JPS5978312A - 色フイルタの製造方法 - Google Patents
色フイルタの製造方法Info
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- JPS5978312A JPS5978312A JP57187455A JP18745582A JPS5978312A JP S5978312 A JPS5978312 A JP S5978312A JP 57187455 A JP57187455 A JP 57187455A JP 18745582 A JP18745582 A JP 18745582A JP S5978312 A JPS5978312 A JP S5978312A
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- Japan
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/30—Coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/30—Coatings
- H10F77/306—Coatings for devices having potential barriers
- H10F77/331—Coatings for devices having potential barriers for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術外野〕
本発明は、色フィルタの製造方法に関し、更に詳しくは
、混色等が生ずることなく、良好カ分光特性を有する色
フィルタを、簡便に得ることが可能な色フィルタの製造
方法に関する。
、混色等が生ずることなく、良好カ分光特性を有する色
フィルタを、簡便に得ることが可能な色フィルタの製造
方法に関する。
カラーテレビジョンカメ２等に使用される固体撮像素子
用色フィルタは、従来、例えば、第１図に示したような
方法で製造されている。
用色フィルタは、従来、例えば、第１図に示したような
方法で製造されている。
即ち、先ず、ガラス基板又は固体撮像素子等の基板上に
、例えば、ポリビニルアシコール（Ｐ ＶＡ ）−重ク
ロム酸アンモニウム（ＡＤＯ）等のフォトレジスト材料
を塗布する。次いで、銀塩又はクロムマスクを介して紫
外線露光することにより透明ノくタンを形成し、現像、
リンス、加熱乾燥処理を施す。
、例えば、ポリビニルアシコール（Ｐ ＶＡ ）−重ク
ロム酸アンモニウム（ＡＤＯ）等のフォトレジスト材料
を塗布する。次いで、銀塩又はクロムマスクを介して紫
外線露光することにより透明ノくタンを形成し、現像、
リンス、加熱乾燥処理を施す。
この透明バタンを、染料等の着色物質を含有する染色溶
液中に浸漬して、染色、埋入処理を施した後、水洗、乾
燥することにより定着され、１層の色フィルタが形成さ
れる。そして、上記操作を繰シ返すことにより、目的と
する色フィルタが製造される。
液中に浸漬して、染色、埋入処理を施した後、水洗、乾
燥することにより定着され、１層の色フィルタが形成さ
れる。そして、上記操作を繰シ返すことにより、目的と
する色フィルタが製造される。
しかしながら、上記した製造方法においては、製造工程
が非常に複雑、且つ、煩瑣であるという問題点を有して
いる。即ち、上記処理において、透明バタン形成時に加
熱乾燥処理を十外行なわないト、透明バタンか染色工程
において膨Ｉｔ′司し、場 。
が非常に複雑、且つ、煩瑣であるという問題点を有して
いる。即ち、上記処理において、透明バタン形成時に加
熱乾燥処理を十外行なわないト、透明バタンか染色工程
において膨Ｉｔ′司し、場 。
合によっては基板から剥離することがある。そのだめ、
１層の色フィルタを形成するには少なくとも数時間〜１
日程度を要し、色フイルタ完成品を短時間で１８ること
ができないという問題点を有している。
１層の色フィルタを形成するには少なくとも数時間〜１
日程度を要し、色フイルタ完成品を短時間で１８ること
ができないという問題点を有している。
