングガイドと信号情報用ビッ
トとが備えられている。
ところで従来の情報記憶媒体用原盤としては、トラッキ
ングガイドの隣に信号情報用ビットが形成されているも
のがある０しかし、このような情報記憶媒体用原盤では
トラックピッチが広くなって情報の記録密度を低下させ
てしまうという問題があった０またトラッキングガイド
の中に信号情報用ビットを形成したものも存在するが、
従来はトラッキングガイドの形成プロセスと信号情報用
ビットの形成プロセスとが別であるので、トラッキング
ガイドと信号ｍ報用ピットとの相対位置が不規則で、し
かも両者の幅や深さといった断面形状が不均一であると
いう問題があった。この問題点は、トラッキングガイド
及び信号情報用ビットを形成する凹凸形成層が一層構造
であったことに起因するものである。
ングガイドの隣に信号情報用ビットが形成されているも
のがある０しかし、このような情報記憶媒体用原盤では
トラックピッチが広くなって情報の記録密度を低下させ
てしまうという問題があった０またトラッキングガイド
の中に信号情報用ビットを形成したものも存在するが、
従来はトラッキングガイドの形成プロセスと信号情報用
ビットの形成プロセスとが別であるので、トラッキング
ガイドと信号ｍ報用ピットとの相対位置が不規則で、し
かも両者の幅や深さといった断面形状が不均一であると
いう問題があった。この問題点は、トラッキングガイド
及び信号情報用ビットを形成する凹凸形成層が一層構造
であったことに起因するものである。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであフ、トラッ
キングガイドの中に信号情報用ビットを配置することに
よって情報の記録密度を高くすることができ、しかもト
ラッキングガイド及び信号情報用ビットの幅や深ざが至
る所均−な情報記憶媒体用原盤を提供することを目的と
するものである。
キングガイドの中に信号情報用ビットを配置することに
よって情報の記録密度を高くすることができ、しかもト
ラッキングガイド及び信号情報用ビットの幅や深ざが至
る所均−な情報記憶媒体用原盤を提供することを目的と
するものである。
本発明は、上記目的を達成するため、集光したレーザー
光にて特性の変化するものであって感度の異人る材質で
形成されている上部層と下部層とを備え、前記上部層に
第１の四部を設け、前記下部層には前記第１の凹部に連
通しかつその幅よシも狭い第２の四部を設けて情報記憶
媒体用原盤を形成するものである。
光にて特性の変化するものであって感度の異人る材質で
形成されている上部層と下部層とを備え、前記上部層に
第１の四部を設け、前記下部層には前記第１の凹部に連
通しかつその幅よシも狭い第２の四部を設けて情報記憶
媒体用原盤を形成するものである。
以下本発明の一実施例装置を図面を参照しながら説明す
る。
る。
第１図は本発明の一実施例を示す概略斜視図でおる。図
において１で示すものは、表面を研摩した基板（例えば
厚さ８鋼のフロートガラス板）１でおり、その上には集
光したレーザー光にて特性の変化するものであって感度
の異なる材質で形成されている上部層２Ａと下部層２Ｂ
とが積層されている。この上部層２Ａと下部層２Ｂとに
よって凹凸形成Ｎ２が構成されている。なお前記上部層
２Ａと下部層２Ｂとの間には、両者の密着力を強化する
ために密着剤（例えば商品名ＯＡｐ ）が介在されてい
る。
において１で示すものは、表面を研摩した基板（例えば
厚さ８鋼のフロートガラス板）１でおり、その上には集
光したレーザー光にて特性の変化するものであって感度
の異なる材質で形成されている上部層２Ａと下部層２Ｂ
とが積層されている。この上部層２Ａと下部層２Ｂとに
よって凹凸形成Ｎ２が構成されている。なお前記上部層
２Ａと下部層２Ｂとの間には、両者の密着力を強化する
ために密着剤（例えば商品名ＯＡｐ ）が介在されてい
る。
ここで前記上部層２Ａと下部層２Ｂとを形成する材質に
ついて説明する。前記下部層２Ｂの材質としては、Ｔｅ
、仇、Ｓｅなどの半金属もしくはＣｒ、ＡＬなどの金属
やそれらの化合物のように熱によって変形成いは蒸発を
生じるもの、有機色素や炭素を含んだニトロセルロース
などのような熱昇華性物質、又はフォトレジストなどを
用いることができる。前記上部層２Ａの材質としては、
有機色素や炭素を含んだニトロセルロースなどのような
熱昇華性物質、又はフォトレジストなどを用いることが
できる。なお、前記下部層の材質としては、熱による変
形又は気化（沸謄、蒸発、昇華を意味する）を生ずるそ
の他の物質を採用する仁とも可能である。
ついて説明する。前記下部層２Ｂの材質としては、Ｔｅ
、仇、Ｓｅなどの半金属もしくはＣｒ、ＡＬなどの金属
やそれらの化合物のように熱によって変形成いは蒸発を
生じるもの、有機色素や炭素を含んだニトロセルロース
などのような熱昇華性物質、又はフォトレジストなどを
用いることができる。前記上部層２Ａの材質としては、
有機色素や炭素を含んだニトロセルロースなどのような
熱昇華性物質、又はフォトレジストなどを用いることが
できる。なお、前記下部層の材質としては、熱による変
形又は気化（沸謄、蒸発、昇華を意味する）を生ずるそ
の他の物質を採用する仁とも可能である。
また前記上部層２Ａの厚さＴｌは前述のトラツキルλ
ングガイドの最適な深さ寸法±λ／８十Ｔに一致してお
シ、下部層２Ｂの厚さＴ２は前述の信号情報上部層２Ａ
の厚さ寸法Ｔ１を減じた値となっている０そして前記上
部ｌＮ２Ａには幅Ｃ１がｄ／２で深さが前記Ｔｌに一致
する第１の四部例えばスパイラル状又は同心円状のトラ
ッキングガイドろが形成されている。また前記下部層２
Ｂには、前記トラッキングガイド乙に連通しかつその幅
よシも狭い第２の凹部例えば幅Ｃ２がｄ／ろで深さが前
記Ｔ：に一致する信号情報用ビット４が形成されている
