JPS5972004A - 電磁位置決装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は同一平面上の２軸（ｘ、ｙ）及び回転軸の６軸
回時位置決を可能とした電磁位置決装置に関するもので
ある。

従来型出位置決装置は１軸あるいは２軸の位置決を行う
ものであり、組立装置等に利用する場合、回転方向の位
置決はパルスモータ、サーボモータ。

あるいはソレノイド等別の手段Ｋｍよらざるを得なかっ
た。これらの手段を使った場合、最終被位置決部までの
動力伝達経路における、ガタ、変形等によｐ高精度な位
置決が困雛であると共に、装置としての信頼性、耐久性
に乏しいという欠点を有していた。

本発明の目的は上記の様な従来の欠点を除去し、高精度
で高信頼性を有したＸ、Ｙ軸及び回転軸の３軸回時電磁
位置決装置を提供することにある。

以下本発明を一実施例にもとづき詳細に説明していく。

第１図は本発明による電磁位置決装置の断面図である。

１は磁性利料よりなるプラテンであり表面に格子状の凸
起１３を有しており、それら凸起の間には非磁性体の樹
脂１４が充填され平滑な表面を形成している。２は前記
プラテン１と対抗する第１のヘッド部であり、ＸＹ各軸
用い一群のＮ磁素子（各電磁素子の表面には＠記プラテ
ン１の凸起１３と対抗する凸起が形成されている。

−図示せず）が埋め込唸れ、位置決信号に対応した電流
を印加する事によりプラテン１と第１ヘッド部２とによ
シ平面的な位置決が可能となる。

プラテン１と第１のヘッド部２の間は静圧空気軸受によ
り適正な間隔が保たれている。電磁素子への印加電流及
び空気軸受を形作る圧縮空気はバイブ３ＶＣよって、第
１のヘッド部２ｖｃ供給される。

前記第１のヘッド部２の背面には回転用のプラテン４が
固定されている。第２図は第１図におけるＡ−Ａ矢視図
である。回転用プラテン４は磁性材料よ！ｌｌなシ、表
面に放射状の凸起５を有しており、それら凸起の間には
非磁性体の樹脂６が充填され、平滑な表面を形成してい
る。７は回転用プラテン４と対抗する第２のヘッド部で
あり、回転用の電磁素子８がフレーム９に固定されてい
る。回転用型出素子８の表面は放射状の凸起５と対抗す
る凸起を有している。１０は軸であり、キー１１によっ
て、第１のヘッド部２に固定されている。軸１０と第２
のヘッド部７の間は軸受１２を介して回転自在となって
おり、位置決信号に応じた電流がコード１３を通して電
磁素子８に供給されることにより、プラテン４と第２の
ヘッド部７の間で相対的な回転方向の位置決が可能とな
る。プラテン４と第２のヘッド部７の間の軸受機構とし
ては、前述の様な静圧電気軸受でもよいし、あるいは機
械的な軸受構造を採用しても良い。

以上第１図及び第２図にもとづいて詳細に説明して来た
わけであるが、第２のヘッド部７と回転用プラテン４が
逆の位置にあっても同様な結果を有することは明らかで
ある。つまり第１のヘッド部２と第２のヘッド部７が背
中合せに互いに一体となっており、回転用プラテン４が
前記一体となったヘッド部に対して、回転自在に軸受全
弁して保持されていても同様に回転方向の相対的位置決
が可能となる。（図示せず） 本発明による６軸回時位置決装置を組立装置等に利用す
る場合、回転部である第２のヘッド部７のフレーム９に
組立用部品等の着脱機構（図示せず）をネジ止め等によ
り設置すればよいわけである。又第１と第２の各ヘッド
部（２，７）’に互いに背中合せに一体化し、プラテン
４全回転自在にした位置決の場合も前述の如き組立部品
の着脱機構をプラテン４に設置すれば、同様の結果が得
られる。

以上述べて来た様に本発明によれば、ＸＹ２軸の位置決
をする電磁位置決装置におけるヘッド部に回転位置決用
のプラテンを固定し、対抗するヘッド部を回転自在にす
るか、あるいは、回転位置決用ヘッド部を固定し、対抗
するプラテン部を回転自在にすることにより、回転方向
の位置決を行　５　− い、３軸回時電磁位置決装置を可能としている。

従って回転位置決用に、パルスモータ、サーボモータ、
ソレノイド等全採用した装置に比べ、動力伝達構造を必
要とせず、直接位置決が出来ることにより、伝達経路に
おける、ガタや変形に伴う精度の低下がなく、高精度な
位置決が可能となると同時に、伝達経路そのものが必要
ないことから、高信頼性が得られるという効果を有（−
でいる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明にもとづく３軸回時位誼決装置の断面図
、第２図は第１図における回転用プラテン部の正面図で
ある。 １・・・ＸＹ４１１用プラテン　　２・・・第１のヘッ
ド部４・・・回転用プラテン　　７・・・第２のヘッド
部８・・・回転用型缶素子　　９・・・フレーム１０・
・・軸　　　　　　　１２・・・軸受以上 出願人　株式会社　第二精工舎 代理人　弁理士　最上　　務 　６−

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）磁性材料よりなる複数の凸起を有すると共に各凸
   起間の隙間に非出性体を充填させたプラテンと、前記プ
   ラテンに対抗する凸起を有した電磁素子を埋め込んだヘ
   ッドよりなる相対的位置決装置ＶＣおいて、同一平面上
   の２軸（ＸＹ各軸）を位置決するＸＹ各々の電磁素子を
   有した第１のヘッド部に回転用プラテンを一体的に設置
   すると共に、前記回転用プラテンと対抗する、回転用電
   磁素子を有した第２のヘッド部を前記回転用プラテンに
   対して、回転自在に取付ける事によりＸ、Ｙ及び回転軸
   の３軸回時位置決を可能とした事を特徴とする電磁位置
   決装置。 （２、特許請求の範囲第１項において、第１のヘッド部
   に回転用電磁素子を有した第２のヘッド部が固定され、
   第２のヘッド部と対抗する回転用プラテンを、一体とな
   った前記第１及び第２のヘッドに対して回転自在に取付
   ける事によυ、Ｘ、Ｙ及び回転軸の３軸回時位置決を可
   能とした事を特徴とする電磁位置決装置。