JPS62284340A - 照射光学系 - Google Patents
照射光学系Info
- Publication number
- JPS62284340A JPS62284340A JP61127443A JP12744386A JPS62284340A JP S62284340 A JPS62284340 A JP S62284340A JP 61127443 A JP61127443 A JP 61127443A JP 12744386 A JP12744386 A JP 12744386A JP S62284340 A JPS62284340 A JP S62284340A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- intensity distribution
- light
- lens
- fly
- gaussian
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Lasers (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Light Sources And Details Of Projection-Printing Devices (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
本発明は、強度分布がほぼガウス形である光を、はぼ一
様な強度分布の光に変換するための光学系に関するもの
である。
様な強度分布の光に変換するための光学系に関するもの
である。
波長が３６０ ｎｍ以下の遠紫外線を発生する光源とし
て、エキシマレーザがある。エキシマレーザから発生す
る光の強度は、従来の高圧水銀ランプなどから発生する
紫外線よりも高く、さらに、エキシマレーザ光の波長は
、遠紫外線領域にあるため、エキシマレーザは、半導体
集積回路パタンなどの等倍転写装置あるいは縮小投影装
置用の光源として期待されている。しかし、エキシマレ
ーザ光の強度分布は一様ではないため、バタン形成装置
に適用する場合には、エキシマレーザ光の強度分布を一
様にするための照射光学系が必要となる。
て、エキシマレーザがある。エキシマレーザから発生す
る光の強度は、従来の高圧水銀ランプなどから発生する
紫外線よりも高く、さらに、エキシマレーザ光の波長は
、遠紫外線領域にあるため、エキシマレーザは、半導体
集積回路パタンなどの等倍転写装置あるいは縮小投影装
置用の光源として期待されている。しかし、エキシマレ
ーザ光の強度分布は一様ではないため、バタン形成装置
に適用する場合には、エキシマレーザ光の強度分布を一
様にするための照射光学系が必要となる。
エキシマレーザが発生する光の強度分布を第７図に示す
。横方向の強度分布は、同図（１）Ｋ示すようにはｉｔ
一様であるが、縦方向の強度分布は、同図（ｂ）Ｋ示す
ようにガウス形をしている。横方向の寸法は、約３０＋
ｎである。縦方向の強度分布において、ガウス分布の標
準偏差をσとすると、２σ＃２０Ｂである。
。横方向の強度分布は、同図（１）Ｋ示すようにはｉｔ
一様であるが、縦方向の強度分布は、同図（ｂ）Ｋ示す
ようにガウス形をしている。横方向の寸法は、約３０＋
ｎである。縦方向の強度分布において、ガウス分布の標
準偏差をσとすると、２σ＃２０Ｂである。
強度分布がガウス形の光を、一様な強度分布の光に変換
する方法として、プリズムを用いる方法がある。この方
法を説明するためのモデル図を第７図に示す。１はガウ
ス形の強度分布、２は２分割プリズム、３は観測面であ
る。４は、観測面３における光の強度分布であり、強度
分布４は、プリズム２で分割された２つの強度分布５．
６を重ね合わせたものとなっている。強度を１１、強度
分布１の中心からの距離をＸ１強度分布１の標準偏差を
σとして、強度分布１を、 Ｉ １＝ ＠Ｘｐ（−Ｘ”／σ” ）
（１）と表す。強度分布４において、強度分布５．６