０このような情報記憶媒体用原盤にあっては、トラッキ
ングガイド３の中に信号情報用ビット４が形成されてい
るので、トラックピッチを狭くすることができ、その結
果情報の記録密度を高くすることができる。またトラッ
キングガイド３と信号情報用ビット４との深さ寸法は上
部層２Ａと下部層２Ｂとの厚さによって一義的に定まる
ので至るところでそれらの深さは均一なものとなってい
る。
シ、下部層２Ｂの厚さＴ２は前述の信号情報上部層２Ａ
の厚さ寸法Ｔ１を減じた値となっている０そして前記上
部ｌＮ２Ａには幅Ｃ１がｄ／２で深さが前記Ｔｌに一致
する第１の四部例えばスパイラル状又は同心円状のトラ
ッキングガイドろが形成されている。また前記下部層２
Ｂには、前記トラッキングガイド乙に連通しかつその幅
よシも狭い第２の凹部例えば幅Ｃ２がｄ／ろで深さが前
記Ｔ：に一致する信号情報用ビット４が形成されている
０このような情報記憶媒体用原盤にあっては、トラッキ
ングガイド３の中に信号情報用ビット４が形成されてい
るので、トラックピッチを狭くすることができ、その結
果情報の記録密度を高くすることができる。またトラッ
キングガイド３と信号情報用ビット４との深さ寸法は上
部層２Ａと下部層２Ｂとの厚さによって一義的に定まる
ので至るところでそれらの深さは均一なものとなってい
る。
また凹凸形成層２は前述のように２層構造になっている
ので、レーザー元の露光によって同時に２種類の露光部
を凹凸形成層に形成し、最終的にこの２種類の露光部を
トラッキングガイドと信号情報用ビットとに形成するこ
とができるので、両者の相対位置は極めて均一なものに
なっている〇ここで本発明の原盤を製造するための製造
装置の一例について第２図を参照しながら説明する０第
２図に示す装置は、例えばポジタイプのフォトレジスト
から成る上部層２ＡとＴｅを主体に適量の炭素を注入し
た下部層２Ｂとから形成されている凹凸形成層２を備え
たディスク１６を加工対象物とするものについて説明す
る〇 図において１４で示すものはターンテーブルであり、図
示しないＣＬＶ Ｃｃｏｎｓｔａｎｔ Ｌｉｎｅａｒ
ｖｅｌｎｃｉｔｙ）で回転することができる。このター
ンテーブル１４は、基板１の表面に前記凹凸形成層２が
設けられているディスク１６を載置して回転するもので
ある。そして前記凹凸形成層２に前述のようなトラッキ
ングガイドと信号情報用ビットを設けるために２種類の
露光部を形成する光学系１５が前記ターンテーブル１４
の側方に設けられている。この光学系１５は、前記ター
ンテーブル１４の回転釦したがって前記ディスク１６の
盤面に沿って光学系１５を水平移動させる図示しない移
動機構を備えているので、前記凹凸形成層２にはスパイ
ラル状又は同心円状の露光部を形成することができる。
ので、レーザー元の露光によって同時に２種類の露光部
を凹凸形成層に形成し、最終的にこの２種類の露光部を
トラッキングガイドと信号情報用ビットとに形成するこ
とができるので、両者の相対位置は極めて均一なものに
なっている〇ここで本発明の原盤を製造するための製造
装置の一例について第２図を参照しながら説明する０第
２図に示す装置は、例えばポジタイプのフォトレジスト
から成る上部層２ＡとＴｅを主体に適量の炭素を注入し
た下部層２Ｂとから形成されている凹凸形成層２を備え
たディスク１６を加工対象物とするものについて説明す
る〇 図において１４で示すものはターンテーブルであり、図
示しないＣＬＶ Ｃｃｏｎｓｔａｎｔ Ｌｉｎｅａｒ
ｖｅｌｎｃｉｔｙ）で回転することができる。このター
ンテーブル１４は、基板１の表面に前記凹凸形成層２が
設けられているディスク１６を載置して回転するもので
ある。そして前記凹凸形成層２に前述のようなトラッキ
ングガイドと信号情報用ビットを設けるために２種類の
露光部を形成する光学系１５が前記ターンテーブル１４
の側方に設けられている。この光学系１５は、前記ター
ンテーブル１４の回転釦したがって前記ディスク１６の
盤面に沿って光学系１５を水平移動させる図示しない移
動機構を備えているので、前記凹凸形成層２にはスパイ
ラル状又は同心円状の露光部を形成することができる。
前記光学系１５は、第１の光源からの放射光を前記凹凸
形成層２上に集光させる第１の光学系１５、（と、この
第１の光学系１５＋４にて前記凹凸形成層２上に集光さ
れるビームスポットの中にＭ２の光源からの放射光を集
光することのできる第２の光学系１５Ｂとから成シ、両
光学系１５Δ、１５Ｂによって得られる２種類のビーム
スポットによって前記凹凸形成層２に２桶類の露光部を
形成するものである。
形成層２上に集光させる第１の光学系１５、（と、この
第１の光学系１５＋４にて前記凹凸形成層２上に集光さ
れるビームスポットの中にＭ２の光源からの放射光を集
光することのできる第２の光学系１５Ｂとから成シ、両
光学系１５Δ、１５Ｂによって得られる２種類のビーム
スポットによって前記凹凸形成層２に２桶類の露光部を
形成するものである。
前記第１の光学系１５，４は、前記凹凸形成層２の上部
層２Ａ露元用の第１の光源列えば前記上部層２Ａの分光
感度特性に最適なＡｒレーザー発生器１６Ａと、このＡ
ｒレーザー発生器１６Ａからのレーザー元を適当なスポ
ット径の平行光にするコリメータ１７．４と、このコリ
メータ１７．（を通過した平行光の光量変調を行なう変
調器１８．（と、この変調器１８Δからの平行光を直線
偏光する偏光ビームスプリッタ１９，４と、特定波長の
光（後述する第２の光源１６Ｂからのレーザー光）だけ
を反射し、その他の波長の光（前記第１の光源１６Ａか
らのレーザー光）を透過でせるスベ７ヤルハーフミラー
２０と、このスペシャルバー７ミ２−２０に対同配置さ
れたミラー２１と、このミ２−２１から反射したレーザ
ー光を円偏光するλ／４板２板製２このλ／４板２板製
