JPS5985117A - 厚みすべり圧電振動子 - Google Patents
厚みすべり圧電振動子Info
- Publication number
- JPS5985117A JPS5985117A JP19441182A JP19441182A JPS5985117A JP S5985117 A JPS5985117 A JP S5985117A JP 19441182 A JP19441182 A JP 19441182A JP 19441182 A JP19441182 A JP 19441182A JP S5985117 A JPS5985117 A JP S5985117A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thickness
- adhesive layer
- crystal
- substrates
- crystal piece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1035—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by two sealing substrates sandwiching the piezoelectric layer of the BAW device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は厚みすぺＪ！動を行う圧電振動子に関するもの
である。
である。
従来、厚みすベシ圧電振動子の一しリとしてＡＴカット
の水晶振動子は、気密端子の２本の端子ビンに保持バネ
を溶接などに裏゛り固着し、２本の保持バネの間に水晶
片を支持し、保持パイ１、水晶片と接触しない状態でキ
ャップを被せ、気密端子のベースとキャンプとを封止し
ていた。このため部品点数が多くなり、構成が複雑であ
った。′−１８だ製造９組立が煩雑であシ、外形形状が
大きくなるという欠点を持っていた。さらに水晶片は２
点にて支持さｉ％るため衝撃に弱いという不都合もあっ
た。
の水晶振動子は、気密端子の２本の端子ビンに保持バネ
を溶接などに裏゛り固着し、２本の保持バネの間に水晶
片を支持し、保持パイ１、水晶片と接触しない状態でキ
ャップを被せ、気密端子のベースとキャンプとを封止し
ていた。このため部品点数が多くなり、構成が複雑であ
った。′−１８だ製造９組立が煩雑であシ、外形形状が
大きくなるという欠点を持っていた。さらに水晶片は２
点にて支持さｉ％るため衝撃に弱いという不都合もあっ
た。
本発明は上記欠点を除去するものであり、構成が簡単で
部品点数が少なく、製漬、ａ立が容易であシ、衝撃に強
く、外形形状の小さい厚みすべり圧電振動子を提供する
ものである。
部品点数が少なく、製漬、ａ立が容易であシ、衝撃に強
く、外形形状の小さい厚みすべり圧電振動子を提供する
ものである。
以下本発明の実施例を図面を参照し一〇詳細に説明する
。
。
第１〜３図において、１は厚み了ベク水晶振動子であり
、厚みすべり振動を行う水晶片２と、この水晶片の両面
に、この水晶片の外周端部に対応して設けられた周回状
の接着層３．４１Ｃ工リ水晶片の両主面２ａ、２ｂの中
央部が非接触の状態で固着された二つの基板５．６と７
１）ら構成されている。水晶片２は平凸状をして、おっ
、厚みすべり振動の撮動エイ、ルギを中央部に集中させ
、外周端部の振動変位は極めて小さくなるように設定し
である。水晶片２の両主面２ａ、２ｂＫは駆動電極７゜
８が真空蒸着などにより形成しである。７ａ、８ａは駆
動電極７，８の引出し電極であり、水晶片２の外周端ま
でそれぞれ反対方向に延出形成しである。基板５，６は
水晶片２と熱膨張係数の近いセラミックなどから形成さ
れており、本実施例では導体パターン９．１０が印刷な
どにより形成してあり、同一形状をしている。導体パタ
ーン９゜１０は水晶片２の外周に対応するリング状部９
ａ。
、厚みすべり振動を行う水晶片２と、この水晶片の両面
に、この水晶片の外周端部に対応して設けられた周回状
の接着層３．４１Ｃ工リ水晶片の両主面２ａ、２ｂの中
央部が非接触の状態で固着された二つの基板５．６と７
１）ら構成されている。水晶片２は平凸状をして、おっ
、厚みすべり振動の撮動エイ、ルギを中央部に集中させ
、外周端部の振動変位は極めて小さくなるように設定し
である。水晶片２の両主面２ａ、２ｂＫは駆動電極７゜
８が真空蒸着などにより形成しである。７ａ、８ａは駆
動電極７，８の引出し電極であり、水晶片２の外周端ま
でそれぞれ反対方向に延出形成しである。基板５，６は
水晶片２と熱膨張係数の近いセラミックなどから形成さ
れており、本実施例では導体パターン９．１０が印刷な
どにより形成してあり、同一形状をしている。導体パタ
ーン９゜１０は水晶片２の外周に対応するリング状部９
ａ。
１０ａと、これに連続し基板端部まで引出された引出し
部９ｂ、ｉｏｂとから構成されている。接着層６．４は
導体パターン９．１０のリング状部９ａ、１０ａに対応
して導電接着剤を印刷［より形成したものである。この