が重々っている距離をＬとすると、強度分布４は、！。
する方法として、プリズムを用いる方法がある。この方
法を説明するためのモデル図を第７図に示す。１はガウ
ス形の強度分布、２は２分割プリズム、３は観測面であ
る。４は、観測面３における光の強度分布であり、強度
分布４は、プリズム２で分割された２つの強度分布５．
６を重ね合わせたものとなっている。強度を１１、強度
分布１の中心からの距離をＸ１強度分布１の標準偏差を
σとして、強度分布１を、 Ｉ １＝ ＠Ｘｐ（−Ｘ”／σ” ）
（１）と表す。強度分布４において、強度分布５．６
が重々っている距離をＬとすると、強度分布４は、！。
＝ｅｘｐ〔−（Ｘ＋し２）”／（Ｆ” ）＋ ａｘｐ
（（Ｘ −Ｌ／２ ｆＡ” ）となる。
（（Ｘ −Ｌ／２ ｆＡ” ）となる。
Ｌ／σ＝１．０ の場合について、上記式（２）から算
出した強度分布を第９図に示す。このよう々強度分布に
おける強阜の最大値を１００＊として、強度が９９チに
なるときのＸの値Ｘｍを求めた。また、レーザ光の利用
効率ηを、 で定義する。
出した強度分布を第９図に示す。このよう々強度分布に
おける強阜の最大値を１００＊として、強度が９９チに
なるときのＸの値Ｘｍを求めた。また、レーザ光の利用
効率ηを、 で定義する。
Ｌ／σとＸｒＲ／σの関係を第１０図に示す。またＬ／
σとηの関係を第１１図に示す。これらの図から明らか
なようにＬ／σの値が１．５を越えると、Ｘｌ！ｌ／σ
の値および利用効率りが急激に小さくなる。
σとηの関係を第１１図に示す。これらの図から明らか
なようにＬ／σの値が１．５を越えると、Ｘｌ！ｌ／σ
の値および利用効率りが急激に小さくなる。
また、第１１図より、利用効率ηは、７８チ以下である
。第１０図より、利用効率ηが最大値をとるときのＸｍ
／σの値は、約０．６となる。
。第１０図より、利用効率ηが最大値をとるときのＸｍ
／σの値は、約０．６となる。
このようにプリズムによりガウス形の強度分布を一様に
する方法では、レーザ光の利用効率が最大でも７８係で
ある。そのうえ、利用効率（η）が最大となる点から、
わずかでもはずれる（ １．／σが１．５よりもおおき
くなる）と、強度分布の一様性および利用効率が急激に
低下するため、照射光学系を最適な状態に調整すること
が非常に困難である。
する方法では、レーザ光の利用効率が最大でも７８係で
ある。そのうえ、利用効率（η）が最大となる点から、
わずかでもはずれる（ １．／σが１．５よりもおおき
くなる）と、強度分布の一様性および利用効率が急激に
低下するため、照射光学系を最適な状態に調整すること
が非常に困難である。
また、他の方法として２枚の非球面レンズをもちいて、
ガウス形強度分布の光を一様な強度分布の光に変換する
方法が提案されている。しかし、この方法で用いる非球
面レンズは特殊な面形状をしているため、非球面レンズ
の製作が非常に困難で、高価であるという不都合を有し
ている。
ガウス形強度分布の光を一様な強度分布の光に変換する
方法が提案されている。しかし、この方法で用いる非球
面レンズは特殊な面形状をしているため、非球面レンズ
の製作が非常に困難で、高価であるという不都合を有し
ている。
なお、ガウス形強度分布の光を２分割して重ね合わせる
方法は、レーザフォーカス（Ｌａｍｅｒ Ｆｏｅｕｓ）
、１９８２年３月号、ｐ、４２〜４４に示されている。
方法は、レーザフォーカス（Ｌａｍｅｒ Ｆｏｅｕｓ）
、１９８２年３月号、ｐ、４２〜４４に示されている。
非球面レンズを用いる方法は、応用光学（Ａｐｐｌｉ＠
ｄＯｐｔｉｃｍ）、 １９巻２０号、１９８０年、 ９
．３５４５〜３５５３（著者： ｐａｔｒｌｃｋ Ｗ、
Ｒｈｏｄ＊ａ ａｎｄ Ｄａｖｌｄ Ｌ。
ｄＯｐｔｉｃｍ）、 １９巻２０号、１９８０年、 ９
．３５４５〜３５５３（著者： ｐａｔｒｌｃｋ Ｗ、
Ｒｈｏｄ＊ａ ａｎｄ Ｄａｖｌｄ Ｌ。
３ｈｅａｌｙ）に示されている。
本発明に係る照射光学系は上述したような問題点を解決