又、染色処理後の乾燥時に訃いて、乾燥条件によって（
４透明パタ／が失透する場合があるため、条件の制＋Ｍ
Ｉに注意を払わねばならないという問題点を有している
。
４透明パタ／が失透する場合があるため、条件の制＋Ｍ
Ｉに注意を払わねばならないという問題点を有している
。
史に、形成された色フィルタ層の上に他の色フィルタ層
を形成゛する場合に、透明パタンの位置がずルＣいると
それぞれの着色バタン同士が混色し、外光特性が低下す
るという問題点を有している。
を形成゛する場合に、透明パタンの位置がずルＣいると
それぞれの着色バタン同士が混色し、外光特性が低下す
るという問題点を有している。
本発明の目的は、上記した問題点を解消し、混色等が生
ずることなく、良好な外光特性を有する色フィルタを、
簡便Ｖ（得ることが可能な色フィルタの製造方法を提供
することにある。
ずることなく、良好な外光特性を有する色フィルタを、
簡便Ｖ（得ることが可能な色フィルタの製造方法を提供
することにある。
本発明者らは、鋭意検討を重ねた結果、着色層を顔料、
染料又Ｃ１色素を蒸着法で（膜形成し、フォトエツチン
グプロセスによりパター７ニングすることにより、混色
等が生じることがなく良好な分光特性を有する色フィル
タをｒｔ０便にりｆる方法の発明を完成するに到った。
染料又Ｃ１色素を蒸着法で（膜形成し、フォトエツチン
グプロセスによりパター７ニングすることにより、混色
等が生じることがなく良好な分光特性を有する色フィル
タをｒｔ０便にりｆる方法の発明を完成するに到った。
即ち、本発明の色フィルタの製造方法は、固体撮像素子
上に着色層を積層し又形成−Ｊ−る色フィルタにおいて
、前記着色ｌ・層を染料、顔おト又は色素を蒸着法で膜
形成し、ポジ型フォトレジストを用いてバタン形成し、
着色層以外をエッチ７ダ液でエツチングすることにより
形１戎し、１］つ、それぞれの着色層の表面に透明保勲
層を形成すること勿特徴とするものである。
上に着色層を積層し又形成−Ｊ−る色フィルタにおいて
、前記着色ｌ・層を染料、顔おト又は色素を蒸着法で膜
形成し、ポジ型フォトレジストを用いてバタン形成し、
着色層以外をエッチ７ダ液でエツチングすることにより
形１戎し、１］つ、それぞれの着色層の表面に透明保勲
層を形成すること勿特徴とするものである。
以「においで、本発ヴｊを更に詳しく説明ツーる。
本発明においては、先ず、同体撮１象素子表面を平どけ
化する目的から、高鋒子材月を・塗布し、乾燥すること
により、固体撮像素子上１川に透明層を設けることが好
ましい。この透明層の１模ｔ’Ｊｌは、平滑化のために
充分な厚さであれはよく、０．１〜５ｔｔｍであること
が好ましい。
化する目的から、高鋒子材月を・塗布し、乾燥すること
により、固体撮像素子上１川に透明層を設けることが好
ましい。この透明層の１模ｔ’Ｊｌは、平滑化のために
充分な厚さであれはよく、０．１〜５ｔｔｍであること
が好ましい。
次いで、第２図に示したようなフローンート図に従って
、色フィルタを製造することが可能である。即ち、固体
撮像素子を真空焦眉装置内に固足し、染料、顔料又は色
素を蒸発源として蒸着用ボート（タンタル、タングステ
ン又はモリブデンなど）に入れ、１０’−３〜１０ ”
Ｔｏｒｒ程度の減圧下で魚屑用ボートを１００〜５０
０°ＯＫ： ７ＪｌｌＩ熱して、蒸着を行ない固体撮像
素子上に着色層を設ける。次いでフォトレジストをこの
着色層を全面に形成した固体撮１隊素子上に塗布、プリ
ベークし／ヤドウマスクを介して染外線露光する。次い
で、この素子を現１象、リンス及び加熱処理（ポストベ
ーキング）することによ９色フィルタの着色層が形成さ
れる。
、色フィルタを製造することが可能である。即ち、固体
撮像素子を真空焦眉装置内に固足し、染料、顔料又は色
素を蒸発源として蒸着用ボート（タンタル、タングステ
ン又はモリブデンなど）に入れ、１０’−３〜１０ ”
Ｔｏｒｒ程度の減圧下で魚屑用ボートを１００〜５０
０°ＯＫ： ７ＪｌｌＩ熱して、蒸着を行ない固体撮像
素子上に着色層を設ける。次いでフォトレジストをこの
着色層を全面に形成した固体撮１隊素子上に塗布、プリ
