JPS599082U - 気相成長装置の輻射反射板 - Google Patents
気相成長装置の輻射反射板Info
- Publication number
- JPS599082U JPS599082U JP10268982U JP10268982U JPS599082U JP S599082 U JPS599082 U JP S599082U JP 10268982 U JP10268982 U JP 10268982U JP 10268982 U JP10268982 U JP 10268982U JP S599082 U JPS599082 U JP S599082U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor phase
- phase growth
- growth equipment
- radiation reflector
- lamp
- Prior art date
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- Pending
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案の一実施例における断面図である。
１・・・ベルジャ、３・・・ウェハ、４・・・ランプ、
６・・・輻射反射板。
６・・・輻射反射板。
Claims (1)
- ベルジャ内のウェハをランプにより加熱する気相成長装
置において、表面へ銀アルミニウム或いはそれらの合金
の光反射率の良好な金属を鍍金するか或いはこれら金属
の単層或いは多層薄膜を被覆した輻射反射板の前面へ前
記ランプを設置した気相成長装置の輻射反射板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10268982U JPS599082U (ja) | 1982-07-07 | 1982-07-07 | 気相成長装置の輻射反射板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10268982U JPS599082U (ja) | 1982-07-07 | 1982-07-07 | 気相成長装置の輻射反射板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS599082U true JPS599082U (ja) | 1984-01-20 |
Family
ID=30241925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10268982U Pending JPS599082U (ja) | 1982-07-07 | 1982-07-07 | 気相成長装置の輻射反射板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS599082U (ja) |
-
1982
- 1982-07-07 JP JP10268982U patent/JPS599082U/ja active Pending
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