JPS5976745A - Ｘｙテーブル - Google Patents
ＸｙテーブルInfo
- Publication number
- JPS5976745A JPS5976745A JP18861582A JP18861582A JPS5976745A JP S5976745 A JPS5976745 A JP S5976745A JP 18861582 A JP18861582 A JP 18861582A JP 18861582 A JP18861582 A JP 18861582A JP S5976745 A JPS5976745 A JP S5976745A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- motor
- movable
- movable coil
- coil unit
- amount
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、上下二層式のＸＹテーブルに係シ、特に上層
テーブルを駆動するりニアモータの改良に関する。
テーブルを駆動するりニアモータの改良に関する。
一般的な上下二層構造のＸＹテーブルにおいては、近時
高速、高精度の要求を満足するために、テーブル駆動源
としてリニアモータ（リニア直流モータ）が多用される
。ここで問題となるのが、上層テーブル駆動用リニアモ
ータの配置構造である。何故なら、たとえば推力が１０
初程度のものでも、その重量が１０に９以上もあシ、配
置次第では高速、高精度が損われる。１つの手段として
上記リニアモータを下層テーブルに載置固定することが
考えられる。しかるにこの場合は、下層テーブルにリニ
アモータの荷重が全てかかるから、テーブルの動きが悪
くなシ、採用でき難い。別の手段として、上記リニアモ
ータを上下層テーブルを支持するペースに載置固定する
ことが考えられる。上記ペースには当然、下層テーブル
駆動用のりニアモータも載置固定される。この場合は各
テーブルの動きが損われなくて好都合である。
高速、高精度の要求を満足するために、テーブル駆動源
としてリニアモータ（リニア直流モータ）が多用される
。ここで問題となるのが、上層テーブル駆動用リニアモ
ータの配置構造である。何故なら、たとえば推力が１０
初程度のものでも、その重量が１０に９以上もあシ、配
置次第では高速、高精度が損われる。１つの手段として
上記リニアモータを下層テーブルに載置固定することが
考えられる。しかるにこの場合は、下層テーブルにリニ
アモータの荷重が全てかかるから、テーブルの動きが悪
くなシ、採用でき難い。別の手段として、上記リニアモ
ータを上下層テーブルを支持するペースに載置固定する
ことが考えられる。上記ペースには当然、下層テーブル
駆動用のりニアモータも載置固定される。この場合は各
テーブルの動きが損われなくて好都合である。
第１図はその具体的構成を示す。図中１は−ぐ一ス、２
はＸ軸すニアモータ、３は補助ペース、４はＸテーブル
、５はＹテーブル、６はＹ軸すニアモータ、７は補助ペ
ース、８は接続テーブルである。このように各リニアモ
ータ２，６をペース１に固定する場合は、接続テーブル
８が必要である。接続テーブル８はＹ軸すニアモータコ
イル？ビン９を保持し、その動きを直接案内するととも
にＹテーブル５から延長するアーム５ａの後端部とＸ方
向で滑動しなければならない。
はＸ軸すニアモータ、３は補助ペース、４はＸテーブル
、５はＹテーブル、６はＹ軸すニアモータ、７は補助ペ
ース、８は接続テーブルである。このように各リニアモ
ータ２，６をペース１に固定する場合は、接続テーブル
８が必要である。接続テーブル８はＹ軸すニアモータコ
イル？ビン９を保持し、その動きを直接案内するととも
にＹテーブル５から延長するアーム５ａの後端部とＸ方
向で滑動しなければならない。
したがって、上記接続テーブル８もｘｙＸ方向移動する
一種のＸ Ｙテーブルと言える。このため、部品点数の
増加、設置面積の増大、２組のＸＹテーブルの組立てに
おけるそれぞれの直角度を出すための高精度加工など、
種々のコストアップ条件が重さなる。
一種のＸ Ｙテーブルと言える。このため、部品点数の
増加、設置面積の増大、２組のＸＹテーブルの組立てに
おけるそれぞれの直角度を出すための高精度加工など、
種々のコストアップ条件が重さなる。
本発明は上記事情に着目してなされたものであシ、その
目的とするところは、部品点数の低減化と、設置面積の
縮小化および組立作業の簡単化を図シ、高速、高精度を
