JPS5967710A - 厚みすべり圧電振動子 - Google Patents

厚みすべり圧電振動子

Info

Publication number
JPS5967710A
JPS5967710A JP17877782A JP17877782A JPS5967710A JP S5967710 A JPS5967710 A JP S5967710A JP 17877782 A JP17877782 A JP 17877782A JP 17877782 A JP17877782 A JP 17877782A JP S5967710 A JPS5967710 A JP S5967710A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
crystal piece
outer circumference
crystal
major planes
piezoelectric
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17877782A
Other languages
English (en)
Inventor
Mitsuyuki Sugita
杉田 光之
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seikosha KK
Original Assignee
Seikosha KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seikosha KK filed Critical Seikosha KK
Priority to JP17877782A priority Critical patent/JPS5967710A/ja
Publication of JPS5967710A publication Critical patent/JPS5967710A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders or supports
    • H03H9/10Mounting in enclosures
    • H03H9/1007Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
    • H03H9/1035Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by two sealing substrates sandwiching the piezoelectric layer of the BAW device

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は厚みすぺ9圧柾秦動子に関する。
従来、厚みすべり伽#Iを竹う水晶賑動子は気密端子の
2本の端子ピンに保持バネを溶wなどにより固着し、2
本の保持バネの間に水晶片を支持し、保持バネ、水晶片
と接触1−ない状態でキャンプを被せ、気密端子のベー
スとキャンプとを封止していた。このため部品点数が多
く、構成が複雑であり、f#造0組立が煩雑でるり、外
形形状が大きくなるという欠点を持っていた。脣だ水晶
片は2点支持さ1+、るため衝撃に弱かった。
本発明は上記欠点を除去するものであり、構成が簡単で
部品点数が少なく%製造組立が容鳩であり、衝外に強く
、外形形状の小さい厚みすべり圧tJ3’、 4に動子
を1是供゛4るものである。
し・丈下本発明の実、1イ1例を詳細Vこ説明する。
第1〜2図において、1は)ワみすべりlk晶振動子で
あり、厚みすべり振動を11う水晶片2と、この水晶片
2の両生向を覆うトイと護部材であるH46キトング3
,4とから構成される。水晶片2 V:、l:円板形状
をしでおり、外周はベベリング加工が施さノL外同つ)
1^1は肉薄どなっている。水晶片2の二つの主(自i
  28 、  21)&こ は用名動 1’b’Jx
  s  、   6 が蒸 i4  lx  と イ
:、【り形成1〜又ある。5a、6aIlま引出[7電
極であり、駆動電極5.6と同時にそれぞれ反対方向に
水晶片2の外周端1/I’1 寸で形成してあり、接続
端子5b。
61〕となつ−℃いる。水晶片2はベベリング加工によ
り1ちでj助エネルギに1両生面の中央部に集中されて
粋り、外周+46. l=j J騒動変位がtlとんど
0になっている。 IM’、 絢キャソフs、trli
セラミックなどから構成’!;’ h、、二つとも同一
形状である。1呆nΦキヤンプ3.4rjlla動エネ
ルギの東中している水晶片2の中央部を啜触しないよう
に覆い、4鼓動4=位が0に:+r[い外)’a fi
i llζでその立上がり部58.,4aが[2触し−
こいる。f、シて床置4−)′ラフ−5,4の立−1−
