JPS5981848A - 電子放出器アセンブリ - Google Patents
電子放出器アセンブリInfo
- Publication number
- JPS5981848A JPS5981848A JP58171394A JP17139483A JPS5981848A JP S5981848 A JPS5981848 A JP S5981848A JP 58171394 A JP58171394 A JP 58171394A JP 17139483 A JP17139483 A JP 17139483A JP S5981848 A JPS5981848 A JP S5981848A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- electron emitter
- electron
- emitter assembly
- rings
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J1/02—Main electrodes
- H01J1/13—Solid thermionic cathodes
- H01J1/15—Cathodes heated directly by an electric current
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
- H01J35/06—Cathodes
- H01J35/064—Details of the emitter, e.g. material or structure
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Solid Thermionic Cathode (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子銃、さらに特定化すれば電子銃のための新
しい、改善された電子放出器アセンブリ、に関するもの
である。本発明の概念によって構成される電子放出器ア
センブリは、他の可能な利用範囲があるにしても、特に
Ｘ線リトグラフ装置に適用されるものである。
しい、改善された電子放出器アセンブリ、に関するもの
である。本発明の概念によって構成される電子放出器ア
センブリは、他の可能な利用範囲があるにしても、特に
Ｘ線リトグラフ装置に適用されるものである。
従来、円の４分の１部分に折り曲げられた純良タングス
テンのヘリカル線の４つの部分から組立てられた銃を用
いるのが１般的であった〇通電されるとそのヘリカル線
は短時間の後に動いて銃ダディに短絡し、さらに／また
は望まれるフォーカルスポットよりも大きなスポットを
発生させるためフォーカシングウェルの外に移動する。
テンのヘリカル線の４つの部分から組立てられた銃を用
いるのが１般的であった〇通電されるとそのヘリカル線
は短時間の後に動いて銃ダディに短絡し、さらに／また
は望まれるフォーカルスポットよりも大きなスポットを
発生させるためフォーカシングウェルの外に移動する。
加えて、銃の組立は複雑であシ、完成させるのに３日か
ら４日を要した・ このため、従来技術で遭遇する問題を克服するかまたは
少なくとも緩和させるような新しい電子放出器アセンブ
リを提供−することが、本発明の目的である。
ら４日を要した・ このため、従来技術で遭遇する問題を克服するかまたは
少なくとも緩和させるような新しい電子放出器アセンブ
リを提供−することが、本発明の目的である。
要するに、本発明は第１電子放出リングと、第２電子放
出リングと、電源供給器と、さらに電源供給器を２つの
電子放出器構造体に電気的に接続するだめの装置とを結
合して含むような、電子銃のための新しい、改善された
電子放出器アセンブリの提供を目ざしているものである
。
出リングと、電源供給器と、さらに電源供給器を２つの
電子放出器構造体に電気的に接続するだめの装置とを結
合して含むような、電子銃のための新しい、改善された
電子放出器アセンブリの提供を目ざしているものである
。
加えて、第２リングによって形成された磁界が第１リン
グによって形成された磁界を打ち消すように２つのリン
グを取付けるだめの装、置が準備される。本発明の１つ
の具体例によれば、加熱電流が１方のリング中を１つの
方向に、また他方のリング中を反対の方向に流れるよう
に互いに隣接して取付られる。本発明の１つの形態によ
れば、リングはフラットシートストックから製造され、
