JPS5995625U - 半導体製造装置 - Google Patents

半導体製造装置

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JPS5995625U
JPS5995625U JP19153082U JP19153082U JPS5995625U JP S5995625 U JPS5995625 U JP S5995625U JP 19153082 U JP19153082 U JP 19153082U JP 19153082 U JP19153082 U JP 19153082U JP S5995625 U JPS5995625 U JP S5995625U
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JP
Japan
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boat
core tube
furnace core
semiconductor manufacturing
out rod
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Application number
JP19153082U
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English (en)
Inventor
平岡　節雄
Original Assignee
日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
、　　第１図は従来の半導体製造装置の断面図である。 第２図はこの考案の半導体製造装置の断面図である。第
３図および第４図は第２図の装置のボート、　引き出し
時の各段階を示す断面図である。 １・・・炉芯管、２・・・・・・ヒータ、３・・・・・
・ボート、７・・・・：・半導体ウェーハ、８・・・・
・・ボート引出棒、９・・・・・・遮蔽板、１３・・・
・・・蓋体、１４・・・・・・透孔、１５・・・・・・
操作棒、１６・・・・・・ボート受け。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 炉芯管と、炉芯管の周囲に配設されたヒータと多数の半
    導体ウェーハを整列支持するボートと、ボートに引掛け
    られたボート引出棒と、ボート引出棒に固定されて炉芯
    管内に配置される遮蔽板とボート引出棒に遊貫されて炉
    芯管のガス出口に装着される蓋体とを備えてなる半導体
    製造装置。
JP19153082U 1982-12-17 1982-12-17 半導体製造装置 Pending JPS5995625U (ja)

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JP19153082U JPS5995625U (ja) 1982-12-17 1982-12-17 半導体製造装置

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JPS5995625U true JPS5995625U (ja) 1984-06-28

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