JPS59840A - ストロボ走査型電子顕微鏡装置 - Google Patents
ストロボ走査型電子顕微鏡装置Info
- Publication number
- JPS59840A JPS59840A JP57109525A JP10952582A JPS59840A JP S59840 A JPS59840 A JP S59840A JP 57109525 A JP57109525 A JP 57109525A JP 10952582 A JP10952582 A JP 10952582A JP S59840 A JPS59840 A JP S59840A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- converter
- scanning
- sample
- tester
- electron microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、例えば大規模集積回路（ＬＳ Ｉ）の動作
解析あるいは不良解析等に用いられるストロ？走査型電
子顕微鏡装置に関する。
解析あるいは不良解析等に用いられるストロ？走査型電
子顕微鏡装置に関する。
被測定試料（例えばＬＳＩ ）に電子ビームを照射する
と、その結果発生する２次電子はＬＳＩ表面の電位ポテ
ンシャルに対応して放出量が変化する。この現象はポル
ティシコントラストと呼ばれており、２次電子の信号量
を測定することによシミ子ビーム照射点の電位を知るこ
とができる。上記ポルティシコントラストとストロデス
コピーの原理とを組み合わせたのがストロ？走査型電子
顕微鏡装置である。すなわち、ＬＳＩの内部回路の動作
は一般に同期信号φに同期した繰り返し信号であるので
、第１図のタイミングチャートに示すように、ノ９ルス
ビームの発生周期と回路動作の位相関係をφｌに固定す
れば、位相φｌにおける電位に対応する２次電子信号が
得られる。従って、ＬＳＩ表面を２次元的に走査すれば
、位相φ１におけるＬＳＩの電位分布を画像として観察
することができる。 ・上述したストロ？走査
型電子顕微鏡装置の構成を第２図に示す。図において、
Ｕはビーム・やルス発生器１２を備えたストロが走査型
電子顕微鈍、１３は被測定試料（ＬＳＩ）、１４は被測
定試料１３に試験信号を供給して駆動するためのテスタ
、１５はテスタ１４から供給される同期信号に対応した
電子ビームを発生させるために、ビームパルス発生器１
２ ヲ制御ｔルヒームｚ＃ルス発生回路、１６はＬＳＩ
から発生した２次電子を検出するだめの光電子増倍管を
用いた２次電子検出器、１７は２次電子検出器１６の出
力を表示するだめの表示装置（ＣＲＴ）、１ ＢはＸ軸
周走査コイル１９に走査制御信号を供給して電子ビーム
１０を偏向し、ＬＳＩ １３上をＸ軸方向に沿って走査
するだめの第１のＤ／Ａコンバータ、２０はＹ軸周走査
コイル２１に走査制御信号を供給して電子ビーム１０を
偏向し、Ｌｓ１１３上のＹ軸方向の位置を設定する第２
のＤ／Ａコンバータ、２２はＤ／Ａコンノ々−夕１８の
クロックを分周してＤ／Ａコン・々−タ２ｏを駆動する
分周回路である。
と、その結果発生する２次電子はＬＳＩ表面の電位ポテ
ンシャルに対応して放出量が変化する。この現象はポル
ティシコントラストと呼ばれており、２次電子の信号量
を測定することによシミ子ビーム照射点の電位を知るこ
とができる。上記ポルティシコントラストとストロデス
コピーの原理とを組み合わせたのがストロ？走査型電子
顕微鏡装置である。すなわち、ＬＳＩの内部回路の動作
は一般に同期信号φに同期した繰り返し信号であるので
、第１図のタイミングチャートに示すように、ノ９ルス
ビームの発生周期と回路動作の位相関係をφｌに固定す
れば、位相φｌにおける電位に対応する２次電子信号が
得られる。従って、ＬＳＩ表面を２次元的に走査すれば
、位相φ１におけるＬＳＩの電位分布を画像として観察
することができる。 ・上述したストロ？走査
型電子顕微鏡装置の構成を第２図に示す。図において、
Ｕはビーム・やルス発生器１２を備えたストロが走査型
電子顕微鈍、１３は被測定試料（ＬＳＩ）、１４は被測
定試料１３に試験信号を供給して駆動するためのテスタ
、１５はテスタ１４から供給される同期信号に対応した
電子ビームを発生させるために、ビームパルス発生器１
２ ヲ制御ｔルヒームｚ＃ルス発生回路、１６はＬＳＩ
から発生した２次電子を検出するだめの光電子増倍管を
用いた２次電子検出器、１７は２次電子検出器１６の出
力を表示するだめの表示装置（ＣＲＴ）、１ ＢはＸ軸
周走査コイル１９に走査制御信号を供給して電子ビーム