がり都5h、4p−と水晶ハ2の外周部とけ絶縁性の接
着剤t、°どQζより気密状仙しこ接着Aノ16ており
、内部空間7.7&、I−肖;り)り状態序/ヒは不活
性ガヌに置換さ11−1いる。スLお保眸部相は第5図
示の1呆誇ケース4Aと)尿護凶5Aとを接層したもの
でもよい。
この水晶振動子1を取付けるKl′i、例えばズソント
基板(図示せず。)に接着固定したり、適当な手段にて
固定し、接続端子5b。6bと配線パターンとを接続す
オLはよい。またフリント基板上りこ溝車性接着剤など
に工り接続端子5’b、6’bと配線パターンとをそれ
ぞれ接続し固着するようにすることも可能である。
水晶振動子1の製法は、真空′、4囲気あるいは窒素ガ
ス雰囲気中で保護キャップ4の立上がり部4aの上端に
接着剤を塗布し、その上((水晶片2を載置し、立上が
り部3aに接着剤を塗布した1呆霞キヤツフー5を立十
かり部を下方にして水晶片2の土に載置し、接着剤の固
化を待ては工い。
本発明の水晶振動子1は上記のような構成であ、す、水
晶片2を+II卜する(呆1φキャンズ5.4が水晶片
2の保肯部相を沖ね又いる/ヒめ、外形形状が水晶片2
の外形と略等しく小型化が達成でさ、部品点数が少なく
構成が簡単でるり、製造も容易である。捷た水晶片2は
全周を1呆持ぢれているIでd〕衝撃にも強くなってい
る。
絹4図は本うれ明の他の実施例を示し、水晶振動子具」
は水晶片12と保護キャップ1.5.14と力1ら構成
される。水晶片12はパイニンベンクス形状をしており
、外周端部の1鼓動変位1は極め又小さくなっている。
ぞして水晶片120両主両主は駆動車、権15,16が
引出し画1極15a、16aとともに形成しである。床
^キャップ16.14Fi、@、コバールなどの釜@製
であり、二つとも同一形状をしている。保護ギヤング1
3,14は水晶片120両主両生面央部を覆い水晶片の
外周部と接触するものである。これらの保護キャンプは
相互に絶峰されるように水晶片12の外径より若T小径
に形J八しである。そして(呆絢ギャップ13゜14と
水晶片12とは導電: tl[接着剤にて気密状態に固
着され、引出し1″ti!!?15a″′C保護キヤン
プ16とが導通状態となり、引出し電極16 aと1呆
護キヤツプ14とが導通状態どなっている。保護キャン
プ15.44の内部空間17.17は前記実施例同様真
空状態あるいは不活性ガスIW換をれている。
この水晶振動子具は前記実施例と同様の効果を有すると
ともに、保護キャンプj、5.14が外rf15端子を
兼ねているため、水晶振動子L」r両法Jφキャツフ1
.5.14の部分1tC″′C接片なとにて挾持するこ
とI/Cより水晶振動子2iの取付、接続を11つこと
ができる。
なお前記の実施例では圧1u素子として水晶片を用いた
が他の圧%I相料を用いることもで@る。
以上述べたように本発明Vこよれば1部品点数が少なく
構成が簡単であり、外径形状か小型であり、製造が容易
であり、制御撃に強い厚みすべり圧市、橡動子を紡)供
することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図1d本発明の一′で雄側の断utr +ン1.4
12図は第1図II −It線断面図、第6図は他の実
施例の要部断面図、第4図はざC−)に他の実殉例の断
面図である。 1.11・・・・水晶J鼓動ト 2.12・・・・・・水晶片 5、4.5A、 4Δ。1.5.14・・・・保護部材
。 以   土 出願人 株式会社 精  工  舎 代理人 升埋士 最上  務 第1図 第2図 第4図 4 49− 第3図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ノ望みすべりづ鼓動を行う圧電索子と、この圧電
    素子の両生向を覆い上記圧電索子の外周部をその全周に
    て1呆持ゴ゛る床置部材とを設けた厚みすべ、り圧m振
    %子。
  2. (2)  特許請求の範囲第1項において、沫謹部材d
    二つの主面をそれぞれ覆い、こ、/Lらの主面の外周部
    全周に対接する二つの同形の保護キャップより構成され
    ることを%徴とする厚みすべりFE亀撮動子。
  3. (3)1特許請求の範囲第2項において、二つの保護ギ
    ヤツブd導電相エリ形成され相互に絶縁されており、圧
    電振動子の外部端子を兼ねることをl特徴とするjすみ
    ずぺり圧電振動子。
JP17877782A 1982-10-12 1982-10-12 厚みすべり圧電振動子 Pending JPS5967710A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17877782A JPS5967710A (ja) 1982-10-12 1982-10-12 厚みすべり圧電振動子