２過したレーザー光を集光式せる対物レンズ２３と、こ
の対物レンズ２６の上下方口の位置を規制するボイスコ
イル２４と、前記対物レンズ２６を経て前記凹凸形成層
２に放射されたレーザー光の反射光を前記λ／４板２２
．ミラー２１．スペシャルハーフミラ−２０、（Ｊｉ光
ビームスフリツタ１９．ｆを経由して入射することＫよ
り前記対物レンズ２３の上下位置（すなわち、凹凸形成
層に集光されたビームスポット径）を検出する焦点検出
部２５とから構成されている。なお、前記焦点検出部２
５は、球面レンズ２６と、シリンドリカルレンズ２７と
、このシリンドリカルレンズ２７を検出器２８とによっ
て構成されている。この光検出器２８による検出結果は
図示しない制御部に入力され、この制御部は、前記ボイ
スコイル２４にフィードバックをかけて対物レンズ２３
を適正な位置に規制するように制御する。前記対物レン
ズ２６の適正な位置とは、対物レンズにて凹凸形成層に
集光されるビームスポット径が予め定めたトラッキング
ガイドの幅に一致するような対物レンズの上下位置をい
う。なお前記偏光ビームスプリッタ１９．（は、凹凸形
成層２からの反射光が前記Ａｒレーザー発生器１６Ａに
戻ることを防止する機能をも果すものである〇 前記第２の光学系１５Ｂは、前記第１の光学系１５＋４
中ボイスコイρ２４と対物レンズ２６とλ／４板２板製
２ラー２１とスペシャルハーフミラ−２０とが共通であ
ｐ、前記第１の光源１６Ａからの放射光の波長とは異な
る第２の光源例えばＨｔ−Ｎｅレーザー発生器１６Ｂと
、このＶ−ザー発生器１６Ｂからのレーザー光を適当な
スポット径の平行光にするコリメータ１７Ｂと、このコ
リメータ１７Ｂを通過した平行光の光量変調を行なう変
調器１８Ｂと、この変調器１８Ｂからの平行光を直線偏
光する偏光ビームスプリッタ１９７３とが新たに設けら
れて構成されている。なお、前記第２の光源１６Ｂから
の放射光の波長を第１の光源１６Ａからのものと異なら
しめたのは、前記スペシャルバー７ミ２−２０から対物
レンズ２６までの光路が第１の光学系１５．（と第２の
光学系１５７７で共通罠なっているので、両光源からの
放射光が余計に干渉してしまうのを防止するためである
。また前記第２の光源１６Ｂは、前記凹凸形成層２の下
部層２Ｂ露光用の光源であシ、下部層２Ｂの感度特性に
最適なものとなっている０次に上記装置の作用について
説明する０前記ターンテーブル１４にディスク１３を載
置して回転させると、この回転にしたがって前記光学系
１５がディスク１３の盤面に沿って水平移動する。この
とき前記光学系１５にてプリフォーマツティング付きト
ラッキングガイドが凹凸形成層に形成される。すなわち
、前記Ａｒレーザー発生器１６Ａからの放射光が凹凸形
成層２の上部層２Ａに集光されると、そのビームスポッ
ト径に等しい幅で７オトレジスト露光部３０が形成され
る。このときには下部層２Ｂは露光されない。また信号
情報用ビットを設けるべき位置で前記Ｈｇ−Ａ’ｅレー
ザー発生器１６Ｂが作動されてそこからの放射光が凹凸
形成層２に集光されると、下部層に至るまで露光され、
その部分のＴｅが蒸発してそこに露光部たる局所的凹部
３１が形成されることになる。このようにして形成され
る局所的凹部６１は前記フォ）Ｌ／シスト露光部３０内
に存在することになる。Ａｒレーザー発生器１６．（か
ら前記凹凸形成層２に集光されるビームスポットの中に
前記Ｅｅ−Ａ’ｇレーザー発生器１６Ｂからの放射光が
集光されているからである。
層２Ａ露元用の第１の光源列えば前記上部層２Ａの分光
感度特性に最適なＡｒレーザー発生器１６Ａと、このＡ
ｒレーザー発生器１６Ａからのレーザー元を適当なスポ
ット径の平行光にするコリメータ１７．４と、このコリ
メータ１７．（を通過した平行光の光量変調を行なう変
調器１８．（と、この変調器１８Δからの平行光を直線
偏光する偏光ビームスプリッタ１９，４と、特定波長の
光（後述する第２の光源１６Ｂからのレーザー光）だけ
を反射し、その他の波長の光（前記第１の光源１６Ａか
らのレーザー光）を透過でせるスベ７ヤルハーフミラー
２０と、このスペシャルバー７ミ２−２０に対同配置さ
れたミラー２１と、このミ２−２１から反射したレーザ
ー光を円偏光するλ／４板２板製２このλ／４板２板製
２過したレーザー光を集光式せる対物レンズ２３と、こ
の対物レンズ２６の上下方口の位置を規制するボイスコ
イル２４と、前記対物レンズ２６を経て前記凹凸形成層
２に放射されたレーザー光の反射光を前記λ／４板２２
．ミラー２１．スペシャルハーフミラ−２０、（Ｊｉ光
ビームスフリツタ１９．ｆを経由して入射することＫよ
り前記対物レンズ２３の上下位置（すなわち、凹凸形成
層に集光されたビームスポット径）を検出する焦点検出
部２５とから構成されている。なお、前記焦点検出部２
５は、球面レンズ２６と、シリンドリカルレンズ２７と
、このシリンドリカルレンズ２７を検出器２８とによっ
て構成されている。この光検出器２８による検出結果は
図示しない制御部に入力され、この制御部は、前記ボイ
スコイル２４にフィードバックをかけて対物レンズ２３
を適正な位置に規制するように制御する。前記対物レン
ズ２６の適正な位置とは、対物レンズにて凹凸形成層に
集光されるビームスポット径が予め定めたトラッキング
ガイドの幅に一致するような対物レンズの上下位置をい
う。なお前記偏光ビームスプリッタ１９．（は、凹凸形
成層２からの反射光が前記Ａｒレーザー発生器１６Ａに
戻ることを防止する機能をも果すものである〇 前記第２の光学系１５Ｂは、前記第１の光学系１５＋４
中ボイスコイρ２４と対物レンズ２６とλ／４板２板製
２ラー２１とスペシャルハーフミラ−２０とが共通であ
ｐ、前記第１の光源１６Ａからの放射光の波長とは異な
る第２の光源例えばＨｔ−Ｎｅレーザー発生器１６Ｂと