各リングは２つの、反対向きに設けられた導電性タブ部
を有し、リング部分のみは、それぞれ錐形の断面に加工
されて、いる。本発明の他の形態によれば、リングはそ
れぞれオメガ形状である。
グによって形成された磁界を打ち消すように２つのリン
グを取付けるだめの装、置が準備される。本発明の１つ
の具体例によれば、加熱電流が１方のリング中を１つの
方向に、また他方のリング中を反対の方向に流れるよう
に互いに隣接して取付られる。本発明の１つの形態によ
れば、リングはフラットシートストックから製造され、
各リングは２つの、反対向きに設けられた導電性タブ部
を有し、リング部分のみは、それぞれ錐形の断面に加工
されて、いる。本発明の他の形態によれば、リングはそ
れぞれオメガ形状である。
本発明の１つの形態では、リングはフーゾ状ＩＪ Ｈｔ
ン構造をしておシ、１方のリングは他のリングよシも小
さな直径を持っている。内側リングの内面は凹形状をな
している一 本発明の１つの具体例によれば、リングはタングステン
、トリウムタングステンおよびタンタルを含むクラスか
ら選択された材料から製造される。
ン構造をしておシ、１方のリングは他のリングよシも小
さな直径を持っている。内側リングの内面は凹形状をな
している一 本発明の１つの具体例によれば、リングはタングステン
、トリウムタングステンおよびタンタルを含むクラスか
ら選択された材料から製造される。
本発明による新しい改善された電子放出器アセンブリの
利点は、Ｘ線リトグラフ装置に使用されるのに理想的に
適するような装置を提供することにおいて存在する。
利点は、Ｘ線リトグラフ装置に使用されるのに理想的に
適するような装置を提供することにおいて存在する。
本発明の他の利点は、電子軌道への磁界の影響を最小と
する新しい電子放出器アセンブリ、そしてそれは寸法に
おいて厳しくない、在庫されているないしさし、て有用
でないセラミックスを用いることが可能なアセンブリの
中に存在する０ さらに本発明の別の利点は、機械的に強固な構造体を用
いる、即ち組立てるに簡単な、新しいまた改善された電
子放出器アセンブリないし組立体を提供できることにあ
る◇ 本発明の重要な利点に関して概要を記したのは、本発明
の詳細な説明がさらに良く理解されるように、捷だ技術
に対する寄与がさらに明らかと々るなめである。当然な
がら、本発明の付加的利点は１、この後にさらに十分に
説明される。
する新しい電子放出器アセンブリ、そしてそれは寸法に
おいて厳しくない、在庫されているないしさし、て有用
でないセラミックスを用いることが可能なアセンブリの
中に存在する０ さらに本発明の別の利点は、機械的に強固な構造体を用
いる、即ち組立てるに簡単な、新しいまた改善された電
子放出器アセンブリないし組立体を提供できることにあ
る◇ 本発明の重要な利点に関して概要を記したのは、本発明
の詳細な説明がさらに良く理解されるように、捷だ技術
に対する寄与がさらに明らかと々るなめである。当然な
がら、本発明の付加的利点は１、この後にさらに十分に
説明される。
当業の技術者は、本開示が基礎としている概念は、本発
明の目的を達成するだめの他の構成の説計にも基礎とし
て容易に用いられることを理解できるであろう。そのだ
め、本開示は本発明の精神と視点から離れることのない
ような同等構成を含んで配慮されることが必要である一
本発明のいくつかの実施例が図示および説明のために選
択され、本明細の１部を形成するように添付図面中に示
されている。
明の目的を達成するだめの他の構成の説計にも基礎とし
て容易に用いられることを理解できるであろう。そのだ
め、本開示は本発明の精神と視点から離れることのない
ような同等構成を含んで配慮されることが必要である一
本発明のいくつかの実施例が図示および説明のために選
択され、本明細の１部を形成するように添付図面中に示
されている。
本発明によって構成される電子放出器アセンブリは、例
えば米国特許出願（審理番号第ＭＩ−２９６２）中に説
明されている電子銃アセンブリ、その開示は参照されて
本明細にと９入れられている、のようなＸ線りトゲラフ
装置に用いるために、特に適用される。
えば米国特許出願（審理番号第ＭＩ−２９６２）中に説
明されている電子銃アセンブリ、その開示は参照されて
本明細にと９入れられている、のようなＸ線りトゲラフ
装置に用いるために、特に適用される。
第１図から第３図までに描力・れた本発明の実施例にお
いては、電子放出器アセンブリは、反対向きに設けられ
ている導電用クブ１２および１４゛の対と、反対向きに
