JPS6360324B2 - - Google Patents
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- JPS6360324B2 JPS6360324B2 JP19996682A JP19996682A JPS6360324B2 JP S6360324 B2 JPS6360324 B2 JP S6360324B2 JP 19996682 A JP19996682 A JP 19996682A JP 19996682 A JP19996682 A JP 19996682A JP S6360324 B2 JPS6360324 B2 JP S6360324B2
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 12
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は回転体の周方向に沿つて取り付けら
れる複数の物体の取付け精度を測定する組立精度
測定装置に関する。
れる複数の物体の取付け精度を測定する組立精度
測定装置に関する。
VTRにおいては、回転体であるところのデイ
スクに物体としての２つのヘツドが180度ずれて
取り付けられて、これらヘツドを磁気テープ上に
走行させることによつて画面信号を取り出すよう
になつている。したがつて、デイスクの周方向に
精密に180度の角度で取り付けられていなければ、
TV画面上の像にずれが生じてしまうから、
VTRの組立工程においては、そのデイスクに対
するヘツドの組立精度の検査が極めて重要とな
る。
スクに物体としての２つのヘツドが180度ずれて
取り付けられて、これらヘツドを磁気テープ上に
走行させることによつて画面信号を取り出すよう
になつている。したがつて、デイスクの周方向に
精密に180度の角度で取り付けられていなければ、
TV画面上の像にずれが生じてしまうから、
VTRの組立工程においては、そのデイスクに対
するヘツドの組立精度の検査が極めて重要とな
る。
従来、デイスクに対するヘツドの組立精度を検
査するには、一対の顕微鏡をデイスクの回転軸に
対して正確に180度の対向角度で配置し、これら
各顕微鏡で拡大される各ヘツドの端面に設けられ
たスリツト部が各顕微鏡における視野の中心に位
置するか、否かによつて上記各ヘツドがデイスク
に精密に180度の角度で組立てられているかどう
かを測定していた。
査するには、一対の顕微鏡をデイスクの回転軸に
対して正確に180度の対向角度で配置し、これら
各顕微鏡で拡大される各ヘツドの端面に設けられ
たスリツト部が各顕微鏡における視野の中心に位
置するか、否かによつて上記各ヘツドがデイスク
に精密に180度の角度で組立てられているかどう
かを測定していた。
しかしながら、このような測定手段によると、
一対の顕微鏡の光軸をデイスクの回転軸の中心に
正確に合せることや180度の対向角度で配置する
ことに多大な労力を要するばかりか誤差も生じや
すく、また測定に際してはピント調整を行なつた
り、一対の顕微鏡をそれぞれ覗かなければなら
ず、作業性が極めて悪い。しかも、顕微鏡による
測定は測定者が目で見て判断するから、判断基準
にばらつきが生じ、測定精度の向上には限界があ
つた。
一対の顕微鏡の光軸をデイスクの回転軸の中心に
正確に合せることや180度の対向角度で配置する
ことに多大な労力を要するばかりか誤差も生じや
すく、また測定に際してはピント調整を行なつた
り、一対の顕微鏡をそれぞれ覗かなければなら
ず、作業性が極めて悪い。しかも、顕微鏡による
測定は測定者が目で見て判断するから、判断基準
にばらつきが生じ、測定精度の向上には限界があ
つた。
そこで、デイスクとともに回転するヘツドにレ
ーザ光を入射させ、ヘツド端面のスリツト部から
散乱したレーザ光を差動アンプに接続された２つ
並んだセンサで受光して、差動アンプから出力さ
れる信号のうち一方のヘツドでのゼロクロス点か
ら他方のヘツドのゼロクロス点が得られるまでの
時間と、他方のヘツドのゼロクロス点から再度最
初のヘツドが検出されるゼロクロス点までの時間