、このＶ−ザー発生器１６Ｂからのレーザー光を適当な
スポット径の平行光にするコリメータ１７Ｂと、このコ
リメータ１７Ｂを通過した平行光の光量変調を行なう変
調器１８Ｂと、この変調器１８Ｂからの平行光を直線偏
光する偏光ビームスプリッタ１９７３とが新たに設けら
れて構成されている。なお、前記第２の光源１６Ｂから
の放射光の波長を第１の光源１６Ａからのものと異なら
しめたのは、前記スペシャルバー７ミ２−２０から対物
レンズ２６までの光路が第１の光学系１５．（と第２の
光学系１５７７で共通罠なっているので、両光源からの
放射光が余計に干渉してしまうのを防止するためである
。また前記第２の光源１６Ｂは、前記凹凸形成層２の下
部層２Ｂ露光用の光源であシ、下部層２Ｂの感度特性に
最適なものとなっている０次に上記装置の作用について
説明する０前記ターンテーブル１４にディスク１３を載
置して回転させると、この回転にしたがって前記光学系
１５がディスク１３の盤面に沿って水平移動する。この
とき前記光学系１５にてプリフォーマツティング付きト
ラッキングガイドが凹凸形成層に形成される。すなわち
、前記Ａｒレーザー発生器１６Ａからの放射光が凹凸形
成層２の上部層２Ａに集光されると、そのビームスポッ
ト径に等しい幅で７オトレジスト露光部３０が形成され
る。このときには下部層２Ｂは露光されない。また信号
情報用ビットを設けるべき位置で前記Ｈｇ−Ａ’ｅレー
ザー発生器１６Ｂが作動されてそこからの放射光が凹凸
形成層２に集光されると、下部層に至るまで露光され、
その部分のＴｅが蒸発してそこに露光部たる局所的凹部
３１が形成されることになる。このようにして形成され
る局所的凹部６１は前記フォ）Ｌ／シスト露光部３０内
に存在することになる。Ａｒレーザー発生器１６．（か
ら前記凹凸形成層２に集光されるビームスポットの中に
前記Ｅｅ−Ａ’ｇレーザー発生器１６Ｂからの放射光が
集光されているからである。
なお、丙子行元の行路中心が一致するように両光学系ｉ
ｓＡ、ｉｓＢを７２イメントすれば、前記フォトレジス
ト露光部６０の中心と局所的凹部６１の中心とを一致さ
せることができる。また前記フォトレジスト露光部６０
及び局所的四部６１の形成に際しては、前記Ａｒレーザ
ー発生器１６Ａから放射されたレーザー光の反射光は前
記焦点検出部２５へ入射きれ、前記光検出器２８による
検出結果に基づいて前記図示しない制御部が前記ボイス
コイル２４にフィードバックをかけて前記対物レンズ２
３を適正な位置に規制制御している。このため、対物ｖ
：ｙズ２３にて集光された両ビームスボッ）ｌｄ、常に
所望の値（例えば第１の光学系１５，４によって得られ
るビームスポット径は前述のごとく約ｄ／２であシ、第
２の光学系１５Ｂによって得られるビームスポット径は
前述のごとく約ｄ／３である）をとシ、その結果前記フ
ォトレジスト露光部６０の幅が約ｄ／２で、前記局所的
凹部３１の幅が約ｄ／３となる。上記装置においてこの
ようなプロセスを一度経れば、フォトレジスト露光部６
０と局所的凹部３１とが同時にスパイラル状又は同心円
状に形成されることになる。
ｓＡ、ｉｓＢを７２イメントすれば、前記フォトレジス
ト露光部６０の中心と局所的凹部６１の中心とを一致さ
せることができる。また前記フォトレジスト露光部６０
及び局所的四部６１の形成に際しては、前記Ａｒレーザ
ー発生器１６Ａから放射されたレーザー光の反射光は前
記焦点検出部２５へ入射きれ、前記光検出器２８による
検出結果に基づいて前記図示しない制御部が前記ボイス
コイル２４にフィードバックをかけて前記対物レンズ２
３を適正な位置に規制制御している。このため、対物ｖ
：ｙズ２３にて集光された両ビームスボッ）ｌｄ、常に
所望の値（例えば第１の光学系１５，４によって得られ
るビームスポット径は前述のごとく約ｄ／２であシ、第
２の光学系１５Ｂによって得られるビームスポット径は
前述のごとく約ｄ／３である）をとシ、その結果前記フ
ォトレジスト露光部６０の幅が約ｄ／２で、前記局所的
凹部３１の幅が約ｄ／３となる。上記装置においてこの
ようなプロセスを一度経れば、フォトレジスト露光部６
０と局所的凹部３１とが同時にスパイラル状又は同心円
状に形成されることになる。
このようにして加工されたディスク１３を現像定着する
と第１図に示すように前記フォトレジスト露光部６０が
除去され、そこに同心円状又はスパイラル状の凹溝から
成る幅Ｃ１がｄ／２のトラッキングガイド３が形成され
る。そして前記フォトレジスト露光部３０の中に形成さ
れていた局所的凹部３１は幅Ｃ２がｄ／３の信号情報用
ピット４に対応するものとなる。このようにして最終的
にトラッキングガイド３と信号情報用ビット４とを備え
た情報記憶媒体用原盤が製造されることになる。
と第１図に示すように前記フォトレジスト露光部６０が
除去され、そこに同心円状又はスパイラル状の凹溝から
成る幅Ｃ１がｄ／２のトラッキングガイド３が形成され
る。そして前記フォトレジスト露光部３０の中に形成さ
れていた局所的凹部３１は幅Ｃ２がｄ／３の信号情報用
ピット４に対応するものとなる。このようにして最終的
にトラッキングガイド３と信号情報用ビット４とを備え
た情報記憶媒体用原盤が製造されることになる。
以上の説明から明らかなように上記装置にあってハ、前
記スペシャルハーフミラ−２０以降の光路が第１の光学
系１５，４及び第シの光学系１５Ｂで共通であシ、シか
も両党源１６／ｆ、１６Ｂからの放射光は平行光である
ので、第１の光源１６Ａから前記凹凸形成層２に放射さ
れたレーザー光の反射光によって前記対物レンズ２６の
上下位置制御を行なうだけで、トラッキングガイドの幅
のみならず信号情報用ビットの幅をも均一に精度良く形
成できる。
記スペシャルハーフミラ−２０以降の光路が第１の光学
