JPS597360A - 光源発生装置 - Google Patents
光源発生装置Info
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- JPS597360A JPS597360A JP58044618A JP4461883A JPS597360A JP S597360 A JPS597360 A JP S597360A JP 58044618 A JP58044618 A JP 58044618A JP 4461883 A JP4461883 A JP 4461883A JP S597360 A JPS597360 A JP S597360A
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- optical fiber
- lens
- lens array
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- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
- G02B27/0938—Using specific optical elements
- G02B27/095—Refractive optical elements
- G02B27/0955—Lenses
- G02B27/0961—Lens arrays
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
- G02B3/0006—Arrays
- G02B3/0037—Arrays characterized by the distribution or form of lenses
- G02B3/0056—Arrays characterized by the distribution or form of lenses arranged along two different directions in a plane, e.g. honeycomb arrangement of lenses
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
- G02B3/0006—Arrays
- G02B3/0075—Arrays characterized by non-optical structures, e.g. having integrated holding or alignment means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/04—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings formed by bundles of fibres
- G02B6/06—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings formed by bundles of fibres the relative position of the fibres being the same at both ends, e.g. for transporting images
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70058—Mask illumination systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Light Sources And Details Of Projection-Printing Devices (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［本発明の技術分野］
本発明は、光学的映像装置に係り、更に具体的に云えば
、コリメー１へさ汎た光ビー１１を任意の形状及び開［
−１数を有する自己発光源に変換させる光学装置に係る
。
、コリメー１へさ汎た光ビー１１を任意の形状及び開［
−１数を有する自己発光源に変換させる光学装置に係る
。
し従来技術］
超小型電Ｔ−素了に於ける回路密度が増すとともに、よ
り高い解像度のパターンをより速い処理速度で生し得る
主々の高解像度リソグラフィ技術が必要とされている。
り高い解像度のパターンをより速い処理速度で生し得る
主々の高解像度リソグラフィ技術が必要とされている。
光学的リソグラフィに於て、より短い波長を用いること