とを比較から両ヘツドの180度の組立精度を求め
るようにした装置が提案されている。
ーザ光を入射させ、ヘツド端面のスリツト部から
散乱したレーザ光を差動アンプに接続された２つ
並んだセンサで受光して、差動アンプから出力さ
れる信号のうち一方のヘツドでのゼロクロス点か
ら他方のヘツドのゼロクロス点が得られるまでの
時間と、他方のヘツドのゼロクロス点から再度最
初のヘツドが検出されるゼロクロス点までの時間
とを比較から両ヘツドの180度の組立精度を求め
るようにした装置が提案されている。
しかしながら、このような装置では、デイスク
を非常に安定に回転させなければ正確な組立精度
が得られない問題がある。なぜならば、VTRヘ
ツドの組立精度測定では、一般にデイスクの回転
スピードとして、16.7ｍ／ｓに使用され、ヘツド
組立公差から測定誤差は0.1μ／ｓ以下でなければ
ならず、このためにはデイスクの回転も6.0×
10-6の安定度が要求されるが、このような高い安
定度でデイスクを回転させることは現在の技術で
は非常に困難である。しかも、上述した装置では
デイスクの回転が安定するまで長時間待たなけれ
ば測定が行なえない。
を非常に安定に回転させなければ正確な組立精度
が得られない問題がある。なぜならば、VTRヘ
ツドの組立精度測定では、一般にデイスクの回転
スピードとして、16.7ｍ／ｓに使用され、ヘツド
組立公差から測定誤差は0.1μ／ｓ以下でなければ
ならず、このためにはデイスクの回転も6.0×
10-6の安定度が要求されるが、このような高い安
定度でデイスクを回転させることは現在の技術で
は非常に困難である。しかも、上述した装置では
デイスクの回転が安定するまで長時間待たなけれ
ば測定が行なえない。
この発明は上記事情に着目してなされたもの
で、その目的とするところは、高安定な回転体の
回転を必要とせずに各物体の組立精度を得ること
ができる組立精度測定装置を提供することにあ
る。
で、その目的とするところは、高安定な回転体の
回転を必要とせずに各物体の組立精度を得ること
ができる組立精度測定装置を提供することにあ
る。
この発明は、被測定物を回転させる回転手段の
回転スピードの変化を補正演算処理して、任意の
二つの物体間の取付角度のずれ量を演算すること
により、回転の変動の影響に左右されることなく
任意の二つの物体の取付け角度のずれ量を求めよ
うとするものである。
回転スピードの変化を補正演算処理して、任意の
二つの物体間の取付角度のずれ量を演算すること
により、回転の変動の影響に左右されることなく
任意の二つの物体の取付け角度のずれ量を求めよ
うとするものである。
以下、この発明を図面に示す一実施例にもとづ
いて説明する。図中１は円板状をなした回転体と
してのVTRのデイスクである。このデイスク１
の中心部には回転軸２が設けられ、また上面周辺
部には物体として２つのヘツドの３ａ，３ｂがデ
イスク１の周方向に180度の角度となるように設
けられている。これらヘツド３ａ，３ｂは第２図
に示すように一端面が湾曲したほぼかまぼこ形を
なしていて、デイスク１の外周面から突出した湾
曲面には厚さ方向に沿つて散乱部としてのスリツ
ト部４が設けられている。
いて説明する。図中１は円板状をなした回転体と
してのVTRのデイスクである。このデイスク１
の中心部には回転軸２が設けられ、また上面周辺
部には物体として２つのヘツドの３ａ，３ｂがデ
イスク１の周方向に180度の角度となるように設
けられている。これらヘツド３ａ，３ｂは第２図
に示すように一端面が湾曲したほぼかまぼこ形を
なしていて、デイスク１の外周面から突出した湾
曲面には厚さ方向に沿つて散乱部としてのスリツ
ト部４が設けられている。
このようにしてヘツド３ａ，３ｂが組み付けら
れた被測定物であるデイスク１は、その回転軸２
が図示しない支持体に支持されてモータ１５で回
転駆動され、上記一対のヘツド３ａ，３ｂがデイ
スク１の周方向に180度の角度で精密に設けられ
ているか、否かが測定装置５によつて測定され
る。この測定装置５は、以下の如く構成されてい
る。すなわち、デイスク１とともに回転駆動され