すべくなされた本ので、光の強度分布においてその断面
の直交する２軸のうち少なくともいずれか一方の軸にお
ける強度分布がガウス形の分布を呈する光の前記ガウス
形の強度分布を、光軸に対して定められた一方向に集光
または発散作用を有するレンズで構成したフライズアイ
レンズによってほぼ一様な強度分布に変換するようにし
たものである。
すべくなされた本ので、光の強度分布においてその断面
の直交する２軸のうち少なくともいずれか一方の軸にお
ける強度分布がガウス形の分布を呈する光の前記ガウス
形の強度分布を、光軸に対して定められた一方向に集光
または発散作用を有するレンズで構成したフライズアイ
レンズによってほぼ一様な強度分布に変換するようにし
たものである。
本発明においてはプリズムの代りにフライズアイレンズ
で構成しているので、光の強度分布のうちガウス形の強
度分布をほぼ一様々強度分布に変換することがでキ、マ
たプリズムに比べて光の利用効率が向上し、光学系の設
定に余裕を持たせることができる。
で構成しているので、光の強度分布のうちガウス形の強
度分布をほぼ一様々強度分布に変換することがでキ、マ
たプリズムに比べて光の利用効率が向上し、光学系の設
定に余裕を持たせることができる。
以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。
する。
先ず１本発明の第１の実施例として、第６図に示したよ
うに縦方向だけがガウス形の強度分布である光を一様々
強度分布にする照射光学系を説明する。第１図はその説
明のためのモデル図で、１０は標準偏差がσのガウス形
強度分布、２０．２１．２２．２３．２４はそれぞれ光
軸に対して定められた一方向にだけ集束作用を有するレ
ンズ、３０はレンズ２０〜２４で構成したフライズアイ
レンズ、４０は観測面である。５０は観測面４０におけ
る強度分布であり、この強度分布５０は、強度分布６０
．６１．８２．６３．６４の重ね合わせになっている。
うに縦方向だけがガウス形の強度分布である光を一様々
強度分布にする照射光学系を説明する。第１図はその説
明のためのモデル図で、１０は標準偏差がσのガウス形
強度分布、２０．２１．２２．２３．２４はそれぞれ光
軸に対して定められた一方向にだけ集束作用を有するレ
ンズ、３０はレンズ２０〜２４で構成したフライズアイ
レンズ、４０は観測面である。５０は観測面４０におけ
る強度分布であり、この強度分布５０は、強度分布６０
．６１．８２．６３．６４の重ね合わせになっている。
ここで、フライズアイレンズ３０の斜視図を第２図に示
す。
す。
強度分布１０について、強度をＩｌ、中心からの距離を
Ｘとして、 １ （＝ ｅｘｐ （−ｘ”／σ” ’）
（４）と表す。レンズ２０〜２４は、同一の形
状・寸法を有している。強度分布１０の中心を原点Ｏと
して、レンズ２０〜２４の中心座標をＸ。（、＝・・・
−２，−１，０，１，２，−・・）とする。Ｘｏがレン
ズ２０の中心座標、Ｘ−１がレンズ２３の中心座標、Ｘ
。
Ｘとして、 １ （＝ ｅｘｐ （−ｘ”／σ” ’）
（４）と表す。レンズ２０〜２４は、同一の形
状・寸法を有している。強度分布１０の中心を原点Ｏと
して、レンズ２０〜２４の中心座標をＸ。（、＝・・・
−２，−１，０，１，２，−・・）とする。Ｘｏがレン
ズ２０の中心座標、Ｘ−１がレンズ２３の中心座標、Ｘ
。
がレンズ２１の中心座標を表す。各レンズ２０〜２４０
幅を２Ｒとする。レンズ２０〜２４により、強度分布１
０は、ｋ倍に拡大されて、観測面４０に投影されるとす
る。各レンズ２０〜２４により、観測面４０に投影され
た強度分布をＩＩ（ｎ＝ ・・・−２，−１，０，１
，２，・・・）とする。■。がレンズ２０による強度分
布、Ｉ−１がレンズ２３による強度分布、■１がレンズ
２１による強度分布を表す。
幅を２Ｒとする。レンズ２０〜２４により、強度分布１
０は、ｋ倍に拡大されて、観測面４０に投影されるとす
る。各レンズ２０〜２４により、観測面４０に投影され
