JPH0131801B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0131801B2 JPH0131801B2 JP57194411A JP19441182A JPH0131801B2 JP H0131801 B2 JPH0131801 B2 JP H0131801B2 JP 57194411 A JP57194411 A JP 57194411A JP 19441182 A JP19441182 A JP 19441182A JP H0131801 B2 JPH0131801 B2 JP H0131801B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- crystal piece
- substrates
- pattern
- conductive adhesive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1035—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by two sealing substrates sandwiching the piezoelectric layer of the BAW device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は厚みすべり振動を行う圧電振動子に関
するものである。
するものである。
従来、厚みすべり圧電振動子の一例としてAT
カツトの水晶振動子は、気密端子の２本の端子ピ
ンに保持バネを溶接などにより固着し、２本の保
持バネの間に水晶片を支持し、保持バネ、水晶片
と接触しない状態でキヤツプを被せ、気密端子の
ベースとキヤツプとを封止していた。このため部
品点数が多くなり、構成が複雑であつた。また製
造、組立が煩雑であり、外形形状が大きくなると
いう欠点を持つていた。さらに水晶片は２点にて
支持されるため衝撃に弱いという不都合もあつ
た。
カツトの水晶振動子は、気密端子の２本の端子ピ
ンに保持バネを溶接などにより固着し、２本の保
持バネの間に水晶片を支持し、保持バネ、水晶片
と接触しない状態でキヤツプを被せ、気密端子の
ベースとキヤツプとを封止していた。このため部
品点数が多くなり、構成が複雑であつた。また製
造、組立が煩雑であり、外形形状が大きくなると
いう欠点を持つていた。さらに水晶片は２点にて
支持されるため衝撃に弱いという不都合もあつ
た。
本発明は上記欠点を除去するものであり、構成
が簡単で部品点数が少なく、製造、組立が容易で
あり、衝撃に強く、外形形状の小さい厚みすべり
圧電振動子を提供するものである。
が簡単で部品点数が少なく、製造、組立が容易で
あり、衝撃に強く、外形形状の小さい厚みすべり
圧電振動子を提供するものである。
以下本発明の実施例を図面を参照して詳細に説
明する。
明する。
第１〜３図において、１は厚みすべり水晶振動
子であり、厚みすべり振動を行う水晶片２と、こ
の水晶片の両面に、この水晶片の外周端部に対応
して設けられた周回状の接着層３，４により水晶
片の両主面２ａ，２ｂの中央部が非接触の状態で
固着された二つの平板状の基板５，６とから構成
されている。水晶片２は平凸状をしており、厚み
すべり振動の振動エネルギを中央部に集中させ、
外周端部の振動変位は極めて小さくなるように設
定してある。水晶片２の両主面２ａ，２ｂには駆
動電極７，８が真空蒸着などにより形成してあ
る。７ａ，８ａは駆動電極７，８の引出し電極で
あり、水晶片２の外周端までそれぞれ反対方向に
延出形成してある。基板５，６は水晶片２と熱膨
張係数の近いセラミツクなどから形成されてお
り、本実施例では導体パターン９，１０が印刷な
どにより形成してあり、同一形状をしている。導
体パターン９，１０は水晶片２の外周に対応する
リング状部９ａ，１０ａと、これに連続し基板端
部まで引出された引出し部９ｂ，１０ｂとから構
成されている。接着層３，４は導体パターン９，
１０のリング状部９ａ，１０ａに対応して異方導
電接着剤を印刷により形成したものである。この
異方導電性接着剤は、絶縁性接着剤に銀粉などの
導電性粒子を20〜40重量％混入したもので、厚み
方向（押圧方向）には導通となり、幅方向には絶
縁となるものである。また、この実施例では、
200μｍ程度のスペーサ粒子が混入されており、
このスペーサ粒子により水晶片２の主面２ａ，２
ｂと基板５，６との間隙が設定され、水晶片２と
基板５，６との非接触が保たれる。駆動電極８は
引出し電極８ａより接着層４を介して導体パター
ン９のリング状部９ａ、引出し部９ｂに接続され
ている。また駆動電極７は引出し電極７ａより接
着層４を介して導体パターン１０のリング状部１
０ａ、引出し部１０ｂに接続されている。異方導