るデイスク３ａ，３ｂには、これらヘツド３ａ，
３ｂの湾曲面にレーザ発振器６から出力されるレ
ーザ光Ｌが第１のレンズ６ａで集束されて所定の
入射角度で順番に照射される。ヘツド３ａ，３ｂ
の湾曲面を照射したレーザ光は、通常湾曲面で正
反射するが、スリツト部４においては散乱する。
湾曲面からの正反射光Ｌ１はこの反射方向に配置
された遮光板７に当つて吸収され、散乱光L2は
この散乱方向に配置された第２のレンズ８で集束
されて空間フイルタ９に向う。この空間フイルタ
９には、上記スリツト部４と直交する方向に細長
い透孔１０が穿設されている。したがつて、散乱
光L2だけが上記透孔１０を通過するようになつ
ている。また透孔１０を通過した散乱光L2がス
リツト部４の像を形成する位置には、フオトデイ
テクタで構成される第１のセンサ１１と第２のセ
ンサ１２とがわずかに離間した状態で並設されて
いる。したがつて、散乱光L2によるスリツト部
４の像は、デイスク１とともにヘツド３ａ，３ｂ
が回転することにより、第１のセンサ１１で検知
されてから第２のセンサ１２で検知されるように
なつている。そして、これらセンサ１１，１２の
うち第１のセンサ１１は差動アンプ１３の非反転
入力端子に接続され、第２のセンサは差動アンプ
１３の反転入力端子に接続されていて、この差動
アンプ１３によつて第１のセンサ１１からの出力
E1と第２のセンサ１２からの出力E2との差が演
算されるようになつている。そして、差動アンプ
１３からの出力は演算回路１４に入力される。演
算回路１４では第１のセンサ１１からの出力E1
と第２のセンサ１２からの出力E2とから演算に
よつてゼロクロス点の周期を検出し、デイスク１
の回転に対するゼロクロス点間における周期時間
の平均率からヘツド３ａ，３ｂの相互の取付角度
のずれ量を演算するようにしている。すなわち、
デイスク１を所定回転ｎ回（ｎ≧２）以上回転さ
せて、レーザ光Ｌによる測定開始後、ｉ回転目で
行なわれるヘツド３ａに対応するゼロクロス点か
ら、さらに半回転後のヘツド３ｂに対応するゼロ
クロス点が現われるまでの周期時間をT1 iとし、
さらにデイスク１が半回転してヘツド３ａに対応
するゼロクロス点が再度現われるまでの周期時間
をT2 iとしたとき、ヘツド３ａ，３ｂの相互のず
れ量Δθを； とデジタル演算することでデイスク１の回転スピ
ードの変動から最も影響を受けにくい状態でヘツ
ド３ａ，３ｂの相互のずれを検出することができ
るようになつている。そして、このずれ量の結果
は演算回路１４に内蔵された図示しない表示部で
表示されるようになつている。なお、上述した式
において、ｋは時間差を角度差へ変換するための
変換定数である。
れた被測定物であるデイスク１は、その回転軸２
が図示しない支持体に支持されてモータ１５で回
転駆動され、上記一対のヘツド３ａ，３ｂがデイ
スク１の周方向に180度の角度で精密に設けられ
ているか、否かが測定装置５によつて測定され
る。この測定装置５は、以下の如く構成されてい
る。すなわち、デイスク１とともに回転駆動され
るデイスク３ａ，３ｂには、これらヘツド３ａ，
３ｂの湾曲面にレーザ発振器６から出力されるレ
ーザ光Ｌが第１のレンズ６ａで集束されて所定の
入射角度で順番に照射される。ヘツド３ａ，３ｂ
の湾曲面を照射したレーザ光は、通常湾曲面で正
反射するが、スリツト部４においては散乱する。
湾曲面からの正反射光Ｌ１はこの反射方向に配置
された遮光板７に当つて吸収され、散乱光L2は
この散乱方向に配置された第２のレンズ８で集束
されて空間フイルタ９に向う。この空間フイルタ
９には、上記スリツト部４と直交する方向に細長
い透孔１０が穿設されている。したがつて、散乱
光L2だけが上記透孔１０を通過するようになつ
ている。また透孔１０を通過した散乱光L2がス
リツト部４の像を形成する位置には、フオトデイ
テクタで構成される第１のセンサ１１と第２のセ
ンサ１２とがわずかに離間した状態で並設されて
いる。したがつて、散乱光L2によるスリツト部
４の像は、デイスク１とともにヘツド３ａ，３ｂ
が回転することにより、第１のセンサ１１で検知
