JPS5988839A - 半導体装置用リードの位置認識方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体装置の製造工程の一つであるワイヤボン
ディングに好適なリード等の位置認識方法およびその装
置に関するものである。

半導体装置の製造工程の一つに、半導体素子ベレットの
電極パッドとリードと７ワイヤにて電気接続するワイヤ
ボンディングエ稈があるか、近年ではこのワイヤボンデ
ィングも自動化が進められており、前記した′［ｉｆ他
バッドやリードの各位置全自動的１ｃ　認Ｈしてワイヤ
ボンデインクｗ行なうようにしている。この場合、ベレ
ットの電極パッドはホトリソグラフィ技術會利用して形
成δｎているためその寸法精度は高く、したがって電極
バッドの数個を位ｉ認識丁れはそｎと相対位置関係から
曲のパッド位＆ｉ容易に求めることができる。

しかしながら、リード、％ＫＭ金属板からなるリードフ
レームで泣形成時の公差や形成佐の変形等によって位置
（相対関係）のばらつきが太さく、したかつて高信頼性
のワイヤボンディング−ｃｈなうためには全リードを位
置認識する心安かるる。

このため、従来では第１図のように、襟数本のり−ド１
に対して工ＴＶカメラ？利用した認識装置の視野２を順
次移動式せながら、視野２内の１箇所に設けた認識部３
勿各リードに対応させて位１を認識金行ない、これｋ　
ＩＪ−ドのピッチＰ、づつ移動して全リードにわたって
行なうことにより全リードの位置認Ｒ２行なう方法が採
用式れている。

しかしながら、この方法は全リード２１本づつ認識する
ためにリード数が２００〜３００以上の半導体装置では
認識時間が極めて長いものになり、処理効率の点で問題
となる。

これに対し、各リード全直交する方向に走査して各リー
ドの位ｔｌｔｗ認識する所謂ラインスキャナ方法が提案
されており、全リードの認識時間の短縮には有効である
が、技術的に困難な問題が多くしかもコスト高になると
いう不利があって実用化には到っていない。

したがって本発明の目的はり−ド或りはこれに類する物
の全部全正確にかつ効率よく位置認識することができる
位置認識方法および位置認識装置上提供すること全目的
としている。

このような目的全達成するために本発明方法は、認識時
に視野内の袂数箇所に設けた認識部でυ数個のリード等
を認識すると共に、視野はこの認識数に応じたピッチに
て順次移！１ＥＩＩさせるようにしたものである。

また本発明装置は、視野内［り数個の認識部７有する認
識手段と、この認識手段の出力に基つめてリード等の被
認識９勿を認識手段に対して相対ピンチ移動感せる移動
手段と全備えるものである。

以下、本発明を図示の実施例により説明する。

先ず本発明位置認識装置紫第２図により説明し、次にそ
の作用と共に本発明方法ｋ　ａＱ明する。第２図におい
て、１０はワイヤボンディング工程に付さｎる半導体装
ｆ構体であり、リードフレーム１１と、こｆＬＶＣ固着
した半導体素子ベレット１２と？有し、リードフレーム
ｔｔＶｃ設けた俵数不のり一ド１３は前再ピベレット１
２０周に略等しいピッチ寸法で並設式ｎてしる。この構
体１０は移動手段としてのＸＹテーブル１４上にｇｍ芒
ｎ、ｘｙテーブル駆動部１５０作用によって水平Ｘ、Ｙ
方向に任意に移動さｊ、る。

一方、前記ＸＹテーブル１４の上方には工ＴＶカメラ１
６′に下方に向けて設置し、七の視野内に前記リード１
３葡２〜４本程度同時に入れら扛るように撮像する。ま
た、この工ＴＶカメラ１６にはコントロール部１７４？
接続し、前記視野内に撮像されたリード像全１公知のパ
ターン認識方法紫オリ用して認識し、前記ＸＹテーブル
駆動部１５からのＸＹテーブル位置信号と合わせてリー
ド位置？認識することができる。これらコントロール部
１７と工ＴＶカメラ１６は認識手段ｉｓ成することにな
るが、本例においては、前述した視野内に所定ピッチ間
隔の３箇所に認識部１９ａ、ｔ９ｂ％１９ｃ（第３因参
照）を配設し、これら認識部１９ａ、１９ｂ、１９ａの
夫々においてリード認識上行ない得るようにしている。

図中、２０はモニタである。

次に以上の構成の認識装置の作用と共に本発明方法を説
明する。第３因に示すように、ＸＹテーブル１４の初期
位置では工ＴＶカメラ１６の視野２１内に３本のリード
１３ａｓ　１３ｂｓ　１３ａが撮像され、これに対応す
るように認識部１９ａ、１９ｂｓ１９ａが位＆される。

