JPS6045652U - ポリシング装置 - Google Patents
ポリシング装置Info
- Publication number
- JPS6045652U JPS6045652U JP1983136220U JP13622083U JPS6045652U JP S6045652 U JPS6045652 U JP S6045652U JP 1983136220 U JP1983136220 U JP 1983136220U JP 13622083 U JP13622083 U JP 13622083U JP S6045652 U JPS6045652 U JP S6045652U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- fixing plate
- wafer fixing
- polishing
- cylindrical magnet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、本考案の一実施例を示す全体断面図である。
図中、１は半導体ウェハ、２はホルダー、３は固定板、
４は磁石、５は軸、６は軸、８は軸受、９は装置本体、
１５は錘、１６は研摩板、１７は磁石、１８は研摩クロ
ス、１９はスピンドル、２０は軸受、２６は槽である。
４は磁石、５は軸、６は軸、８は軸受、９は装置本体、
１５は錘、１６は研摩板、１７は磁石、１８は研摩クロ
ス、１９はスピンドル、２０は軸受、２６は槽である。
Claims (1)
- 着脱自在な錘りを含み、回転自在でしかも上下移動自在
に支持され、半導体ウェハ固定板中央部に円柱形状の磁
石を備えた半導体ウェハ固定板と回転自在に支持され軸
受内部に液体が入らぬような手段が設けられたスピンド
ルに固定され、かつ前記半導体ウェハ固定板に備えられ
た磁石と磁力線の向きが異なる円筒形状の磁石を研摩板
中央部に備えた研摩板と、加熱用ヒータを内蔵し前記半
導体ウェハ固定板および研摩板を液中に収納するだめの
槽とから構成されたことを特徴とするポリシング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983136220U JPS6045652U (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | ポリシング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983136220U JPS6045652U (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | ポリシング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6045652U true JPS6045652U (ja) | 1985-03-30 |
| JPH0340536Y2 JPH0340536Y2 (ja) | 1991-08-26 |
Family
ID=30306355
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1983136220U Granted JPS6045652U (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | ポリシング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6045652U (ja) |
-
1983
- 1983-09-02 JP JP1983136220U patent/JPS6045652U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0340536Y2 (ja) | 1991-08-26 |
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