により解像度が改良され得ることは周知である。そのた
めに、遠紫外線スペクトル領域に於ける露光を必要とす
る方法及び材料を開発する試みが成されている。それら
の従来技術に於て伝統的に用いられている）１（Ｊ源は
、ジューテリウムナＪ又はキセノン−水銀アーク灯のい
ずれかであった。その様な光源を用いた場合の問題は、
所望のスペクトル領域に於てそれから充分なパワーが得
られないことである。成る典型的装置に於る成る典型的
光源に於ては、使用に於て集められ得る遠紫外線領域の
全パワーが数十ミリワラ１〜の範囲であり、従って遠紫
外線領域に於て敏感なレンズ１〜のための露光時間は典
型的には数分間である。
により解像度が改良され得ることは周知である。そのた
めに、遠紫外線スペクトル領域に於ける露光を必要とす
る方法及び材料を開発する試みが成されている。それら
の従来技術に於て伝統的に用いられている）１（Ｊ源は
、ジューテリウムナＪ又はキセノン−水銀アーク灯のい
ずれかであった。その様な光源を用いた場合の問題は、
所望のスペクトル領域に於てそれから充分なパワーが得
られないことである。成る典型的装置に於る成る典型的
光源に於ては、使用に於て集められ得る遠紫外線領域の
全パワーが数十ミリワラ１〜の範囲であり、従って遠紫
外線領域に於て敏感なレンズ１〜のための露光時間は典
型的には数分間である。
従来の投影装置においては、開１−１の一イ法を変える
ことにより、照射の円錐角度か変えられ、従って部分的
コヒーレンス及びそれにイ゛ｒう端部解像度も変えられ
る様に、開１１絞りか設しづられている。
ことにより、照射の円錐角度か変えられ、従って部分的
コヒーレンス及びそれにイ゛ｒう端部解像度も変えられ
る様に、開１１絞りか設しづられている。
しかしながら、その間］」絞りは叉、該投影装置に入る
金光叶を限定するので、より良い端部Ｍ像を達成するた
めには、より長い露光時間が必要とされる。
金光叶を限定するので、より良い端部Ｍ像を達成するた
めには、より長い露光時間が必要とされる。
［本発明の概要］
従って、本発明の目的は、コリメ−１へされた光を任意
の形状及び開１」数を有する自己発光源に変換させる光
学装置を提供することである。
の形状及び開１」数を有する自己発光源に変換させる光
学装置を提供することである。
本発明は、コリメーとされた光を所定の径路に沿って方
向づけるための第１光学手段と；」−記のコリメーとさ
れた光を受取る様に上記所定の径路にｄ−１つて配置さ
れ、所定の開ｒｉ数を有する複数の点光源を形成するレ
ンズ配列体を含む、第２光学手段と；」二記レンズ配列
体に於ける異なる１つのレンズから光を受取る様に配置
された各光ファイバの入力端部、及び所定の形状を有す
る自己発光源（ｓｅＪｆ −Ｊｕｍｊ ｎｏｕｓ ５ｏ
ｕｒｃ、ｅ）を発生する様に配置された各光ファイバの
出力端部を有している光フアイバ配列体とを含む；コリ
メー１−された光から所定の形状及び開１１数を有する
光源を発生させるための装置を提供する。
向づけるための第１光学手段と；」−記のコリメーとさ
れた光を受取る様に上記所定の径路にｄ−１つて配置さ
れ、所定の開ｒｉ数を有する複数の点光源を形成するレ
ンズ配列体を含む、第２光学手段と；」二記レンズ配列
体に於ける異なる１つのレンズから光を受取る様に配置
された各光ファイバの入力端部、及び所定の形状を有す
る自己発光源（ｓｅＪｆ −Ｊｕｍｊ ｎｏｕｓ ５ｏ
ｕｒｃ、ｅ）を発生する様に配置された各光ファイバの
出力端部を有している光フアイバ配列体とを含む；コリ
メー１−された光から所定の形状及び開１１数を有する
光源を発生させるための装置を提供する。
［本発明の実施例コ
第１図に示されている本発明の１実施例による光源発生
装置は、好ましくはエクシクマ・レーザである、レーザ
１０の如き適当な源からの光を用いている。エフシマ・
レーザは、略コリメートされた略矩形の出カビ−１１１
２を発生する。それから、ビームＩ２は、コリメー１−
さ］した状態を維持してビーム４゛法を変えるレンズ１
４及びＩＧより成る円柱（即ち、アナモルフィック）≦
〃遠鏡により、その矩形の形状が変えられる。次に、該
ビームは、成る選択された開「１数を有する複数の焦結
された点を形成する複眼レンズ（１’］、ｙ ′ｓ ｅ
ｙｅ １ｅｎｓ）配列体２０に入射する。レンズ配列体
２０の後には、該レンズ配列体２０からの焦結されたビ
ームを受取る様に矩形の構造をめする入力端部２４を有
している光フアイバ配列体２２か配置されている。光フ
アイバ配列体２２は、その出力端部２６に於て、任、育
、の所望の構造を有し得る。第５図に示されている特定
