JPS5990004A - 組立精度測定装置 - Google Patents
組立精度測定装置Info
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- JPS5990004A JPS5990004A JP19996682A JP19996682A JPS5990004A JP S5990004 A JPS5990004 A JP S5990004A JP 19996682 A JP19996682 A JP 19996682A JP 19996682 A JP19996682 A JP 19996682A JP S5990004 A JPS5990004 A JP S5990004A
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- JP
- Japan
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- sensor
- disk
- difference
- zero
- rotation
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明ｔ：１４回転体の周方向に沿って取シ何けられ
る複数の物体の取イ：Ｊけ精度を測定する組立イ゛Ｎ度
測定装置に関する。
る複数の物体の取イ：Ｊけ精度を測定する組立イ゛Ｎ度
測定装置に関する。
ＶＴＲにおいては、回転体であるところのディスクに物
体としての２つのヘッドが１８０度ずれて取り付ｋｊら
れて、これらヘッドを磁気テープ上に走行させることに
よって両面信号を取り出すようＫなっている。したがっ
て、ディスクの周方向に４１密に１８０ Ｂの角度で取
シ付けられていなければ、ＴＶｉｉＩｉｉｌ？ｉ？上の
像にずれが生じてしまうから、ＶＴＲの組立工程におい
ては、そのディスクに対するヘッドの組立精度の検査が
極めて重要となる。
体としての２つのヘッドが１８０度ずれて取り付ｋｊら
れて、これらヘッドを磁気テープ上に走行させることに
よって両面信号を取り出すようＫなっている。したがっ
て、ディスクの周方向に４１密に１８０ Ｂの角度で取
シ付けられていなければ、ＴＶｉｉＩｉｉｌ？ｉ？上の
像にずれが生じてしまうから、ＶＴＲの組立工程におい
ては、そのディスクに対するヘッドの組立精度の検査が
極めて重要となる。
従来、ディスクに対するヘラ（°の組立精９〔全検査す
るには、一対の顕微鏡全ディスクの回転軸に対して正確
に１８０ Ｆ＋Ｃツタ；Ｊ向ｆｔ１ｔｓ’ｙ−ｃ配置し
、これら各、ｔｒｆ（ｌｐ 柱で拡大される各ヘッドの
端面に設けられたスリット部が各回吹眺Ｖ、、Ｉ、−け
る視ψｆの中心に位１イするが、否かによって上記各ヘ
ッドがディスクに４’ｉｌ ’Ｍに１８０度の角度で組
立てられているかどうか全測定していた。
るには、一対の顕微鏡全ディスクの回転軸に対して正確
に１８０ Ｆ＋Ｃツタ；Ｊ向ｆｔ１ｔｓ’ｙ−ｃ配置し
、これら各、ｔｒｆ（ｌｐ 柱で拡大される各ヘッドの
端面に設けられたスリット部が各回吹眺Ｖ、、Ｉ、−け
る視ψｆの中心に位１イするが、否かによって上記各ヘ
ッドがディスクに４’ｉｌ ’Ｍに１８０度の角度で組
立てられているかどうか全測定していた。
しかしながら、このような測定手段によると、一対の頑
イＲ，４）λの光軸全ディスクの回ｋ ’ｆＱＩＩの中
心に正確に合せることや１８０ｆｌの対向角度で配置す
ることに多大な労カ全要するばがりか；１１（差も生じ
ゃすぐ、また測定に１禁してりＪ、ビンｈ Ｗ’４１！
’：全行なったり、一対の顕微祿をそれぞれＦ＝ｌ＋！
がなければならず、作業性が極めてｈ′ｇい。しかも、
顕ＴＲ鋭による測定は測定者フラ（目で見て判断するか
ら、１′４Ｊ断基／１八にばらつきが生じ、測定＃’ｒ
ｔ Ｑの向上には限界があった。
イＲ，４）λの光軸全ディスクの回ｋ ’ｆＱＩＩの中