た強度分布をＩＩ（ｎ＝ ・・・−２，−１，０，１
，２，・・・）とする。■。がレンズ２０による強度分
布、Ｉ−１がレンズ２３による強度分布、■１がレンズ
２１による強度分布を表す。
と表される。強度分布５０をＩとすると、工は、■＝Σ
Ｉｒ１（６） となる。
Ｉｒ１（６） となる。
式（５）、（６）により求めた強度分布５０の一例を第
３図に示す。同図において、Ｒ／σ＝０．４．に＝２０
である。このような強度分布におけるＸ＝００強度を１
００１として、強度が９９％あるいは１０１ ％になる
ときのＸの値ＸＩ！ｌを求めた。また、レーザ光の利用
効率ηを、 で定義した。
３図に示す。同図において、Ｒ／σ＝０．４．に＝２０
である。このような強度分布におけるＸ＝００強度を１
００１として、強度が９９％あるいは１０１ ％になる
ときのＸの値ＸＩ！ｌを求めた。また、レーザ光の利用
効率ηを、 で定義した。
Ｒ／σとＸ□／σの関係を第４図に示す。Ｒ／σとηの
関係を第５巳に示す。第５図より、ｋ＝５の場合、Ｒ／
σが０．３９〜０．５７の範囲、ｋ＝１０の場合、Ｒ／
σが０．３９〜０．５９の範囲、ｋ＝２００場合、Ｒ／
σが０．３７〜０．６１の範囲、ｋ＝４０の場合、Ｒ／
σが０．３５〜０．６１の範囲、において、利用効率η
がそれぞれほぼ一定となり、しかも、各にの値において
ηが最大となっている。各にの値にたいして、利用効率
ηが最大となるＲ／σ の範囲において、第４図より、
Ｘｍ／σがある幅をもって変化している。したがって、
照射光学系を設計する際には、利用効率ηを最大にする
とともに、Ｘｆｆ１／σを適切な値に設定することが可
能となる。
関係を第５巳に示す。第５図より、ｋ＝５の場合、Ｒ／
σが０．３９〜０．５７の範囲、ｋ＝１０の場合、Ｒ／
σが０．３９〜０．５９の範囲、ｋ＝２００場合、Ｒ／
σが０．３７〜０．６１の範囲、ｋ＝４０の場合、Ｒ／
σが０．３５〜０．６１の範囲、において、利用効率η
がそれぞれほぼ一定となり、しかも、各にの値において
ηが最大となっている。各にの値にたいして、利用効率
ηが最大となるＲ／σ の範囲において、第４図より、
Ｘｍ／σがある幅をもって変化している。したがって、
照射光学系を設計する際には、利用効率ηを最大にする
とともに、Ｘｆｆ１／σを適切な値に設定することが可
能となる。
さらに、第５図より、ｋ＝２０の場合、りの最大値が８
５４、ｋ＝４０の場合、ηの最大値が９２％であシ、従
来の分割プリズムを用いる方法よυも、利用効：ｓｌが
高いことがわかる。
５４、ｋ＝４０の場合、ηの最大値が９２％であシ、従
来の分割プリズムを用いる方法よυも、利用効：ｓｌが
高いことがわかる。
次に、本発明の第２の実施例として、横方向および縦方
向の強度分布がともにガウス形である光を一様な強度分
布に変換する照射光学系を、第６図に示す。１００は、
横方向および縦方向がガウス形の強度分布、１１０．１
２０はそれぞれ光軸に対して定められた一方向にだけ集
束作用を有するレンズで構成したフライズアイレンズ、
１３ｏは観測面、１４０は観測面１３０における光の強
度分布である。
向の強度分布がともにガウス形である光を一様な強度分
布に変換する照射光学系を、第６図に示す。１００は、
横方向および縦方向がガウス形の強度分布、１１０．１
２０はそれぞれ光軸に対して定められた一方向にだけ集
束作用を有するレンズで構成したフライズアイレンズ、
１３ｏは観測面、１４０は観測面１３０における光の強
度分布である。
フライズアイレンズ１１０と１２０は、各フライズアイ
レンズの集束作用が直交するよう表向きに設置しである
。強度分布１００を有する光をフライズアイレンズ１１
０によって観測面１３０に投影した場合、観測面１３０
において、縦方向の光の強度分布が一様な強度分布にな
るように、フライズアイレンズ１１０の倍率などを設定
しておく。また、強度分布１００を有する光をフライズ
アイレンズ１２０によって観測面１３０に投影した場合