の実施例に於ては、光ファイ八配列体２２が、従来のノ
第１〜リソグラフィ投影装置の必要条件に適合する様な
構造に形成さｉｔでおり、光ファイバ配列体２２の出力
端部２Ｇが、該投影装置への光入力に適合する様に、弧
状に配列されている。
装置は、好ましくはエクシクマ・レーザである、レーザ
１０の如き適当な源からの光を用いている。エフシマ・
レーザは、略コリメートされた略矩形の出カビ−１１１
２を発生する。それから、ビームＩ２は、コリメー１−
さ］した状態を維持してビーム４゛法を変えるレンズ１
４及びＩＧより成る円柱（即ち、アナモルフィック）≦
〃遠鏡により、その矩形の形状が変えられる。次に、該
ビームは、成る選択された開「１数を有する複数の焦結
された点を形成する複眼レンズ（１’］、ｙ ′ｓ ｅ
ｙｅ １ｅｎｓ）配列体２０に入射する。レンズ配列体
２０の後には、該レンズ配列体２０からの焦結されたビ
ームを受取る様に矩形の構造をめする入力端部２４を有
している光フアイバ配列体２２か配置されている。光フ
アイバ配列体２２は、その出力端部２６に於て、任、育
、の所望の構造を有し得る。第５図に示されている特定
の実施例に於ては、光ファイ八配列体２２が、従来のノ
第１〜リソグラフィ投影装置の必要条件に適合する様な
構造に形成さｉｔでおり、光ファイバ配列体２２の出力
端部２Ｇが、該投影装置への光入力に適合する様に、弧
状に配列されている。
第１図に於ける複眼レンズ配列体２０と光ファイバ配列
体２２との関係が、第２図に於てより詳８・１■に示さ
れている。レンズ１４及びｊ６により修正さイシたレー
ザ１０からの矩形の光ビー１１は、複眼レンズ配列体２
０の略全体に入射する。第３Δ図に示されているレンズ
配列体２０は、円形のレンズ素子の１００％よりも低い
実装密度によ−〕で生しる効率の損失を除くために、正
方形の断面を有するレンズの配列体２８より成る。第３
Ｂ図に示されている他のレンズ配列体２０’は、六角形
の断面を有するレンズの配列体２８′より成る。
体２２との関係が、第２図に於てより詳８・１■に示さ
れている。レンズ１４及びｊ６により修正さイシたレー
ザ１０からの矩形の光ビー１１は、複眼レンズ配列体２
０の略全体に入射する。第３Δ図に示されているレンズ
配列体２０は、円形のレンズ素子の１００％よりも低い
実装密度によ−〕で生しる効率の損失を除くために、正
方形の断面を有するレンズの配列体２８より成る。第３
Ｂ図に示されている他のレンズ配列体２０’は、六角形
の断面を有するレンズの配列体２８′より成る。
配列体２０を構成するレンズ２８又は配列体２０’を構
成するレンズ２８′の開［二１数は、光ファイバ配列体
２２を構成する個々の光ファイバｒ）０のコア３２（第
４図）の全体に光か入射しない様に選択される。第４図
に示されている如く、その様な入射は、光ファイバのク
ララＦ ３６ Ｊ：に入η・ｊすることにより光が損失
されることがない様に、コア３２を１００％よりも少な
く照射する。光ファイバ３０の出力端部２６（第１図）
に於ける発散（開口数）は、該光ファイバにより、複眼
レンズ配列体２０に於けるレンズ２８の開１」数と同一
である様に維持される。光ファイバ３０の長さに７Ｑつ
て生じる多重内部反射及び異なる光ファイバからの光の
分布間の重複によって、光ファイバ配列体２２の出力端
部２６に於ける分布が自己発光源、即ち各々良好に限定
された冊【−１数を牛しる照射中心の連続的集合体とし
て働く。
成するレンズ２８′の開［二１数は、光ファイバ配列体
２２を構成する個々の光ファイバｒ）０のコア３２（第
４図）の全体に光か入射しない様に選択される。第４図
に示されている如く、その様な入射は、光ファイバのク
ララＦ ３６ Ｊ：に入η・ｊすることにより光が損失
されることがない様に、コア３２を１００％よりも少な
く照射する。光ファイバ３０の出力端部２６（第１図）
に於ける発散（開口数）は、該光ファイバにより、複眼
レンズ配列体２０に於けるレンズ２８の開１」数と同一
である様に維持される。光ファイバ３０の長さに７Ｑつ
て生じる多重内部反射及び異なる光ファイバからの光の
分布間の重複によって、光ファイバ配列体２２の出力端
部２６に於ける分布が自己発光源、即ち各々良好に限定
された冊【−１数を牛しる照射中心の連続的集合体とし
て働く。
上述の如き構造に形成された光ファイバ配列体を用いる
ことにより、それらの）℃ファイバは、その出力端部に
於て、例えは半円形、楕円形、放物線状又は他の住方、
の形状の如き特定の要求に適合する様に住方、の所望の
構造に１１１分４１さ汎得るので著しい融通性か得られ