系１５，４及び第シの光学系１５Ｂで共通であシ、シか
も両党源１６／ｆ、１６Ｂからの放射光は平行光である
ので、第１の光源１６Ａから前記凹凸形成層２に放射さ
れたレーザー光の反射光によって前記対物レンズ２６の
上下位置制御を行なうだけで、トラッキングガイドの幅
のみならず信号情報用ビットの幅をも均一に精度良く形
成できる。
しかも対物レンズ２３に入射される平行光のスポット径
は前記両コリメータ１７，４．１７ｊ’？にょって一義
的に決まるので、凹凸形成層に形成されることになる２
種類の露光部の幅すなわちトラッキングガイド及び信号
情報用ピットの幅は、前記両コリメータ１７．（，１７
Ｂを適宜交換することによって自由な値に設定すること
ができる。またトラッキングガイドの中に信号情報用ピ
ットを備えた原盤を製造できるので、情報の記録密度の
高い情報記憶媒体の量産に資することができる。さらに
一つの工程によってフオ）ｌ／シスト露光部と局所的凹
部とを同時に形成するので、トラッキングガイドと信号
情報用ピットとの相対位置が一定化し、高精度な原盤を
製造することができる。
は前記両コリメータ１７，４．１７ｊ’？にょって一義
的に決まるので、凹凸形成層に形成されることになる２
種類の露光部の幅すなわちトラッキングガイド及び信号
情報用ピットの幅は、前記両コリメータ１７．（，１７
Ｂを適宜交換することによって自由な値に設定すること
ができる。またトラッキングガイドの中に信号情報用ピ
ットを備えた原盤を製造できるので、情報の記録密度の
高い情報記憶媒体の量産に資することができる。さらに
一つの工程によってフオ）ｌ／シスト露光部と局所的凹
部とを同時に形成するので、トラッキングガイドと信号
情報用ピットとの相対位置が一定化し、高精度な原盤を
製造することができる。
上記実施例は一例であシ本発明の要旨の範囲内において
種々の変形実施が可能であることは言うまでもない。
種々の変形実施が可能であることは言うまでもない。
以上の説明から明らかなように本発明の情報記憶媒体用
原盤にあっては、トラッキングガイドの中に信号情報用
ピントを配置することによって情報の記録密度を高くす
ることができ、しかもトラッキングガイド及び信号情報
用ビットの幅や深さが至る所均−であるなどの優れた効
果を有するものである。
原盤にあっては、トラッキングガイドの中に信号情報用
ピントを配置することによって情報の記録密度を高くす
ることができ、しかもトラッキングガイド及び信号情報
用ビットの幅や深さが至る所均−であるなどの優れた効
果を有するものである。
第１図は本発明の一実施例を示す概略斜視図、第２図は
本発明の原盤を製造するための製造装置の一例を示す概
略説明図である。 ２Ａ・・・上部ｍ、 ２Ｅ・・・下部層、 ３・・・
第１の凹部（トラッキングガイド）、 ４−・・第２の
凹部（信号情報用ビット）０
本発明の原盤を製造するための製造装置の一例を示す概
略説明図である。 ２Ａ・・・上部ｍ、 ２Ｅ・・・下部層、 ３・・・
第１の凹部（トラッキングガイド）、 ４−・・第２の
凹部（信号情報用ビット）０
Claims (3)
- （１） 集光したレーザー光にて情報を読取ることが
可能な情報記憶媒体の作成に用いる原盤において、集光
したレーザー光にて特性の変化するものであって感度の
異なる材質で形成されている上部層と下部層とが積層さ
れ、前記上部層には第１の凹部な備え、前記下部層には
前記第１の凹部に連通しかつその幅よりも狭い幅の第２
の凹部を備えていることを特徴とする情報記憶媒体用原
盤。 - （２）前記第２の凹部は、前記第１の凹部がトラッキン
グガイドであるときには信号情報用ビットである特許請
求の範囲第１項記載の情報記憶媒体用原盤〇 - （３）前記下部層は、Ｎ起上部層がフオ）Ｌ／シストか
ら成るときには熱による変形又は気化を生ずる物質から
成る特許請求の範囲第１項記載の情報記憶媒体用原盤。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57176249A JPS5965951A (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | 情報記憶媒体用原盤 |
| EP19830109976 EP0108258B1 (en) | 1982-10-08 | 1983-10-05 | A master disk for optical disk manufacture, and a method and the system for manufacturing the same |
| DE8383109976T DE3379853D1 (en) | 1982-10-08 | 1983-10-05 | A master disk for optical disk manufacture, and a method and the system for manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57176249A JPS5965951A (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | 情報記憶媒体用原盤 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5965951A true JPS5965951A (ja) | 1984-04-14 |
Family
ID=16010256
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57176249A Pending JPS5965951A (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | 情報記憶媒体用原盤 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0108258B1 (ja) |
