JPS5969981A - レ−ザ発振器における電源装置 - Google Patents
レ−ザ発振器における電源装置Info
- Publication number
- JPS5969981A JPS5969981A JP18031682A JP18031682A JPS5969981A JP S5969981 A JPS5969981 A JP S5969981A JP 18031682 A JP18031682 A JP 18031682A JP 18031682 A JP18031682 A JP 18031682A JP S5969981 A JPS5969981 A JP S5969981A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power source
- power
- power supply
- capacitors
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はレーザ発振器における電源装置、特に一対の電
極の少なくとも一方を複数に分割した分割電極とすると
共に前記一対の電極間に直流電圧を印加して放電を発生
させることによシレーザ媒質を励起してレーザ光を発生
させるレーザ発振器の電源装置に関するものである。
極の少なくとも一方を複数に分割した分割電極とすると
共に前記一対の電極間に直流電圧を印加して放電を発生
させることによシレーザ媒質を励起してレーザ光を発生
させるレーザ発振器の電源装置に関するものである。
従来この種の電源装置として第１図に示すものが提案さ
れている。
れている。
第１図中、１０はレーザ媒質ガス１２を密封し真空容器
であって、この容器ｌｏ内に棒状の陽極１４とこれに所
要間隔を保って対向する複数に分割された陰極１６とが
配設されていると共に対向側部に全反射鏡１８と部分透
過鏡２ｏとが配設されている。
であって、この容器ｌｏ内に棒状の陽極１４とこれに所
要間隔を保って対向する複数に分割された陰極１６とが
配設されていると共に対向側部に全反射鏡１８と部分透
過鏡２ｏとが配設されている。
２２は陽極１４及び陰極１６間に電圧を印加する直流電
源であって、陽極１４に直接、陰極１６にその電流をバ
ランスさせるための電流制限素子としてのバラスト抵抗
２４を介して夫々接続されている。
源であって、陽極１４に直接、陰極１６にその電流をバ
ランスさせるための電流制限素子としてのバラスト抵抗
２４を介して夫々接続されている。
以上の従来装置の動作を説明すると、直流電源２２から
の直流電圧を陽極１４及び陰極１６間に印加することに
よって、これら間にグロー放電２６を生じさせ、これに
よりレーザ媒質１２が励起され、全反射鏡１８及び部分
透過鏡２０間でレーザ発振が生じ、部分透過鏡２０間か
らレーザ光２８が得られる。
の直流電圧を陽極１４及び陰極１６間に印加することに
よって、これら間にグロー放電２６を生じさせ、これに
よりレーザ媒質１２が励起され、全反射鏡１８及び部分
透過鏡２０間でレーザ発振が生じ、部分透過鏡２０間か
らレーザ光２８が得られる。
従来の電源装置は以上のように直流電源２２がバラスト
抵抗２４を介して陰極１６に接続されているので、直流
電源２２の出力電力はバラスト抵抗２４及びグロー放電
２６によって消費されるものであるが、このうちバラス
ト抵抗２４によって消費される電力は全体の消費電力の
３０％にも達し、この消費電力は単に熱として外部に放
散されグロー放電には何ら寄与せず、直流電源２２の出
力電力に対するレーザ光２８の変換効率が低いという欠
点があった。
抵抗２４を介して陰極１６に接続されているので、直流
電源２２の出力電力はバラスト抵抗２４及びグロー放電
２６によって消費されるものであるが、このうちバラス
ト抵抗２４によって消費される電力は全体の消費電力の
３０％にも達し、この消費電力は単に熱として外部に放
散されグロー放電には何ら寄与せず、直流電源２２の出
力電力に対するレーザ光２８の変換効率が低いという欠
点があった。
本発明は前述した従来の課題に鑑み為されたものであり
、その目的はバラスト抵抗に代えて交流電源の出力をコ
ンデンサを電流制限要素とした複数の整流回路を介して
電極に供給することによシ、電力効率の良好なレーザ発
振器における電源装置を提供することにある。
、その目的はバラスト抵抗に代えて交流電源の出力をコ
ンデンサを電流制限要素とした複数の整流回路を介して
電極に供給することによシ、電力効率の良好なレーザ発