る。第５図に示されている構造は、従来のフオＩ〜リソ
クラフイ投影装置のための光源としてエフシマ・レーザ
を用いることを可能にする。その結果、該投影装置に必
要とされた露光時間よりも約２桁分速い露光時間が実現
される。この変化は、その様な適用例に於ける処理速度
を著しく増加させ得る。
ことにより、それらの）℃ファイバは、その出力端部に
於て、例えは半円形、楕円形、放物線状又は他の住方、
の形状の如き特定の要求に適合する様に住方、の所望の
構造に１１１分４１さ汎得るので著しい融通性か得られ
る。第５図に示されている構造は、従来のフオＩ〜リソ
クラフイ投影装置のための光源としてエフシマ・レーザ
を用いることを可能にする。その結果、該投影装置に必
要とされた露光時間よりも約２桁分速い露光時間が実現
される。この変化は、その様な適用例に於ける処理速度
を著しく増加させ得る。
第６図に示されている他の実施例に於ては、複数のイン
デックス可能な位置に回転され得る様に適当なフレーム
部材４１により支持されている円板４２１：に、複数の
レンズ配列体４０が装着されている。各レンズ配列体４
０は、複眼レンズ配列体２０と同様な構成の複眼レンズ
配列体より成る。
デックス可能な位置に回転され得る様に適当なフレーム
部材４１により支持されている円板４２１：に、複数の
レンズ配列体４０が装着されている。各レンズ配列体４
０は、複眼レンズ配列体２０と同様な構成の複眼レンズ
配列体より成る。
しかしながら、レンズ配列体４０に於ける各レンズの焦
点距離は、適当に配置されることにより、選択されたレ
ンズ配列体４０ａ乃至４０ｄ （第７図）が光フアイバ
配列体中に入射する選択された開口数を生しる様に、レ
ンズ配列体４０ａ乃至４０ｄの各々に於けるレンズに於
て異なっている。
点距離は、適当に配置されることにより、選択されたレ
ンズ配列体４０ａ乃至４０ｄ （第７図）が光フアイバ
配列体中に入射する選択された開口数を生しる様に、レ
ンズ配列体４０ａ乃至４０ｄの各々に於けるレンズに於
て異なっている。
フレーム部材４４は、光フアイバ配列体２２の入力端部
２４に関して横方向へ複数の位置に選択可能に移動され
得る。そのフレーム部材４４の横方向位置は、フレー１
１部材４４を装置フレーｌ＼４８に関して選択的に位置
づけるティテン１ル機構４Ｇによって調節され、横方向
位置の各々にディテント・ノツチ４６ａ乃至４６ｄが設
けられている。
２４に関して横方向へ複数の位置に選択可能に移動され
得る。そのフレーム部材４４の横方向位置は、フレー１
１部材４４を装置フレーｌ＼４８に関して選択的に位置
づけるティテン１ル機構４Ｇによって調節され、横方向
位置の各々にディテント・ノツチ４６ａ乃至４６ｄが設
けられている。
選択されたレンズ配列体４０ａ乃至／ｌｏｄの１つを動
作位置に移動させるために、円板４２をその放射状の位
置の１つにロックさせる様に、ディテン１−・ノツチ４
７ａ乃至４７ｄと協働し得る、第２のディテント機構４
７が設けられている。この機構により、投影装置に必要
な開［」数の各々に対して、成る特定のレンズ配列体４
ｏ及びディテント位置が与えられる。その選択は、任意
の適当な機械的、電気的、又は電気機械的手段によって
行われ得る。
作位置に移動させるために、円板４２をその放射状の位
置の１つにロックさせる様に、ディテン１−・ノツチ４
７ａ乃至４７ｄと協働し得る、第２のディテント機構４
７が設けられている。この機構により、投影装置に必要
な開［」数の各々に対して、成る特定のレンズ配列体４
ｏ及びディテント位置が与えられる。その選択は、任意
の適当な機械的、電気的、又は電気機械的手段によって
行われ得る。
次に示す表は、成る特定の投影装置に於て用いらＡしる
ために適している一連のレンズ配列体を用いた、１つの
特定の実施例を示している。
ために適している一連のレンズ配列体を用いた、１つの
特定の実施例を示している。
未−
一吃イヌー酔歿俸 −元ゑ元ン上囮号 ４一致 風旦
数４０ａ ７１６ａ ３．５
０．１１１４０ｂ ／１６ｂ
４．２ ０．１２／ｌＯｃ
４６ｃ ５．８ ０．０９４０
ｄ ／１６ｄ ８．１ ０．０
６投影装置のために成る特定の開口数が選択され得るも
う１つの実施例が第８図に示されている。
数４０ａ ７１６ａ ３．５
０．１１１４０ｂ ／１６ｂ
４．２ ０．１２／ｌＯｃ
４６ｃ ５．８ ０．０９４０
ｄ ／１６ｄ ８．１ ０．０
６投影装置のために成る特定の開口数が選択され得るも
う１つの実施例が第８図に示されている。
この実施例に於ては、複数のインデックス可能な位置に
回転され得る様に適当なフレー１１部月５４により支持
