JPS6313903B2

JPS6313903B2 -

Info

Publication number: JPS6313903B2
Application number: JP58148551A
Authority: JP
Inventors: Minoru Ametani
Original assignee: Nitto Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 1983-08-11
Filing date: 1983-08-11
Publication date: 1988-03-28
Also published as: JPS6038898A

Description

【発明の詳細な説明】この発明は例えば集積回路形成用の基盤となる
シリコンウエハのような円形状などの薄板と、こ
の薄板のキヤリヤ治具となる円形環状などのリン
グを１枚の粘着フイルムに貼布する方法に関する
ものである。

従来では上記のようなリング状のキヤリヤ治具
に対するフイルムの貼着と、フイルムに対するシ
リコンウエハなどの貼着は手作業で行ない、リン
グ周囲からはみ出したフイルムの切り取りも手作
業で行なつていたのできわめて手数がかかりかつ
皺ができないように張ることは困難で、熟練を要
するなどの問題があつた。

この発明は上記のようなリングにフイルムを貼
着するとともに薄板をフイルムに貼着する作業お
よびフイルムをリングに沿つて切断する作業など
を連続して能率よく行なう方法を提供することを
目的とするもので、フイルム状の粘着テープを一
定のピツチで間欠的に移動する間にリングおよび
薄板を順次貼着し、かつテープをリングに沿つて
切取つていく一連の工程からなるもので、特に薄
板を真空吸引式の移送手段によりリングの中央に
供給し、上記粘着テープのリング貼着部の下側に
は受台を設けて、移送手段に吸着保持された薄板
に、受台内の空気圧により押された粘着テープを
圧着して貼着せしめ、ついで、リングの下面にお
いて、テープをリングに沿つて切り離し、薄板を
貼着したフイルムを張つたリングは適宜回収し、
残りの孔あきテープは適宜巻取る工程とからなる
ことを特徴とするものである。

以下にこの発明の方法を添付図面に示す実施例
に基づいて説明する。

図において、１はキヤリヤ治具となる金属製の
円形リングで、このリング１を第１図のようにマ
ガジン２の一定の間隔で積上げる。このマガジン
２は受台３上に載つており、受台３はユニツト化
されたスクリユージヤツキ式、ラツクピニオン
式、シリンダ式などの昇降機構４により一定のピ
ツチで間欠的に下降し、最下端のものから１枚づ
つ送出し手段５により取出される。

送出し手段５は駆動プーリ６により第１図矢印
方向に連続駆動される無端搬送ベルト７を有し、
マガジン２が１ピツチ下ると最下段のリング１が
ベルト７上に載つて取出されるものであるが、図
示以外の機構のものを用いてもよい。１０は前記
昇降機構４、送出し手段５などを取付けた機台で
その上部側方には機箱１１を設ける。

１２，１３は機箱１１と機台１０に設けた上下
のローラで、第１図の矢印方向に間欠駆動され
る。

また、第６図のように機台１０に設けた巻軸１
４から引出された粘着テープ１５がガイドローラ
１６を経てローラ１３上へ導かれる。このテープ
１５は片面に粘着面を設けたポリウレタンなどの
フイルムで、粘着面を上にしてローラ１３上に向
かう。

従つて前記送出し手段で送出されてきたリング
１が粘着テープ１５とともにローラ１２，１３で
挾まれてテープ１５に貼着される。これらのロー
ラ１２，１３はゴムローラとし、ローラ１２は機
箱１１に設けた揺動レバーなどに取付けてバネに
よりローラ１３上へ押し付ける。

第２図の平面図において、１８はシリコンウエ
ハのような薄板１９のマガジンで、第１図のマガ
ジン２と同様の構造で、第３図のようにマガジン
１８の両側壁内側の多数の溝に薄板１９を多段状
に挿入してある。

また、このマガジン１８は、図示省略してある
が、前記マガジン２を支える受台３と同様の昇降
機構により昇降される受台上に載つており、最下
部の一枚の薄板１９が押出部材２０により第２図
のａ位置へ押出される毎に１ピツチ下降する。