ベークし／ヤドウマスクを介して染外線露光する。次い
で、この素子を現１象、リンス及び加熱処理（ポストベ
ーキング）することによ９色フィルタの着色層が形成さ
れる。
ことが好ましい。又、ポストベーキング処理は、例えば
、８０〜１５０００においてｌＯ〜６０シ上程度施すこ
とが好まし７い。− 染外線ｐａｒ光に際しＣは、例えば、半２７４体４ｑ造
用マスクアライナ−等を使用して適宜露光せしめること
が可能である。
、８０〜１５０００においてｌＯ〜６０シ上程度施すこ
とが好まし７い。− 染外線ｐａｒ光に際しＣは、例えば、半２７４体４ｑ造
用マスクアライナ−等を使用して適宜露光せしめること
が可能である。
現像及びり／スは、通常、フォトエツチングプロセスに
際して採用されている方法でよく、例えば、蒸留水等に
１０〜３０秒桿度浸漬して現１象し、メタノール等を用
いてリンスをする方法が採用される。
際して採用されている方法でよく、例えば、蒸留水等に
１０〜３０秒桿度浸漬して現１象し、メタノール等を用
いてリンスをする方法が採用される。
色フィルタを製造するには、次いで、上記）Ｌフィルタ
層上に高外子材料を塗布し、乾燥゛ｒることにより、透
明保循層を形成した後、上ｄにと同様に着色レジストを
塗布して同じ操作５Ｉ：繰り返せばよいＯ 本発明の製造方法においては、赤、ｎ′及び緑の１３色
の着色層か、ら１戊る色フィセタを製造することは勿調
可能であるが、工程の簡略化等の点から、宵及び黄色の
２色の着色層から成る補色型色フィルタを製造すること
が好ましい。
層上に高外子材料を塗布し、乾燥゛ｒることにより、透
明保循層を形成した後、上ｄにと同様に着色レジストを
塗布して同じ操作５Ｉ：繰り返せばよいＯ 本発明の製造方法においては、赤、ｎ′及び緑の１３色
の着色層か、ら１戊る色フィセタを製造することは勿調
可能であるが、工程の簡略化等の点から、宵及び黄色の
２色の着色層から成る補色型色フィルタを製造すること
が好ましい。
本発明において形成されるそれぞれの腐色層の膜厚は、
０．０５〜２μｍであることが好ましい。膜Ｆｔｊ カ
Ｕ、０５ ／Ｚｎ１未満であると、色フィルタトシテノ
色Ｐ度を得ることが固唾であり、２μｍを超えると、紫
外様照射によシ膜が硬化しない等の欠点を４１″ｊ−る
ためである。
０．０５〜２μｍであることが好ましい。膜Ｆｔｊ カ
Ｕ、０５ ／Ｚｎ１未満であると、色フィルタトシテノ
色Ｐ度を得ることが固唾であり、２μｍを超えると、紫
外様照射によシ膜が硬化しない等の欠点を４１″ｊ−る
ためである。
又、本発明Ｖこおいて、それぞれのＭ色層の間にｊ形成
さ、１ｔ６透明保ｎφ泗の膜厚は、０．１〜２μｍであ
ることが好ましい。
さ、１ｔ６透明保ｎφ泗の膜厚は、０．１〜２μｍであ
ることが好ましい。
又、本発明の席色レジストの他の成５）ソある染料は、
巴フィＩレタ分光ｌ峙１生曲線をイ岡足するものであれ
ばい７ハなるものでも１史用叫能である。このような染
料として（」１、補色型色フィルタを製造する際に１史
用される１￥色染料、黄色染料＼１１２びに通常の色フ
ィルタを製造Ｉ６際しこ１史用される赤色染料、緑色染
料及び前ｄｅｋ色染料があり、具体的には次シて示−ｊ
−Ｊ：うな染料が使用される。
巴フィＩレタ分光ｌ峙１生曲線をイ岡足するものであれ
ばい７ハなるものでも１史用叫能である。このような染
料として（」１、補色型色フィルタを製造する際に１史
用される１￥色染料、黄色染料＼１１２びに通常の色フ
ィルタを製造Ｉ６際しこ１史用される赤色染料、緑色染
料及び前ｄｅｋ色染料があり、具体的には次シて示−ｊ
−Ｊ：うな染料が使用される。
イ色染料としては、例えば、スミフィックスターキスブ
Ｉｌ／−Ｇ 、スミフィックスターキスブルー１、、
ｌｊｌ スミフィックスターキスブルー１１ ｆＪ Ｊ
仁、スミノールミーリノグプリリア／トスカイブルーＳ
Ｅ１スミノールレベリングスカイブルー１も、スミノー
ｔレレベリ７グブ’−ＡＧ（Ｊｖ スミライトスゲラブ
ｎ＝ −Ｑ （以上、住友化学（株）製う、ソーラーン
アニン６Ｇ１ソーラーピユアーブルーＡＦＸ。
