JPS6224193B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6224193B2 JPS6224193B2 JP57197982A JP19798282A JPS6224193B2 JP S6224193 B2 JPS6224193 B2 JP S6224193B2 JP 57197982 A JP57197982 A JP 57197982A JP 19798282 A JP19798282 A JP 19798282A JP S6224193 B2 JPS6224193 B2 JP S6224193B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- laser beam
- laser
- shielding plate
- workpiece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/16—Removal of by-products, e.g. particles or vapours produced during treatment of a workpiece
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、レーザ加工機の一部を構成するレー
ザ加工用光学ヘツドの改良に関するものである。
ザ加工用光学ヘツドの改良に関するものである。
従来のこの種の装置としては第1図に示すもの
が知られている。第1図において、1はレーザ発
振器を示し、該レーザ発振器1にはレーザの取出
し側に部分反射鏡3が設けられ、この部分反射鏡
3に対向して全反射鏡4が配設されている。上記
レーザ発振器1のレーザ取出口5には、レーザ加
工用光学ヘツドH1を構成する筒体6が連設さ
れ、レーザビーム7の通過経路を形成している。
該筒体6はそのほぼ中央で直角方向に屈曲して形
成され、この屈曲部には反射鏡8を設けて上記発
振器1から取出されたレーザビーム7を90゜折曲
させ、上記筒体6の屈曲方向に沿つて進行させる
ようにしている。そして上記筒体6の先端部近傍
には集光レンズ9が筒体6の軸心に直交して配設
され、さらに該筒体6の先端部にノズル10が取
付けられている。この筒体6を通過するレーザビ
ーム7は上記焦光レンズ9で集束されて、ノズル
10から外部に出て被加工物11に照射される。
が知られている。第1図において、1はレーザ発
振器を示し、該レーザ発振器1にはレーザの取出
し側に部分反射鏡3が設けられ、この部分反射鏡
3に対向して全反射鏡4が配設されている。上記
レーザ発振器1のレーザ取出口5には、レーザ加
工用光学ヘツドH1を構成する筒体6が連設さ
れ、レーザビーム7の通過経路を形成している。
該筒体6はそのほぼ中央で直角方向に屈曲して形
成され、この屈曲部には反射鏡8を設けて上記発
振器1から取出されたレーザビーム7を90゜折曲
させ、上記筒体6の屈曲方向に沿つて進行させる
ようにしている。そして上記筒体6の先端部近傍
には集光レンズ9が筒体6の軸心に直交して配設
され、さらに該筒体6の先端部にノズル10が取
付けられている。この筒体6を通過するレーザビ
ーム7は上記焦光レンズ9で集束されて、ノズル
10から外部に出て被加工物11に照射される。
なお、上記筒体6の先端部で集光レンズ9のノ
ズル10側に補助口12が突設されており、この
補助口12からは補助ガスが上記筒体6およびノ
ズル10を経て被加工物11に吹き付けられるよ
うになつている。
ズル10側に補助口12が突設されており、この
補助口12からは補助ガスが上記筒体6およびノ
ズル10を経て被加工物11に吹き付けられるよ
うになつている。
以上の構成を有するレーザ加工用光学ヘツド
H1では、上記レーザ発振器1に発生した光2の
一部は部分反射鏡3を通過してレーザビーム7と
して光学ヘツドH1を構成する筒体6内に入射
し、筒体6の屈曲部に配設した反射鏡8によりそ
の進行方向を90゜折曲されてそのまま直進し、集
光レンズ9に達する。集光レンズ9に達したレー
ザビーム7は、ここで集束されつつノズル10を
通過し、被加工物11上に高密度エネルギとして
供給され、被加工物11の切断、溶接、熱処理等
に供される。このとき、レーザビーム7の照射と
同時に補助ガスが補助口12から供給され、被加
工物11表面に吹き付けられるが、この補助ガス
は被加工物11と酸化反応を起こし、この反応熱
により被加工物11をますます高温にし、その切
断等の処理を有効に遂行させることになる。また
この補助ガスは、上記生成酸化物に吹き付けられ
てこれを除去し、あるいは溶融金属を外部雰囲気
中の不純物から保護するほか、上記ノズル10と