心に正確に合せることや１８０ｆｌの対向角度で配置す
ることに多大な労カ全要するばがりか；１１（差も生じ
ゃすぐ、また測定に１禁してりＪ、ビンｈ Ｗ’４１！
’：全行なったり、一対の顕微祿をそれぞれＦ＝ｌ＋！
がなければならず、作業性が極めてｈ′ｇい。しかも、
顕ＴＲ鋭による測定は測定者フラ（目で見て判断するか
ら、１′４Ｊ断基／１八にばらつきが生じ、測定＃’ｒ
ｔ Ｑの向上には限界があった。
そこで、ディスクとともに回転するヘッドにレーザ光を
入射させ、ヘッド）端面のスリット部から散乱（−た１
／−デ光を差動アンプに接続された２つ並んだセン゛す
゛で受光して、差ｄ１１１アンプがら出力される信号の
うち一方のヘッドでのゼロクロス点から他方のヘッドの
ピロクロス点カ得られるまでの時間と、油力のヘラ１９
のゼロクロス点から再度最初のヘッドが検出されるゼロ
クロス点までの時間との比較から両ヘッドの１８０度の
組立楯度全求めるように１．た装置が提案されている。
入射させ、ヘッド）端面のスリット部から散乱（−た１
／−デ光を差動アンプに接続された２つ並んだセン゛す
゛で受光して、差ｄ１１１アンプがら出力される信号の
うち一方のヘッドでのゼロクロス点から他方のヘッドの
ピロクロス点カ得られるまでの時間と、油力のヘラ１９
のゼロクロス点から再度最初のヘッドが検出されるゼロ
クロス点までの時間との比較から両ヘッドの１８０度の
組立楯度全求めるように１．た装置が提案されている。
しかしながら、このような装置では、ディスクを非常に
安定に回転させなければ正確な組立精度が得られない間
；−ｑがある。なぜならば、Ｖ″Ｉ’ＲＩ’Ｒヘツト９
度（１１１定では、一般にディスクの回＋１＋２スピー
ドとしで、１６．７ ｍｉｓに使用され、ヘッド組立公
差から測定Ｈｒｔ差ｆ；Ｉ： ｏ、 １μ／８以下でな
ければならず、このためにはブ゛イスクの回転も６．０
Ｘ １０ の安定度が要求さシするが、このような
高−安定度でディスクを回転させることは現在の技術で
ｔよ非常に困雉である。しかも、上述した装置ではディ
スクの回転が安定するまで長時回持たなけれｔＪｒ測定
が行なえない。
安定に回転させなければ正確な組立精度が得られない間
；−ｑがある。なぜならば、Ｖ″Ｉ’ＲＩ’Ｒヘツト９
度（１１１定では、一般にディスクの回＋１＋２スピー
ドとしで、１６．７ ｍｉｓに使用され、ヘッド組立公
差から測定Ｈｒｔ差ｆ；Ｉ： ｏ、 １μ／８以下でな
ければならず、このためにはブ゛イスクの回転も６．０
Ｘ １０ の安定度が要求さシするが、このような
高−安定度でディスクを回転させることは現在の技術で
ｔよ非常に困雉である。しかも、上述した装置ではディ
スクの回転が安定するまで長時回持たなけれｔＪｒ測定
が行なえない。
この発明は上記事１７ｔＶＣ着目してなされたもので、
その目的とするところＣよ、高安定な回転体の回転を必
要とぜずに名物体の組立精度を得ることができるｄｌ１
７立精度ｊｆｌｌｌ定＠ｆ＋イを伜イ１（することにあ
る。
その目的とするところＣよ、高安定な回転体の回転を必
要とぜずに名物体の組立精度を得ることができるｄｌ１
７立精度ｊｆｌｌｌ定＠ｆ＋イを伜イ１（することにあ
る。
この発明しよ、物体の二点間の対向角における回転体の
回転スピードの変化を補正演算処理して各物体相互の取
（＝Ｊけ角度のずれｆｉ蓑７ ｉ’ｉｊ（ｎ−すること
によシ、回転体の回転の変動に影響に左右されることな
（物体相互の取付は角ｎｙのす九叶を求めようとするも
のである。
回転スピードの変化を補正演算処理して各物体相互の取
（＝Ｊけ角度のずれｆｉ蓑７ ｉ’ｉｊ（ｎ−すること
によシ、回転体の回転の変動に影響に左右されることな
（物体相互の取付は角ｎｙのす九叶を求めようとするも
のである。
〔発明の実１ｊ（ｉ例〕
以下、この発明を図面に示す一実ｂｉｉ例にもとづいて
説明する。図中１ｔよ円板状をなした回転体さしてのＶ
’ｌ’Ｒのディスクである。このデ・ｒスフ１の中心部