設けられている支Ｐ７゛、：４タブ１６および１８の第
２の対を持つ第１電子放出リングｌＯを有している。第
２図で良く理解できるように、第２電子放出リング２０
も同等な種類であるが、第１リングの後ろに密着１゜て
置かれることが可能であるよう、わずかながら大きな直
径となっている。第１図に戻ると、第２リング２０は反
対向きに設けられている導電用タブ２２および２４の対
と、反対向きに設けられている支持用タブ２６および２
８の第２の対を持っている。両方のリングともフラン１
シートストツクから製造され、またリング部りのみは、
第２図中の３０のようにそれぞれ、１１１もって選択さ
れた望ましい角度の錐形断面に加工されている。
いては、電子放出器アセンブリは、反対向きに設けられ
ている導電用クブ１２および１４゛の対と、反対向きに
設けられている支Ｐ７゛、：４タブ１６および１８の第
２の対を持つ第１電子放出リングｌＯを有している。第
２図で良く理解できるように、第２電子放出リング２０
も同等な種類であるが、第１リングの後ろに密着１゜て
置かれることが可能であるよう、わずかながら大きな直
径となっている。第１図に戻ると、第２リング２０は反
対向きに設けられている導電用タブ２２および２４の対
と、反対向きに設けられている支持用タブ２６および２
８の第２の対を持っている。両方のリングともフラン１
シートストツクから製造され、またリング部りのみは、
第２図中の３０のようにそれぞれ、１１１もって選択さ
れた望ましい角度の錐形断面に加工されている。
電子銃ゼデイ３２の中に電子放出器アセンブリを取付る
ために、第２図と第２ａ図を参照すると、第１′リング
のフラット支持タブ１６．１８と第２リングの２６．２
８は、それら２つのリングを互いに他から、また銃ゼデ
イ３２から電気的に絶縁するための２つの平担なしかも
階段状のセラミツクシレート３４．．３６の間にサンド
インチ状にそれぞれはさみ込まれている。銃ゼデイは、
ここでは示されていないアノード上に直径で約１．５朋
の程度のスポットに、放出された電子を焦点合わせする
だめの形状をなしている。
ために、第２図と第２ａ図を参照すると、第１′リング
のフラット支持タブ１６．１８と第２リングの２６．２
８は、それら２つのリングを互いに他から、また銃ゼデ
イ３２から電気的に絶縁するための２つの平担なしかも
階段状のセラミツクシレート３４．．３６の間にサンド
インチ状にそれぞれはさみ込まれている。銃ゼデイは、
ここでは示されていないアノード上に直径で約１．５朋
の程度のスポットに、放出された電子を焦点合わせする
だめの形状をなしている。
第３図において良く見られるように、２つのリングフィ
ラメントは互いに他に隣接して設けられ、また反対方向
に流れる加熱電流は電子軌線に対する磁界の影響を最少
とする。即ち、第２リング２ｏの導電用タブ２２が電源
３４′に接続されて電流２工を運んでいる。リングはそ
の片側ずつに電流を分割させて電流■を通過させる。分
割された電流は第１リング１０の導電用タブ１４に電気
的に接続されている第２導電用タゾ２４で合流して、２
工の電流を運ぶ。次に第１′リングはその片側ずつに電
流を分割させて電流■を通過させる。終りに、分割電流
は導電用タゾ１２で合流し２■の電流が電源３４′にＪ
渠ることによって回路が完成する。こうして、第１およ
び第２リングの隣接している部分では電流が反対方向に
流れ、結果として磁界が互いシτ反対に作用するように
生じ、それによって電イ軌線への磁界の影響を最小とす
る・ 第４図は、モジュラ−２重オメガ形状の放出器アセンブ
リを含む、本発明の別の実施例である。図示されている
実施例では、約０．２５ ｍｍの程度の厚さを持つタン
グステンの外側フープ状すゼン構造またはリング３６′
は、約０．２０ｍｍ、０程度の厚さを持つトリウムタン
グステンの内骨１フープ状リゼン構造またはリング３８
と電気的に直列に接続されている。第５図において良く
見られるように、２重ルーズの最内面４０は、最初に中
央面を形成するように加工される。表面の形状は電子軌
線によって決められる。第４図を参照すると、示されて
はいないが電源からの加熱電流は外側リング３６′から
延びている第１導電用タブ４２に入シ、第４図に見られ
るように反時計方向にループを回って通過し、内側リン
グ３８の第１導電用タブ４６と電気的に接触している第
２導電用タブ４４に到る。この加熱電流は第４図に見ら
れるように内側リング中を時計方向に流れ、内側リング
の第２導電用タブ４８によって組立から出る・結果とし