されてから第２のセンサ１２で検知されるように
なつている。そして、これらセンサ１１，１２の
うち第１のセンサ１１は差動アンプ１３の非反転
入力端子に接続され、第２のセンサは差動アンプ
１３の反転入力端子に接続されていて、この差動
アンプ１３によつて第１のセンサ１１からの出力
E1と第２のセンサ１２からの出力E2との差が演
算されるようになつている。そして、差動アンプ
１３からの出力は演算回路１４に入力される。演
算回路１４では第１のセンサ１１からの出力E1
と第２のセンサ１２からの出力E2とから演算に
よつてゼロクロス点の周期を検出し、デイスク１
の回転に対するゼロクロス点間における周期時間
の平均率からヘツド３ａ，３ｂの相互の取付角度
のずれ量を演算するようにしている。すなわち、
デイスク１を所定回転ｎ回（ｎ≧２）以上回転さ
せて、レーザ光Ｌによる測定開始後、ｉ回転目で
行なわれるヘツド３ａに対応するゼロクロス点か
ら、さらに半回転後のヘツド３ｂに対応するゼロ
クロス点が現われるまでの周期時間をT1 iとし、
さらにデイスク１が半回転してヘツド３ａに対応
するゼロクロス点が再度現われるまでの周期時間
をT2 iとしたとき、ヘツド３ａ，３ｂの相互のず
れ量Δθを； とデジタル演算することでデイスク１の回転スピ
ードの変動から最も影響を受けにくい状態でヘツ
ド３ａ，３ｂの相互のずれを検出することができ
るようになつている。そして、このずれ量の結果
は演算回路１４に内蔵された図示しない表示部で
表示されるようになつている。なお、上述した式
において、ｋは時間差を角度差へ変換するための
変換定数である。
つぎにこのように構成された測定装置５の作用
について説明する。まず、デイスク１を回転する
とともにレーザ発振器６を作動させてレーザ光Ｌ
を出力すると、このレーザ光Ｌはデイスク１とと
もに回転する一対のヘツド３ａ，３ｂの湾曲面を
順次照射することになる。レーザ光Ｌが一方のヘ
ツド３ａの湾曲面を照射したとき、このレーザ光
Ｌはスリツト部４を除く個所では正反射するか
ら、この正反射光L1は遮光板７に当つて吸収さ
れる。しかし、レーザ光Ｌがスリツト部４を照射
したときには、このスリツト部４で散乱するの
で、この散乱光L2は第２のレンズ８で集束され
て空間フイルタ９の透孔１０を通過する。そし
て、スリツト部４の像を形成した散乱光L2は、
デイスク１とともにヘツド３ａが回転することに
より、第３図に矢印で示すように第１のセンサ１
１から第２のセンサ１２へと移行してこれらセン
サ１１，１２により検知される。したがつて、差
動アンプ１３での第１のセンサ１１の出力E1と
第２のセンサ１２の出力E2との差ΔEは第４図に
示すように正から負へと反転する。そしてこのと
きのスリツト部４の像を形成する散乱光L2が第
１のセンサ１１から第２のセンサ１２に移行する
瞬間がゼロクロス点Z1 1となり、このゼロクロス
点Z1 1が生じたときの時間が演算回路１４に記憶
される。
について説明する。まず、デイスク１を回転する
とともにレーザ発振器６を作動させてレーザ光Ｌ
を出力すると、このレーザ光Ｌはデイスク１とと
もに回転する一対のヘツド３ａ，３ｂの湾曲面を
順次照射することになる。レーザ光Ｌが一方のヘ
ツド３ａの湾曲面を照射したとき、このレーザ光
Ｌはスリツト部４を除く個所では正反射するか
ら、この正反射光L1は遮光板７に当つて吸収さ
れる。しかし、レーザ光Ｌがスリツト部４を照射
したときには、このスリツト部４で散乱するの
で、この散乱光L2は第２のレンズ８で集束され
て空間フイルタ９の透孔１０を通過する。そし
て、スリツト部４の像を形成した散乱光L2は、
デイスク１とともにヘツド３ａが回転することに
より、第３図に矢印で示すように第１のセンサ１
１から第２のセンサ１２へと移行してこれらセン
サ１１，１２により検知される。したがつて、差
動アンプ１３での第１のセンサ１１の出力E1と
第２のセンサ１２の出力E2との差ΔEは第４図に
示すように正から負へと反転する。そしてこのと
きのスリツト部４の像を形成する散乱光L2が第
１のセンサ１１から第２のセンサ１２に移行する