にｔま回転軸２が設けられ、また上面周辺部には物体と
して２つのヘッド、？ ＦＬ 、 、？ ｈがディスク
ｌの周方向に１８０度の角度となるように設けられでい
る。これらヘッド、？ ａ ｌ ３ ｂは第２図に示す
ように一錨１面が湾曲したほぼかまぼこ形をなしていで
、ディスクｌの外周面から突出した西曲面にｔ」刀Ｖさ
方向に沿って散乱部としてのスリット部４が設けられて
いる。
説明する。図中１ｔよ円板状をなした回転体さしてのＶ
’ｌ’Ｒのディスクである。このデ・ｒスフ１の中心部
にｔま回転軸２が設けられ、また上面周辺部には物体と
して２つのヘッド、？ ＦＬ 、 、？ ｈがディスク
ｌの周方向に１８０度の角度となるように設けられでい
る。これらヘッド、？ ａ ｌ ３ ｂは第２図に示す
ように一錨１面が湾曲したほぼかまぼこ形をなしていで
、ディスクｌの外周面から突出した西曲面にｔ」刀Ｖさ
方向に沿って散乱部としてのスリット部４が設けられて
いる。
このようにしてヘッド３ａ ＊ ３ｂが糸目み付けられ
たディスク１によ、その回転軸２が図示しない支持体に
支持されで図示しないモータで回転駆動され、上記一対
のヘッドＪ ａ ＋ ３ｂがディスクｌの周方向に１８
０度の角度で精密に設けられているか、否かが測定装置
５によって測定される。この測定性１ｉ、５＃ｔ 、以
下の如＜ １７１成されている。すなわち、ディスク１
とともに回転ＰＩＫ動されるヘッドＪ ＦＩ Ｉ ３
ｂには、これらヘッド、９ ｇ 、 、９ ｂの湾曲面
にレーザ発振器６から出力されるレーザ光りが第１のレ
ンズ６ａで集束されて所定の入射角度で／ＩＩＴ番に照
射される。ヘッドＪ ａ ｌ Ｊ ｂの湾曲面を照射し
たレーデ光は、通常湾曲面で正反射するが、スリット部
４においては散乱する。湾曲面からのＩＦ反射光Ｌ１は
この反射方向に配置１りされたＮ（４光仮７に当って吸
収され、散乱光Ｌ ２はこの散乱方向に配ｆｉ′ｖされ
た第２のレンズ８でｔ１束されて空間フィルタ９に向う
。この空間フィルタ９には、」１記スリット部４と直交
する方向に細長い透孔１０が穿設されている。したがっ
て、散乱光１．ｒ １だけが上記透孔ｌＯを通：１１・
へするようになっている。また透間１０ｆ通過した散乱
光り鵞がスリット部４の像を形成する位置には、フォト
ディテクタで構成される第１のセンサ１１と第２のセン
サ１２とがわずかに離間した状態で並設されている。し
たがって、散乱光り雪 によるスリット部４の像は、デ
ィスク１とともにヘッド３ ａ ＊ ３ ｂが回転する
ことによシ、第１のセンサ１１で検知されてから曵２の
センサ１２で検知されるようになっている。そして、こ
れらセンサ１１゜１２のうち第１のセンサ１１は差動ア
ンプ１３の非反転入力端子に接続され、第２のセンサは
差動アンプ１３の反転入力端子に接続されていて、との
差動アンプ１３によって第１のセンサ１１からの出力Ｅ
１とｐｒ＋、 ２のセンサ１２からの出力Ｅ２との差が
０１１されるようになっている。
たディスク１によ、その回転軸２が図示しない支持体に
支持されで図示しないモータで回転駆動され、上記一対
のヘッドＪ ａ ＋ ３ｂがディスクｌの周方向に１８
０度の角度で精密に設けられているか、否かが測定装置
５によって測定される。この測定性１ｉ、５＃ｔ 、以
下の如＜ １７１成されている。すなわち、ディスク１
とともに回転ＰＩＫ動されるヘッドＪ ＦＩ Ｉ ３
ｂには、これらヘッド、９ ｇ 、 、９ ｂの湾曲面
にレーザ発振器６から出力されるレーザ光りが第１のレ
ンズ６ａで集束されて所定の入射角度で／ＩＩＴ番に照
射される。ヘッドＪ ａ ｌ Ｊ ｂの湾曲面を照射し
たレーデ光は、通常湾曲面で正反射するが、スリット部
４においては散乱する。湾曲面からのＩＦ反射光Ｌ１は
この反射方向に配置１りされたＮ（４光仮７に当って吸
収され、散乱光Ｌ ２はこの散乱方向に配ｆｉ′ｖされ
