JPS5986547A - キヤリヤ治具用フイルム貼着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、例えば集積回路形成用の基板となるシリコ
ンウェハーのような円板状薄板を支持するための金属製
のキャリヤ治具に薄い柔軟なプラスチックフィルムを貼
着しＣ円板状に切断する操作を全自動的に行なうキャリ
ヤ治具用フィルム貼着装置に１関するものである。

従来、このようなキャリヤ治具に対するフィルムの貼着
は手作業で行なっていたのできわめて手数がかかり、か
つ、皺ができないように張ることは困難で熟・凍を要す
るなどの問題があった。

この発明の目的は上記のような従来のキャリヤ治具に対
するフィルム貼着の問題を解決するためのキャリヤ治具
にフィルムを円板状に切り抜いＣ不用な部分は取除く作
業などを人手を用いずに全自動的に行なうようにするこ
とである。

すなわち、この発明は円形環状のキャリヤ治具を積重ね
て保持する保持枠と、この保持枠に保持された複数のキ
ャリヤ治具の最下部のものを保持枠の前方へ押し出す押
出し手段と、この押出し手段によって押出きれた一枚の
キャリヤ治具の上下を挾んで引出すと同時にこのキャリ
ヤ治具上に、下面に粘着剤層を有する帯状フィルムを貼
着する貼着ローラおよび受ローラからなる貼着手段と、
貼着手段から帯状フィルムとともに引出されて停市した
キャリヤ治具の下部を支える環状の支持台で支えられた
キャリヤ治具上の帯状フィルムをキャリヤ治具上におい
て環状に切断するカッタを有する切断手段と、切断手段
により切断された帯状フィルムを引き取るとともに帯状
フィルムから分離した円板状フィルムを貼着したキャリ
ヤ治具を引取る上下一対の引取りローラとで構成された
ものである。

以下にこの発明の貼着装置の詳細を添付図面に示す一実
施例に基づいて説明する。

図において、１はキャリヤ治具で、金属板からなる円形
環状で、その−側に位置決め用の直線縁１３を有してい
る。

２はキャリヤ治具１を多数積重ねて保持する保に接触す
る側壁１４と、前後に接する前壁１５および後壁１６と
、他側の外周に接する前後の側片１７．１Ｂからなって
訃り、この保持枠２の下部には進退自在の受板１９があ
り、この受板１９上の１枚の治具１が前方へ進出できる
スリット２゜が前壁１５の下部に形成されている。

前記、受板１９の下部の摺動部２１は支持台＆に設けた
前後方向の一対のガイド枠２３に摺動自在に取付けられ
、エアシリンダ２４により進退し、受板１９上に第２図
のように左右一対の押片２５を固定しτ受板１９上の治
具１の後側に接触させるが、この押片２５は第１図のよ
うに１枚の治具１の厚みより若干薄くして前進時に２枚
の治具１を押すことのないようにしである。

従つＣ第１図のようｌこ複数のキャリヤ治具１を保持枠
２内に積重ねで収容し、起動信号によりエアシリンダ２
４を働かせて摺動部２１を前進させると受板１９上の１
枚のキャリヤ治具１が押片２５で押されＣスリット２ｏ
がら進出し、治具１が一定位置まで前進すると受板１９
は治具１を残して元の位置に戻って停止する作用を繰返
す。

第１図の２６はこの発明装置全体を支えるフレームで、
前記支持台２２はこのフン−ムク６上に固定され、２７
は同フレーム２６の側方に設けた垂直の機箱である。

前記スリット２０の前方には貼着ローラ４と受ローラ５
が上下に配置され、このローラ４，５を機箱２７に設け
た駆動機構により間欠的に第１図の矢印方向に駆動する
。また、上部の貼着ローラ４は後端を第１図のように機
箱２７に取付けた揺動腕２８に取付けられ、この腕２８
の前端をバネ２９により下方へ引くことをこより受ロー
ラ５上の治具１上に圧着するようにしてあり、両ローラ
４゜５は硬度６０°のシリコンゴムを用いている。