電性接着剤を使用しているため、接着層３と接着
層４とがはみ出して接触したとしても両者の間は
絶縁状態に保たれて導通せず、引出し電極７ａ，
８ａと導体パターン９，１０のリング状部９ａ，
１０ａとは導通がとれるのである。水晶片２と基
板５，６との間の接着層３，４に囲まれた空間は
気密状態となつており、真空または不活性ガスに
置換されている。
子であり、厚みすべり振動を行う水晶片２と、こ
の水晶片の両面に、この水晶片の外周端部に対応
して設けられた周回状の接着層３，４により水晶
片の両主面２ａ，２ｂの中央部が非接触の状態で
固着された二つの平板状の基板５，６とから構成
されている。水晶片２は平凸状をしており、厚み
すべり振動の振動エネルギを中央部に集中させ、
外周端部の振動変位は極めて小さくなるように設
定してある。水晶片２の両主面２ａ，２ｂには駆
動電極７，８が真空蒸着などにより形成してあ
る。７ａ，８ａは駆動電極７，８の引出し電極で
あり、水晶片２の外周端までそれぞれ反対方向に
延出形成してある。基板５，６は水晶片２と熱膨
張係数の近いセラミツクなどから形成されてお
り、本実施例では導体パターン９，１０が印刷な
どにより形成してあり、同一形状をしている。導
体パターン９，１０は水晶片２の外周に対応する
リング状部９ａ，１０ａと、これに連続し基板端
部まで引出された引出し部９ｂ，１０ｂとから構
成されている。接着層３，４は導体パターン９，
１０のリング状部９ａ，１０ａに対応して異方導
電接着剤を印刷により形成したものである。この
異方導電性接着剤は、絶縁性接着剤に銀粉などの
導電性粒子を20〜40重量％混入したもので、厚み
方向（押圧方向）には導通となり、幅方向には絶
縁となるものである。また、この実施例では、
200μｍ程度のスペーサ粒子が混入されており、
このスペーサ粒子により水晶片２の主面２ａ，２
ｂと基板５，６との間隙が設定され、水晶片２と
基板５，６との非接触が保たれる。駆動電極８は
引出し電極８ａより接着層４を介して導体パター
ン９のリング状部９ａ、引出し部９ｂに接続され
ている。また駆動電極７は引出し電極７ａより接
着層４を介して導体パターン１０のリング状部１
０ａ、引出し部１０ｂに接続されている。異方導
電性接着剤を使用しているため、接着層３と接着
層４とがはみ出して接触したとしても両者の間は
絶縁状態に保たれて導通せず、引出し電極７ａ，
８ａと導体パターン９，１０のリング状部９ａ，
１０ａとは導通がとれるのである。水晶片２と基
板５，６との間の接着層３，４に囲まれた空間は
気密状態となつており、真空または不活性ガスに
置換されている。
水晶振動子１の組立は、まず基板５，６上に形
成された導体パターン９，１０のリング状部９
ａ，１０ａ上に導電接着剤を印刷し、周回状の接
着層３，４を形成する。そして例えば窒素雰囲気
中で接着層４の上に水晶片２の外周を対応させて
載置する。さらに水晶片２の上に基板５を載置す
る。このときも水晶片２の外周と接着層３とを対
応させて載置する。水晶片２と基板５，６とは接
着層３，４により所定の間隙を設けられ、水晶片
２の両主面２ａ，２ｂの中央部は基板５，６とは
非接触の状態となる。このあと加熱すれば接着層
３，４の硬化を早めることができる。導体パター
ン９の引出し部９ｂは接着層４を介して駆動電極
８の引出し電極８ａと接続され、引出し部１０ｂ
は接着層３を介して駆動電極７の引出し電極７ａ
と接続される。
成された導体パターン９，１０のリング状部９
ａ，１０ａ上に導電接着剤を印刷し、周回状の接
着層３，４を形成する。そして例えば窒素雰囲気
中で接着層４の上に水晶片２の外周を対応させて
載置する。さらに水晶片２の上に基板５を載置す
る。このときも水晶片２の外周と接着層３とを対
応させて載置する。水晶片２と基板５，６とは接
着層３，４により所定の間隙を設けられ、水晶片
２の両主面２ａ，２ｂの中央部は基板５，６とは
非接触の状態となる。このあと加熱すれば接着層
３，４の硬化を早めることができる。導体パター
ン９の引出し部９ｂは接着層４を介して駆動電極
８の引出し電極８ａと接続され、引出し部１０ｂ
は接着層３を介して駆動電極７の引出し電極７ａ
と接続される。
このように水晶振動子１は部品点数が少なく構
成が簡単であり、組立が容易であり、小型化がで
き、衝撃にも強いという効果を有する。
成が簡単であり、組立が容易であり、小型化がで
き、衝撃にも強いという効果を有する。
なお水晶片２の外周部の基板５と基板６との間
にワツクスを充填し気密性能を向上させることも
できる。また基板の少なくとも一方に配線パター
ンを形成し、電気部品などを取付けてもよい。
にワツクスを充填し気密性能を向上させることも
できる。また基板の少なくとも一方に配線パター
ンを形成し、電気部品などを取付けてもよい。
つぎに本発明の他の実施例を第４〜８図を参照