| JP (1) | JPS5965951A (ja) |
| DE (1) | DE3379853D1 (ja) |
Families Citing this family (37)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4985881A (en) * | 1983-12-23 | 1991-01-15 | Hitachi, Ltd. | Record carrier for a magneto-optical disc memory having guide grooves of a plurality of tracks disposed with a predetermined relation to light spot diameter |
| US4639745A (en) * | 1984-01-11 | 1987-01-27 | Pioneer Electronic Corporation | Optical recording medium |
| JPS60132616U (ja) * | 1984-02-13 | 1985-09-04 | パイオニア株式会社 | 記録装置 |
| US4716560A (en) * | 1984-05-22 | 1987-12-29 | Victor Company Of Japan, Ltd. | Recording disc and method for fabricating same |
| JPS613339A (ja) * | 1984-06-18 | 1986-01-09 | Hitachi Ltd | 高密度情報記録円板複製用スタンパおよびその製造方法 |
| US5341362A (en) * | 1984-08-20 | 1994-08-23 | Sharp Kabushiki Kaisha | Optical memory device having guide tracks shaped for increasing the quality of information signals |
| JPS6151631A (ja) * | 1984-08-20 | 1986-03-14 | Sharp Corp | 光磁気メモリ素子 |
| NL8500153A (nl) * | 1985-01-22 | 1986-08-18 | Philips Nv | Registratiedragerlichaam voorzien van een reliefstruktuur van optisch detekteerbare servospoorgedeelten en sektoradressen en inrichting voor het aanbrengen van deze struktuur. |
| US4811331A (en) * | 1985-02-11 | 1989-03-07 | Gerber Arthur M | Medium for recording digital information using an array of equally spaced micromirrors |
| JP2512706B2 (ja) * | 1985-05-27 | 1996-07-03 | 日立マクセル株式会社 | 光情報記録媒体およびその製造方法 |
| NL193159C (nl) * | 1985-06-19 | 1998-12-04 | Hitachi Ltd | Voorgevormde registratiedrager voor het daarin met behulp van een lichtvlek schrijven van informatie. |
| GB8528698D0 (en) * | 1985-11-21 | 1985-12-24 | Plasmon Data Systems Nv | Photolithography |
| US5107486A (en) * | 1985-12-04 | 1992-04-21 | Sharp Kabushiki Kaisha | Optical memory device with grooves and pits in selected dimensional relationship |
| JPS62241149A (ja) * | 1986-04-11 | 1987-10-21 | Sharp Corp | 光メモリ素子用フォトマスク及びその製造方法 |
| DE3888006T2 (de) * | 1987-04-16 | 1994-07-21 | Canon Kk | Verfahren zur Herstellung von einem optischen Datenträger. |
| US5248990A (en) * | 1987-04-16 | 1993-09-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for producing optical recording medium for optical data recording and reproduction |
| JP2643159B2 (ja) * | 1987-07-31 | 1997-08-20 | ソニー株式会社 | 光学的記録方法 |
