JPS598060B2 - フォトマスク乾板の検査装置 - Google Patents

フォトマスク乾板の検査装置

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JPS598060B2
JPS598060B2 JP55119841A JP11984180A JPS598060B2 JP S598060 B2 JPS598060 B2 JP S598060B2 JP 55119841 A JP55119841 A JP 55119841A JP 11984180 A JP11984180 A JP 11984180A JP S598060 B2 JPS598060 B2 JP S598060B2
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JP
Japan
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dry plate
laser beam
photomask
inspection equipment
photoelectric detector
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JP55119841A
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賢一 小林
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体装置の回路パターンを形成するためのフ
ォトマスク乾板の検査装置に関するものである。
半導体装置の回路パターン形成用フォトマスクはガラス
板上に金属酸化膜をコーティングしこれをフォトエッチ
ングにより回路パターンに対応した形状にエッチングし
て製造する。
このようなフォトマスク製造工程前に、ガラス板上の金
属酸化膜全面にレジストを塗布した状態のいわゆる乾板
はその表面を検査してレジスト上に不純物異物が付着し
ているものを取除きまた金属酸化膜の状態を検査して空
洞やピンホールが形成されたものを取除かなければなら
ない。このような乾板の検査作業は表面異物検査および
ピンホール検査の２つの作業を行なわなければならず各
々作業に大がかりな光学装置を必要とし多大な時間を要
していｚ本発明は上記の点に鑑みなされたものであつて
フォトマスク乾板の表面異物検出およびピンホール検出
を同時にできる乾板検査装置の提供を目的とする○この
ため本発明に係る検査装置においては、レーザ光発生器
からのレーザ光を偏光ビームスプリッタおよびスキャニ
ング装置を介して検査すべき乾板に照射し、この乾板か
らの反射光のうち乾板表面の異物に対応した偏光を上記
偏光ビームスプリッタで分割してこれを検知する光電検
出器を備え、さらに上記乾板のレーザ光照射面の反対側
に乾板のピンホール検出用光電検出器を備えている。以
下、図面に基いて本発明をさらに詳しく説明する。
レーザ光発生器１からのレーザ光はビームエクスパンダ
２を通過して偏光ビームスプリッタ３に入射しここで偏
光作用を受けて例えば円偏光の光のみがここを通過し光
学レンズ４を通してスキャナ５のスキャニングミラー６
で回転走査されスキャニングレンズＴを通しで検査すべ
き乾板８を照射する。乾板８は前述のようにガラス板上
に金属酸化膜を形成しその土にレジストを塗布したもの
であり金属酸化膜が完全に形成されていればレーザ光は
乾板８を通過しない。この乾板８の金属酸化膜にピンホ
ールが形成されている場合にはこの部分をレーザ光が透
過し光電検出器９により検知される。一方、ピンホール
が形成されていない部分では照射されたレーザ光は反射
されて光路を逆進する。このとき乾板８の表面に異物が
付着 。していると反射光は円偏光の光から例えばＰ偏
光の光に変化しこれが偏光ビームスプリッタ３で分割さ
れて集光レンズ１０を通して光電検出器１１で検知され
る。以上のような乾板検査装置においては１つのレーザ
光発生器を用いて乾板表面の異物検査およびピンホール
検査の両方を同時に行なうことができ検査装置が小型化
？れ作業能率が大きく向上すん
【図面の簡単な説明】
図面は本発明に係る乾板検査装置の構成図であるｏ１・
・・・・・レーザ光発生器、 リツタ、５・・・・・・スキヤナ、 ラ一、８・・・・・・乾板、９，１ ３・・・・・・偏光ビームスプ ６・・・・・・スキヤニングミ １・・・・・・光電検出器。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ レーザ光発生器からのレーザ光を偏光ビームスプリ
    ッタおよびスキャニング装置を介して検査すべき乾板に
    照射し、該乾板からの反射光のうち上記乾板表面異物に
    対応した偏光を上記偏光ビームスプリッタで分割してこ
    れを検知する光電検出器を備え、さらに上記乾板のレー
    ザ光照射面の反対側に乾板のピンホール検出用光電検出
    器を備えたフォトマスク乾板の検査装置。
JP55119841A 1980-09-01 1980-09-01 フォトマスク乾板の検査装置 Expired JPS598060B2 (ja)

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JPS5745230A JPS5745230A (en) 1982-03-15
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JPS58162038A (ja) * 1982-03-23 1983-09-26 Canon Inc 面状態検査装置

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JPS5745230A (en) 1982-03-15

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