JPS6010155A - スル−ホ−ル検査装置 - Google Patents
スル−ホ−ル検査装置Info
- Publication number
- JPS6010155A JPS6010155A JP11907283A JP11907283A JPS6010155A JP S6010155 A JPS6010155 A JP S6010155A JP 11907283 A JP11907283 A JP 11907283A JP 11907283 A JP11907283 A JP 11907283A JP S6010155 A JPS6010155 A JP S6010155A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- hole
- ball
- mirror
- inspection
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95692—Patterns showing hole parts, e.g. honeycomb filtering structures
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- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１） 発明の技術分野
本発明はプリント板のスルーホールの検査装置に係り、
特に光学的にスルーホールの欠陥の検出を高精度で打入
える様にしたスルーホール検査装置に関する。
特に光学的にスルーホールの欠陥の検出を高精度で打入
える様にしたスルーホール検査装置に関する。
（２） 技術の背景
゛近年、電子技術の発達に伴い、電子計算等各種装置に
用いられるプリント板の技術も進歩し、多層板となし而
も多数のスルーホールが設けられる様になって来ている
。このスルーホールには導電性を与えるメッキが電気的
或いは化学的に施工されているが、必ずしも良好な状態
で形成されているとは限らず、切れ目、ピンホール等の
欠陥を生ずる場合がある。この欠陥はプリント板の信頼
性を低下せしめる事になるために予めその欠陥の有無を
検査する必要が有る。この検査手段は夫々固有の欠点を
有し、この欠点を解決すべく技術的開発が要望されてい
る。
用いられるプリント板の技術も進歩し、多層板となし而
も多数のスルーホールが設けられる様になって来ている
。このスルーホールには導電性を与えるメッキが電気的
或いは化学的に施工されているが、必ずしも良好な状態
で形成されているとは限らず、切れ目、ピンホール等の
欠陥を生ずる場合がある。この欠陥はプリント板の信頼
性を低下せしめる事になるために予めその欠陥の有無を
検査する必要が有る。この検査手段は夫々固有の欠点を
有し、この欠点を解決すべく技術的開発が要望されてい
る。
（３） 従来技術と問題点
従来、プリント板に設けられているスルーホールの検査
は目視で行なわれていたが、検査時間。
は目視で行なわれていたが、検査時間。
目視による限界等の問題を有していた。この事からスル
ーホール検査に自動化が導入され次の様な方法が行なわ
れている。この方法による装置はプリント板に設りられ
ているスルーホールの中で検査対象となっているスルー
ホールからの光と１次の検査を行なうスルーホールから
の光を集光部で集光した後、２つの検知器に分配して欠
陥の検出と検査位置の検出が行なわれている。然し乍ら
この装置では光の分配がハーフミラ−を使用している為
にハーフミラ−内部を通って分路された光は屈折率の違
いにより収差が生じてしまい高精度の検査が行なえない
問題を有していた。
ーホール検査に自動化が導入され次の様な方法が行なわ
れている。この方法による装置はプリント板に設りられ
ているスルーホールの中で検査対象となっているスルー
ホールからの光と１次の検査を行なうスルーホールから
の光を集光部で集光した後、２つの検知器に分配して欠
陥の検出と検査位置の検出が行なわれている。然し乍ら
この装置では光の分配がハーフミラ−を使用している為
にハーフミラ−内部を通って分路された光は屈折率の違
いにより収差が生じてしまい高精度の検査が行なえない
問題を有していた。
（４） 発明の目的
本発明は上記従来の欠点に鑑み、スルーボールからの光
を三角ミラーで反射させる事により該光を分配し２つの
光検知器各々に収差のないスルーホールの像を結像させ
る様にしたスルーボール検査装置を提供することを目的
とするものである。
を三角ミラーで反射させる事により該光を分配し２つの
光検知器各々に収差のないスルーホールの像を結像させ
る様にしたスルーボール検査装置を提供することを目的
とするものである。
（５） 発明の構成
そしてこの目的は本発明によればプリント板のスルーホ
ールの欠陥を光学的に検査する装置に於いて、該スルー
ボール像を検知器に結像させる集光部と、該スルーホー
ルの欠陥部から漏れた光を検知する光検知器と遮光マス
クで覆われていないスルーホールを通過した光を検知す
る光検知器に該スルーホールからの光を分配する手段を
設けた事を特徴とするスルーボール検査装置を提供する
ことによって達成される。
ールの欠陥を光学的に検査する装置に於いて、該スルー