て、内側および外側リング３６’、３８の隣接部分では
電流は反対方向に流れ、結果として互いに反対に作用す
るように磁界が生じ、それにょシミ子軌線−＼の磁界の
影響・は最小となる。
ラメントは互いに他に隣接して設けられ、また反対方向
に流れる加熱電流は電子軌線に対する磁界の影響を最少
とする。即ち、第２リング２ｏの導電用タブ２２が電源
３４′に接続されて電流２工を運んでいる。リングはそ
の片側ずつに電流を分割させて電流■を通過させる。分
割された電流は第１リング１０の導電用タブ１４に電気
的に接続されている第２導電用タゾ２４で合流して、２
工の電流を運ぶ。次に第１′リングはその片側ずつに電
流を分割させて電流■を通過させる。終りに、分割電流
は導電用タゾ１２で合流し２■の電流が電源３４′にＪ
渠ることによって回路が完成する。こうして、第１およ
び第２リングの隣接している部分では電流が反対方向に
流れ、結果として磁界が互いシτ反対に作用するように
生じ、それによって電イ軌線への磁界の影響を最小とす
る・ 第４図は、モジュラ−２重オメガ形状の放出器アセンブ
リを含む、本発明の別の実施例である。図示されている
実施例では、約０．２５ ｍｍの程度の厚さを持つタン
グステンの外側フープ状すゼン構造またはリング３６′
は、約０．２０ｍｍ、０程度の厚さを持つトリウムタン
グステンの内骨１フープ状リゼン構造またはリング３８
と電気的に直列に接続されている。第５図において良く
見られるように、２重ルーズの最内面４０は、最初に中
央面を形成するように加工される。表面の形状は電子軌
線によって決められる。第４図を参照すると、示されて
はいないが電源からの加熱電流は外側リング３６′から
延びている第１導電用タブ４２に入シ、第４図に見られ
るように反時計方向にループを回って通過し、内側リン
グ３８の第１導電用タブ４６と電気的に接触している第
２導電用タブ４４に到る。この加熱電流は第４図に見ら
れるように内側リング中を時計方向に流れ、内側リング
の第２導電用タブ４８によって組立から出る・結果とし
て、内側および外側リング３６’、３８の隣接部分では
電流は反対方向に流れ、結果として互いに反対に作用す
るように磁界が生じ、それにょシミ子軌線−＼の磁界の
影響・は最小となる。
リンク１０ 、２ ｏオヨヒ３６’、 ３８は例ｔｌｄ
’タングステン、トリウムタングステンまたはタンタル
のような、あらゆる適当な材料から製造することができ
る。
’タングステン、トリウムタングステンまたはタンタル
のような、あらゆる適当な材料から製造することができ
る。
本発明が正に、改善された電子放出器アセンブリを提供
し、また前に述べた目的に効果的に合致することが理解
できるであろう。
し、また前に述べた目的に効果的に合致することが理解
できるであろう。
本発明の特定の実施例が説明のために開示されてはいて
も、これに関する種々の変更が、本発明が関係する分野
の技術者には明らかとなろう・
も、これに関する種々の変更が、本発明が関係する分野
の技術者には明らかとなろう・
第１図は電子放出器アセンブリに製造される前の電子放
出リングの平面図、第２図は本発明による電子放出器ア
センブリの垂直断面図、第２ａ図は第２図の２ａ−２ａ
で示される線に沿った断面図、第３図は加熱電流の流れ
るパターンを示した電子放出器アセンブリの回路図、第
４図は本発明の別の実施例の見取図、第５図は第４図の
５−５で示される線に沼つだ断面図である。 １０ ・第１リング、１２．１４，１６．１８・・・
タブ、２Ｑ・・・第２リング、２２，２４，２６．２８
・・・タブ、３０・・・錐形断面、３２・−ゼデイ、３
４．３６・・セラミックプレート、３４′・・・電源供
給器、３６’、３８・・・リング、４０・・内面、生２
．４４．４６．４８・・・タブ
出リングの平面図、第２図は本発明による電子放出器ア
センブリの垂直断面図、第２ａ図は第２図の２ａ−２ａ
で示される線に沿った断面図、第３図は加熱電流の流れ
るパターンを示した電子放出器アセンブリの回路図、第
４図は本発明の別の実施例の見取図、第５図は第４図の
５−５で示される線に沼つだ断面図である。 １０ ・第１リング、１２．１４，１６．１８・・・
タブ、２Ｑ・・・第２リング、２２，２４，２６．２８
・・・タブ、３０・・・錐形断面、３２・−ゼデイ、３
４．３６・・セラミックプレート、３４′・・・電源供
給器、３６’、３８・・・リング、４０・・内面、生２
．４４．４６．４８・・・タブ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 電子銃のための電子放出器、アセンブリにおいて