振器における電源装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明は、一対の電極の少
なくとも一方を複数に分割して分割電極とすると共に前
記一対の電極間に直流電圧を印加して放電を発生させる
ことによシ、レーザ媒質全励起してレーザ光を発生させ
るレーザ発振器において、交流電源を有し、該交流電源
の出力を、電流制限要素としてコンデンサを使用した複
数の整流回路で構成される電流源を介して前記複数の分
割電極に供給することを特徴とする。
なくとも一方を複数に分割して分割電極とすると共に前
記一対の電極間に直流電圧を印加して放電を発生させる
ことによシ、レーザ媒質全励起してレーザ光を発生させ
るレーザ発振器において、交流電源を有し、該交流電源
の出力を、電流制限要素としてコンデンサを使用した複
数の整流回路で構成される電流源を介して前記複数の分
割電極に供給することを特徴とする。
以下、図面に基づいて本発明の好適な実施例を説明する
。
。
第３図において、３０は交流電源、３２は交流電源３０
の出力が供給されたコンデンサ３４と整流器３６とによ
って構成される複数のコツククロフト形倍電圧整流回路
であって、整流回路３２はそのコンデンサ３４が交流電
源３０の周波数に対して所定のインピーダンスを持つ値
に設定され、バラスト抵抗と同等のインピーダンスを持
たせることＫよってグロー放電２６の電流制限作用を行
わせるように構成され、その出力が各分割陰極１６に供
給されている。
の出力が供給されたコンデンサ３４と整流器３６とによ
って構成される複数のコツククロフト形倍電圧整流回路
であって、整流回路３２はそのコンデンサ３４が交流電
源３０の周波数に対して所定のインピーダンスを持つ値
に設定され、バラスト抵抗と同等のインピーダンスを持
たせることＫよってグロー放電２６の電流制限作用を行
わせるように構成され、その出力が各分割陰極１６に供
給されている。
以上の本発明装置の動作を説明すると、交流電源３０の
出力が整流回路３２によって倍電圧整流されて陰極１６
に供給されるので前記従来装置と同様にグロー放電２６
によってレーザ媒質１２を励起してレーザ光２８が得ら
れるものであるが、本例の場合コンデンサ３４に電流制
限作用を与えているのでバラスト抵抗を必要とせず、こ
のため整流回路３２での電力消費量は僅かとなり、交流
電源３０の電力は全てグロー放電２６の、電力とするこ
とができ、電力効率を従来装置に比較して格段に向上さ
せることができる。
出力が整流回路３２によって倍電圧整流されて陰極１６
に供給されるので前記従来装置と同様にグロー放電２６
によってレーザ媒質１２を励起してレーザ光２８が得ら
れるものであるが、本例の場合コンデンサ３４に電流制
限作用を与えているのでバラスト抵抗を必要とせず、こ
のため整流回路３２での電力消費量は僅かとなり、交流
電源３０の電力は全てグロー放電２６の、電力とするこ
とができ、電力効率を従来装置に比較して格段に向上さ
せることができる。
また上側のように整流回路としてコツククロフト形倍電
圧整流回路を適用することによって、その整流段数を多
くすることによシ交流電源３０の出力電圧を低くしても
２〜３ ＫＶの通常グロー放電電圧に昇圧することが容
易となる利点を有する。
圧整流回路を適用することによって、その整流段数を多
くすることによシ交流電源３０の出力電圧を低くしても
２〜３ ＫＶの通常グロー放電電圧に昇圧することが容
易となる利点を有する。
また整流回路３２は例えば５ＩＧ（ｚ以下のような低い
周波数では整流電圧に脈動が生じ、グロー放電の電流が
変化してレーザ光２８の強度が変化されるが、交流電源
３０の周波数をレーザ光２８の応答速度以上の高い周波
数に選定することによって、整流電圧に脈動があっても
連続したレーザ光２８を得ることができる。通常交流電
源３０の周波数は５ ＫＨｚ以上であることが望ましい
が、特に２０１１Ｇ−１ｚ以上、に選定すると、整流電
圧の脈動による影響が殆どない。しかも、交流電源３０
０周波数を高くすれば、コンデンサ３４の静電容量は小
さくて済み整流回路３２を小型化することができる。
周波数では整流電圧に脈動が生じ、グロー放電の電流が
変化してレーザ光２８の強度が変化されるが、交流電源
３０の周波数をレーザ光２８の応答速度以上の高い周波
数に選定することによって、整流電圧に脈動があっても
連続したレーザ光２８を得ることができる。通常交流電
源３０の周波数は５ ＫＨｚ以上であることが望ましい
が、特に２０１１Ｇ−１ｚ以上、に選定すると、整流電
圧の脈動による影響が殆どない。しかも、交流電源３０
０周波数を高くすれば、コンデンサ３４の静電容量は小