ともに熱処理部から飛散されるスパツタなどから
集光レンズ9を有効に保護する機能をも有してい
る。
H1では、上記レーザ発振器1に発生した光2の
一部は部分反射鏡3を通過してレーザビーム7と
して光学ヘツドH1を構成する筒体6内に入射
し、筒体6の屈曲部に配設した反射鏡8によりそ
の進行方向を90゜折曲されてそのまま直進し、集
光レンズ9に達する。集光レンズ9に達したレー
ザビーム7は、ここで集束されつつノズル10を
通過し、被加工物11上に高密度エネルギとして
供給され、被加工物11の切断、溶接、熱処理等
に供される。このとき、レーザビーム7の照射と
同時に補助ガスが補助口12から供給され、被加
工物11表面に吹き付けられるが、この補助ガス
は被加工物11と酸化反応を起こし、この反応熱
により被加工物11をますます高温にし、その切
断等の処理を有効に遂行させることになる。また
この補助ガスは、上記生成酸化物に吹き付けられ
てこれを除去し、あるいは溶融金属を外部雰囲気
中の不純物から保護するほか、上記ノズル10と
ともに熱処理部から飛散されるスパツタなどから
集光レンズ9を有効に保護する機能をも有してい
る。
さて上述のごとく、被加工物11が溶接等され
る際、レーザビーム6の被照射部は高温に達し、
この部分からレーザビーム7が乱反射されること
となり、この乱反射光はノズル10を介して光学
ヘツドH1内に入射し、集光レンズ9を経て反射
鏡8で折曲され、上記レーザ発振器1内に進入す
る。すると、該発振器1内の光はこの入射光でさ
らに増幅され、その光エネルギは所期の基準値よ
り高くなつて部分反射鏡3およ全反射鏡4に過度
の負荷をかけることとなり、これら反射鏡3,4
の寿命が短縮されるという欠点を有していた。
る際、レーザビーム6の被照射部は高温に達し、
この部分からレーザビーム7が乱反射されること
となり、この乱反射光はノズル10を介して光学
ヘツドH1内に入射し、集光レンズ9を経て反射
鏡8で折曲され、上記レーザ発振器1内に進入す
る。すると、該発振器1内の光はこの入射光でさ
らに増幅され、その光エネルギは所期の基準値よ
り高くなつて部分反射鏡3およ全反射鏡4に過度
の負荷をかけることとなり、これら反射鏡3,4
の寿命が短縮されるという欠点を有していた。
本発明は叙上の点に鑑みなされたもので、上記
取出口と集光レンズとの間に、上記取出口から取
出されたレーザビームを集光する第1のレンズ
と、この第1レンズの焦点位置に配置され上記第
1レンズで集光されたレーザビームを通過させる
細孔を設けた遮蔽板と、該遮蔽板を通過したレー
ザビームを平行光線束に戻す第2のレンズとを介
在させることにより、被加工物からレーザ発振器
に入射する乱反射光を阻止できるようにしたもの
である。
取出口と集光レンズとの間に、上記取出口から取
出されたレーザビームを集光する第1のレンズ
と、この第1レンズの焦点位置に配置され上記第
1レンズで集光されたレーザビームを通過させる
細孔を設けた遮蔽板と、該遮蔽板を通過したレー
ザビームを平行光線束に戻す第2のレンズとを介
在させることにより、被加工物からレーザ発振器
に入射する乱反射光を阻止できるようにしたもの
である。
以下、図示実施例に基づき、第1図と同一部分
または相当部分には同一符号を付して示す第2図
について本発明を説明すると、同図中、13はレ
ーザビーム取出口5から導びかれて筒体6の軸線
と並進するレーザビーム7を集束させるようにし
た第1のレンズであり、この第1レンズ13を透
過したレーザビーム7は、第1レンズ13の焦点
距離位置に設けた遮蔽板14のピンホール14a
を通過する。このピンホール14aは第1レンズ
13の焦点に位置するよう上記遮蔽板14に穿設
されている。上記遮蔽板14を通過したレーザビ
ーム7は、該遮蔽板14の位置から上記焦点距離
だけ隔てて位置する第2のレンズ15を透過し、
第1レンズ13を透過する前のレーザビーム7と
同一方向に並進するレーザビームとなる。このレ
ーザビーム7の進行方向を示したものが第2図で
ある。このように第2レンズ15を透過したレー
ザビーム7は、従来と同様反射鏡8、集光レンズ
9を経て被加工物に照射され、溶接、切断等の加
工作業に供される。
または相当部分には同一符号を付して示す第2図
について本発明を説明すると、同図中、13はレ
ーザビーム取出口5から導びかれて筒体6の軸線
と並進するレーザビーム7を集束させるようにし
た第1のレンズであり、この第1レンズ13を透
過したレーザビーム7は、第1レンズ13の焦点
距離位置に設けた遮蔽板14のピンホール14a
を通過する。このピンホール14aは第1レンズ
13の焦点に位置するよう上記遮蔽板14に穿設
されている。上記遮蔽板14を通過したレーザビ
ーム7は、該遮蔽板14の位置から上記焦点距離