、第１電子放出リングと、第２電子放出リングと、電源
供給器と、電源供給器からの加熱電流を２つのリングを
通して流すように電源供給器を２つの電子放出リングに
電気的に接続するだめの装置と、さらに前記第２リング
によって形成された磁界が前記第１リングによって形成
された磁界に対抗ないしこれを）ち消すように前記リン
グを取付けるための装置とを有することを特徴とする電
子放出器アセンブリ。 ２、電源供給器をリングに電気的に接続するための前記
装■が、電源供給器を第１リングに電気的に接続するた
めの装置と、直列に第１リングを第２リングに電気的に
接続するための装置と、さらに第２リングを電源供給器
に電気的に戻るように接続するための装置とを有してい
るような、特許請求の範囲第１項記載の電子放出器アセ
ンブリ。 ３、加熱電流が１方のリング中を１つの方向に、また他
方のリング中を反対の方向に流れるように前記リングが
互いに隣接して取付けられているような、特許請求の範
囲第１項記載の電子放出器アセンブリ。 傷 前記リングの両方がフラットシートストックから製
造され、まだ各リングが反対方向に設けられた２つの導
電用タブ部分を持っておシ、リング部分のみがそれぞれ
錐形断面と力るよう加工されているような、特許請求の
範囲第３項記載の電子放出器アセンブリ。 ５、 前記リングが２つの平担セラミツクシレートの間
にザノドイツチ状になっているような、特許請求の範囲
第４項記載の電子放出器アゝセンブリ。 ６、前記リングがそれぞれオメガ形状をなしているよう
な、特許請求の範囲第３項記載の電子放出器アセンブリ
。 ７ 各リングが２つの接近した導電用ダブ部分を持ち、
１方のリングのタブ部分が他方のリングのタブ部分に隣
接して設けられるような、特許請求の範囲第６項記載の
電子放出器アセンブリ。 ８、 リングがフープ状すゼン構造であって、１方のリ
ングが他方よりも小さな直径を持つような、特許請求の
範囲第３項記載の電子放出器アセンブリ・ ９、 内側リングの内面が凹面であるような、特許請求
の範囲第８項記載の電子放出器アセンブリ。 ＩＱ、 前記リングが、タングステン、トリウムタン
グステン、およびタンタルを含むクラスから選択された
材料で製造されるような、特許請求の範囲第１項から第
９項までのいずれかＫ Ｂｅ載の電子放出器アセンブリ
０
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/427,201 US4473777A (en) | 1982-09-29 | 1982-09-29 | Electron emitter assembly |
| US427201 | 2006-06-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5981848A true JPS5981848A (ja) | 1984-05-11 |
| JPH0421981B2 JPH0421981B2 (ja) | 1992-04-14 |
Family
ID=23693892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58171394A Granted JPS5981848A (ja) | 1982-09-29 | 1983-09-19 | 電子放出器アセンブリ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4473777A (ja) |
| EP (1) | EP0104496B1 (ja) |
| JP (1) | JPS5981848A (ja) |
| CA (1) | CA1205844A (ja) |
| DE (1) | DE3379361D1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63137449U (ja) * | 1987-03-03 | 1988-09-09 | ||
| JPH02128354U (ja) * | 1989-03-30 | 1990-10-23 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4634921A (en) * | 1984-07-03 | 1987-01-06 | Sony Corporation | Thermionic cathode heater |