さくて済み整流回路３２を小型化することができる。
更に第３図に示すように交流電源３０の電圧をトランス
３８を介して昇圧して整流回路３２に供給することによ
って、整流回路３２のコンデンサ３４及び兼流器３６の
数を減少させることができる。
３８を介して昇圧して整流回路３２に供給することによ
って、整流回路３２のコンデンサ３４及び兼流器３６の
数を減少させることができる。
また第４図に゛示すごとく、交流電源３０と整流回路３
２との間にコンデンサ３４の静電容量と直列共振する値
のりアクドル４０を挿入することによって、交流電源３
０の出力電力の力率を改善することができると共に、直
列共振によシ高い電圧が得られるので整流回路３２のコ
ンデンサ３４及び整流器３６の数を減少させることがで
きる。
２との間にコンデンサ３４の静電容量と直列共振する値
のりアクドル４０を挿入することによって、交流電源３
０の出力電力の力率を改善することができると共に、直
列共振によシ高い電圧が得られるので整流回路３２のコ
ンデンサ３４及び整流器３６の数を減少させることがで
きる。
更に、第５図に示すごとく出力電圧の位相が反転された
２つの交流電源３０を使用し、整流回路としてコツクク
ロフト整流回路の一種である対称形力スクード倍電圧整
流回路４２を適用することによって、第２図におけるコ
ツククロフト形整流回路３２に比較して整流電圧の脈動
を４に減少させることができ、よシ直流に近い電流を陰
極１６に供給することができる利点を有する。
２つの交流電源３０を使用し、整流回路としてコツクク
ロフト整流回路の一種である対称形力スクード倍電圧整
流回路４２を適用することによって、第２図におけるコ
ツククロフト形整流回路３２に比較して整流電圧の脈動
を４に減少させることができ、よシ直流に近い電流を陰
極１６に供給することができる利点を有する。
以上のように本発明によれば、交流電源の出力をコンデ
ンサを電流制限要素とした複数の整流回路で整流して電
極に放電電流を供給するように構成されているので、不
必要な電力消費を伴うバラスト抵抗を省略することがで
き装置の電力効率を大幅に向上させることができ、しか
も従来装置と同一のレーザ出力を得るだめの電源容量が
小さくて済むから装置全体を小型化し得ると共に安価に
製作し得る等の優れた効果を有する。
ンサを電流制限要素とした複数の整流回路で整流して電
極に放電電流を供給するように構成されているので、不
必要な電力消費を伴うバラスト抵抗を省略することがで
き装置の電力効率を大幅に向上させることができ、しか
も従来装置と同一のレーザ出力を得るだめの電源容量が
小さくて済むから装置全体を小型化し得ると共に安価に
製作し得る等の優れた効果を有する。
第１図は従来装置を示す回路図、第２図は本発明装置の
一実施例を示す回路図、第３図乃至第５図は本発明装置
の他の実施例を示す回路図である。 各図中、同一部材には同一符号を付し、１４は陽極、１
６は陰極、２４はノ（ラスト抵抗、２８はグロー放電１
．３０は交流電源、３２は整流回路、３４はコンデンサ
、３６は整流器、４２は対称ブ杉カスケード倍電圧回路
である。 代理人 弁理士 葛 野 信 −（ほか１名） 第１図 第２区 第３図 第４図 第５図 ４ ■
一実施例を示す回路図、第３図乃至第５図は本発明装置
の他の実施例を示す回路図である。 各図中、同一部材には同一符号を付し、１４は陽極、１
６は陰極、２４はノ（ラスト抵抗、２８はグロー放電１
．３０は交流電源、３２は整流回路、３４はコンデンサ
、３６は整流器、４２は対称ブ杉カスケード倍電圧回路
である。 代理人 弁理士 葛 野 信 −（ほか１名） 第１図 第２区 第３図 第４図 第５図 ４ ■
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）一対の電極の少なくとも一方を複数に分割して分
割電極とすると共に前記一対の電極間に直流電圧を印加
して放電を発生させることにより、レーザ媒質を励起し
てレーザ光を発生させるレーザ発振器において、交流電
源を有し、該交流電源の出力を、電流制限要素としてコ
ンデンサを使用した複数の整流回路で構成される電流源
を介して前記複数の分割電極に供給することを特徴とす
るレーザ発振器における電源装置。 （２、特許請求の範囲第１項記載の装置において、整流
回路としてコツククロフト形倍電圧整流回路を使用して
なるレーザ発振器における電源装置。 （３）特許請求の範囲第１項記載の装置において、交流
電源の周波数がレーザ光の応答速度よシ高く選定されて
