JPS6025144U - 半導体熱処理炉 - Google Patents
半導体熱処理炉Info
- Publication number
- JPS6025144U JPS6025144U JP11691383U JP11691383U JPS6025144U JP S6025144 U JPS6025144 U JP S6025144U JP 11691383 U JP11691383 U JP 11691383U JP 11691383 U JP11691383 U JP 11691383U JP S6025144 U JPS6025144 U JP S6025144U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat treatment
- treatment furnace
- semiconductor heat
- storage jig
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の横型の半導体熱処理炉を説明する断面図
、第２図は本考案の半導体熱処理炉を説明する断面図で
ある。 １１は半導体ウェハー、１２は収納治具、１３は縦型加
熱炉、１４は移動装置、１５は石英反応管、１６は加熱
ヒーター、１７はガス注入口、１８は石英キャップ、１
９は伝達棒である。
、第２図は本考案の半導体熱処理炉を説明する断面図で
ある。 １１は半導体ウェハー、１２は収納治具、１３は縦型加
熱炉、１４は移動装置、１５は石英反応管、１６は加熱
ヒーター、１７はガス注入口、１８は石英キャップ、１
９は伝達棒である。
Claims (1)
- 複数の半導体ウェハーを水平に積み重ねた収納治具と該
収納治具をつるして配置し加熱する縦型加熱炉と前記収
納治具を垂下させ且つ上下方向に往復運動させながら回
転運動させる移動装置とを具備して成る半導体熱処理炉
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11691383U JPS6025144U (ja) | 1983-07-26 | 1983-07-26 | 半導体熱処理炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11691383U JPS6025144U (ja) | 1983-07-26 | 1983-07-26 | 半導体熱処理炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6025144U true JPS6025144U (ja) | 1985-02-20 |
Family
ID=30269328
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11691383U Pending JPS6025144U (ja) | 1983-07-26 | 1983-07-26 | 半導体熱処理炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6025144U (ja) |
-
1983
- 1983-07-26 JP JP11691383U patent/JPS6025144U/ja active Pending
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