、観測面１３０において、横方向の光の強度分布が一様
な強度分布になるように、フライズアイレンズ１２０を
設定しておく。この場合、フライズアイレンズ１１０は
光軸に対して定められた一方向にだけしか集束作用がな
いので、強度分布１００を有する光がフライズアイレン
ズ１１０を通過すると、強度分布の形は縦方向が変形す
るが、横方向はその！まである。同様に、フライズアイ
レンズ１２０では、横方向の強度分布が変形するが、縦
方向はそのままである。この結果、観測面１３０では、
強度分布１４０のように、縦方向および横方向の強度分
布が一様な光を得ることができる。
レンズの集束作用が直交するよう表向きに設置しである
。強度分布１００を有する光をフライズアイレンズ１１
０によって観測面１３０に投影した場合、観測面１３０
において、縦方向の光の強度分布が一様な強度分布にな
るように、フライズアイレンズ１１０の倍率などを設定
しておく。また、強度分布１００を有する光をフライズ
アイレンズ１２０によって観測面１３０に投影した場合
、観測面１３０において、横方向の光の強度分布が一様
な強度分布になるように、フライズアイレンズ１２０を
設定しておく。この場合、フライズアイレンズ１１０は
光軸に対して定められた一方向にだけしか集束作用がな
いので、強度分布１００を有する光がフライズアイレン
ズ１１０を通過すると、強度分布の形は縦方向が変形す
るが、横方向はその！まである。同様に、フライズアイ
レンズ１２０では、横方向の強度分布が変形するが、縦
方向はそのままである。この結果、観測面１３０では、
強度分布１４０のように、縦方向および横方向の強度分
布が一様な光を得ることができる。
なお、上記実施例はいずれも、フライズアイレンズを、
平面と円筒面で構成したレンズによって構成しているが
、これに限らず円筒面と円筒面、凹形の円筒面と凸形の
円筒面、などのように集束作用を有するレンズの面の組
合せで構成してもよいものである。また、第１、第２の
実施例において、フライズアイレンズは、集束作用を有
するレンズで構成しているが、レンズの倍率は１以上で
あるので、凹レンズのように発散作用のあるレンズによ
って構成してもよい。発散作用のあるレンズについても
レンズ面の形状には極々あることはいうまでもない。さ
らに、第１、第２の実施例では、各フライズアイレンズ
を構成する各レンズは、一枚のレンズで構成しているが
、このレンズを数枚のレンズにより構成するようにして
もよい。
平面と円筒面で構成したレンズによって構成しているが
、これに限らず円筒面と円筒面、凹形の円筒面と凸形の
円筒面、などのように集束作用を有するレンズの面の組
合せで構成してもよいものである。また、第１、第２の
実施例において、フライズアイレンズは、集束作用を有
するレンズで構成しているが、レンズの倍率は１以上で
あるので、凹レンズのように発散作用のあるレンズによ
って構成してもよい。発散作用のあるレンズについても
レンズ面の形状には極々あることはいうまでもない。さ
らに、第１、第２の実施例では、各フライズアイレンズ
を構成する各レンズは、一枚のレンズで構成しているが
、このレンズを数枚のレンズにより構成するようにして
もよい。
また、第２の実施例において、２つのフライズアイレン
ズ１１Ｇ、１２０は、間隔をおいて設置しているが、こ
の２枚のレンズを接着するような形にしてもよい。また
、集束作用を有するフライズアイレンズと、発散作用を
有するフライズアイレンズとの組合せ、２枚の発散作用
を有するフライズアイレンズの組合せであってもよい。
ズ１１Ｇ、１２０は、間隔をおいて設置しているが、こ
の２枚のレンズを接着するような形にしてもよい。また
、集束作用を有するフライズアイレンズと、発散作用を
有するフライズアイレンズとの組合せ、２枚の発散作用
を有するフライズアイレンズの組合せであってもよい。
さらに第１の実施例において、観測面４０において強度
分布が一様な光の寸法が横方向と縦方向で異なっている