なるレーザ発振器における電源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18031682A JPS5969981A (ja) | 1982-10-14 | 1982-10-14 | レ−ザ発振器における電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18031682A JPS5969981A (ja) | 1982-10-14 | 1982-10-14 | レ−ザ発振器における電源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5969981A true JPS5969981A (ja) | 1984-04-20 |
Family
ID=16081074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18031682A Pending JPS5969981A (ja) | 1982-10-14 | 1982-10-14 | レ−ザ発振器における電源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5969981A (ja) |
-
1982
- 1982-10-14 JP JP18031682A patent/JPS5969981A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5959410A (en) | Charge pump power factor correction circuit for power supply for gas discharge lamp | |
| JPH06197558A (ja) | 力率補正機能を有する電源回路 | |
| US7049764B2 (en) | Electrodeless lighting apparatus using microwave and method for controlling power thereof | |
| JPS6037189A (ja) | 無声放電励起同軸型レ−ザ発振器 | |
| US6677717B2 (en) | Power supply apparatus of lighting system using microwave | |
| JPS5969981A (ja) | レ−ザ発振器における電源装置 | |
| US5844374A (en) | Inverter arrangement employing resonant capacitive elements directly connected across the switching elements for zero voltage switching | |
| US2233416A (en) | Inverter | |
| GB2146185A (en) | Lighting system | |
| US20070138976A1 (en) | Dielectric barrier discharge lamp drive circuit | |
| EP0078864A1 (en) | Transistor inverter device | |
| JPH0410680A (ja) | 気体レーザ装置 | |
| US2009826A (en) | Light modulation system | |
| JPH1069991A (ja) | 無電極放電灯点灯装置 | |
| JP2972785B2 (ja) | 放電灯点灯装置 | |
| JPS5915516Y2 (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| US5825795A (en) | Gas laser oscillator apparatus | |
| JP2896672B2 (ja) | 高気圧金属蒸気放電灯点灯装置 | |
| JPS6367345B2 (ja) | ||
| JPH08153921A (ja) | ガスレーザー発振器の高周波電源装置 | |
| SU67085A1 (ru) | Газоразр дна генераторна лампа | |
| JP3518230B2 (ja) | 点灯装置 | |
| JP2707356B2 (ja) | 気体レーザ装置 | |
| JPS5974691A (ja) | クロスフロ−型ガスレ−ザ装置 | |
| JPS5963655A (ja) | メタルハライドランプ点灯装置 |