| US4675573A (en) * | 1985-08-23 | 1987-06-23 | Varian Associates, Inc. | Method and apparatus for quickly heating a vacuum tube cathode |
| GB2214705A (en) * | 1988-01-26 | 1989-09-06 | English Electric Valve Co Ltd | Directly heated cathode |
| DE4304990A1 (de) * | 1993-02-18 | 1994-08-25 | Abb Management Ag | Kathode für Elektronenröhren |
| DE19914739C1 (de) * | 1999-03-31 | 2000-08-03 | Siemens Ag | Kathode mit direkt geheitzem Flächenemitter |
| DE10211947A1 (de) * | 2002-03-18 | 2003-10-16 | Siemens Ag | Thermionischer Emitter mit Mitteln zur Magnetfeldkompensation |
| DE102010038904B4 (de) * | 2010-08-04 | 2012-09-20 | Siemens Aktiengesellschaft | Kathode |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL33734C (ja) * | 1929-04-26 | |||
| FR692167A (fr) * | 1930-01-28 | 1930-10-31 | Cathode à protection thermique | |
| US2522419A (en) * | 1946-10-19 | 1950-09-12 | Rca Corp | Filament structure |
| US2611112A (en) * | 1949-11-14 | 1952-09-16 | Herman K Kuthe | Three-element thermionic tube structure |
| GB688956A (en) * | 1951-05-30 | 1953-03-18 | Materiel Telephonique | Thermionic cathodes |
| FR1175593A (fr) * | 1957-05-21 | 1959-03-27 | Radio Electr Soc Fr | Perfectionnements aux filaments des tubes électroniques |
| US4493097A (en) * | 1982-08-30 | 1985-01-08 | The Perkin-Elmer Corporation | Electron gun assembly |
-
1982
- 1982-09-29 US US06/427,201 patent/US4473777A/en not_active Expired - Fee Related
-
1983
- 1983-06-17 CA CA000430680A patent/CA1205844A/en not_active Expired
- 1983-09-01 EP EP83108635A patent/EP0104496B1/en not_active Expired
- 1983-09-01 DE DE8383108635T patent/DE3379361D1/de not_active Expired
- 1983-09-19 JP JP58171394A patent/JPS5981848A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63137449U (ja) * | 1987-03-03 | 1988-09-09 | ||
| JPH02128354U (ja) * | 1989-03-30 | 1990-10-23 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| EP0104496A2 (en) | 1984-04-04 |
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