３は治具１上に張るフィルムで、図示省略しＣあるが、
上方のリールから供給され、機箱に取付けたガイドロー
ラ３０を経てローラ４，５間に粘着面を下にして供給さ
れる。また、このフィルム３は皺寄りを防屯するためセ
パレータ３１を重ねてあり、このセパレータ３１はガイ
ドローラ３゜に対向するガイドローラ３２を経て上方の
巻取りリール（図示省略）に巻取らせる。

従って前記のように押出し手段の押片２５により押出さ
れた１枚のキャリヤ治具１は貼着ローラ４の下側と受は
ローラ５間に押し込まれた条件で起動して、第１図の矢
印方向に回転する上下のローラ４，５とフィルム３の前
かへの移動により治具１の上面にフィルム３を貼着しつ
つ、フィルム３とともに治具１を前進させる。

第３図の３３はエアシリンダで、機箱２７に取付Ｉｆ　
タフラグット３４に固定され、このエアシリンダ３３の
ピストン杆に固定した昇降枠３５に切断手段Ｃを取付け
る。

この切断手段Ｃば、第１図、第２図、第３図のように昇
降枠３５上に固定したギヤモータ３６で駆動される旋回
枠３７に軸３８を支点として揺動スルカッタアーム３９
を取付け、このアーム３９の先端に自由回転の円板状カ
ッタ７を取付けたもので、アーム３９の先端はバネ４ｏ
により押下される。

また、旋回枠３７の中心に固定した垂直の軸４１の下端
には円板状の押え板４２を回動自在に取付け、この押え
板４２の外周下面には円形環状のゴム４３を取付け、前
記旋回枠３７の下部周囲に設けた複数の脚４生の下部に
は押え板４２上に接するローラ４４を設ける。

第１図の４５はフレーム２６に固定した円筒状のヒータ
カバーで、その内部にエアシリンダ４６により昇降する
ヒータ４−７を有している。また、ヒータカバー４５の
外側にはブラケット４８によって支持される同形環状の
支持台６を設け、前記ローラ４，５で送られてきたキャ
リヤ治具１を支持させる。

従つＣ前記のようにフィルム３を貼着されたキャリヤ治
具１がフィルム３とともに支持苗６上にきたことを適宜
の検知器が検知してローラ４，５とフィルム３が停止す
ると、同時に第３図のシリンダ３３が働き第１図、第３
図のように上昇位置にある昇降枠３５を旋回枠３７とと
もに下降させ、押え板４２の下側のゴム４３がキャリヤ
治具１上のフィルムを治具１とともに支持台６上に押し
付けで停止する。

この状態を何等かの検知手段で検知すると、ギヤモータ
３６が起動し、カッタ７の外周の刃が治具１上のフィル
ム３をカットしつつ軸４１を中心に回転するが、この間
、軸４１やローラ４４は回るが押え板４２は回らない。

こうしてフィルム３を完全に切るため、カッタ７が２回
転すると、ギヤモータ３６は市り、シリンダ３３が働い
て昇降枠３５が上昇する。

なお、フィルム３に熱収縮性プラスチックを用いた場合
は前記のようにキャリヤ治具１上のフィルム３を切断す
る間においＣ１シリンダ４６を働かせてヒータにより治
具１内のフィルムを加熱収縮させて緊張させることによ
り皺をなくする。

第１図の９，１０は切断手段の前方に設けた上下一対の
引取りローラで、機箱２７内に設けた駆動機構により第
１図の矢印方向に駆動する。また、上部の引取りローラ
９は機箱２７に取付けた揺動腕４９に取付けられ、適宜
の押圧機構によりローラ１０上に押圧され、下部のロー
ラ１０はコンベヤ１１の取付台５３の後部に取付けろ。

従つＣ１前記のようにキャリヤ治具１上でカッタ７によ
り切断されて第５図のように治＠１上に貼着された円板
状フィルム８は治具１とともにそのままコンベヤ１１上
に前進し、残りの孔あきフィルム３は上部の引取りロー
ラ９に沿つＣ上方に向い、ガイドローラ６１を経て図示
省略しＣある巻取りリールに巻取られる。

