JPS599083U - 気相成長装置 - Google Patents
気相成長装置Info
- Publication number
- JPS599083U JPS599083U JP10269082U JP10269082U JPS599083U JP S599083 U JPS599083 U JP S599083U JP 10269082 U JP10269082 U JP 10269082U JP 10269082 U JP10269082 U JP 10269082U JP S599083 U JPS599083 U JP S599083U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- vapor phase
- phase growth
- belljar
- growth equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案の一実施例における断面図である。
２・・・石英ガラスベルジャ、３・・・金属ベルジャ、
′ ４・・・高周波誘導加熱コイル。
′ ４・・・高周波誘導加熱コイル。
Claims (1)
- 内側に石英ガラスベルジャ外側に金属ベルジャそして高
周波誘導加熱コイルを有する気相成長装置において、前
記金属ベルジャの内側表面を鏡面研磨にするか金、銀、
アルミニウム等の光反射率の大きな金属の鍍金或いは前
記金属の単層或いは多層薄膜を被覆した気相成長装置の
金属ベルジャ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10269082U JPS599083U (ja) | 1982-07-07 | 1982-07-07 | 気相成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10269082U JPS599083U (ja) | 1982-07-07 | 1982-07-07 | 気相成長装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS599083U true JPS599083U (ja) | 1984-01-20 |
| JPS6113562Y2 JPS6113562Y2 (ja) | 1986-04-26 |
Family
ID=30241927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10269082U Granted JPS599083U (ja) | 1982-07-07 | 1982-07-07 | 気相成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS599083U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61191474U (ja) * | 1985-05-21 | 1986-11-28 |
-
1982
- 1982-07-07 JP JP10269082U patent/JPS599083U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61191474U (ja) * | 1985-05-21 | 1986-11-28 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6113562Y2 (ja) | 1986-04-26 |
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