Ｉｌ／−Ｇ 、スミフィックスターキスブルー１、、
ｌｊｌ スミフィックスターキスブルー１１ ｆＪ Ｊ
仁、スミノールミーリノグプリリア／トスカイブルーＳ
Ｅ１スミノールレベリングスカイブルー１も、スミノー
ｔレレベリ７グブ’−ＡＧ（Ｊｖ スミライトスゲラブ
ｎ＝ −Ｑ （以上、住友化学（株）製う、ソーラーン
アニン６Ｇ１ソーラーピユアーブルーＡＦＸ。
アシドブリリアントブルー（三井東圧（株）製）等が挙
げられる。
げられる。
黄色染料としては、例えば、スミノールミーリングイエ
ローＭｌも、スミノールミーリングイエローＮＲ，、ス
ミノールファーストイエロー２ （Ｊ Ｐスミノールミ
ーリングイエロー３（）、スミノールミー’）７”イエ
ロー４Ｇ、 スミノールファーストイエローＯ、スミラ
イトイエローＵ Ｉｔ 、スミカロンイエローＩＤ ４
０ Ｌ （以上、住友化学（１２り製）、カヤノールミ
ーリングイエローｏ１カヤノールイエローＮ５（Ｊ、カ
ヤンオンイエローＰ５Ｇ、カヤ／ルイエロー〇（Ｊ（以
上、日本化学（株）製）、セルマゾールイエローＲ、セ
ルマゾールイエローＯＩｔ 、 クリソフェニンＫＯ
，ダイレクトフ−アーストイエロー、アミニルイエロー
５０ Ｌ 、ソーラーヒュアーイエロー等が挙げｑ）ｉ
Ｌる。
ローＭｌも、スミノールミーリングイエローＮＲ，、ス
ミノールファーストイエロー２ （Ｊ Ｐスミノールミ
ーリングイエロー３（）、スミノールミー’）７”イエ
ロー４Ｇ、 スミノールファーストイエローＯ、スミラ
イトイエローＵ Ｉｔ 、スミカロンイエローＩＤ ４
０ Ｌ （以上、住友化学（１２り製）、カヤノールミ
ーリングイエローｏ１カヤノールイエローＮ５（Ｊ、カ
ヤンオンイエローＰ５Ｇ、カヤ／ルイエロー〇（Ｊ（以
上、日本化学（株）製）、セルマゾールイエローＲ、セ
ルマゾールイエローＯＩｔ 、 クリソフェニンＫＯ
，ダイレクトフ−アーストイエロー、アミニルイエロー
５０ Ｌ 、ソーラーヒュアーイエロー等が挙げｑ）ｉ
Ｌる。
赤色染料としては、例えば、スミノールファーストレッ
ドＢ（住友化学（沫） ｎ ）、アイゼンブリリアント
スカーレット３ Ｊｌ、 Ｉｆ （床土ケ谷化学（昧ン
＃）、カヤクアシドローダミンド１３（日本（ｆＪ４゜
’４，１１製）等が挙げられる。
ドＢ（住友化学（沫） ｎ ）、アイゼンブリリアント
スカーレット３ Ｊｌ、 Ｉｆ （床土ケ谷化学（昧ン
＃）、カヤクアシドローダミンド１３（日本（ｆＪ４゜
’４，１１製）等が挙げられる。
緑色染料としては、例えば、スミラングリーンＨＬ （
住友化学（株）製）、アイゼンブースランオリーブグ！
Ｊ−１０ＬＨ（採土ケ谷化学（株）製）、ダイヤアンド
シアニングリーンＧＷＡ（三菱化成工業（株）製）、ア
ンドブリリア／トミーリンググリーンＢ（三井東８Ｅ
（株）装）等が芋げられる。
住友化学（株）製）、アイゼンブースランオリーブグ！
Ｊ−１０ＬＨ（採土ケ谷化学（株）製）、ダイヤアンド
シアニングリーンＧＷＡ（三菱化成工業（株）製）、ア
ンドブリリア／トミーリンググリーンＢ（三井東８Ｅ
（株）装）等が芋げられる。
本発明において１吏用される染料は、上記し７た群より
選ばれた１種もしくは２種以上のものを適宜選択したも
のである。
選ばれた１種もしくは２種以上のものを適宜選択したも
のである。
尚、これらの染料の使用に際しては、市販の染料である
場合に、塩化ナトリウムや硫酸ナトリウム（ボウ硝）等
が含有されているため、減用下で蒸着しないことがある
。このような問題を避けるだめには、必要に応じて、適
宜、精製等の処理を施して使用することが好ましい。
場合に、塩化ナトリウムや硫酸ナトリウム（ボウ硝）等
が含有されているため、減用下で蒸着しないことがある
。このような問題を避けるだめには、必要に応じて、適
宜、精製等の処理を施して使用することが好ましい。
本発明における着色層の形成に際しては、上記ポジ型フ
ォトレジストを用いるが、これらけ電解像度を与えるも
のであればいすれのものでもよい。
ォトレジストを用いるが、これらけ電解像度を与えるも
のであればいすれのものでもよい。
例えＨＨＵ ）ｉ’ Ｐ Ｌ（（東京応化工業製）、Ａ