瞬間がゼロクロス点Z1 1となり、このゼロクロス
点Z1 1が生じたときの時間が演算回路１４に記憶
される。
ついで、デイスク１が半回転することにより、
他方のヘツド３ｂのスリツト部４からの散乱光
L2が第１、第２のセンサ１１，１２によつて検
知され、このときのゼロクロス点Z2 1が先程と同
じように差動アンプ１３で演算される。そして、
先程のゼロクロス点Z1 1が検知されてから今度の
ゼロクロス点Z2 1が検知されるまでの時間T1 1が演
算回路１４に記憶される。
他方のヘツド３ｂのスリツト部４からの散乱光
L2が第１、第２のセンサ１１，１２によつて検
知され、このときのゼロクロス点Z2 1が先程と同
じように差動アンプ１３で演算される。そして、
先程のゼロクロス点Z1 1が検知されてから今度の
ゼロクロス点Z2 1が検知されるまでの時間T1 1が演
算回路１４に記憶される。
さらに、デイスク１が半回転することにより、
再度ヘツド３ａのスリツト部４からの散乱光L2
が第１、第２のセンサ１１，１２によつて検知さ
れて、このときのゼロクロス点Z1 2が再び差動ア
ンプ１３で演算される。そして、ヘツド３ｂのゼ
ロクロス点Z2 1が演算されてからこのときのゼロ
クロス点Z1 2が演算されるときまでの時間T2 1が演
算回路１４に記憶される。
再度ヘツド３ａのスリツト部４からの散乱光L2
が第１、第２のセンサ１１，１２によつて検知さ
れて、このときのゼロクロス点Z1 2が再び差動ア
ンプ１３で演算される。そして、ヘツド３ｂのゼ
ロクロス点Z2 1が演算されてからこのときのゼロ
クロス点Z1 2が演算されるときまでの時間T2 1が演
算回路１４に記憶される。
そして、このようにして得られた時間T1 1と時
間T2 1との比較から、２つのスリツト部４，４間
の対向角（180度）のずれが得られるが、このよ
うにたんの両者の周期時間を比較してずれ量を得
るのでは、技術的に困難とされるデイスク１の高
安定が要求されて始めて精度が得られるところ
で、最初の半回転と、後の半回転とのデイスク１
の回転スピードが変動するといつたモータ等の駆
動では測定に誤差を生じる。
間T2 1との比較から、２つのスリツト部４，４間
の対向角（180度）のずれが得られるが、このよ
うにたんの両者の周期時間を比較してずれ量を得
るのでは、技術的に困難とされるデイスク１の高
安定が要求されて始めて精度が得られるところ
で、最初の半回転と、後の半回転とのデイスク１
の回転スピードが変動するといつたモータ等の駆
動では測定に誤差を生じる。
しかしながら、この発明ではデイスク１の回転
スピードの変動を補正してヘツド３ａ，３ｂ相互
の取付角度のずれ量を演算する演算回路１４を用
いたことで、高安定なデイスク１の回転を必要と
せずにヘツド３ａ，３ｂの正確な組立精度を得る
ことができる。
スピードの変動を補正してヘツド３ａ，３ｂ相互
の取付角度のずれ量を演算する演算回路１４を用
いたことで、高安定なデイスク１の回転を必要と
せずにヘツド３ａ，３ｂの正確な組立精度を得る
ことができる。
この点にちき詳細に説明すれば、デイスクの回
転スピードが単調に速くあるいは遅くなるとき
は、上述したデイスク１の回転が２回転目に入
り、再度ヘツド３ｂのスリツト部４に対応するゼ
ロクロス点Z2 2が現われるまでの時間T1 2を得て； Δθ＝ｋ×（T1 1−T2 1）−（T2 1−T1 2）／２ なるデジタル演算を行なうことにより、デイスク
１の回転スピード変化が相殺されて正確に180度
に対する対向角ずれ量Δθが得られる。但し、ｋ
は時間差を角度差に変換するための変換定数であ
る。
転スピードが単調に速くあるいは遅くなるとき
は、上述したデイスク１の回転が２回転目に入
り、再度ヘツド３ｂのスリツト部４に対応するゼ
ロクロス点Z2 2が現われるまでの時間T1 2を得て； Δθ＝ｋ×（T1 1−T2 1）−（T2 1−T1 2）／２ なるデジタル演算を行なうことにより、デイスク
１の回転スピード変化が相殺されて正確に180度
に対する対向角ずれ量Δθが得られる。但し、ｋ
は時間差を角度差に変換するための変換定数であ
る。