導電接着剤に１ｄ２００μ？ｎ程度のスペーサ粒子が混
入されてｋす、このスペーサ粒子にヨク水晶片２の主面
２ａ、２ｂと基板５，６との間隙が設定さｈ、水晶片２
と基板５．６との非接触が医たれる。駆動電極８は引出
し電極８ａより接着層４を介して導体パターン９のリン
グ状部９ａ、引出し部９ｂに接続されている。−ｉた駆
動電極７は引出し電極７ａニジ接着層４を介して導体パ
ターン１０のリング状部１０ａ１引出し部１０ｂに接続
されている。水晶片２と基板５，６との間の接着層６，
４に囲まれた空間は気密状態となっており、真空または
不活性ガヌに置換されている。
部９ｂ、ｉｏｂとから構成されている。接着層６．４は
導体パターン９．１０のリング状部９ａ、１０ａに対応
して導電接着剤を印刷［より形成したものである。この
導電接着剤に１ｄ２００μ？ｎ程度のスペーサ粒子が混
入されてｋす、このスペーサ粒子にヨク水晶片２の主面
２ａ、２ｂと基板５，６との間隙が設定さｈ、水晶片２
と基板５．６との非接触が医たれる。駆動電極８は引出
し電極８ａより接着層４を介して導体パターン９のリン
グ状部９ａ、引出し部９ｂに接続されている。−ｉた駆
動電極７は引出し電極７ａニジ接着層４を介して導体パ
ターン１０のリング状部１０ａ１引出し部１０ｂに接続
されている。水晶片２と基板５，６との間の接着層６，
４に囲まれた空間は気密状態となっており、真空または
不活性ガヌに置換されている。
なお接着層５．４にはスペーサ粒子入りの導電接着剤を
使用した例を示シ２７也が、水晶片２と基板５．６との
間に接着剤のみで所定の間隙が得られる場合はスペーサ
粒子は不要である。寸た接着層６と接着層４との接着剤
のはみ出しによる接続を防止するため、異方導電ｔＩＡ
：、接着剤全使用することもできる。この異方導電性接
着剤は絶縁性接着剤に銀粉などを２０〜４０重ｔ％混入
したものであり、厚み方向には導通となり幅方向（（は
絶縁どなる接着剤である。すなわち異方導電性接着剤を
用いることによし例えば接着層６と接着層４とが接触し
ても導通せず、引出し電極７ａ、８ａと導体パターン２
．１０のリング状部？ａ、１０ａとは導通がとれるので
ある。
使用した例を示シ２７也が、水晶片２と基板５．６との
間に接着剤のみで所定の間隙が得られる場合はスペーサ
粒子は不要である。寸た接着層６と接着層４との接着剤
のはみ出しによる接続を防止するため、異方導電ｔＩＡ
：、接着剤全使用することもできる。この異方導電性接
着剤は絶縁性接着剤に銀粉などを２０〜４０重ｔ％混入
したものであり、厚み方向には導通となり幅方向（（は
絶縁どなる接着剤である。すなわち異方導電性接着剤を
用いることによし例えば接着層６と接着層４とが接触し
ても導通せず、引出し電極７ａ、８ａと導体パターン２
．１０のリング状部？ａ、１０ａとは導通がとれるので
ある。
水晶振動子１の組立は、まず基板５．６上に形成された
導体パターン９．１０のリング状部９ａ。
導体パターン９．１０のリング状部９ａ。
１０ａ上に導電接着剤を印刷し、周回状の接着層６．４
を形成する。そして例えば窒素雰囲気中で接着層４の上
に水晶片２の外周を対応させて載置する。さらに水晶片
２の上に基板５を載置する。
を形成する。そして例えば窒素雰囲気中で接着層４の上
に水晶片２の外周を対応させて載置する。さらに水晶片
２の上に基板５を載置する。
このときも水晶片２の外周と接着層６とを対応させて載
置する。水晶片２と基板５．６とは接着層５．４ＶＣよ
り所定の間隙を投けられ、水晶片２の両主面２ａ。２ｂ
の中央部は基板５，６とは非接触の状態となる。このあ
と加熱すれば接着）￥：： ５ 。
置する。水晶片２と基板５．６とは接着層５．４ＶＣよ
り所定の間隙を投けられ、水晶片２の両主面２ａ。２ｂ
の中央部は基板５，６とは非接触の状態となる。このあ
と加熱すれば接着）￥：： ５ 。
４の硬化を早めることができる。導体パターン９の引出
し部９ｂは接着層４を介して駆動電極８の引出し電極８
ａと接続され、引出し部ｔａｂは接着層５を介して駆動
電極７の引出し電極７＆と接続される。
し部９ｂは接着層４を介して駆動電極８の引出し電極８
ａと接続され、引出し部ｔａｂは接着層５を介して駆動
電極７の引出し電極７＆と接続される。
このように水晶振動子１〜１部品点数が少なく構成が簡
単であり、組立が容易であり、小型化ができ、衝撃にも
強いという効果を有する。
単であり、組立が容易であり、小型化ができ、衝撃にも
強いという効果を有する。
なお水晶片２の外周部の基板′５と基板６との間にワッ
クスを充填し気密性能を向上させるとともできるＣ、ま
た基板の少なくとも一方に配線パターンを形成し、電気
部品などを取付けてもよい。
クスを充填し気密性能を向上させるとともできるＣ、ま
た基板の少なくとも一方に配線パターンを形成し、電気
部品などを取付けてもよい。
つぎに本発明の他の実施例を第４〜８図を参照して説明
する。１１１ｒま厚みすべり水晶珈動子でちシ、厚みす
ベシ」駆動を行う水晶片１２と、この水晶片の両面に、
この水晶片の外周端部に対応する周回状の接着層ｉ６．
ｉ４により水晶片の両主面＋２ａ、１２ｂの中央部が非