た第２のレンズ８でｔ１束されて空間フィルタ９に向う
。この空間フィルタ９には、」１記スリット部４と直交
する方向に細長い透孔１０が穿設されている。したがっ
て、散乱光１．ｒ １だけが上記透孔ｌＯを通：１１・
へするようになっている。また透間１０ｆ通過した散乱
光り鵞がスリット部４の像を形成する位置には、フォト
ディテクタで構成される第１のセンサ１１と第２のセン
サ１２とがわずかに離間した状態で並設されている。し
たがって、散乱光り雪 によるスリット部４の像は、デ
ィスク１とともにヘッド３ ａ ＊ ３ ｂが回転する
ことによシ、第１のセンサ１１で検知されてから曵２の
センサ１２で検知されるようになっている。そして、こ
れらセンサ１１゜１２のうち第１のセンサ１１は差動ア
ンプ１３の非反転入力端子に接続され、第２のセンサは
差動アンプ１３の反転入力端子に接続されていて、との
差動アンプ１３によって第１のセンサ１１からの出力Ｅ
１とｐｒ＋、 ２のセンサ１２からの出力Ｅ２との差が
０１１されるようになっている。
そして、差部）′ンプ１３からの出力は演初回路１４に
入力される。濱ｒｆ回路１４では第１のセンサ１１から
の出力Ｅ、と第２のセンサ１２からの出力Ｅ２とから演
ηによってゼロクロス点の周辿ケ検出し、ディスク１の
回転に対するゼロクロス点間における周期時間の平均率
からヘッド、？ １１ 、 、？ ｂの相互の１（ゾ付
角度のずれ址を演３′ナーするようにしている。ずなわ
ち、レーザ光りによる測定開始？Ｌｎ回転目で行なわれ
るヘッド３ａに対応するゼロクロス点から、さらに半回
転後の−＼ラッド９ ｂに対しＬ’、 ′するゼロクロ
ス点が現われる棟での１１．１．間ｙ、 Ｔ、Ｉ＋とし
７、さらにディスク１が半回転して−＼ツ１゛３ａに対
応するゼロクロス点が７’４度」１１われるまでの周期
時間をＴ２ｎとしたとき、−＼ツ）’ ３ ａ 、 ３
ｂの相互のずれ絹とデノタル演岬、することでディスク
ｌの回転スピードの変１１１１１から最も影響全党けに
くい状部でヘッド、？ ａ 、 ３ｈの相仇のずれ全検
出することができるようになっている。そしで、このず
れ量の結果は演ｑ回路１４に内蔵された図示しない表示
部で表示されるようになっている。なお、上述した式に
おいて、ｋは時間差を角度差へ変換するための変換定敷
である。
入力される。濱ｒｆ回路１４では第１のセンサ１１から
の出力Ｅ、と第２のセンサ１２からの出力Ｅ２とから演
ηによってゼロクロス点の周辿ケ検出し、ディスク１の
回転に対するゼロクロス点間における周期時間の平均率
からヘッド、？ １１ 、 、？ ｂの相互の１（ゾ付
角度のずれ址を演３′ナーするようにしている。ずなわ
ち、レーザ光りによる測定開始？Ｌｎ回転目で行なわれ
るヘッド３ａに対応するゼロクロス点から、さらに半回
転後の−＼ラッド９ ｂに対しＬ’、 ′するゼロクロ
ス点が現われる棟での１１．１．間ｙ、 Ｔ、Ｉ＋とし
７、さらにディスク１が半回転して−＼ツ１゛３ａに対
応するゼロクロス点が７’４度」１１われるまでの周期
時間をＴ２ｎとしたとき、−＼ツ）’ ３ ａ 、 ３
ｂの相互のずれ絹とデノタル演岬、することでディスク
ｌの回転スピードの変１１１１１から最も影響全党けに
くい状部でヘッド、？ ａ 、 ３ｈの相仇のずれ全検
出することができるようになっている。そしで、このず
れ量の結果は演ｑ回路１４に内蔵された図示しない表示
部で表示されるようになっている。なお、上述した式に
おいて、ｋは時間差を角度差へ変換するための変換定敷
である。
つぎにこのように構成された測定装置５の作用について
説明する。まず、ディスクｌを回転するとともにレーデ
発振器６を作動させてレーザ光■、全出カーノーると、
とのレーザ光Ｔ、はディスク１とともに回転する一対の
ヘッド、？ ａ 、 、？ ｂの湾曲面全１１４次照射
すること妬なる。レーザ光りが一方のヘッド３ａのｔｊ
曲面分照射したとき、とのレーザ９光Ｉ、はスリット部
