JPS598016B2 - 真空バルブ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は排気管封じ切シ部を保護しうる工ウに改良した
真空バルブに関する。

一般に真空バルブは、真空バルブの内部を高真空にする
ため、真空バルプに設けた排気管を利用し真空ポンプに
よる内部ガスの排気が行われ所定の高真空を得た後に排
気管を圧着等の手段により封じ切シ真空バルブが完成さ
れる。

このようにして完成した真空バルプは排気管封じ切ｐ部
が真空容器の外に突出て配置されるため取扱いの不注意
等によって封じ切シ部先端が損傷されやすいという問題
があった。

排気管の材質は較質の鋼管などを用いることが多いので
機械的にも弱く、僅かな機械的打撃によってもリークが
発生しやすくその結果真空バルブを真空不良に至らしめ
る。

そのため排気管封じ切り部に樹脂や・・ンダ等を盛固め
た９、あるいは保護用キャップを覆い被せて封じ切り部
の損傷防止を図っていた。

しかしながら大きな機械的打撃に対しては不充分である
ばかシでなく、真空バルブを機器に組込む際に排気管の
封じ切シ部が邪魔になり真空バルブ使用機器の小形化に
支障となっていた。

本発明は上記のような事情に鑑みなされたもので、排気
管封じ切シ部を真空容器の中に押込むことにより、真空
バルブ増扱い時の機械的打撃等から保護しようとするも
ので、以って信頼性を高めた真空バルブを提供すること
にあシ、さらには真空バルブ使用機器の小形化を計ろう
とするものである。

以下本発明の一実施例を第１図を参照して説明する。

１は真空バルブであシ、２は絶縁円筒でその両端に増付
けられた端板３ａ，３ｂで真空容器が構成されている。

真空容器の内部には一対の電極４ａ，４ｂと、絶縁円筒
２の内面に泡付けられたシールド５とを備え内部圧力が
１０ Ｔｏｒｒ以下の高真空を保持する気密構造にな
っている。

前記一方の電極４ａには固定軸６ａが取付けられており
、固定側端板３ａを密に貫通して外部に突出している。

また他方の電極４ｂには可動軸６ｂが増付けられてお９
、その可動軸６ｂと可動側端板３ｂとの間には真空保持
状態で前記電極４ ａ ｔ４ｂを接離自在にせしめるた
めのへローズ７が設けられている。

そしてまた固定側端板３ａには排気管９が、真空容器内
に位置するように設けたべローズ８を介して増付けられ
ている。

即ち端板３ａに設けた孔３０ａの内周面にベローズ８の
一端を密に固着し、前記ベローズ８の他側自由端に排気
管９の一端を排気管９とベローズ８が同心になるように
固着している。

真空杓レブ１の排気脱ガメ後に封じ切られた排気管９は
、真空バルブ１の内部に押込まれ真空容器の外部に突出
しないように構成されている。

即ち押込まれた排気管９とベローズ８との間に形成され
る大気側の凹部にハンダや樹脂等の充填剤１０を固定側
端板３ａにほぼ同一面となるように詰めることによシ固
定されておシ、排気管９の封じ切シ部ｔｔ Ａ７７を保
護している。

前記のような構成によれば打撃等に弱い排気管９の封じ
切シ部”Ａ”は真空容器内に入るので真空バルブを安心
して取扱うことができ、誤って封じ切り部”Ａ”を損傷
させるという必配がなくなる。

このように真空バルブの信頼性を高める上で有効になる
ばかりでなく、排気管９が真空容器の外に突出ないため
真空バルプ使用機器の小形化に役立つ。

一方排気管９を無くすということは真空バルブを真空中
でろう付けすることによって組立てるという方法が従来
提案されている。

しかしこの方法によると、真空中ろう付設備の設置に多
額の投資が必要になるという点や製作組立方法が面倒で
あるという点、などで製作コストが高くつくという欠点
があった。

本発明によれば安価な方法でしかも容易に排気管を真空
バルブ容器から外方に突出することを無くせるので信頼
性の高い真空バルプが提供できるという効果が得られる
。

一方第２図及び第３図は本発明の他の実施例を示すもの
で第１図と同一部品に同符号を附してある。

第２図はベローズ８に対してストッパー１１を設けた場
合の例であシ、ベローズ８が大気の圧力で真空容器内に
伸びようとするが、その量をストッパー１１で一定に抑
えたものであシ、真空バルブ内部々品との間隔位置精度
が要求される場合に有効になる。

第３図は、支持金具１２を介してベローズ８が取付けら
れており、またベローズ８が大気圧の影響で縮み方向と
なるように取付けられている以外第１図と同じである。

以上述べたように本発明によれば、真空容器の外に突出
ていた排気管の封じ切シ部を安価な方法で無くすことが
でき、信頼性の高い真空バルブが提供できるだけでなく
、使用機器の小形化に有効になる真空バルブを提供でき
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図及び第
３図は夫々本発明の他の実施例の要部を示す断面図であ
る。 １・・・真空バルブ、２・・・絶縁円筒、３ａ・・・固
定側端板、３ｂ・・・可動側端板、３０ａ・・・孔、４
ａ・・・電極、４ｂ・・・電極、５・・・金属シールド
、６ａ・・・固定軸、６ｂ・・・可動軸、７・・・ベロ
ーズ、８・・・ベローズ、９・・・排気管、１０・・・
充填剤、１１・・・ストッパー、１２・・・支持金具、
ｔｔ Ａｐｐ・・・封じ切シ部。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 相対的に接離する一対の電極を真空容器内に収納配
   置したものに於て、前記真空容器内を真空引きする為の
   排気管を、前記真空容器内に配置され且つ一例を真空容
   器と機械的に気密に連結されたべローズの他側にベロー
   ズと同心的に配置されるようにした事を特徴とする真空
   バルブ。 ２ 前記ベローズ増付部に形成される大気側の凹部内に
   前記排気管の封じ切り部が位置された特許請求の範囲第
   １項記載の真空バルブ。 ３ 前記大気側凹部内に充填剤を充填した特許請求の範
   囲第２項記載の真空バルブ。 ４ 前記真空容器内のべローズが、ストッパーにより所
   定変位量以上変形しないようにした特許請求の範囲第１
   項記載の真空バルブ。