接触の状態で同着された二つの基板ｉ５，１６とから構
成されている。
する。１１１ｒま厚みすべり水晶珈動子でちシ、厚みす
ベシ」駆動を行う水晶片１２と、この水晶片の両面に、
この水晶片の外周端部に対応する周回状の接着層ｉ６．
ｉ４により水晶片の両主面＋２ａ、１２ｂの中央部が非
接触の状態で同着された二つの基板ｉ５，１６とから構
成されている。
水晶片１２は前記実施例と同様に平凸状をして２す、両
主面には駆動電＠Ｌ、１７．１８．引出し電極ｊ ７ａ
、１８ａが設けである。基板＋５．１６もｉ’＋’ｉｌ
記実施例と同様にセラミックなど通気性のない基板が用
いらノｔ、基板１６には引出しパターン１９ａ；１．−
工びｇｆｊ子パターン１９ｂが、また基板１５Ｖこは引
出しパターン２０が４−ペーストを印刷するなど６′こ
より形成しでねる。ナして接着層＋ ５ 、 ｊ ４
＋＝、１（４ＬぞオＬ引出しパターン２０．１９ａと
交差しでいる。接着層１３．１４は前記実施例同様、導
電接着剤、ガラスピーズなとのスペーザ入りの２．−表
１式接着斉り、異万導革１４三ｊ妾着斉リンよどシて工
り形成される。−ｆ：して駆動電極１７の引出し電極１
７ａは基板１５の引出しパターン２０と接続さ九、駆動
側１８の引出し電極ｊ ８ ａは基板１６の引出しバク
−７１９ａと接続さｈる。２１はハンダ、導電接着剤な
どの導電材でを）す、基板１５の引出しパターン２０と
基板１６の端子パターン１９１）とを接ａするものであ
る。
主面には駆動電＠Ｌ、１７．１８．引出し電極ｊ ７ａ
、１８ａが設けである。基板＋５．１６もｉ’＋’ｉｌ
記実施例と同様にセラミックなど通気性のない基板が用
いらノｔ、基板１６には引出しパターン１９ａ；１．−
工びｇｆｊ子パターン１９ｂが、また基板１５Ｖこは引
出しパターン２０が４−ペーストを印刷するなど６′こ
より形成しでねる。ナして接着層＋ ５ 、 ｊ ４
＋＝、１（４ＬぞオＬ引出しパターン２０．１９ａと
交差しでいる。接着層１３．１４は前記実施例同様、導
電接着剤、ガラスピーズなとのスペーザ入りの２．−表
１式接着斉り、異万導革１４三ｊ妾着斉リンよどシて工
り形成される。−ｆ：して駆動電極１７の引出し電極１
７ａは基板１５の引出しパターン２０と接続さ九、駆動
側１８の引出し電極ｊ ８ ａは基板１６の引出しバク
−７１９ａと接続さｈる。２１はハンダ、導電接着剤な
どの導電材でを）す、基板１５の引出しパターン２０と
基板１６の端子パターン１９１）とを接ａするものであ
る。
水晶撮動子二の組立ＵＪ：前記実施例とほぼ同様であル
、最後に基板１５の引出しパターン２０と基板１６の端
子バク〜７１９１１とをハンダなどの導゛屯材２１＆こ
て接続）る。こゴｔにＬり水晶振動子１１を駆動−ノ゛
るときは一方の基板１６の引出しバター・ン１９ａと端
子パターン１９ｂとの［Ｂｊに電源を゛接続すればよい
。また基板１６ｉ／ｉ：発掘回路を構成する集積回路素
子、配線パターンなどを容易に設けることができる。
、最後に基板１５の引出しパターン２０と基板１６の端
子バク〜７１９１１とをハンダなどの導゛屯材２１＆こ
て接続）る。こゴｔにＬり水晶振動子１１を駆動−ノ゛
るときは一方の基板１６の引出しバター・ン１９ａと端
子パターン１９ｂとの［Ｂｊに電源を゛接続すればよい
。また基板１６ｉ／ｉ：発掘回路を構成する集積回路素
子、配線パターンなどを容易に設けることができる。
なお上記二つの実施例では圧電素子として平凸状の水晶
片の例を示したが、両凸状、ベベリング状、平板状など
でもよく、゛また他の圧嶋材料を用いることもできる。
片の例を示したが、両凸状、ベベリング状、平板状など
でもよく、゛また他の圧嶋材料を用いることもできる。
さらに接着層を絶縁性接着剤にて形成した場合、引出し
電極と基板の導電パターン、引ＩＪ」シバターンとを導
電ペースト、ハンダなどにて接続すればよい、。
電極と基板の導電パターン、引ＩＪ」シバターンとを導
電ペースト、ハンダなどにて接続すればよい、。
以上述べた工うに本発明Ｑて工れば、部品点数が極めて
少なく構成が簡単であり、製造組立が容易であり、小型
で薄型で衝撃に強い厚みすべυ圧電振動子を提供ずつこ
とができる。
少なく構成が簡単であり、製造組立が容易であり、小型
で薄型で衝撃に強い厚みすべυ圧電振動子を提供ずつこ
とができる。
第１図は不発１すｊの一実施例の断面図、第２図は下方
の基板を省略した状態の正面図、第６図は下方の基板の
正面図、第４図は他の実施例の正面図、ム１５図は第４
図Ｖ−Ｖ吻断面図、第６図は下方の基板の正面図、第７
図は水晶片の正面図、第８図は下方の基板の正面図であ
る、。 １．１１・・・・・水晶振動子、 ２．１２・・・・・・水晶片、 ３．４，１３゜１４・・・・・・接着層、５、６．１５
．１６・・・・・基板、 以 上 ８９ 第１図 第２図 第４図
の基板を省略した状態の正面図、第６図は下方の基板の
正面図、第４図は他の実施例の正面図、ム１５図は第４
図Ｖ−Ｖ吻断面図、第６図は下方の基板の正面図、第７
図は水晶片の正面図、第８図は下方の基板の正面図であ
る、。 １．１１・・・・・水晶振動子、 ２．１２・・・・・・水晶片、 ３．４，１３゜１４・・・・・・接着層、５、６．１５