第１図ないし第３図の１７は薄板１９の移送手
段である。この移送手段１７は、機箱１１に固定
したガイドフレーム２１と、このアーム２１に沿
つて送りネジなどで進退する移送台２２と、この
台２２にエアシリンダなどで昇降するように取付
けた吸引器２３からなつている。

吸引器２３は、図示省略してあるフレキシブル
ホースにより真空吸引装置に連結されている。２
４はカバー吸引器２３の中空軸に気密を保つて昇
降自在に取付けられ、かつ、バネによつて下方に
押されており、その下縁にはパツキン２５を取付
けてある。２６は機箱１１に固定したアームで、
このアーム２６の先端上部には中空の受台２７を
設け、この受台２７上にダイヤフラム２８を張
り、テープ１５がこのダイヤフラム２８上を移動
するように構成し、図示省略してあるフレキシブ
ルホースを受台２７の下部に連結してダイヤフラ
ム２８の下部に空気圧を加えるように構成する。

上記の構成において、移送台２２が第２図のａ
の位置の薄板１９上に移動し、吸引器２３が下降
して薄板１９を吸引したのち上昇し、ついで移送
台２２が第３図のように受台２７上に移動して停
止する。この間テープ１５上のリング１が受台２
７上にきて停止しているから、薄板１９を吸引し
た吸引器２３が下降し、薄板１９をリング１内に
おいてテープ１５上に接触させるとともに受台２
７内に空気圧を加えてダイヤフラム２８を上方へ
押し上げ、テープ１５と薄板１９を接着する。

ついで、吸引器２３による吸引を中止し、吸引
器２３を上昇させ、受台２７内の圧力を抜き、テ
ープ１５を１ピツチ前進させる。

第４図は他の実施例を示すもので、吸引器２９
が中空平板状で、底部に多数の小孔を有するもの
となり、受台２７のダイヤフラムを省略して皿状
として挿通孔３０を設けた点以外は第３図と同様
である。この場合、吸引器２９で薄板１９を吸着
して受台２７上に下降すると、まず、カバー２４
がリング１上に密着し、ついで吸引器２９の下面
の薄板１９がテープ１５上に密着する。この状態
ではカバー２４の下部のパツキン２５がリング１
上に密着し、リング１の下面にはテープ１５が密
着しているからカバー２４内は吸引器２９内と同
じ真空状態となる。一方受台２７内は通気孔３０
により大気に通じているから、テープ１５は大気
圧により吸引器２９の方へ押し付けられるのでテ
ープ１５と薄板１９は密着する。その他の作用は
第３図の例と同様である。

こうしてテープ１５上に貼着されたリング１と
薄板１９はテープ１５の前進とともにつぎの切断
手段３２上へ移動する。

この切断手段３２は第５図のように機箱１１に
取付けたエアシリンダ３３で昇降するアーム３４
端に設ける。アーム３４端の下部にギヤモータ３
５を固定し、このモータ３５で旋回される旋回枠
３６上に軸３７を支点として揺動するカツターア
ーム３８を取付け、このアーム３８の先端に自由
回転の円板状カツタ３９を取付けたもので、アー
ム３８の先端はバネ４０により押上する。

また、旋回枠３６の中心に固定した垂直の軸４
１の上端に円板状の押え板４２を回動自在に取付
け、この押え板４２の外周上面に円形環状のゴム
４３を取付けて旋回枠３６の下部周囲に設けた複
数の脚に押え板４２の下部周囲に接するローラ４
４を設ける。

また、前記シリンダ３３の上方において、機箱
１１に固定したアーム４６の先端にはエアシリン
ダ４７で昇降する受部材４８を設け、この受部材
４８の下部外周の突縁４９がリング１を受けるよ
うに構成する。

上記の構成において、粘着テープ１５上に貼着
されたリング１および薄板１９が切断手段３２上
にきて停止すると、シリンダ３３，４７が働いて
切断手段３２が上昇すると同時に受部材４８が下
降して押え板４２のゴム４３と受部材４８の突縁
４９がテープ１５とリング１を挾み、カツタ３９
がテープ１５に切込むとともにモータ３５により
軸４１、旋回枠３６が回転してリング１の下面で
テープ１５を切断する。旋回枠３６が約２回転し
てテープ１５を完全に切断したとき、モータ３５
が停止し、シリンダ３３によりアーム３４が下
り、受部材４８も上昇する。