これにより、コントロール部１７では３本のリード１３
ａ、１３ｂ、１３ｃ　’ｆ夫々認識部１９ａ、１９ｂ、
１９ｃによって認識シ、こｎと同時ＩＣＸＹテーブル駆
動部１５から送出されてくるその時のＸＹテーブル１４
の位置信号により前記各リード１３ａｓ　ｔａｂ、　１
３ｃの位置を認識する。次いで、コントロール部１７で
はこれら３本のリードに隣接する次の３本のリード１３
ｄ、ｔ３ｅｓ１３ｆｋｇ識するために、３本のリードに
相当するピッチ量Ｐ！の信号ｉＸＹテーブル駆動部１５
に送出し、ＸＹテーブル１４を相当蓋移動させる。

これにより、リードフレーム１１は工ＴＶカメラ１６に
対して移動ちれ、■ＴＶカメラの視野は同図に破線で示
す視野２１１Ｃなる。したがって、認識部１９ａ、１９
ｂｓ　　１９ｃは今度はリード１３ｄ。

１３８％　　１３ｆに相対してとｎらｔ認識し、この時
のＸＹテーブル１４の位置から前述と同様にしてリード
１３（１，１，３１３，１３ｆの位置會認識することに
なる。以後、これを繰返して行けば全リード１３の位ｔ
ｋ、全認識することができる。

この結果、本実施例では１回の位置認識作用において３
本のリードヶ同時に認識することができるので、全部の
リード全位置認識するためには全リード数の１７３の数
だけ認識作用（視野の移動。

認識）全行なえばよく、従来の１本つつの認識に比較し
て３倍の速で、即ち１／３の時間で位４ＪＲ認識を行な
うことができるのである。なお、リード葡複数本同時に
認識しても、位ｔｕ識自体は各リード？Ｉ−１本づつ独
立して行なっているので、本実施例においても位置の認
識精度に高いものに得ることができる。

ここで、前記実施例では３本のり一ド葡同時に一つの視
野内に入れてこｎらｒ同時に位置認識しているが、２本
のリード又は４本以上のり一ドを同時に一つの視野内に
入れるようにしてもよい。

但し、２本のリードの場合には認識時間上半減するのみ
であり、また４本以上の場合には視野の移動回数は低減
できるが各回の認識作用は若干複雑になる。

！７ｔ、本１４Ｊではリードフレームにおけるリードの
位＊ｕ識で例示しているが、セラミックパッケージにお
けるリードやＰＣＢ基板上のリード、更にはリード以外
の端子類にも同様に適用することかできる。

以上のように本発明の位置認識方法およびての装置によ
れば、複数本のリード等を認識手段の一つの視野内に入
ｎると共に、これら後数本のリードを同時に位置認識し
、かつこＡ’に様数本の１７−ド等に相対するピンチで
視野移動させながら順次行なうので、高精度でかつ信頼
性の高い位ｌｉｔ認識を短時間で行なうことができると
いう効果全奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図μ便米方法の説明図、 第２図は本発明装置の全体構成図、 第３図に本発明方法の説明図である。 １０・・・半導体構体、１１・・・リードフレーム、１
２・・・半導体ベレン）、１３．１３ａ〜１３ｆ・・・
リード、１４・・・ＸＹテーブル、１５・・・ＸＹテー
ブル駆動部、１６・・・工ＴＶカメラ、１７・・・コン
トロール部、１９ａ〜１９０・・・認識部、２０・・・
モニタ、２１．２１Ａ・・・視野。 ゛　−・、？

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、並列配置さｎた多数本のリード等を工ＴＶカメラ等
   の認識手段ケ用いて位置認識するに際し、前記認識手段
   の一視野内には複数本のり一ド等會同時に入ｎると共に
   、前記視野内に設けた複数個の認識部にて前記複数本の
   リード等を同時に位置認識し、かつ前記視野は複数本の
   リードのピッチに合わせて１１−次移動式せること′（
   ｌ−％−徴とするり一ド等の位置認識方法。 ２、並列配置でｎだ多数本のリード等？複数本毎に一つ
   の視野内に入れ、かつ各リード等に夫々相対する複数個
   の認識ｆ！ｆＶＳケ前記視野内Ｖこ配設した認識手段と
   、前記認識手段からの信号に基づいて前記多数本のリー
   ド等を前記複数本のリードのピッチづつ前記認識手段に
   対して相対移動場ぜる移動手段と？備えることｔ％徴と
   するリード等の位置認識装置。