場合がある。このような場合には、一方向にだけレンズ
作用のある円筒形レンズをもちいて光の寸法を所定の寸
法にすることができる。
分布が一様な光の寸法が横方向と縦方向で異なっている
場合がある。このような場合には、一方向にだけレンズ
作用のある円筒形レンズをもちいて光の寸法を所定の寸
法にすることができる。
加えて第１．第２の実施例では、光源からの光を直接フ
ライズアイレンズに入射しているが、レンズを用いて拡
大あるいは縮小した後にフライズアイレンズに入射する
ようにすることもできる。
ライズアイレンズに入射しているが、レンズを用いて拡
大あるいは縮小した後にフライズアイレンズに入射する
ようにすることもできる。
以上説明したように１本発明に係る照射光学系は、光軸
に対して定められた一方向に集束作用あるいは発散作用
を有するレンズで構成したフライズアイレンズによって
、光の強度分布のうちガウス形の強度分布を一様な強度
分布に変換するようにしているので、１）光源からの光
の利用効率を９０チ・以上にできる、２）利用効率が高
い状態において、一様な強度分布にした光の寸法をある
範囲から選択することができ、照射光学系の設計が容易
になる、などの利点がある。
に対して定められた一方向に集束作用あるいは発散作用
を有するレンズで構成したフライズアイレンズによって
、光の強度分布のうちガウス形の強度分布を一様な強度
分布に変換するようにしているので、１）光源からの光
の利用効率を９０チ・以上にできる、２）利用効率が高
い状態において、一様な強度分布にした光の寸法をある
範囲から選択することができ、照射光学系の設計が容易
になる、などの利点がある。
第１図は本発明の第１の実施例で、縦方向だけがガウス
形強度分布の光を一様化する照射光学系、第２図は本発
明の第１の実施例で用いている７ライズアイレンズの斜
視図、第３図は本発明の第１の実施例で得られる一様化
した強度分布の一例を示す図、第４図はＲ／σとＸ、／
σの関係を示す図、第５図はＲ／σと利用効率ηの関係
を示す図、第６図は本発明の第２の実施例で、縦方向お
よび横方向がガウス形強度分布である光を一様化する照
射光学系、第７図はエキシマレーザが発生する光の強度
分布、第８図は分割プリズムを用いた従来の照射光学系
を示す図、第９図は分割プリズムによシ一様化した強度
分布を示す図、第１０図はＬ／σとＸｍ／σの関係を示
す図、第１１図はＬ／σと利用効率ηとの関係を示す図
である。 １．１０．１００・・・・ガウス形の強度分布、１４０
・・・拳強度分布、２０，２１．２２．２３．２４−・
・・集束レンズ、３０． １１０．１２０ ＃−＠−
７ライズアイレンズ。 特許出願人 日本電信電話株式会社 代 理 人 山 川 政 樹（ほか１名）第１図 第２図 第３図 第６図 Ｕ 「第
７図 （ａ） ｎλ□□□ （ｂ）捻方勺 第８図 第９図 Ｘ１５″ 第１０区 第１１図 手続補正書（自発） １、事件の表示 昭和６１年 特 許 願第１２７４４３号２、発明の名
称 照射光学系 ３゜補正をする者 事件との関係 特 許 出願人名称（氏名
） （４２２） Ｂ本電信電話株式会社５、補正の対象 ＩＩＩ 形罎（／Ｊ Ｚ 貝１ ！Ｊ 何りｌ ’／
凶」で１６凶」と補正する。 （２）同上６頁１０行の「第６図」を「第７図」と補正
する。 以 上
形強度分布の光を一様化する照射光学系、第２図は本発
明の第１の実施例で用いている７ライズアイレンズの斜
視図、第３図は本発明の第１の実施例で得られる一様化
した強度分布の一例を示す図、第４図はＲ／σとＸ、／
σの関係を示す図、第５図はＲ／σと利用効率ηの関係
を示す図、第６図は本発明の第２の実施例で、縦方向お
よび横方向がガウス形強度分布である光を一様化する照
射光学系、第７図はエキシマレーザが発生する光の強度
分布、第８図は分割プリズムを用いた従来の照射光学系
を示す図、第９図は分割プリズムによシ一様化した強度
分布を示す図、第１０図はＬ／σとＸｍ／σの関係を示
す図、第１１図はＬ／σと利用効率ηとの関係を示す図