Ｚ −１５（ＪＯ（ノツプレー社製）などが挙げられ
る。
Ｚ −１５（ＪＯ（ノツプレー社製）などが挙げられ
る。
本発明において、固体撮ｆ象素子表面を平滑化する目的
で形成される透明層又は肴色層の上に形成される透明保
護層に使用される商汁子材オ」は、透明な被、嘆を形成
することが町目目なものであれば特に制限はない。この
ような篩汁子材料としては、例工ば、ポリビニルアルコ
ール、ゼラチン、カゼイン、ポリスチレ／、ポリアクリ
ル酸エステル、ポリメタクリル酸エステル等のアクリル
樹脂、ポリカーボネート樹脂及びポリイミド１財脂等が
挙けられ、これらから成る群より選ばれた１陳もしくは
２種以上のものが筒用さｉする。
で形成される透明層又は肴色層の上に形成される透明保
護層に使用される商汁子材オ」は、透明な被、嘆を形成
することが町目目なものであれば特に制限はない。この
ような篩汁子材料としては、例工ば、ポリビニルアルコ
ール、ゼラチン、カゼイン、ポリスチレ／、ポリアクリ
ル酸エステル、ポリメタクリル酸エステル等のアクリル
樹脂、ポリカーボネート樹脂及びポリイミド１財脂等が
挙けられ、これらから成る群より選ばれた１陳もしくは
２種以上のものが筒用さｉする。
上記した透明層又は透明保護層の形成は、」；記した高
分子材料を適当な粘度に調整したものを、例エバ、スビ
／コート法、シルクスクリーン法等の方法を用いて塗布
し、次いで、８０〜１５０００の温度範囲で１０〜３０
分程Ｖ乾燥することにより達成することが可能でちる。
分子材料を適当な粘度に調整したものを、例エバ、スビ
／コート法、シルクスクリーン法等の方法を用いて塗布
し、次いで、８０〜１５０００の温度範囲で１０〜３０
分程Ｖ乾燥することにより達成することが可能でちる。
本発明方法は、従来のネカレジストパターンを形成した
後、染色を施す方法に比較して、着色層のバター／ユン
グとしてポジ型レジストを用いるため＾解Ｉ象度を得る
ことができ、かつ小型化、高梢細固体撮１象素子を得る
ことができる。
後、染色を施す方法に比較して、着色層のバター／ユン
グとしてポジ型レジストを用いるため＾解Ｉ象度を得る
ことができ、かつ小型化、高梢細固体撮１象素子を得る
ことができる。
又、本発明方法により得られる色フィルタは、谷着色層
が透明保護層によυ被覆されているために、混色等の問
題が生ずることのないものである。
が透明保護層によυ被覆されているために、混色等の問
題が生ずることのないものである。
従って、分光特性が良好な固体撮諌素子を得ることが８
Ｊ能である。
Ｊ能である。
以下において、実施例を掃け、本発明を更に群しく説明
する。
する。
電荷結合型素子（ＣＯＤ）固体撮像素子上にポリノタジ
エ／淘脂を塗布し、２００’０ 、６０ ｆ）で乾燥１
２、表面を平滑化した。
エ／淘脂を塗布し、２００’０ 、６０ ｆ）で乾燥１
２、表面を平滑化した。
続いてこの基根をＪ４望＃后装置６ビタに設置、ｆ、
Ｌ 、蒸発源として灯色染料アンドブルー１８５をタン
タ少ポートに入れ、系内を２ Ｘ １０−” Ｔｏｒｒ
の兵をに保持した後、タンタレボートを３００°Ｃに力
ｌ熱し、ＣＯＤ基板上Ｖこ１色層色！−を全面ｖｃ設け
た。その後、ポジ型フォトレジスト０ＦＰＲ（東京応化
工業製）を膜厚０．５μｍとなるように塗布し、８０°
０３０汁間乾燥し、マスクを介して３６５ｎｍの紫外線
を６００ 、ｍＪ ７ｃｍ２の条件で露光した。次いで
、刀ルカリ水で２０秒間現像し、メタノールでリンスを
した後、１００°Ｃ×３０外乾燥させ酸性水（ｐｌ−１
４）にαし、１色着色層をエツチングし、パターン化し
た宵色着色層を形成した。
Ｌ 、蒸発源として灯色染料アンドブルー１８５をタン
タ少ポートに入れ、系内を２ Ｘ １０−” Ｔｏｒｒ
の兵をに保持した後、タンタレボートを３００°Ｃに力
ｌ熱し、ＣＯＤ基板上Ｖこ１色層色！−を全面ｖｃ設け
た。その後、ポジ型フォトレジスト０ＦＰＲ（東京応化
工業製）を膜厚０．５μｍとなるように塗布し、８０°
０３０汁間乾燥し、マスクを介して３６５ｎｍの紫外線
を６００ 、ｍＪ ７ｃｍ２の条件で露光した。次いで
、刀ルカリ水で２０秒間現像し、メタノールでリンスを