１０を偏向し、ＬＳＩ １３上をＸ軸方向に沿って走査
するだめの第１のＤ／Ａコンバータ、２０はＹ軸周走査
コイル２１に走査制御信号を供給して電子ビーム１０を
偏向し、Ｌｓ１１３上のＹ軸方向の位置を設定する第２
のＤ／Ａコンバータ、２２はＤ／Ａコンノ々−夕１８の
クロックを分周してＤ／Ａコン・々−タ２ｏを駆動する
分周回路である。
上記のような構成において、第３図のタイミングチャー
トを参照して動作を説明する。テスタ１４からＬＳＩ
Ｊ Ｊに試験信号が供給されると、ＬＳＩ １３は動作
を開始する。この時、ＬＳＩ １３には試験信号に対応
した同期信号５ＹＮＣがテスタ１４から供給される。さ
らに、テスタ１４からビームパルス発生回路１５に同期
信号５ＹＮＣが供給され、ビーム・マルス発生回路１５
の出力によってビームパルス発生器１２が制御されて、
同期信号Ｓ ＹＮＣに対応した周期のパルス状電子ビー
ム１０がＬＳＩ Ｉ Ｊに照射される。との電子ビーム
１０の照射位置は、Ｘ軸周走査コイル１９とＹ軸周走査
コイル２ノとによって決定される。
トを参照して動作を説明する。テスタ１４からＬＳＩ
Ｊ Ｊに試験信号が供給されると、ＬＳＩ １３は動作
を開始する。この時、ＬＳＩ １３には試験信号に対応
した同期信号５ＹＮＣがテスタ１４から供給される。さ
らに、テスタ１４からビームパルス発生回路１５に同期
信号５ＹＮＣが供給され、ビーム・マルス発生回路１５
の出力によってビームパルス発生器１２が制御されて、
同期信号Ｓ ＹＮＣに対応した周期のパルス状電子ビー
ム１０がＬＳＩ Ｉ Ｊに照射される。との電子ビーム
１０の照射位置は、Ｘ軸周走査コイル１９とＹ軸周走査
コイル２ノとによって決定される。
上記Ｘ軸側走査コイル１９は、Ｄ／Ａコン・々−タ１８
から供給される１ステツグが１画素に対応した階段状の
走査制御信号ＳＸによって制御され、このＤ／Ａコンバ
ータ１８の出力は分周回路２２によって分周されてＤ／
Ａコン・ぐ−夕２０を制御スル。そして、Ｄ／Ａコン・
々−タ２０の出力（走査制御信号ＳＹ）によって、Ｙ軸
周走査コイル２ノを制御してＹ方向の走査位置を決定す
る。
から供給される１ステツグが１画素に対応した階段状の
走査制御信号ＳＸによって制御され、このＤ／Ａコンバ
ータ１８の出力は分周回路２２によって分周されてＤ／
Ａコン・ぐ−夕２０を制御スル。そして、Ｄ／Ａコン・
々−タ２０の出力（走査制御信号ＳＹ）によって、Ｙ軸
周走査コイル２ノを制御してＹ方向の走査位置を決定す
る。
しかし、上記のような構成では、走査制御信号ＳＸ ＋
Ｓ□とパルス状電子ビーム１０との間に同期関係がな
いだめ、電子ビーム１０の照射位置によって、供給され
る／ＩＰルス数に差異が生ずる。例えば第３図のタイミ
ングチャートにおける走査制御信号ＳＸＩの間には３個
のノ’？ルス状電子ビームが照射されるのに対し、走査
制御信号ＳＸ２の間には４個の／！ルス状電子ビームが
照射されることになる。このように電子ビームの照射針
が異なると、１画素中に得られる２次電子信号量に違い
が出るため、このストロゲ像をもとにした電位分布の測
定等の定量測定においては精度の低、下をきたすことに
なる。
Ｓ□とパルス状電子ビーム１０との間に同期関係がな
いだめ、電子ビーム１０の照射位置によって、供給され
る／ＩＰルス数に差異が生ずる。例えば第３図のタイミ
ングチャートにおける走査制御信号ＳＸＩの間には３個
のノ’？ルス状電子ビームが照射されるのに対し、走査
制御信号ＳＸ２の間には４個の／！ルス状電子ビームが
照射されることになる。このように電子ビームの照射針
が異なると、１画素中に得られる２次電子信号量に違い
が出るため、このストロゲ像をもとにした電位分布の測
定等の定量測定においては精度の低、下をきたすことに
なる。
この発明は上記のような事情を鑑みてなされたもので、
その目的とするととろは、１画素中に照射される電子ビ
ームパルスの数を同じにすることにより、得られる２次
電子信号量を等しくシ、電圧測定精度を向上できるスト
ロブ走査型電子顕微鏡装置を提供することである０〔発
明の概要〕 すなわち、この発明においては、上記第２図の構成に加
えて、プログラマゾルカウンタを設け、上記テスタ１４
から出力される同期信号５ＹＮＣを分周して、この分周
出力をＤ／Ａコンバータ１８に供給して制御するように
構成したものである。
その目的とするととろは、１画素中に照射される電子ビ
ームパルスの数を同じにすることにより、得られる２次
電子信号量を等しくシ、電圧測定精度を向上できるスト
ロブ走査型電子顕微鏡装置を提供することである０〔発