またデイスク１の回転スピードが単時間にゆら
ぐときは、デイスク１をｎ回回転（ｎ≧２）させ
てT1−T2の単純平均を次式で求めれば正確に対
向角ずれ量Δθが得られる。
ぐときは、デイスク１をｎ回回転（ｎ≧２）させ
てT1−T2の単純平均を次式で求めれば正確に対
向角ずれ量Δθが得られる。
Δθ＝ｋ×o
〓m=K
―N（T1 i−T2 i）
しかして、上述した変化状態が組合わされ複雑
に回転する一般のモータ等といつた駆動では、上
述した２つの式の組合せとなり、対向角ずれ量
Δθとしては演算回路１４にプログラムされた、 なる演算を差動アンプ１３からの信号から行なう
ことにより、デイスク１に組立てられた一対のヘ
ツド３ａ，３ｂが正確に180度の角度（対向角）
で設けられているならば、Δθ＝０となるから、
上記演算回路１４がデイスク１の回転に対する周
期時間の平均率（補正）を演算することによつて
デイスク１の回転スピードが変動しても一対のヘ
ツド３ａ，３ｂの組立精度が精度良く求められる
ことになる。そして、この演算の結果は図示しな
い表示部に表示される。
に回転する一般のモータ等といつた駆動では、上
述した２つの式の組合せとなり、対向角ずれ量
Δθとしては演算回路１４にプログラムされた、 なる演算を差動アンプ１３からの信号から行なう
ことにより、デイスク１に組立てられた一対のヘ
ツド３ａ，３ｂが正確に180度の角度（対向角）
で設けられているならば、Δθ＝０となるから、
上記演算回路１４がデイスク１の回転に対する周
期時間の平均率（補正）を演算することによつて
デイスク１の回転スピードが変動しても一対のヘ
ツド３ａ，３ｂの組立精度が精度良く求められる
ことになる。そして、この演算の結果は図示しな
い表示部に表示される。
なお、上述した一実施例では回転体であるデイ
スクに物体として２つのヘツドが組立てられた場
合について述べたが、VTRヘツドに限らず、回
転体に取り付けられた部品の取り付け測定に幅広
く適用でき、また物体は４つあるいはそれ以上の
偶数個であつても二点間の物体のずれ量を、例え
ば１つ飛ばして測定すれば、一実施例と同様に測
定できる。
スクに物体として２つのヘツドが組立てられた場
合について述べたが、VTRヘツドに限らず、回
転体に取り付けられた部品の取り付け測定に幅広
く適用でき、また物体は４つあるいはそれ以上の
偶数個であつても二点間の物体のずれ量を、例え
ば１つ飛ばして測定すれば、一実施例と同様に測
定できる。
以上説明したようにこの発明によれば、回転体
の回転スピードが変動しても、回転の変動に影響
されることなく物体相互の取付け角度のずれ量を
求めることができるようになり、高安定な回転体
の回転を必要とせずに各物体の組立精度を測定す
ることができる。しかも、回転体の回転スピード
が変動しても正確に測定できるから、回転開始直
後から測定を行なうことができる。そのうえ、演
算処理する演算式は簡単なので演算回路は簡単、
かつ単純なものですむといつた利点がある。
の回転スピードが変動しても、回転の変動に影響
されることなく物体相互の取付け角度のずれ量を
求めることができるようになり、高安定な回転体
の回転を必要とせずに各物体の組立精度を測定す
ることができる。しかも、回転体の回転スピード
が変動しても正確に測定できるから、回転開始直
後から測定を行なうことができる。そのうえ、演
算処理する演算式は簡単なので演算回路は簡単、
かつ単純なものですむといつた利点がある。
図面はこの発明の一実施例を示し、第１図は組
立精度測定装置の概略構成図、第２図は物体であ
るヘツドの斜視図、第３図は第１、第２のセンサ
によつて物体からのレーザ光が検知される状態を
示す正面図、第４図は差動アンプから出力される
演算信号を示す線図である。 １……デイスク（回転体）、３ａ，３ｂ……ヘ
ツド（物体）、４……スリツト部（散乱部）、６…
…レーザ発振器、１１……第１のセンサ、１２…
…第２のセンサ、１３……差動アンプ、１４……
演算回路、１５……モータ（回転手段）、Ｌ……
レーザ光、L1……正反射光、L2……散乱光。
立精度測定装置の概略構成図、第２図は物体であ