| US5001035A (en) * | 1988-01-06 | 1991-03-19 | U.S. Philips Corporation | Method of recording information, recording element manufactured according to the method and method of producing a metal matrix |
| US5264327A (en) * | 1988-05-26 | 1993-11-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for preparing information recording medium |
| US4961123A (en) * | 1988-06-03 | 1990-10-02 | Insite Peripherals | Magnetic information media storage with optical servo tracks |
| JPH04286736A (ja) * | 1991-03-15 | 1992-10-12 | Sharp Corp | 光メモリ素子のマスター原盤用基板の製造方法 |
| KR100263878B1 (ko) * | 1997-09-30 | 2000-08-16 | 윤종용 | 광디스크제작용마스터디스크제조방법 |
| US7153366B1 (en) | 1998-03-24 | 2006-12-26 | Quantum Corporation | Systems and method for forming a servo pattern on a magnetic tape |
| GB2335785B (en) | 1998-03-24 | 2002-09-18 | Quantum Corp | Multi-channel magnetic tape system having optical tracking servo |
| US7029726B1 (en) | 1999-07-27 | 2006-04-18 | Quantum Corporation | Method for forming a servo pattern on a magnetic tape |
| JP4293733B2 (ja) | 1999-02-16 | 2009-07-08 | クウォンタム・コーポレイション | 磁気テープへのサーボ信号書き込み方法 |
| EP1205913A4 (en) | 1999-02-17 | 2002-08-14 | Quantum Corp | METHOD FOR WRITING SERVO SIGNALS ON MAGNETIC TAPE |
| US6961200B2 (en) | 1999-07-27 | 2005-11-01 | Quantum Corporation | Optical servo track identification on tape storage media |
| US6558774B1 (en) | 1999-08-17 | 2003-05-06 | Quantum Corporation | Multiple-layer backcoating for magnetic tape |
| US6940676B1 (en) | 2000-06-07 | 2005-09-06 | Quantum Corporation | Triple push-pull optical tracking system |
| JP4136280B2 (ja) * | 2000-07-04 | 2008-08-20 | パイオニア株式会社 | 光学式記録媒体並びにその製造方法及び製造装置 |
| US6940681B2 (en) | 2001-08-20 | 2005-09-06 | Quantum Corporation | Optical to magnetic alignment in magnetic tape system |
| US7023650B2 (en) | 2001-11-07 | 2006-04-04 | Quantum Corporation | Optical sensor to recording head alignment |
| US6980390B2 (en) | 2003-02-05 | 2005-12-27 | Quantum Corporation | Magnetic media with embedded optical servo tracks |
| US7187515B2 (en) | 2003-02-05 | 2007-03-06 | Quantum Corporation | Method and system for tracking magnetic media with embedded optical servo tracks |
| EP2395507B1 (de) * | 2010-05-18 | 2012-07-25 | Volker Elsässer | Optische Datenträgerscheibe |
| DE202010017335U1 (de) | 2010-05-18 | 2011-12-28 | Volker Elsässer | Optische Datenträgerscheibe |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3665483A (en) * | 1969-06-06 | 1972-05-23 | Chase Manhattan Capital Corp | Laser recording medium |
| NL7902542A (nl) * | 1979-04-02 | 1980-10-06 | Philips Nv | Optische registratie-inrichting met meerdere ablatieve registreerlagen. |