明の概要〕 すなわち、この発明においては、上記第２図の構成に加
えて、プログラマゾルカウンタを設け、上記テスタ１４
から出力される同期信号５ＹＮＣを分周して、この分周
出力をＤ／Ａコンバータ１８に供給して制御するように
構成したものである。
以下、この発明の一実施例について図面を参照して説明
する。第４図はその構成を示すもので、上記第２図の制
酸に加えて、プログラマブ フルカウンタ２３を設け
、テスタ１４の出力する 供同期信号Ｓ ＹＮＣを供
給して分周し、この分周出力 走をＤ／Ａコンバータ
１８に供給する。そして、こ ″のＤ／Ａコンバータ
１８の出力する走査制御信号 電ＳｘをＸ軸周走査コ
イル１９に供給するとともに、 定り／Ａコンバータ
１８の出力を分周回路２２で分 〔周してＤ／Ａコン
バータ２０を制御し、Ｄ／Ａコンバータ２０の出力する
走査制御信号ｓｙをＹ軸用 素走査コイル２１に供給
する。 にこのような構成
によれば、第５図のタイミン くグチヤードに示す
ように、Ｄ／Ａコンバータ１８ 査のコントロール信
号は、テスタ１４の出力する ４・図同期信号５ＹＮ
Ｃをカウントダウンした信号となり、走査制御信号ＳＸ
と同期信号５ＹＮＣとの同期を取る 本ことができ
る。例えば、グＰグラマプルカウン 第１の りの設定を４にすれば、同期信号５ＹＮＣを１に分周す
ることになり、走査制御信号（階段波）の 動１ステ
ップ毎に４発のピームノヤルスを発生でき ４る。
する。第４図はその構成を示すもので、上記第２図の制
酸に加えて、プログラマブ フルカウンタ２３を設け
、テスタ１４の出力する 供同期信号Ｓ ＹＮＣを供
給して分周し、この分周出力 走をＤ／Ａコンバータ
１８に供給する。そして、こ ″のＤ／Ａコンバータ
１８の出力する走査制御信号 電ＳｘをＸ軸周走査コ
イル１９に供給するとともに、 定り／Ａコンバータ
１８の出力を分周回路２２で分 〔周してＤ／Ａコン
バータ２０を制御し、Ｄ／Ａコンバータ２０の出力する
走査制御信号ｓｙをＹ軸用 素走査コイル２１に供給
する。 にこのような構成
によれば、第５図のタイミン くグチヤードに示す
ように、Ｄ／Ａコンバータ１８ 査のコントロール信
号は、テスタ１４の出力する ４・図同期信号５ＹＮ
Ｃをカウントダウンした信号となり、走査制御信号ＳＸ
と同期信号５ＹＮＣとの同期を取る 本ことができ
る。例えば、グＰグラマプルカウン 第１の りの設定を４にすれば、同期信号５ＹＮＣを１に分周す
ることになり、走査制御信号（階段波）の 動１ステ
ップ毎に４発のピームノヤルスを発生でき ４る。
このビームパルスの発生個数は、グログラ 型プルカ
ウンタ２３に／４’ルス数設定信号ＰＣを給することに
よって行なう。上述したように、査制御信号の１ステツ
プ毎に発生するビームパス数を同じにできるので、１画
素あたりの子ビームの照射量を常に一定に設定で葦、測
精度を向上できる。
ウンタ２３に／４’ルス数設定信号ＰＣを給することに
よって行なう。上述したように、査制御信号の１ステツ
プ毎に発生するビームパス数を同じにできるので、１画
素あたりの子ビームの照射量を常に一定に設定で葦、測
精度を向上できる。
発明の効果〕
以上説明したようにこの発明によれば、１画中に照射さ
れる電子ビームのパルス数を同じできるので、得られる
２次電子信号量を等しでき、電圧測定精度を向上できる
ストロブ矩型電子顕微鏡装置が得られる。
れる電子ビームのパルス数を同じできるので、得られる
２次電子信号量を等しでき、電圧測定精度を向上できる
ストロブ矩型電子顕微鏡装置が得られる。
面の簡単な説明
第１図はストロが走査型電子顕微鏡装置の基原理を説明
するためのタイミ・ングチャート、２図は従来のストロ
ボ走査型電子顕微鏡装置構成を示す図、第３図は上記第
２図の装置の作を説明するだめのタイミングチャート、
第図はこの発明の一実施例に係るストロブ走査電子顕微
鏡装置の構成を示す図、第５図は上記第４図の装置の動
作を説明するためのタイミングチャートである。
するためのタイミ・ングチャート、２図は従来のストロ
ボ走査型電子顕微鏡装置構成を示す図、第３図は上記第
２図の装置の作を説明するだめのタイミングチャート、
第図はこの発明の一実施例に係るストロブ走査電子顕微
鏡装置の構成を示す図、第５図は上記第４図の装置の動
作を説明するためのタイミングチャートである。
１１ ・・・走査型電子顕微鏡、１２・・・ビーム／’
Ｐルス発生器、１３・・・被測定試料（ＬＳＩ）、Ｊ４
・・・テスタ、１５・・・ビームパルス発生回路、１６
・・・２次電子検出器、１７・・・表示装置（ＣＲＴ
）、１８・・・第１のＤ／Ａコンノ々−タ、１９・・・
Ｘ軸周走査コイル、２０・・・第２のＤ／Ａコンバータ