されている円板５２上に装着されている複数のレンズ配
列体５０（５０ａ乃至５０ｄ）とともに、レンズ配列体
２０が用いられている。
回転され得る様に適当なフレー１１部月５４により支持
されている円板５２上に装着されている複数のレンズ配
列体５０（５０ａ乃至５０ｄ）とともに、レンズ配列体
２０が用いられている。
この実施例に於ては、複数のレンズ配列体５０の１つと
配列体２０との組合せによって、所望の開Ｌ１数が得ら
肛る。フレーム部材５４を横方向に位置づけるために、
ティテント機横４６と同様なディテント機構か設けられ
賀る。又、ディテン１〜・ノツチ５７ａ乃至５７ｄ （
第９図）と協働し得る、ディテン１−機構４７と同様な
ディテン１−機構も設けられ得る。
配列体２０との組合せによって、所望の開Ｌ１数が得ら
肛る。フレーム部材５４を横方向に位置づけるために、
ティテント機横４６と同様なディテント機構か設けられ
賀る。又、ディテン１〜・ノツチ５７ａ乃至５７ｄ （
第９図）と協働し得る、ディテン１−機構４７と同様な
ディテン１−機構も設けられ得る。
更にもう１つの実施例に於ては、複数のインテックスＩ
ＩＪ能な位置に回転され得る様に適当なフレー１１部材
により支持されている円板上に装着されている複数のレ
ンズが、複眼レンズ配列体２０とともに用いられる。こ
の実施例に於ける上記円板」二のレンズは各々、複眼レ
ンズ配列体４０又は５０てなく、１つの球面レンズより
成っている。円板−Ｊ二の各レンズは、適当に配置され
ることにより、選択されたレンズが複眼レンズ配列体２
０とともに光フアイバ配列体に選択された開に１数を生
じる様に、異なる焦点距離を有している。所望であれは
、フレー１１部材を横方向に位置づけるために、ディテ
ント機構が設けられ得る。この実施例に於ては、光ファ
イバの入力端部が、それらをレンズ配列体２０の軸と整
合させるために、調節可能にされてもよい。
ＩＪ能な位置に回転され得る様に適当なフレー１１部材
により支持されている円板上に装着されている複数のレ
ンズが、複眼レンズ配列体２０とともに用いられる。こ
の実施例に於ける上記円板」二のレンズは各々、複眼レ
ンズ配列体４０又は５０てなく、１つの球面レンズより
成っている。円板−Ｊ二の各レンズは、適当に配置され
ることにより、選択されたレンズが複眼レンズ配列体２
０とともに光フアイバ配列体に選択された開に１数を生
じる様に、異なる焦点距離を有している。所望であれは
、フレー１１部材を横方向に位置づけるために、ディテ
ント機構が設けられ得る。この実施例に於ては、光ファ
イバの入力端部が、それらをレンズ配列体２０の軸と整
合させるために、調節可能にされてもよい。
第６図、第７図、第８図及び第９図に示されている各実
施例は、投影装置に入射する光全体を実質的に変えずに
、選択的に変更可能な開Ｌ−１数を有するリソグラフィ
投影装置を達成する。従って、本発明の装置は、光量及
び照射の円錐角度（開「Ｊ数）が相互に依存しない装置
の利点を達成し、その結果端部解像度と露光時間との間
のバランスをとる必要がなくなる。
施例は、投影装置に入射する光全体を実質的に変えずに
、選択的に変更可能な開Ｌ−１数を有するリソグラフィ
投影装置を達成する。従って、本発明の装置は、光量及
び照射の円錐角度（開「Ｊ数）が相互に依存しない装置
の利点を達成し、その結果端部解像度と露光時間との間
のバランスをとる必要がなくなる。
第１図は本発明の１好実施例による光源発生装置を示す
概略図、第２図は第１図に於ける複眼レンズ配列体及び
光フアイバ配列体を一部断面図により更に詳細に示す図
、第３Ａ図は第２図の線３−３に於ける断面図、第３Ｂ
図はレンズ配列体２０の他の実施例の端部を示す図、第
４図は第２図の線４−／Ｉに於ける断面図、第５図は第
１図の光フアイバ配列体に於ける出力端部を示す図、第
６図は開１−１数を調節するために選択的に動作されろ
様に複数の複眼レンズ配列体か′！Ａ、若さＩｌ、でい
る、本発明の他の実施例を示す概略図、第７図は第６図
の回転円板を示す平面図、第８図は開１１数を調節する
ために選択的に動作される＋Ｕ数の＋５１眼レンズ配列
体と組合わ仕で、定置された複眼レンズ配列体が用いら
れている、本発明のもう１つの実施例を示す概略図、第
９図は第８図の回１１す；円板を示す平面図である。 １０・・・・レーザ、１２・・・・ビー１１．１４．１
Ｇ・・・・レンズ、２０．２０′、４０ａ乃至４０（）
、５０ａ乃至５０（１・・・・複眼レンズ配列体、２２
・・・・光フアイバ配列体、２４・・・・光ファイバ（
配列体）の入力端部、２６・・・光ファイバ（配列体）
の出力端部、２８・・・正方形の断面を有するレンズの