４を除く個所では旧反射するから、この正反射光Ｔ、ｓ
Ｉ’Ｊ、 哨光板７に当って吸収される。しかし、レ
ーデ光りがスリット部４を照射したときには、このスリ
ットｊｆＢ ４で散乱するので、この散乱光Ｌｚ６−、
ｊｉＭ＜２の１／ンズ８で集束されて空間フィルタ９の
透孔１０ケ通ｉＡ４する。そ１，７て１．スリット部４
の像乏形成した散乱光Ｌ 、 ）：ｉ、５”（スフｌと
ともにヘッド３丸が回転することにより、ＨＬ ３１９
．Ｉに矢印で示すよりに第１のセンサ１１から第２のセ
ンサ１２へと移行してこれらセンサ１１．１２により検
知される。したがつで、差動アンプ１３でのＨ（１のセ
ンサ１１の出力Ｉ！］、と＠２の七ンーリ°１２の出力
Ｅ２との差ΔＥ ｔ、ｔ 第４図に示すように正から負
へと反転する。そしてこのときのスリット部４のｆφ業
影形成る散乱光Ｌ２が第１のセンサ１１から第２のセン
サ１２に移行する瞬間がゼロクロス点２．となシ、この
ゼロクロス点ｚ１が生じたときの時間が演′１事回路１
４に記憶される。
説明する。まず、ディスクｌを回転するとともにレーデ
発振器６を作動させてレーザ光■、全出カーノーると、
とのレーザ光Ｔ、はディスク１とともに回転する一対の
ヘッド、？ ａ 、 、？ ｂの湾曲面全１１４次照射
すること妬なる。レーザ光りが一方のヘッド３ａのｔｊ
曲面分照射したとき、とのレーザ９光Ｉ、はスリット部
４を除く個所では旧反射するから、この正反射光Ｔ、ｓ
Ｉ’Ｊ、 哨光板７に当って吸収される。しかし、レ
ーデ光りがスリット部４を照射したときには、このスリ
ットｊｆＢ ４で散乱するので、この散乱光Ｌｚ６−、
ｊｉＭ＜２の１／ンズ８で集束されて空間フィルタ９の
透孔１０ケ通ｉＡ４する。そ１，７て１．スリット部４
の像乏形成した散乱光Ｌ 、 ）：ｉ、５”（スフｌと
ともにヘッド３丸が回転することにより、ＨＬ ３１９
．Ｉに矢印で示すよりに第１のセンサ１１から第２のセ
ンサ１２へと移行してこれらセンサ１１．１２により検
知される。したがつで、差動アンプ１３でのＨ（１のセ
ンサ１１の出力Ｉ！］、と＠２の七ンーリ°１２の出力
Ｅ２との差ΔＥ ｔ、ｔ 第４図に示すように正から負
へと反転する。そしてこのときのスリット部４のｆφ業
影形成る散乱光Ｌ２が第１のセンサ１１から第２のセン
サ１２に移行する瞬間がゼロクロス点２．となシ、この
ゼロクロス点ｚ１が生じたときの時間が演′１事回路１
４に記憶される。
ついで、ディスク１が半回転することにより、他方のヘ
ッド３ｂのスリット部４からの散乱光１、が＠１ｔＭ’
１２のセンサ１１．１２によって検知され、このときの
ゼロクロス点ｚ２ が先ｉと同じようＶＣ差動°アン７
６１３で演Ｊ１される。そ 。
ッド３ｂのスリット部４からの散乱光１、が＠１ｔＭ’
１２のセンサ１１．１２によって検知され、このときの
ゼロクロス点ｚ２ が先ｉと同じようＶＣ差動°アン７
６１３で演Ｊ１される。そ 。
して、先程のゼロクロス点Ｚｌがイ６Ｉ知されてから今
＋２の一ピロクロス点２１が１・負知されるまでの時間
Ｔ 、 １がｉ□Ｉ″しｉｔ回路１４に記１．（（され
る。
＋２の一ピロクロス点２１が１・負知されるまでの時間
Ｔ 、 １がｉ□Ｉ″しｉｔ回路１４に記１．（（され
る。
さらに、ディスクｌが半回転することにより、再度ヘッ
ド３８のスリット部４からの散乱光Ｌｘが第１．キ↓２
のセンサ１１．１２によって検知されて、このときのゼ
ロクロス点ｚｌが再び差動アンプ１３で演諜される。そ
し−Ｃ、ヘラド３ｂのゼロクロス点Ｚ ｔが演１）され
てからこのときのゼロクロス点ｚ１２が演算されるとき
までの時間Ｔ２１が演′欅回路Ｉ４にへ１２憶される。
ド３８のスリット部４からの散乱光Ｌｘが第１．キ↓２
のセンサ１１．１２によって検知されて、このときのゼ
ロクロス点ｚｌが再び差動アンプ１３で演諜される。そ
し−Ｃ、ヘラド３ｂのゼロクロス点Ｚ ｔが演１）され
てからこのときのゼロクロス点ｚ１２が演算されるとき