だけ隔てて位置する第2のレンズ15を透過し、
第1レンズ13を透過する前のレーザビーム7と
同一方向に並進するレーザビームとなる。このレ
ーザビーム7の進行方向を示したものが第2図で
ある。このように第2レンズ15を透過したレー
ザビーム7は、従来と同様反射鏡8、集光レンズ
9を経て被加工物に照射され、溶接、切断等の加
工作業に供される。
本実施例に係るレーザ加工用光学ヘツドH2は
以上の構成を有するため、発振器1を出たレーザ
ビーム7が第1レンズ13で集束されて遮蔽板1
4のピンホール14aを通過し、その後第2レン
ズ15の作用で集束され、そのレーザビーム7は
再び平行なレーザビーム7に戻り、反射鏡8に入
射する。このレーザビーム7はこの反射鏡8で90
゜折曲され集光レンズ9を透過して、高密度エネ
ルギをもつたレーザビーム7として被加工物11
表面に照射され、該被加工物11を切断等するこ
とになる。
以上の構成を有するため、発振器1を出たレーザ
ビーム7が第1レンズ13で集束されて遮蔽板1
4のピンホール14aを通過し、その後第2レン
ズ15の作用で集束され、そのレーザビーム7は
再び平行なレーザビーム7に戻り、反射鏡8に入
射する。このレーザビーム7はこの反射鏡8で90
゜折曲され集光レンズ9を透過して、高密度エネ
ルギをもつたレーザビーム7として被加工物11
表面に照射され、該被加工物11を切断等するこ
とになる。
然して、被加工物11の溶接時に、レーザビー
ム7の一部は乱反射して、ノズル10を介して光
学ヘツドH2内に逆進するが、この乱反射光は、
第2レンズ15を透過して遮蔽板14に到達する
と、この遮蔽板14のピンホール14aをほとん
ど通過できず、またアルミニウム、あるいは銅な
どで製作された光吸収度の低い遮蔽板14に反射
されることとなる。そのためレーザ発振器1に逆
進するレーザビーム7の乱反射光はほとんどな
く、該発振器1内のエネルギの基準値を安定的に
保持することができ、部分反射鏡3および全反射
鏡4に過負荷をかけることもなく、これらの寿命
を長期化させることができる。
ム7の一部は乱反射して、ノズル10を介して光
学ヘツドH2内に逆進するが、この乱反射光は、
第2レンズ15を透過して遮蔽板14に到達する
と、この遮蔽板14のピンホール14aをほとん
ど通過できず、またアルミニウム、あるいは銅な
どで製作された光吸収度の低い遮蔽板14に反射
されることとなる。そのためレーザ発振器1に逆
進するレーザビーム7の乱反射光はほとんどな
く、該発振器1内のエネルギの基準値を安定的に
保持することができ、部分反射鏡3および全反射
鏡4に過負荷をかけることもなく、これらの寿命
を長期化させることができる。
なお、本実施例では第1、2レンズ13,15
および遮蔽板14をレーザビーム取出口5と反射
鏡8との間に配設したものについて説明したが、
反射鏡8と集光レンズ9との間に配設しても同効
を奏することはいうまでもない。また筒体6につ
いても、本実施例のごとく屈曲したものである必
要はなく、該装置の使用目的に応じて、真直なも
のにしても同効を奏するのは勿論である。
および遮蔽板14をレーザビーム取出口5と反射
鏡8との間に配設したものについて説明したが、
反射鏡8と集光レンズ9との間に配設しても同効
を奏することはいうまでもない。また筒体6につ
いても、本実施例のごとく屈曲したものである必
要はなく、該装置の使用目的に応じて、真直なも
のにしても同効を奏するのは勿論である。
本発明によれば、被加工物からの乱反射光のレ
ーザ発振器への入射を防止することができ、発振
器のエネルギ値を安定化できるとともに、発振器
自体の寿命を長期化することができる。
ーザ発振器への入射を防止することができ、発振
器のエネルギ値を安定化できるとともに、発振器
自体の寿命を長期化することができる。
第1図は従来のレーザ加工用光学ヘツドの要部
を示す断面図、第2図は本発明の一実施例に係る
レーザ加工用光学ヘツドの要部を示す断面図であ
る。 6…筒体、7…レーザビーム、8…反射鏡、9
…集光レンズ、11…被加工物、13…第1レン
ズ、14…遮蔽板、15…第2レンズ。
を示す断面図、第2図は本発明の一実施例に係る
レーザ加工用光学ヘツドの要部を示す断面図であ
る。 6…筒体、7…レーザビーム、8…反射鏡、9
…集光レンズ、11…被加工物、13…第1レン
ズ、14…遮蔽板、15…第2レンズ。
Claims (1)
- 1 レーザビームの取出口と、該レーザビームを
集光し高密度エネルギを付与して照射させる集光
レンズとを備えたレーザ加工用光学ヘツドにおい
て、上記取出口と集光レンズとの間に、上記取出
口から取出されたレーザビームを集光する第1の
レンズと、この第1レンズの焦点位置に配置され
第1レンズで集光されたレーザビームを通過させ