して説明する。１１は厚みすべり水晶振動子であ
り、厚みすべり振動を行う水晶片１２と、この水
晶片の両面に、この水晶片の外周端部に対応する
周回状の接着層１３，１４により水晶片の両主面
１２ａ，１２ｂの中央部が非接触の状態で固着さ
れた二つの基板１５，１６とから構成されてい
る。水晶片１２は前記実施例と同様に平凸状をし
ており、両主面には駆動電極１７，１８、引出し
電極１７ａ，１８ａが設けてある。基板１５，１
６も前記実施例と同様にセラミツクなど通気性の
ない基板が用いられ、基板１６には引出しパター
ン１９ａおよび端子パターン１９ｂが、また基板
１５には引出しパターン２０が導電ペーストを印
刷するなどにより形成してある。そして接着層１
３，１４はそれぞれ引出しパターン２０，１９ａ
と交差している。接着層１３，１４は前記実施例
同様、異方導電性接着剤により形成される。そし
て駆動電極１７の引出し電極１７ａは基板１５の
引出しパターン２０と接続され、駆動電極１８の
引出し電極１８ａは基板１６の引出しパターン１
９ａと接続される。２１はハンダ、導電接着剤な
どの導電材であり、基板１５の引出しパターン２
０と基板１６の端子パターン１９ｂとを接続する
ものである。
して説明する。１１は厚みすべり水晶振動子であ
り、厚みすべり振動を行う水晶片１２と、この水
晶片の両面に、この水晶片の外周端部に対応する
周回状の接着層１３，１４により水晶片の両主面
１２ａ，１２ｂの中央部が非接触の状態で固着さ
れた二つの基板１５，１６とから構成されてい
る。水晶片１２は前記実施例と同様に平凸状をし
ており、両主面には駆動電極１７，１８、引出し
電極１７ａ，１８ａが設けてある。基板１５，１
６も前記実施例と同様にセラミツクなど通気性の
ない基板が用いられ、基板１６には引出しパター
ン１９ａおよび端子パターン１９ｂが、また基板
１５には引出しパターン２０が導電ペーストを印
刷するなどにより形成してある。そして接着層１
３，１４はそれぞれ引出しパターン２０，１９ａ
と交差している。接着層１３，１４は前記実施例
同様、異方導電性接着剤により形成される。そし
て駆動電極１７の引出し電極１７ａは基板１５の
引出しパターン２０と接続され、駆動電極１８の
引出し電極１８ａは基板１６の引出しパターン１
９ａと接続される。２１はハンダ、導電接着剤な
どの導電材であり、基板１５の引出しパターン２
０と基板１６の端子パターン１９ｂとを接続する
ものである。
水晶振動子１１の組立は前記実施例とほぼ同様
であり、最後に基板１５の引出しパターン２０と
基板１６の端子パターン１９ｂとをハンダなどの
導電材２１にて接続する。これにより水晶振動子
１１を駆動するときは一方の基板１６の引出しパ
ターン１９ａと端子パターン１９ｂとの間に電源
を接続すればよい。また基板１６に発振回路を構
成する集積回路素子、配線パターンなどを容易に
設けることができる。
であり、最後に基板１５の引出しパターン２０と
基板１６の端子パターン１９ｂとをハンダなどの
導電材２１にて接続する。これにより水晶振動子
１１を駆動するときは一方の基板１６の引出しパ
ターン１９ａと端子パターン１９ｂとの間に電源
を接続すればよい。また基板１６に発振回路を構
成する集積回路素子、配線パターンなどを容易に
設けることができる。
なお上記二つの実施例では圧電素子として平凸
状の水晶片の例を示したが、両凸状、ベベリング
状、平板状などでもよく、また他の圧電材料を用
いることもできる。
状の水晶片の例を示したが、両凸状、ベベリング
状、平板状などでもよく、また他の圧電材料を用
いることもできる。
以上述べたように本発明によれば、１対の基板
間へ圧電素子を挟持封着するのと同時に基板の導
体パターンへの圧電素子の電気的導通が計れ、し
かもこの挟持封着に異方導電性接着剤を使用して
いるから、封着作業時に接着剤がはみ出したとし
ても短絡することがなく、したがつて圧電素子の
封着の作業が非常に行ない易くなる。また、部品
点数が極めて少なく構成が簡単であり、製造組立
が容易であり、小型で薄型で衝撃に強い厚みすべ
り圧電振動子を提供することができる。
間へ圧電素子を挟持封着するのと同時に基板の導
体パターンへの圧電素子の電気的導通が計れ、し
かもこの挟持封着に異方導電性接着剤を使用して
いるから、封着作業時に接着剤がはみ出したとし
ても短絡することがなく、したがつて圧電素子の
封着の作業が非常に行ない易くなる。また、部品
点数が極めて少なく構成が簡単であり、製造組立
が容易であり、小型で薄型で衝撃に強い厚みすべ
り圧電振動子を提供することができる。
第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は
上方の基板を省略した状態の正面図、第３図は下
方の基板の正面図、第４図は他の実施例の正面
図、第５図は第４図―線断面図、第６図は下