までの時間Ｔ２１が演′欅回路Ｉ４にへ１２憶される。
そして、このようにして得られた時間Ｔ１と時間Ｔ 、
＋との比較から、２つのスリット部４゜４間の対向角
（１８０度）のずれが得られるが、このようにたんの両
者の周期時間を比較してずれ石ヲ得るのでＱよ、技術的
に困帷とされるディスク１の高安定が要求されて始めて
イ１マ度が得られるところで、最初の半回転と、後の半
回転とのディスクｌの回転スピードが変動するといった
モータ等の駆動では測定に誤差を生じる。
＋との比較から、２つのスリット部４゜４間の対向角
（１８０度）のずれが得られるが、このようにたんの両
者の周期時間を比較してずれ石ヲ得るのでＱよ、技術的
に困帷とされるディスク１の高安定が要求されて始めて
イ１マ度が得られるところで、最初の半回転と、後の半
回転とのディスクｌの回転スピードが変動するといった
モータ等の駆動では測定に誤差を生じる。
し７かしながｒ、、ｊの発明でＱ、１デイスク１の回転
スピードのり゛叫＋ｆ補正してヘッド、？ ａ 、 ３
ｈ相互の取イー］角ｆ（Ｌ−のずれト）蒼：済２′）、
する演ｎ回転１４を用いたしとで、高ダ７定なディスク
１の回転を一必、要とぜずに一＼ツＦ 、？ ａ 、
、”Ｊ ｈの−１−Ｆ確な組立オ＾Ｉ１．１′を得るこ
とができる。
スピードのり゛叫＋ｆ補正してヘッド、？ ａ 、 ３
ｈ相互の取イー］角ｆ（Ｌ−のずれト）蒼：済２′）、
する演ｎ回転１４を用いたしとで、高ダ７定なディスク
１の回転を一必、要とぜずに一＼ツＦ 、？ ａ 、
、”Ｊ ｈの−１−Ｆ確な組立オ＾Ｉ１．１′を得るこ
とができる。
この点につき詳イ１１１に薄明−すれＱ」１、ディスク
の回＋１１．．％スピードが中直に速くあるいし、１、
遅くなるときｌｊ 、上述したディスク１０回転が２回
転目に入り、ｆｉ４ｊ−＼ツ）３ｈのスリット部４に対
ｌｊ、・するゼロクロス点Ｚ が」１１、われるまでの
時間Ｔ１な１Ｆ）で； なるｒノタル演Ｊ９久行なうことによシ、ディスク１の
回転スピード変化が相殺されて正Ｃ１〆に１８０度に対
する９１１向角ずれトｄΔθが４４７られる。
の回＋１１．．％スピードが中直に速くあるいし、１、
遅くなるときｌｊ 、上述したディスク１０回転が２回
転目に入り、ｆｉ４ｊ−＼ツ）３ｈのスリット部４に対
ｌｊ、・するゼロクロス点Ｚ が」１１、われるまでの
時間Ｔ１な１Ｆ）で； なるｒノタル演Ｊ９久行なうことによシ、ディスク１の
回転スピード変化が相殺されて正Ｃ１〆に１８０度に対
する９１１向角ずれトｄΔθが４４７られる。
世し、ｋは時間差を角度差に変換するだめの変換定数で
ある。
ある。
またディスク１の回転スピードが即時間にゆらぐとき（
」１、テ゛イスクｉ ｆ ｎ回回転させてＴ、−′ｒ２
の坪純平均全次式で求めれば正確に対向角ずれＩｉ、Δ
θがｆＩＪられる。
」１、テ゛イスクｉ ｆ ｎ回回転させてＴ、−′ｒ２
の坪純平均全次式で求めれば正確に対向角ずれＩｉ、Δ
θがｆＩＪられる。
しかしで、−シスホした笑ＩＬ：：ｌ入虚１が糸１１合
わされ初雛に回転する一般のモータ等といつだＪｌに動
では、上述した２つの式の組合−Ｖとムシ、対向角ずれ
１４Δθとしてロー１１１９回路１４にプログラムされ
た、ｎ なる濱ηを、゛（１動アン７″１３かＣ〕のｆ４．町か
らｉ’：’ ｌ：で設けられてい２）ならｉｔ： 、Δ
θ−（）となるから、上記演１ｖ回路１４がディスク１
の回転に対する周期時間の平均率（補正）を演％Ｈする
ことによってディスク１の回転スピ゛−ドか変動し又も
一対のヘッド３ ａ 、 、１ ｂの和文精度が精度良
く求められることになる。そして、この演Ｊγの結果ｔ
」１図示しない、Ｎ示１ｆＢに表示されるうなお、上述
したーリＩ楕１シ・１１では回転体であるディスクに物
体として２つの−＼ラッド組立てられた場合について述
べたが、ＶＴ）？−＼ツドに限らず、回転体に取シｆ＝
Ｊけられた部品の取シイ」け測定に幅広く適用でき、ま