した後、１００°Ｃ×３０外乾燥させ酸性水（ｐｌ−１
４）にαし、１色着色層をエツチングし、パターン化し
た宵色着色層を形成した。
上記処理によシ得たＣＯＤ固体崩像累子の分光特性を測
定したところ、従来の染色法によシ゛形成したものと比
較して、何ら遜色のないものであることが確認された。
定したところ、従来の染色法によシ゛形成したものと比
較して、何ら遜色のないものであることが確認された。
この固体撮障素子に、ポリブタンエンを用いて乾燥時の
膜厚が１μｍとなるように塗布し、１５０’ＯＸ ３０
５＋ 間ポストベーキング処理を施すことにより透明保
＾層を形成した。
膜厚が１μｍとなるように塗布し、１５０’ＯＸ ３０
５＋ 間ポストベーキング処理を施すことにより透明保
＾層を形成した。
次いで、真空熱漬装置内に設置し、蒸発礫とし−Ｃ黄色
染料アンドイエロー４２をタノタルボートニ入れ系内を
２ Ｘ １０ ”ｉ’ｏｒｒの真空に保持し、タンタル
ホートラ３ｏＯ０Ｃに加声へし、ｃｃＪ）基設−二に１
１色着色層を全面に設けた。
染料アンドイエロー４２をタノタルボートニ入れ系内を
２ Ｘ １０ ”ｉ’ｏｒｒの真空に保持し、タンタル
ホートラ３ｏＯ０Ｃに加声へし、ｃｃＪ）基設−二に１
１色着色層を全面に設けた。
その後、ポジ型フォトレジストＡＺ−１５００（７ツブ
レイ社製）を膜厚０．５μｍとなるように塗布し、８０
°０ 、３０ ｆ＋間乾燥しマスクをづｔして３６５ｎ
ｍの紫外線を２０００ ｍＪ／ｃｍ２の条件で露光した
。次いで、水で１０秒間現像し、メタノールでリンスを
した後、１００°（３Ｘ３ＯＳ乾燥させ、酸性水（ｐｌ
−１，４） Ｋ浸し、黄色着色層をエツチングし、ノ（
ターフ化した黄色漸色層を形成した。
レイ社製）を膜厚０．５μｍとなるように塗布し、８０
°０ 、３０ ｆ＋間乾燥しマスクをづｔして３６５ｎ
ｍの紫外線を２０００ ｍＪ／ｃｍ２の条件で露光した
。次いで、水で１０秒間現像し、メタノールでリンスを
した後、１００°（３Ｘ３ＯＳ乾燥させ、酸性水（ｐｌ
−１，４） Ｋ浸し、黄色着色層をエツチングし、ノ（
ターフ化した黄色漸色層を形成した。
史に、Ｆ８．）ｌ、（富士薬品工業（抹）製）を用いて
、乾燥時の膜厚が１．５μｍとなるように塗布し、露光
し１１１５０°０Ｘ３０Ｂポストベーキング処理を施す
ことにより、透明保護層を形成し、補色型色フイｌレタ
を形成した。
、乾燥時の膜厚が１．５μｍとなるように塗布し、露光
し１１１５０°０Ｘ３０Ｂポストベーキング処理を施す
ことにより、透明保護層を形成し、補色型色フイｌレタ
を形成した。
このようにして得られた色フイセタについて。
顕微鋒尤尤度計を用いて観察したところ、９色及び黄色
のそれぞれの着色層が全く混色していないものでちるこ
とが確認された。又、この色フイｌレタＶこついて、そ
の分光特性を測定したところ、紫色法ＶＣより得た色フ
イＩレタと比較して遜色ないものでちることが確認され
た。
のそれぞれの着色層が全く混色していないものでちるこ
とが確認された。又、この色フイｌレタＶこついて、そ
の分光特性を測定したところ、紫色法ＶＣより得た色フ
イＩレタと比較して遜色ないものでちることが確認され
た。
第１図は従来法による色フイｌレタ裏造時のフローシー
ト図、第２図は本発明方法による１ρフイｌレタ製造時
のフローノート図である。 代理人 弁理士 則 近 慾 佑（肖か１名）第 １
図 第２図
ト図、第２図は本発明方法による１ρフイｌレタ製造時
のフローノート図である。 代理人 弁理士 則 近 慾 佑（肖か１名）第 １
図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 固体撮像素子上に着色層を積層して形成する色フィルタ
の製造方法において、 前記着色層を、染料、顔料又は色素を蒸着法で膜形成し
、ポジ型フォトレジストを用いてバタン形成し、着色層
以外をエツチング液でエツチングすることにより形成し
、且つ、それぞれの着色層の表面に透明保順層を形成す