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17877782A JPS5967710A (ja) 1982-10-12 1982-10-12 厚みすべり圧電振動子

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5967710A true JPS5967710A (ja) 1984-04-17

Family

ID=16054443

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17877782A Pending JPS5967710A (ja) 1982-10-12 1982-10-12 厚みすべり圧電振動子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5967710A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0608827A3 (en) * 1993-01-25 1996-02-21 Matsushita Electric Industrial Co Ltd A piezoelectric device and a housing.
US5771555A (en) * 1993-11-01 1998-06-30 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for producing an electronic component using direct bonding
US5785874A (en) * 1992-11-16 1998-07-28 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical waveguide device bonded through direct bonding and a method for fabricating the same
US6120917A (en) * 1993-12-06 2000-09-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Hybrid magnetic substrate and method for producing the same

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52123888A (en) * 1976-04-12 1977-10-18 Matsushima Kogyo Kk Thickness slip quartz oscillator
JPS5523607A (en) * 1978-07-14 1980-02-20 Matsushima Kogyo Co Ltd Crystal oscillator

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52123888A (en) * 1976-04-12 1977-10-18 Matsushima Kogyo Kk Thickness slip quartz oscillator
JPS5523607A (en) * 1978-07-14 1980-02-20 Matsushima Kogyo Co Ltd Crystal oscillator

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5785874A (en) * 1992-11-16 1998-07-28 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical waveguide device bonded through direct bonding and a method for fabricating the same
EP0608827A3 (en) * 1993-01-25 1996-02-21 Matsushita Electric Industrial Co Ltd A piezoelectric device and a housing.
US5589724A (en) * 1993-01-25 1996-12-31 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Piezoelectric device and a package
US5847489A (en) * 1993-01-25 1998-12-08 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Piezoelectric device and a package
US5771555A (en) * 1993-11-01 1998-06-30 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for producing an electronic component using direct bonding
US5925973A (en) * 1993-11-01 1999-07-20 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Electronic component and method for producing the same
US6120917A (en) * 1993-12-06 2000-09-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Hybrid magnetic substrate and method for producing the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5967710A (ja) 厚みすべり圧電振動子
JP3170634B2 (ja) 超音波振動子及び超音波駆動装置
GB1444504A (en) Quartz crystal vibrator
JPH07112314B2 (ja) 圧電ブザ−
FR2458150A1 (fr) Resonateur a cristal taille pour fonctionner en cisaillement d'epaisseur
JPH0131804B2 (ja)
JPS6223125Y2 (ja)
JPH0390519U (ja)
JPS6359281B2 (ja)
JPS5821216Y2 (ja) 小型圧電振動子の支持構造
JPH0238499Y2 (ja)
JPS5985117A (ja) 厚みすべり圧電振動子
JPS6019385Y2 (ja) 音叉型圧電振動子
JP2007264095A (ja) 振動板及び振動波駆動装置
JPS605626Y2 (ja) 圧電振動子の保持構造
JPH0520014Y2 (ja)
JPS6017949Y2 (ja) 音又形水晶振動子用ホルダ−
JPH0131802B2 (ja)
JPS6123866Y2 (ja)
JPS5852367B2 (ja) 輪郭圧電振動子の支持構造
JPS5914412U (ja) 厚みすべり振動子の支持構造
JPS63296383A (ja) Qスイッチ素子
JPS6017950Y2 (ja) 音又形水晶振動子用ホルダ−
JPS6123373A (ja) 圧電変位素子
JP2524067Y2 (ja) 波動モータの導通構造