た物体Ｑよ４つあるいはそれ以−ヒの１昌数個であって
もそれぞれ対向する二点間の物体のずれ川、のから上：
ｌ１１（シた一実雄例同様に精度良くｄ用定することが
できることはいうまでもない。
わされ初雛に回転する一般のモータ等といつだＪｌに動
では、上述した２つの式の組合−Ｖとムシ、対向角ずれ
１４Δθとしてロー１１１９回路１４にプログラムされ
た、ｎ なる濱ηを、゛（１動アン７″１３かＣ〕のｆ４．町か
らｉ’：’ ｌ：で設けられてい２）ならｉｔ： 、Δ
θ−（）となるから、上記演１ｖ回路１４がディスク１
の回転に対する周期時間の平均率（補正）を演％Ｈする
ことによってディスク１の回転スピ゛−ドか変動し又も
一対のヘッド３ ａ 、 、１ ｂの和文精度が精度良
く求められることになる。そして、この演Ｊγの結果ｔ
」１図示しない、Ｎ示１ｆＢに表示されるうなお、上述
したーリＩ楕１シ・１１では回転体であるディスクに物
体として２つの−＼ラッド組立てられた場合について述
べたが、ＶＴ）？−＼ツドに限らず、回転体に取シｆ＝
Ｊけられた部品の取シイ」け測定に幅広く適用でき、ま
た物体Ｑよ４つあるいはそれ以−ヒの１昌数個であって
もそれぞれ対向する二点間の物体のずれ川、のから上：
ｌ１１（シた一実雄例同様に精度良くｄ用定することが
できることはいうまでもない。
以上説明したようにこの発明によれば、回転体の回転ス
ピードが作動しても、回転の変動に影響されることなく
物付相〃の取イ」け角変のずれｊｌを求めることができ
るよりになり、高安定な回転体の回転全必要と−ピずに
各物体の組立精度′ｆ：１ｌＩＩＩ定することができる
。［２かも、回転体の回転スピードが変動しても止部に
測定できるから、回転開始直後から測定を行なうことが
できる。そのうえ、ｉ「イ６゛−処理する）Ｉｑ宅１代
はが１中なので演＋１回路ｆＪ簡ｔ１１１、かつ１１′
４糸１１（なものですむといった利点がある。
ピードが作動しても、回転の変動に影響されることなく
物付相〃の取イ」け角変のずれｊｌを求めることができ
るよりになり、高安定な回転体の回転全必要と−ピずに
各物体の組立精度′ｆ：１ｌＩＩＩ定することができる
。［２かも、回転体の回転スピードが変動しても止部に
測定できるから、回転開始直後から測定を行なうことが
できる。そのうえ、ｉ「イ６゛−処理する）Ｉｑ宅１代
はが１中なので演＋１回路ｆＪ簡ｔ１１１、かつ１１′
４糸１１（なものですむといった利点がある。
るヘッドの斜視図、第３図は第１． 、２（！ ２のセ
ンサによって物体からのレーデ光が検知される状態金示
す正〔−１１司、４１４図番よ差動アンプから出力され
る演算信号を示す線図である。 １・・・ディスク（回転体）、３ ｎ 、 、？ ｂ・
・・−＼ツｒ（物体）、４ ＝・スＩＪ ットｎｌＩ
（’＋ｉ！Ｊ、ｌ′Ｉ＋ｌ ｔ：ｌＩ ）、６・・・レ
ーザ発振器、１１・・・萬Ｊのセンソ°、１２・・・車
２のセンーナ、１３・・・Ｍ１山アンフ０．１４・・・
ｉｙｔ 、？亨回路、Ｌ・・・レーザ光、Ｌビ・・正反
射光、Ｌ２・・・散乱光。
ンサによって物体からのレーデ光が検知される状態金示
す正〔−１１司、４１４図番よ差動アンプから出力され
る演算信号を示す線図である。 １・・・ディスク（回転体）、３ ｎ 、 、？ ｂ・
・・−＼ツｒ（物体）、４ ＝・スＩＪ ットｎｌＩ
（’＋ｉ！Ｊ、ｌ′Ｉ＋ｌ ｔ：ｌＩ ）、６・・・レ
ーザ発振器、１１・・・萬Ｊのセンソ°、１２・・・車
２のセンーナ、１３・・・Ｍ１山アンフ０．１４・・・
ｉｙｔ 、？亨回路、Ｌ・・・レーザ光、Ｌビ・・正反
射光、Ｌ２・・・散乱光。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 光が散乱する散乱部を４ｉｆＮえる（ｌ”！ｌｉ￥０飼
の物体（：周方向に沿って均等に１１ｙリイ；］けた回
転体とともに回転する上記物体にレーザ光を照射するレ