| DE3170922D1 (en) * | 1980-04-22 | 1985-07-18 | Agfa Gevaert Nv | Recording material for storage of digital information and a recording method for storage of digital information |
| NL8100098A (nl) * | 1981-01-12 | 1982-08-02 | Philips Nv | Registratiedrager met optisch uitleesbare informatiestruktuur. |
| JPS5911551A (ja) * | 1982-07-12 | 1984-01-21 | Toshiba Corp | 光学式情報記憶媒体 |
-
1982
- 1982-10-08 JP JP57176249A patent/JPS5965951A/ja active Pending
-
1983
- 1983-10-05 EP EP19830109976 patent/EP0108258B1/en not_active Expired
- 1983-10-05 DE DE8383109976T patent/DE3379853D1/de not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0108258A1 (en) | 1984-05-16 |
| EP0108258B1 (en) | 1989-05-10 |
| DE3379853D1 (en) | 1989-06-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0108258B1 (en) | A master disk for optical disk manufacture, and a method and the system for manufacturing the same | |
| US6738322B2 (en) | Optical data storage system with focus and tracking error correction | |
| US4959822A (en) | Record-carrier body provided with a relief structure of optically detectable servo-track portions and sector addresses and apparatus for forming said structure | |
| US6071671A (en) | Fluorescent optical memory | |
| US5097464A (en) | Optical recording medium and optical recording/reproducing apparatus | |
| US20080012934A1 (en) | Three-dimensional recording and reproducing apparatus | |
| PL179637B1 (pl) | System pamieci optycznej danych PL PL PL PL PL PL PL | |
| JPH0226295B2 (ja) | ||
| WO1983002353A1 (en) | Methods of preformatting an optical disk | |
| US5835471A (en) | Optical information recording and/or reproducing apparatus | |
| JP2002109758A (ja) | 三次元光記録媒体用情報記録装置 | |
| JP4161716B2 (ja) | 光学記録媒体および光ディスク装置 | |
| US20050095391A1 (en) | Recording medium, recording and reproducing method and recording and reproducing apparatus | |
| JPH0127493B2 (ja) | ||
| JPS6214893B2 (ja) | ||
| JPH1055566A (ja) | 光ピックアップ装置 | |
| US6349085B1 (en) | High density recording medium with pit width to track pitch ratio in the range of 0.4 to 0.55 for push-pull tracking servo control | |
| JP2817520B2 (ja) | 同時記録再生光ディスク及びその光ヘッド装置 | |
| JP2002329316A (ja) | 光記録媒体、光情報処理装置および光記録再生方法 | |
| JP2007058992A (ja) | 光記録方法、光記録装置、光記録媒体及び光記録再生方法 | |
| JPS5965947A (ja) | 情報記憶媒体用原盤の製造装置 | |
| US20090161518A1 (en) | Holographic recording medium and pickup for this medium | |
| JP3485727B2 (ja) | 光ディスク用ピックアップ | |
| JPH0555937B2 (ja) | ||
| JPH0378131A (ja) | 光記録媒体 |