方の基板の正面図、第７図は水晶片の正面図、第
８図は上方の基板の正面図である。 １，１１……水晶振動子、２，１２……水晶
片、３，４，１３，１４……接着層、５，６，１
５，１６……基板、７，８，１７，１８……駆動
電極、７ａ，８ａ，１７ａ，１８ａ……引出し電
極、９，１０……導体パターン。
上方の基板を省略した状態の正面図、第３図は下
方の基板の正面図、第４図は他の実施例の正面
図、第５図は第４図―線断面図、第６図は下
方の基板の正面図、第７図は水晶片の正面図、第
８図は上方の基板の正面図である。 １，１１……水晶振動子、２，１２……水晶
片、３，４，１３，１４……接着層、５，６，１
５，１６……基板、７，８，１７，１８……駆動
電極、７ａ，８ａ，１７ａ，１８ａ……引出し電
極、９，１０……導体パターン。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 駆動電極と、この駆動電極から外周端部へ延
出形成してある引出し電極とが両主面に形成して
ある厚みすべりを行なう圧電素子と、 上記圧電素子の上記両主面と対向して位置し、
上記圧電素子との対向面に上記引出し電極と対向
する外部接続用の導体パターンが形成されている
１対の平板状の絶縁性基板と、 上記圧電素子の上記両主面外周部と上記両絶縁
性基板との間を封止する一方、上記圧電素子を上
記絶縁性基板に対して非接触の状態に保つ異方導
電性接着剤により形成された接着層と、 からなり、 上記引出し電極と上記導体パターンとは、上記
異方導電性接着剤を介して電気的に接続されてい
る ことを特徴とする厚みすべり圧電振動子。 ２ 特許請求の範囲第１項において、上記異方導
電性接着剤は、上記圧電素子と上記両絶縁性基板
間の間〓を設定するスペーサ粒子を含有したもの
であることを特徴とする厚みすべり圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19441182A JPS5985117A (ja) | 1982-11-05 | 1982-11-05 | 厚みすべり圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19441182A JPS5985117A (ja) | 1982-11-05 | 1982-11-05 | 厚みすべり圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5985117A JPS5985117A (ja) | 1984-05-17 |
| JPH0131801B2 true JPH0131801B2 (ja) | 1989-06-28 |
Family
ID=16324149
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19441182A Granted JPS5985117A (ja) | 1982-11-05 | 1982-11-05 | 厚みすべり圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5985117A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5223383B2 (ja) * | 2008-03-05 | 2013-06-26 | セイコーエプソン株式会社 | 水晶振動子、水晶振動子パッケージ、電子部品、電子機器、電子部品の実装方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52123888A (en) * | 1976-04-12 | 1977-10-18 | Matsushima Kogyo Kk | Thickness slip quartz oscillator |
| JPS56158518A (en) * | 1978-07-14 | 1981-12-07 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Quartz oscillator |
| JPS5693412A (en) * | 1979-12-26 | 1981-07-29 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Superthin quartz oscillator |
-
1982
- 1982-11-05 JP JP19441182A patent/JPS5985117A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5985117A (ja) | 1984-05-17 |
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