Ｄは前記取付台５３の前方のカートリッジ支持手段であ
る。この支持手段りはフレーム２６に固定した基枠５０
に昇降機構５１により昇降される昇降台５２を設け、前
記取付台５３の前部に設けた斜上向きの腕５４の上端に
はコンベヤ１１で送り出されるキャリヤ治具１の前部を
受ける受はローラ５５を設ける。

前記昇降台５２上にはキャリヤ治具収納用のカートリッ
ジ１２が載せられるが、このカートリッ　　　。

ジ１２は第４図のような正面形状のものである。

すなわち、カートリッ′）１２は左右一対の側板５６の
上下を上下釜２本の横方向の連結棒５７　、５８により
一体に連結され、両側板５６の相対向する面にはキャリ
ヤ治具１の両側がはまる多数の横溝５９が一定の間隔で
形成されＣいる。

また、下部の連結棒５８は前記ローラ５５を避けるため
前方へ寄せ、左右一対の側板５６の上部附近は連結棒５
７の下方に位置する補強材６０を取付ける。前記昇降台
５２にもローラ５５を避ける切欠を設ける。

上記のカートリッジ支持手段りにおいＣ１最初は昇降台
５２が最下部にあり、このときカートリッジ１２の最上
段の溝５９がコンベヤ１１の上面と同一面となっＣいる
。従ってコンベヤ１１で送り出されできたキャリヤ治具
１は受はローラ５５上を経Ｃキャリッジ１２内に入りそ
の両側が最上段の横溝５９内に入る。

こうじで１治具１が最上段の横溝５９により支持された
条件で昇降機構５１が働いてキャリッジ１２を上から２
番目の横溝５９をコンベヤ１１の上面に一致させる。

この作用の繰返しにより円板状フィルム８を貼着された
キーヤリヤ治Ｑ１がキャリッジ１２の各横１ｗ５９毎に
収納され、キャリッジ１２内が治具１で一杯になると井
降台５２を下げ別の空のキャリッジ１２を載せる。

この発明は上記のように、円形環状のキャリヤ治具上へ
、長い帯状のプラスチックフィルムを貼着する貼着手段
へ向けてキャリヤ治具を１枚づつ送り込む作用と、キャ
リヤ治具上に貼着されたフィルムをキャリヤ治具上にお
いて円板状に切ってキャリヤ治具上に残し、他の孔あき
フィルムを適宜に引取る操作を全自動的に行なうもので
あるがら人手が殆んど不用となり、フィルムの貼着もき
わめて正確に行なえるなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す一部縦断側面図、第
２図は同上のキャリヤ治具保持枠と押出し手段の平面図
、第３図は切断手段の要部縦断拡大正面図、第４図はキ
ャリヤ治具用カートリッジの拡大正面図、第５図はフィ
ルムを貼着したキャリヤ治具の平面図である。 １・・・キャリヤ治具、２・・・保持枠、３・・・帯状
フィルム、４・・・貼着ローラ、５・・・受ローラ、６
・・・支持台、７・・・カッタ、８・・・円板状フィル
ム、９．１０・・・引取りローラ、Ａ・・押出し手段、
Ｂ・・・貼着手段、Ｃ・・・切断手段。 特許出願人　　日東電気工業株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 円形環状のキャリヤ治具を積重ねて保持する保持枠と、
   この保持枠に保持された複数のキャリヤ治具の最下部の
   ものを保持枠の前方へ押し出す押出し手段と、この押出
   し手段により押出された一枚のキャリヤ治具の上下を挾
   んで引出すと同時にる貼着手段と、貼着手段から帯状フ
   ィルムとともに引出されて停止したキャリヤ治具の下部
   を支える環状の支持台と、この支持台で支えられたキャ
   リヤ治具上の帯状フィルムをキャリヤ治具上に置いＣ環
   状に切断するカッタを有する切断手段と、切断手段によ
   り切断された帯状フィルムを引き取るとともに帯状フィ
   ルムから分離した円板状フィルムを貼着したキャリヤ治
   具を引取る上下一対の引取りローラとからなるキャリヤ
   治具用フィルム貼着装置。