ーザ発振器と、各物体の散乱部で１１女乱しだレーザ光
を検知する並設された単１のセンソ゛および第２のセン
サと、これらセンサからの・１ｔ１号が入力される差動
アンプと、この差即１アンプから出力される信号のゼロ
クロス点の周期を検出し、回転体の回転数’ｆｃ： ｎ
％物体相互の二点間の対向角のゼロクロス点の周期時
間Ｔ１、半回転後のゼロクロス点の時間ｆ：Ｔ１ｎ５杓
び現われる物体相互の対向角のゼロクロス点の周期四囲
ｔＴ２ｎとしたとき ｎ で名物体相互のずれ１．ｉ（ン、演と）する演′埠回路
とを具備したことを／ｌ？徴とする組立精度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19996682A JPS5990004A (ja) | 1982-11-15 | 1982-11-15 | 組立精度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19996682A JPS5990004A (ja) | 1982-11-15 | 1982-11-15 | 組立精度測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5990004A true JPS5990004A (ja) | 1984-05-24 |
| JPS6360324B2 JPS6360324B2 (ja) | 1988-11-24 |
Family
ID=16416558
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19996682A Granted JPS5990004A (ja) | 1982-11-15 | 1982-11-15 | 組立精度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5990004A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01263506A (ja) * | 1988-04-14 | 1989-10-20 | Daiichi Denki Kk | 光増幅変位センサと位置制御装置 |
| CN103424071A (zh) * | 2012-05-23 | 2013-12-04 | 北京理工大学 | 基于激光三角法的内孔测头固有几何参数标定方法 |
| CN105890517A (zh) * | 2015-01-23 | 2016-08-24 | 北京空间飞行器总体设计部 | 一种基于复杂异形精测镜的精度测量方法 |
-
1982
- 1982-11-15 JP JP19996682A patent/JPS5990004A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01263506A (ja) * | 1988-04-14 | 1989-10-20 | Daiichi Denki Kk | 光増幅変位センサと位置制御装置 |
| CN103424071A (zh) * | 2012-05-23 | 2013-12-04 | 北京理工大学 | 基于激光三角法的内孔测头固有几何参数标定方法 |
| CN105890517A (zh) * | 2015-01-23 | 2016-08-24 | 北京空间飞行器总体设计部 | 一种基于复杂异形精测镜的精度测量方法 |
| CN105890517B (zh) * | 2015-01-23 | 2018-08-07 | 北京空间飞行器总体设计部 | 一种基于复杂异形精测镜的精度测量方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6360324B2 (ja) | 1988-11-24 |
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