保持するＸＹテーブルを提供しようとするものである。
目的とするところは、部品点数の低減化と、設置面積の
縮小化および組立作業の簡単化を図シ、高速、高精度を
保持するＸＹテーブルを提供しようとするものである。
本発明は、上層テーブルの駆動に用いられるリニアモー
タを、上層テーブルに固着される可動コイル部と、ペー
スに固定される本体とがらなシ、上記可動コイル部は、
本体の軸方向に沿って進退駆動するとともに軸方向とは
直交する方向に移動自在でおるよう構成したものである
。
タを、上層テーブルに固着される可動コイル部と、ペー
スに固定される本体とがらなシ、上記可動コイル部は、
本体の軸方向に沿って進退駆動するとともに軸方向とは
直交する方向に移動自在でおるよう構成したものである
。
以下、本発明の一実施例を第２図および第３図にもとづ
いて説明する。図中１０はペースである。このペース１
０上には、補助ペース１１が重ね合せて固定されるとと
もにＸ軸すニアモータ１２とＹ軸すニアモータ１３とが
載置固定される。これらＸ軸、Ｙ軸すニアモータ１２゜
１３のそれぞれ軸方向は補助ペース１１に対してｘ−Ｘ
方向に向い合っている。上記補助ペース１１上面にはＸ
軸方向にすベシ案内加工がなされ、ここにすベヤ溝を有
する下層テーブルでおるＸテーブル１４が摺動自在に重
ね合される。
いて説明する。図中１０はペースである。このペース１
０上には、補助ペース１１が重ね合せて固定されるとと
もにＸ軸すニアモータ１２とＹ軸すニアモータ１３とが
載置固定される。これらＸ軸、Ｙ軸すニアモータ１２゜
１３のそれぞれ軸方向は補助ペース１１に対してｘ−Ｘ
方向に向い合っている。上記補助ペース１１上面にはＸ
軸方向にすベシ案内加工がなされ、ここにすベヤ溝を有
する下層テーブルでおるＸテーブル１４が摺動自在に重
ね合される。
このＸテーブル１４の端面に上記Ｘ軸すニアモータ１２
の一端面から突出する可動コイル部１２ｍが固着される
。なおＸ軸すニアモータ１２の他端面からはＸ軸タコゼ
ネレーション１２ｂが突出し、この突出量から上記可動
コイル部１２ａの進退量を計れるようになっている。
の一端面から突出する可動コイル部１２ｍが固着される
。なおＸ軸すニアモータ１２の他端面からはＸ軸タコゼ
ネレーション１２ｂが突出し、この突出量から上記可動
コイル部１２ａの進退量を計れるようになっている。
Ｘテーブル１４の上面はＹ軸方向にすベシ案内加工され
、ここにすベヤ溝を有する上層テーブルであるＹテーブ
ル１５が摺動自在に嵌合する。
、ここにすベヤ溝を有する上層テーブルであるＹテーブ
ル１５が摺動自在に嵌合する。
このＹテーブル１５の端面に後述するＹ軸すニアモータ
１３の可動コイル部１７が固着される。
１３の可動コイル部１７が固着される。
すなわち、Ｙ軸すニアモータ１３は断面矩形枠状の本体
１８の上下内面にそれぞれ永久磁石１９．１９が取着さ
れ、これらの間にはセンタヨーク２０が間隙を存して設
けられる。永久磁石１９，１９とセンタヨーク２０との
間隙には断面矩形枠状の上記可動コイル部１７が介在す
る。この可動コイル部１７は、本体１８から突出する端
面が閉塞し、本体１８の奥側端面が開口して上記センタ
ヨーク２０を囲繞するコイルがビンＪ７ａと、このコイ
ルがビン１７＆の開目端部側外周面に巻装されるコイル
１７ｂとからなる。しかもコイルがビン１７ａの幅方向
の寸法ｔ１は、上記センタヨーク２ｏの幅方向の寸法を
意よりもはるかに犬である。このため可動コイル部１７
は本体１８の軸方向に沿って進退駆動できるとともに軸
方向とは直交する方向である幅方向に移動自在である。
１８の上下内面にそれぞれ永久磁石１９．１９が取着さ
れ、これらの間にはセンタヨーク２０が間隙を存して設
けられる。永久磁石１９，１９とセンタヨーク２０との
間隙には断面矩形枠状の上記可動コイル部１７が介在す
る。この可動コイル部１７は、本体１８から突出する端
面が閉塞し、本体１８の奥側端面が開口して上記センタ
ヨーク２０を囲繞するコイルがビンＪ７ａと、このコイ
ルがビン１７＆の開目端部側外周面に巻装されるコイル
１７ｂとからなる。しかもコイルがビン１７ａの幅方向
の寸法ｔ１は、上記センタヨーク２ｏの幅方向の寸法を
意よりもはるかに犬である。このため可動コイル部１７
は本体１８の軸方向に沿って進退駆動できるとともに軸
方向とは直交する方向である幅方向に移動自在である。
幅方向は、すなわちＸテーブル１４が移動するＸ方向で
ある。
ある。
なお、Ｙテーブル１５上の隅部にはＸ軸周プレーンミラ
ー２１と、Ｙ軸周プレーンミラー２２が載設されていて
、これらにはそれぞれ図示しないレーデ測長機からの光
