JPS5967850U - 試料移動装置 - Google Patents

試料移動装置

Info

Publication number
JPS5967850U
JPS5967850U JP16399582U JP16399582U JPS5967850U JP S5967850 U JPS5967850 U JP S5967850U JP 16399582 U JP16399582 U JP 16399582U JP 16399582 U JP16399582 U JP 16399582U JP S5967850 U JPS5967850 U JP S5967850U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
moving device
sample moving
optical axis
view
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP16399582U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0227488Y2 (ja
Inventor
倉田　次男
Original Assignee
株式会社エービーティ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社エービーティ filed Critical 株式会社エービーティ
Priority to JP16399582U priority Critical patent/JPS5967850U/ja
Publication of JPS5967850U publication Critical patent/JPS5967850U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0227488Y2 publication Critical patent/JPH0227488Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１〜４図は従来の試料移動装置を示すもので、第１図
はその要部斜視図、第２図は第１図の■矢視方向から見
た側面図、第３図はその試料台を傾けた状態にして第１
図の■矢視方向から見た模式図、第４図はその作用を説
明するための模式−であり、第５〜８図は本考案の一実
施例としての試料移動装置を示すもので、第５図はその
要部斜視図、第６図は第５図の■矢視方向から見た側面
図、第７図はその試料台を傾けた状態にして第５図の■
矢視方向から見た模式図、第８図はその作用を説明する
た吟の模式図であり、第９，１０図は本考案の他の実施
例としての走査型電子顕微鏡用試料移動装置を示すもの
で、第９図はその要部斜視図、第１０図は第９図のＸ矢
視方向から見た側面図である。 １・・・鏡筒、２・・・試料室、３・・・試料台、４・
・・試料、５・・・対物レンズ、５ａ・・・対物レンズ
下面、５ｂ・・・励磁コイル、６，７・・・移動台、７
ａ・・・レール、８゛・・・枠体、８ａ・・・レール、
８ｂ・・・回転軸、９・・・Ｔ方向駆動装置、１０・・
・角度検出器、１１・・・補正制御装置、１２・・・Ｙ
方向駆動装置、Ｍ・・・回転駆動機構。 第４図 第６図

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 鏡筒の下方において、試料を載置し光軸と交叉する方向
    に上記試料を２次元的に移動させうる試料台をそなえ、
    上記光軸と直角をなし且つ同光軸から偏倚した回転軸を
    中心に上記試料台を回転させうる回転駆動機構が設けら
    れたことを特徴とする、試料移動装置。
JP16399582U 1982-10-29 1982-10-29 試料移動装置 Granted JPS5967850U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16399582U JPS5967850U (ja) 1982-10-29 1982-10-29 試料移動装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16399582U JPS5967850U (ja) 1982-10-29 1982-10-29 試料移動装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5967850U true JPS5967850U (ja) 1984-05-08
JPH0227488Y2 JPH0227488Y2 (ja) 1990-07-25

Family

ID=30359663

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16399582U Granted JPS5967850U (ja) 1982-10-29 1982-10-29 試料移動装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5967850U (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53109471A (en) * 1977-03-07 1978-09-25 Hitachi Ltd Test piece fine adjuster
JPS5413765A (en) * 1977-07-04 1979-02-01 Jeol Ltd Sample slanting equipment of scanning electron microscope or the like

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53109471A (en) * 1977-03-07 1978-09-25 Hitachi Ltd Test piece fine adjuster
JPS5413765A (en) * 1977-07-04 1979-02-01 Jeol Ltd Sample slanting equipment of scanning electron microscope or the like

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0227488Y2 (ja) 1990-07-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS58193453U (ja) 電子線装置における反射電子検出装置
JPS62194663U (ja)
JPH0227488Y2 (ja)
JPS6244452Y2 (ja)
JPS6065967U (ja) 走査電子顕微鏡
JPH081611U (ja) レーザー光路切換器
JPS59110952U (ja) 走査型電子顕微鏡
JPS59133663U (ja) 電子ビ−ム蒸着装置
JPS614348U (ja) カソ−ドルミネツセンス装置
JPS5920752Y2 (ja) 試料微動装置
JPH0584014U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS5960738U (ja) 対物レンズ駆動装置
JPS60142822U (ja) 光学式デイスクプレ−ヤ
JPS58141238U (ja) フイルム保持装置
JPS6051621U (ja) 光学走査装置の支持装置
JPS5860851U (ja) 電子顕微鏡における試料ホルダ−
JPH03110692U (ja)
JPH0177257U (ja)
JPS60150653U (ja) デイスク駆動機構
JPS62173633A (ja) 光ピツクアツプ装置
JPH01124654U (ja)
JPH0219589U (ja)
JPS60166969U (ja) 走査電子顕微鏡試料台
JPS5834353U (ja) 試料微動装置
JPS6134204U (ja) Ｘ線断層撮影装置