、２１・・・Ｙ軸用走査コイル、２２・・・分周回路、
２３・・・グログラマゾルカウンタ、ｓｘ 、 ｓｙ・
・・走査制御信号、５ＹＮＣ・・・同期信号。
Ｐルス発生器、１３・・・被測定試料（ＬＳＩ）、Ｊ４
・・・テスタ、１５・・・ビームパルス発生回路、１６
・・・２次電子検出器、１７・・・表示装置（ＣＲＴ
）、１８・・・第１のＤ／Ａコンノ々−タ、１９・・・
Ｘ軸周走査コイル、２０・・・第２のＤ／Ａコンバータ
、２１・・・Ｙ軸用走査コイル、２２・・・分周回路、
２３・・・グログラマゾルカウンタ、ｓｘ 、 ｓｙ・
・・走査制御信号、５ＹＮＣ・・・同期信号。
出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦２０１−
Claims (1)
- 被測定試料上にｉＰルス状の電子ビームを照射するビー
ムパルス発生器を備えた走査型電子顕微鏡と、上記被測
定試料上をノクルス状電子ビームで走査するだめのＸ軸
周走査コイルおよびＹ軸用走査コイルと、このＸ軸周走
査コイルおよびＹ軸用走査コイルにそれぞれ走査制御信
号をＤ／Ａコンバータに供給する分周回路と、被測定試
料に試験信号を供給するテスタと、このテスタから供給
される被測定試料の同期信号に応じて走査型電子顕微鏡
のビームパルス発生器を制御するビームパルス発生回路
と、上記テスタの同期信号を分周しその出力を第１のＤ
／Ａコンバータにコントロール信号として供給するグロ
グラマズルカウンタと、電子ビームの照射によりて被測
定試料から発生した２次電子を検出す−る検出器と、こ
の検出器の出力を表示する表示装置とを具備することを
特徴とするストロ？走査型電子顕微鏡装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57109525A JPS59840A (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | ストロボ走査型電子顕微鏡装置 |
| DE8383101823T DE3375438D1 (en) | 1982-03-01 | 1983-02-24 | Stroboscopic scanning electron microscope |
| EP83101823A EP0087767B1 (en) | 1982-03-01 | 1983-02-24 | Stroboscopic scanning electron microscope |
| US06/470,632 US4538065A (en) | 1982-03-01 | 1983-02-28 | Stroboscopic scanning electron microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57109525A JPS59840A (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | ストロボ走査型電子顕微鏡装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59840A true JPS59840A (ja) | 1984-01-06 |
Family
ID=14512461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57109525A Pending JPS59840A (ja) | 1982-03-01 | 1982-06-25 | ストロボ走査型電子顕微鏡装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59840A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02251996A (ja) * | 1989-03-27 | 1990-10-09 | Kawai Musical Instr Mfg Co Ltd | 楽音情報演算方式 |
-
1982
- 1982-06-25 JP JP57109525A patent/JPS59840A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02251996A (ja) * | 1989-03-27 | 1990-10-09 | Kawai Musical Instr Mfg Co Ltd | 楽音情報演算方式 |
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