るヘツドの斜視図、第３図は第１、第２のセンサ
によつて物体からのレーザ光が検知される状態を
示す正面図、第４図は差動アンプから出力される
演算信号を示す線図である。 １……デイスク（回転体）、３ａ，３ｂ……ヘ
ツド（物体）、４……スリツト部（散乱部）、６…
…レーザ発振器、１１……第１のセンサ、１２…
…第２のセンサ、１３……差動アンプ、１４……
演算回路、１５……モータ（回転手段）、Ｌ……
レーザ光、L1……正反射光、L2……散乱光。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 回転体の周方向に沿つて、散乱部を備える複
数個の物体を取り付けてなる被測定物の上記任意
の二つの物体間の組立精度を測定する組立精度測
定装置において、 上記被測定物を支持し回転させる手段と、 この回転手段により回転させられた上記物体の
ある位置に対してレーザ光を照射するレーザ発振
器と、 このレーザ発振器より照射させられたレーザ光
が物体により散乱したレーザ光を検知する位置に
並設された第１のセンサおよび第２のセンサと、 これらセンサからの出力信号が入力される差動
アンプと、 この差動アンプから被測定物を所定回数ｎ回
（ｎ≧２）以上回転させた時の上記物体のうち任
意の２個である第１および第２の物体に対応する
第１および第２の出力信号を検出し、この測定開
始から、ｉ回転目の第１の出力信号のゼロクロス
点から第２の出力信号のゼロクロス点への周期時
間T1 i、ｉ回転目の第２の出力信号から第１の出
力信号へのゼロクロス点の周期時間T2 iとしたと
き、 で二つの物体のずれ量を演算する演算回路とを具
備したことを特徴とする組立精度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19996682A JPS5990004A (ja) | 1982-11-15 | 1982-11-15 | 組立精度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19996682A JPS5990004A (ja) | 1982-11-15 | 1982-11-15 | 組立精度測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5990004A JPS5990004A (ja) | 1984-05-24 |
| JPS6360324B2 true JPS6360324B2 (ja) | 1988-11-24 |
Family
ID=16416558
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19996682A Granted JPS5990004A (ja) | 1982-11-15 | 1982-11-15 | 組立精度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5990004A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01263506A (ja) * | 1988-04-14 | 1989-10-20 | Daiichi Denki Kk | 光増幅変位センサと位置制御装置 |
| CN103424071B (zh) * | 2012-05-23 | 2016-02-10 | 北京理工大学 | 基于激光三角法的内孔测头固有几何参数标定方法 |
| CN105890517B (zh) * | 2015-01-23 | 2018-08-07 | 北京空间飞行器总体设计部 | 一种基于复杂异形精测镜的精度测量方法 |
-
1982
- 1982-11-15 JP JP19996682A patent/JPS5990004A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5990004A (ja) | 1984-05-24 |
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