切断後のテープ１５は第１図、第６図のよう
に、切断手段３２の前方でローラ５１に誘導さ
れ、ガイドローラ５２を経て巻取軸５３に巻取ら
れる。従つて粘着テープ１５にはリング１に貼着
されたフイルム１５′が切取られた孔５４が一定
の間隔であけられている。

また、薄板１９を貼着したフイルム１５′を張
つたリング１はテープ１５から離れてローラ５５
の下を通り、コンベヤ５６上へ移動するが、ロー
ラ５５やコンベヤ５６は機箱１１や機台１０に取
付けたものである。

第１図の５７は前記のように薄板１９、フイル
ム１５′を張つたリング１を収納するマガジンで
ある。このマガジン５７は前記の各マガジン２，
１８とほぼ類似するもので、適宜の昇降機構５８
により昇降される受台５９上に載り、コンベヤ５
６上を移動してきたリング１がマガジン５７内に
１枚入る前に１ピツチ上昇する。

この発明は上記のようにフイルム状の粘着テー
プを粘着面を上にして長手方向に間欠的に移動さ
せ、送り出し手段により１枚づつ送り出されるリ
ングを上下のローラにより前記粘着テープ上に貼
着する工程と、粘着テープ上に貼着されたリング
の中央に薄板を供給して粘着テープ上に貼着し、
ついで、リング下面において、テープをリングに
沿つて切り離し、薄板を貼着したフイルムを張つ
たリングは適宜回収し、残りの孔あきテープは適
宜巻取る工程とからなるものであるから、送出し
手段で送り出されたリングの粘着テープ上への貼
着やこうして貼着されたリング内への薄板の貼着
が人手によらず、自動的にまた、この発明方法の
場合、薄板は真空吸引式の移送手段によりリング
の中央に供給し、上記粘着テープのリング貼着部
の下側には受台を設けて、移送手段に吸着保持さ
れた薄板に、受台内の空気圧により押された粘着
テープを圧着して貼着せしめるものであるから、
粘着テープの貼着がきわめて簡単に行なえる。こ
れらの貼着はローラ間に張られたテープ上におい
て行なわれ、しかもリング下面において、切断手
段が作用してテープをリングに張つたまま切断す
るので切断がきわめて正確に行なえ、かつフイル
ムに皺が生じない。さらに切断後の孔のあいたテ
ープは巻取りローラにより巻取られるので切断後
のテープの処分が容易であるなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明方法を実施する装置の一例を
示す正面図、第２図は同上の平面図、第３図は第
１図Ａ−Ａ線の拡大縦断側面図、第４図は同じく
第１図Ａ−Ａ線の拡大縦断側面図で他の例を示す
もの、第５図は第１図Ｂ−Ｂ線の拡大縦断側面
図、第６図は要部の斜視図である。１……リング、５……送出し手段、１５……テ
ープ、１５′……フイルム、１９……薄板、３２
……切断手段。

Claims

【特許請求の範囲】

１フイルム状の粘着テープを粘着面を上にして
長手方向に間欠的に移動させ、送出し手段により
１枚づつ送り出されるリングを上下のローラによ
り前記粘着テープ上に粘着する工程と、粘着テー
プ上に貼着されたリングの中央に薄板を供給して
粘着テープ上に貼着する工程からなる方法におい
て、上記薄板は真空吸引式の移送手段によりリン
グの中央に供給し、上記粘着テープのリング貼着
部の下側には受台を設けて、移送手段に吸着保持
された薄板に、受台の空気圧により押された粘着
テープを圧着して貼着せしめ、ついで、リングの
下面において、テープをリングに沿つて切り離
し、薄板を貼着したフイルムを張つたリングは適
宜回収し、残りの孔あきテープは適宜巻取る工程
とからなるリングと薄板の貼着方法。