である。 １．１０．１００・・・・ガウス形の強度分布、１４０
・・・拳強度分布、２０，２１．２２．２３．２４−・
・・集束レンズ、３０． １１０．１２０ ＃−＠−
７ライズアイレンズ。 特許出願人 日本電信電話株式会社 代 理 人 山 川 政 樹（ほか１名）第１図 第２図 第３図 第６図 Ｕ 「第
７図 （ａ） ｎλ□□□ （ｂ）捻方勺 第８図 第９図 Ｘ１５″ 第１０区 第１１図 手続補正書（自発） １、事件の表示 昭和６１年 特 許 願第１２７４４３号２、発明の名
称 照射光学系 ３゜補正をする者 事件との関係 特 許 出願人名称（氏名
） （４２２） Ｂ本電信電話株式会社５、補正の対象 ＩＩＩ 形罎（／Ｊ Ｚ 貝１ ！Ｊ 何りｌ ’／
凶」で１６凶」と補正する。 （２）同上６頁１０行の「第６図」を「第７図」と補正
する。 以 上
Claims (1)
- 光の強度分布においてその断面の直交する２軸のうち
少なくともいずれか一方の軸における強度分布がガウス
形の分布を呈する光の前記ガウス形の強度分布を、光軸
に対して定められた一方向に集光または発散作用を有す
るレンズで構成したフライズアイレンズによつてほぼ一
様な強度分布に変換するようにしたことを特徴とする照
射光学系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61127443A JPS62284340A (ja) | 1986-06-02 | 1986-06-02 | 照射光学系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61127443A JPS62284340A (ja) | 1986-06-02 | 1986-06-02 | 照射光学系 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62284340A true JPS62284340A (ja) | 1987-12-10 |
Family
ID=14960059
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61127443A Pending JPS62284340A (ja) | 1986-06-02 | 1986-06-02 | 照射光学系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62284340A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS597360A (ja) * | 1982-06-23 | 1984-01-14 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | 光源発生装置 |
| JPS60230629A (ja) * | 1984-04-28 | 1985-11-16 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 照明光学装置 |
-
1986
- 1986-06-02 JP JP61127443A patent/JPS62284340A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS597360A (ja) * | 1982-06-23 | 1984-01-14 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | 光源発生装置 |
| JPS60230629A (ja) * | 1984-04-28 | 1985-11-16 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 照明光学装置 |
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