る細孔を設けた遮蔽板と、該遮蔽板を通過したレ
ーザビームを平行光線束に戻す第2のレンズとを
介在させたことを特徴とするレーザ加工用光学ヘ
ツド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57197982A JPS5987992A (ja) | 1982-11-11 | 1982-11-11 | レ−ザ加工用光学ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57197982A JPS5987992A (ja) | 1982-11-11 | 1982-11-11 | レ−ザ加工用光学ヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5987992A JPS5987992A (ja) | 1984-05-21 |
| JPS6224193B2 true JPS6224193B2 (ja) | 1987-05-27 |
Family
ID=16383541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57197982A Granted JPS5987992A (ja) | 1982-11-11 | 1982-11-11 | レ−ザ加工用光学ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5987992A (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61151359U (ja) * | 1985-01-31 | 1986-09-18 | ||
| JPH04258394A (ja) * | 1991-02-05 | 1992-09-14 | Fanuc Ltd | レーザ加工機の加工ヘッド |
| US7038166B2 (en) | 2003-03-18 | 2006-05-02 | Loma Linda University Medical Center | Containment plenum for laser irradiation and removal of material from a surface of a structure |
| US7060932B2 (en) | 2003-03-18 | 2006-06-13 | Loma Linda University Medical Center | Method and apparatus for material processing |
| US7379483B2 (en) | 2003-03-18 | 2008-05-27 | Loma Linda University Medical Center | Method and apparatus for material processing |
| US7057134B2 (en) | 2003-03-18 | 2006-06-06 | Loma Linda University Medical Center | Laser manipulation system for controllably moving a laser head for irradiation and removal of material from a surface of a structure |
| US7880116B2 (en) * | 2003-03-18 | 2011-02-01 | Loma Linda University Medical Center | Laser head for irradiation and removal of material from a surface of a structure |
| US7286223B2 (en) | 2003-03-18 | 2007-10-23 | Loma Linda University Medical Center | Method and apparatus for detecting embedded rebar within an interaction region of a structure irradiated with laser light |
-
1982
- 1982-11-11 JP JP57197982A patent/JPS5987992A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5987992A (ja) | 1984-05-21 |
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