を反射し、離間して設けられたインターフェロメータ２
３゜２４との距離を測定できるようになっている。
ー２１と、Ｙ軸周プレーンミラー２２が載設されていて
、これらにはそれぞれ図示しないレーデ測長機からの光
を反射し、離間して設けられたインターフェロメータ２
３゜２４との距離を測定できるようになっている。
とれらの作用によシ、高精度のチーグル位置決めができ
る。また上記Ｘテーブル１４上の隅部にはＹ軸タコゼネ
レータ２５が載設されていて、その先端部はＹテーブル
１５の側面に取着された基準片２６に当接している。Ｙ
軸タコゼネレータ２５は、Ｙ軸すニアモータ１３のｔＵ
＋コイル部１７の進退量を計れるようになっている。
る。また上記Ｘテーブル１４上の隅部にはＹ軸タコゼネ
レータ２５が載設されていて、その先端部はＹテーブル
１５の側面に取着された基準片２６に当接している。Ｙ
軸タコゼネレータ２５は、Ｙ軸すニアモータ１３のｔＵ
＋コイル部１７の進退量を計れるようになっている。
つぎに、このようにして構成されたＸＹテーブルの作用
について説明する。Ｘテーブル１４を移動するにはＸ軸
すニアモータ１２に通電すればよい。可動コイル部１２
ｍは通電量に応じて進退し、かつその移動量をプレンミ
ラー２１とインタフェロメータ２４から検知してＸ軸す
ニアモータ１２を制御する。Ｙテーブル１５を移動する
にはＹ軸すニアモータ１３に通電すればよい。可動コイ
ル部１７は通電量に応じて進退し、かつその移動量をプ
レンミラー２２とインタフェロメータ２３から検知して
Ｙ軸すニアモータ１３を制御する。またこの可動コイル
部１７はＸ方向にも移動１在であるから、Ｙテーブル１
５がＸ方向へ移動する際に何らの支障にもならない。し
かも可動コイル部１７０重量はごくわずか（数１００ｆ
Ｆ）であるから、Ｙテーブル１５にかかる荷重が少く、
移動動作に影響がほとんどない。したがって、ＸＸＹＸ
テーブル１４５とも高速で、かつ高精度の位置決めを得
る。
について説明する。Ｘテーブル１４を移動するにはＸ軸
すニアモータ１２に通電すればよい。可動コイル部１２
ｍは通電量に応じて進退し、かつその移動量をプレンミ
ラー２１とインタフェロメータ２４から検知してＸ軸す
ニアモータ１２を制御する。Ｙテーブル１５を移動する
にはＹ軸すニアモータ１３に通電すればよい。可動コイ
ル部１７は通電量に応じて進退し、かつその移動量をプ
レンミラー２２とインタフェロメータ２３から検知して
Ｙ軸すニアモータ１３を制御する。またこの可動コイル
部１７はＸ方向にも移動１在であるから、Ｙテーブル１
５がＸ方向へ移動する際に何らの支障にもならない。し
かも可動コイル部１７０重量はごくわずか（数１００ｆ
Ｆ）であるから、Ｙテーブル１５にかかる荷重が少く、
移動動作に影響がほとんどない。したがって、ＸＸＹＸ
テーブル１４５とも高速で、かつ高精度の位置決めを得
る。
なお上記実施例においては、Ｘテーブル１４を下層、Ｙ
テーブル１５を上層としだが、互いに逆にしてもよい。
テーブル１５を上層としだが、互いに逆にしてもよい。
この場合にはＸテーブル１４側に軸方向とは直交する方
向に移動自在なリニアモータ１３の可動コイル部１７を
固着することになる。
向に移動自在なリニアモータ１３の可動コイル部１７を
固着することになる。
また、Ｙ軸すニアモータ１３の本体１８および可動コイ
ル部１７をそれぞれ断面矩形枠状としたが、これに限定
されるものではなく、たとえば断面長方角形状であって
もよい。要は可動コイル部が軸方向とは直交する方向に
移動自在であればよい。
ル部１７をそれぞれ断面矩形枠状としたが、これに限定
されるものではなく、たとえば断面長方角形状であって
もよい。要は可動コイル部が軸方向とは直交する方向に
移動自在であればよい。
本発明は以上説明した通電であシ、従来のような接続テ
ーブルが不要とカシ、この部分の重さと摩擦抵抗の負荷
が駆動用のりニアモータにかからずにすみ、テーブルの
高速動作性の向上化を得るとともに組゛立作業が容易化
して高精度を得る。さらに必要な設置面積が縮小し、コ
ンノ４クト化を得るなどの種々の効果を奏する。
ーブルが不要とカシ、この部分の重さと摩擦抵抗の負荷
が駆動用のりニアモータにかからずにすみ、テーブルの
高速動作性の向上化を得るとともに組゛立作業が容易化
して高精度を得る。さらに必要な設置面積が縮小し、コ
ンノ４クト化を得るなどの種々の効果を奏する。
第１図は本発明の従来例を示すＸＹテーブルの斜視図、
第２図は本発明の一実施例を示すＸＹテーブルの斜視図
、第３図は上層テーブル駆動用リニアモータの縦断面図