配列体、２８′・・・・六角形の断面を有するレンズの
配列体、３０・・・・光ファイバ、３２・・・・光ファ
イバのコア、３６・・・・光ファイバのクラッド、４０
．５０・・・・複数の複眼レンズ配列体、４２．５２・
・・・円板、４４．５４・・・ フレー１１部材、４６
．４７・・・・ディテン１−機構、／Ｉ Ｇ ｒｉ乃至
４ （５ｄ、４７ａ乃至４７ｄ、５７ａ乃至５７ｄ・・
・・ディテン１〜・ノツチ、４８・・・・装置フレー１
１゜出願人 インターナショナル・ビジネス・マシーン
ズ・コーポレーション 代理人 復代理士 合 ＩＴＩ 潔−
：
概略図、第２図は第１図に於ける複眼レンズ配列体及び
光フアイバ配列体を一部断面図により更に詳細に示す図
、第３Ａ図は第２図の線３−３に於ける断面図、第３Ｂ
図はレンズ配列体２０の他の実施例の端部を示す図、第
４図は第２図の線４−／Ｉに於ける断面図、第５図は第
１図の光フアイバ配列体に於ける出力端部を示す図、第
６図は開１−１数を調節するために選択的に動作されろ
様に複数の複眼レンズ配列体か′！Ａ、若さＩｌ、でい
る、本発明の他の実施例を示す概略図、第７図は第６図
の回転円板を示す平面図、第８図は開１１数を調節する
ために選択的に動作される＋Ｕ数の＋５１眼レンズ配列
体と組合わ仕で、定置された複眼レンズ配列体が用いら
れている、本発明のもう１つの実施例を示す概略図、第
９図は第８図の回１１す；円板を示す平面図である。 １０・・・・レーザ、１２・・・・ビー１１．１４．１
Ｇ・・・・レンズ、２０．２０′、４０ａ乃至４０（）
、５０ａ乃至５０（１・・・・複眼レンズ配列体、２２
・・・・光フアイバ配列体、２４・・・・光ファイバ（
配列体）の入力端部、２６・・・光ファイバ（配列体）
の出力端部、２８・・・正方形の断面を有するレンズの
配列体、２８′・・・・六角形の断面を有するレンズの
配列体、３０・・・・光ファイバ、３２・・・・光ファ
イバのコア、３６・・・・光ファイバのクラッド、４０
．５０・・・・複数の複眼レンズ配列体、４２．５２・
・・・円板、４４．５４・・・ フレー１１部材、４６
．４７・・・・ディテン１−機構、／Ｉ Ｇ ｒｉ乃至
４ （５ｄ、４７ａ乃至４７ｄ、５７ａ乃至５７ｄ・・
・・ディテン１〜・ノツチ、４８・・・・装置フレー１
１゜出願人 インターナショナル・ビジネス・マシーン
ズ・コーポレーション 代理人 復代理士 合 ＩＴＩ 潔−
：
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 コリメー１〜された光を所定の径路にａ（って方行づけ
るための第１光学手段と、 Ｌｌｌ先光受取る様に上記所定の径路に沿って然るべき
位置に配置され、所定の開１−１数を有する複数の源を
形成するレンズ配列体を含む、第２光学手段と、 １ユ記しンズ配列体に於ける異なる１つのレンズから光
を受取る様に配置された各光ファイバの入力端部、及び
所定の形状を右する自己発光源を有する様に配置されな
各光ファイバの出力端部を有している光フアイバ配列体
とを含む。 コリメートされた光から所定の形状及び開にｌ数を有す
る光源を発生させるための装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| US06/391,099 US4516832A (en) | 1982-06-23 | 1982-06-23 | Apparatus for transformation of a collimated beam into a source of _required shape and numerical aperture |
| US391099 | 1982-06-23 |
Publications (2)
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| JPH0360105B2 JPH0360105B2 (ja) | 1991-09-12 |
Family
ID=23545236
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Country Status (4)
| Country | Link |
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| EP (1) | EP0097250B1 (ja) |
| JP (1) | JPS597360A (ja) |
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