．１６・・・・・基板、 以 上 ８９ 第１図 第２図 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）厚みすべり振動を行う圧電素子と、この圧電素子
の両面に、この圧電素子の外周端部に対応する周回状の
接着層によりこの圧電素子の両主面の中央部が非接触の
状態で固着された二つの基板と を設けた厚みすベシ圧電振動子１゜ （２、特許請求の範囲第１項において、接着層は圧電素
子と二つの基板との間隙を設定するスペーサ粒子を含む
接着剤より形成されることを特徴とする厚みすべり圧電
振動子。 （３）特許請求の範囲第１項またｋよ第２項において、
接着層は異方導電性接着剤に、ｒ、シ形成されることを
特徴とする厚みすべり圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19441182A JPS5985117A (ja) | 1982-11-05 | 1982-11-05 | 厚みすべり圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19441182A JPS5985117A (ja) | 1982-11-05 | 1982-11-05 | 厚みすべり圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5985117A true JPS5985117A (ja) | 1984-05-17 |
| JPH0131801B2 JPH0131801B2 (ja) | 1989-06-28 |
Family
ID=16324149
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19441182A Granted JPS5985117A (ja) | 1982-11-05 | 1982-11-05 | 厚みすべり圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5985117A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009212906A (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-17 | Seiko Epson Corp | 電子部品の実装構造及びその実装方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52123888A (en) * | 1976-04-12 | 1977-10-18 | Matsushima Kogyo Kk | Thickness slip quartz oscillator |
| JPS5693412A (en) * | 1979-12-26 | 1981-07-29 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Superthin quartz oscillator |
| JPS56158518A (en) * | 1978-07-14 | 1981-12-07 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Quartz oscillator |
-
1982
- 1982-11-05 JP JP19441182A patent/JPS5985117A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52123888A (en) * | 1976-04-12 | 1977-10-18 | Matsushima Kogyo Kk | Thickness slip quartz oscillator |
| JPS56158518A (en) * | 1978-07-14 | 1981-12-07 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Quartz oscillator |
| JPS5693412A (en) * | 1979-12-26 | 1981-07-29 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Superthin quartz oscillator |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009212906A (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-17 | Seiko Epson Corp | 電子部品の実装構造及びその実装方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0131801B2 (ja) | 1989-06-28 |
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