である。 １０・・・ペース、１４・・・Ｘ（下層） ｆ −７”
ル、１５・・・Ｙ（上層）テーブル、１３・・・（上層
テーブル駆動用）リニアモータ、１８・・・本体、１７
・・・可動コイル部。
第２図は本発明の一実施例を示すＸＹテーブルの斜視図
、第３図は上層テーブル駆動用リニアモータの縦断面図
である。 １０・・・ペース、１４・・・Ｘ（下層） ｆ −７”
ル、１５・・・Ｙ（上層）テーブル、１３・・・（上層
テーブル駆動用）リニアモータ、１８・・・本体、１７
・・・可動コイル部。
Claims (1)
- ペース上に上下二層に重ね合せたＸＹテーブルをそれぞ
れリニアモータで駆動するものにおいて、上層テーブル
の駆動に用いられるリニアモータは、上記ペースに載置
固定される本体と、この本体の軸方向に沿って進退自在
に駆動される上層テーブルに設けられた可動コイル部と
からなシ、上記可動コイル部は、本体の軸方向とは直交
す′る方向に移動自在であることを特徴とするＸＹテー
ブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18861582A JPS6023941B2 (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | Ｘｙテーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18861582A JPS6023941B2 (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | Ｘｙテーブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5976745A true JPS5976745A (ja) | 1984-05-01 |
| JPS6023941B2 JPS6023941B2 (ja) | 1985-06-10 |
Family
ID=16226773
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18861582A Expired JPS6023941B2 (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | Ｘｙテーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6023941B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62141402U (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-07 | ||
| WO2001021296A1 (de) * | 1999-09-23 | 2001-03-29 | Siat Gmbh | Mehrdimensionaler antrieb für arbeitsmaschinen |
| JP2009136984A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-25 | Star Techno Co Ltd | エアバックティアライン形成装置 |
-
1982
- 1982-10-27 JP JP18861582A patent/JPS6023941B2/ja not_active Expired
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62141402U (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-07 | ||
| WO2001021296A1 (de) * | 1999-09-23 | 2001-03-29 | Siat Gmbh | Mehrdimensionaler antrieb für arbeitsmaschinen |
| JP2009136984A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-25 | Star Techno Co Ltd | エアバックティアライン形成装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6023941B2 (ja) | 1985-06-10 |
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