ることを特徴とする色フイＩレタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57187455A JPS5978312A (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | 色フイルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57187455A JPS5978312A (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | 色フイルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5978312A true JPS5978312A (ja) | 1984-05-07 |
Family
ID=16206370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57187455A Pending JPS5978312A (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | 色フイルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5978312A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5811156A (en) * | 1997-01-24 | 1998-09-22 | Eastman Kodak Company | Method of making a color filter array by colorant transfer and etch |
| EP0855744A3 (en) * | 1997-01-24 | 1999-04-14 | Eastman Kodak Company | Method of making color filter arrays by thermal transfer of colorant |
| EP0855745A3 (en) * | 1997-01-24 | 1999-04-14 | Eastman Kodak Company | Method of making color filter arrays |
| US7195848B2 (en) | 2004-08-30 | 2007-03-27 | Eastman Kodak Company | Method of making inlaid color filter arrays |
-
1982
- 1982-10-27 JP JP57187455A patent/JPS5978312A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5811156A (en) * | 1997-01-24 | 1998-09-22 | Eastman Kodak Company | Method of making a color filter array by colorant transfer and etch |
| EP0855744A3 (en) * | 1997-01-24 | 1999-04-14 | Eastman Kodak Company | Method of making color filter arrays by thermal transfer of colorant |
| EP0855745A3 (en) * | 1997-01-24 | 1999-04-14 | Eastman Kodak Company | Method of making color filter arrays |
| US7195848B2 (en) | 2004-08-30 | 2007-03-27 | Eastman Kodak Company | Method of making inlaid color filter arrays |
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