ボール像を検知器に結像させる集光部と、該スルーホー
ルの欠陥部から漏れた光を検知する光検知器と遮光マス
クで覆われていないスルーホールを通過した光を検知す
る光検知器に該スルーホールからの光を分配する手段を
設けた事を特徴とするスルーボール検査装置を提供する
ことによって達成される。
（６） 発明の実施例
以下１本発明の一実施例を図面によって詳述する。
第１図は本発明によるスルーボール検査装置の一実施例
の概略的構成を示す図である。同図に於いて、複数のス
ルーホール１が設けられているプリント板３と検査対象
となる該スルーボール１を覆うマスク５上には光４が照
射されている。前記光４は前記マスク５で覆われていな
い前記スルーホール１を通過、或いは前記プリン１−板
３内で散乱光４ａとなり前記スルーホール１の欠陥部か
ら透過して集光部６例えばレンズで集光される。前記集
光された光は平板ミラー２ａ＋＋２．ｂ＋が東根型に構
成されている三角ミラー２ａで分配され。
の概略的構成を示す図である。同図に於いて、複数のス
ルーホール１が設けられているプリント板３と検査対象
となる該スルーボール１を覆うマスク５上には光４が照
射されている。前記光４は前記マスク５で覆われていな
い前記スルーホール１を通過、或いは前記プリン１−板
３内で散乱光４ａとなり前記スルーホール１の欠陥部か
ら透過して集光部６例えばレンズで集光される。前記集
光された光は平板ミラー２ａ＋＋２．ｂ＋が東根型に構
成されている三角ミラー２ａで分配され。
光検知器７，８に収束し、前記スルーホールの欠陥等の
情報が検出される。そして前記検出情報は検査回路９に
入力する。
情報が検出される。そして前記検出情報は検査回路９に
入力する。
第１図に於いて、プリント板３面に垂直に照射している
光４は一部がスルーボール１を通過し。
光４は一部がスルーボール１を通過し。
他はプリント板３内に散乱する。マスクで覆われていな
いスルーボール１を通過した光は集光部６で集光され三
角ミラー２ａを構成している平板ミラー２ ａ 、＋で
反射し光検知器４に該スルーホールの像が検出される。
いスルーボール１を通過した光は集光部６で集光され三
角ミラー２ａを構成している平板ミラー２ ａ 、＋で
反射し光検知器４に該スルーホールの像が検出される。
そして前記光検知器４から検知信号が検査回路９に入力
し２次の検査対象となるスルーボールの位置が認知され
る。一方、マスク５で覆われているスルーホール１に欠
陥を生じていた場合、前記プリント板３に垂直に入射し
た光４はこのプリント板３内で散乱し、このスルーボー
ルｌの欠陥からこの散乱光４ａが漏れる漏洩光４ｂとな
り集光部６で集光され三角ミラー２ａを構成している平
板ミラー２ｂ＋で反射し光検知器７に収束し検出される
。そして前記光検知器７から検知信号が検査回路９に入
力し、前記スルーホール１は検査が行なわれる。前記三
角ミラー２ａは前記集光部６で集光された光が等分配と
なるように位置、角度を設定すると共に、前記光検知器
７，８にこの光が収束する様に設けられている。
し２次の検査対象となるスルーボールの位置が認知され
る。一方、マスク５で覆われているスルーホール１に欠
陥を生じていた場合、前記プリント板３に垂直に入射し
た光４はこのプリント板３内で散乱し、このスルーボー
ルｌの欠陥からこの散乱光４ａが漏れる漏洩光４ｂとな
り集光部６で集光され三角ミラー２ａを構成している平
板ミラー２ｂ＋で反射し光検知器７に収束し検出される
。そして前記光検知器７から検知信号が検査回路９に入
力し、前記スルーホール１は検査が行なわれる。前記三
角ミラー２ａは前記集光部６で集光された光が等分配と
なるように位置、角度を設定すると共に、前記光検知器
７，８にこの光が収束する様に設けられている。
そして本発明の装置は前記光の分配をハーフミラ−等を
使用しないので前記スルーホール１からの光は集光部６
．三角ミラー２ａを介すだけですべて空気中をを伝わり
、ノ′＼−フミラーにおける収差を考慮する必要がない
。
使用しないので前記スルーホール１からの光は集光部６
．三角ミラー２ａを介すだけですべて空気中をを伝わり
、ノ′＼−フミラーにおける収差を考慮する必要がない
。
第２図は本発明の他の実施例の要部斜視図である。
同図に於いて、第１図の三角ミラー２ａを構成している
ミラー２ｂ＋の光の反射面積がミラー２ａ１より大きく
した状態が三角ミラー２ｂである。
ミラー２ｂ＋の光の反射面積がミラー２ａ１より大きく
した状態が三角ミラー２ｂである。
この時、ミラー２ｂ＋は２ｂ２に、２ａ１は２ａ２に対
応している。すなわち、検査対象となっているスルーホ
ール１からの光は弱い為により反射面積を大き（て検出
に寄与させる目的からである。
応している。すなわち、検査対象となっているスルーホ
ール１からの光は弱い為により反射面積を大き（て検出
に寄与させる目的からである。
一方１次の検査対象であるスルーボールｌから通過して
来る光はマスクを介していないから強いので反射面積を
小さくしても容易に検出が可能である。この三角ミラー
２ｂを用いた場合は第１図に於ける三角ミラー２ａの位
置と異なる位置に設ける必要がある。
来る光はマスクを介していないから強いので反射面積を
小さくしても容易に検出が可能である。この三角ミラー
２ｂを用いた場合は第１図に於ける三角ミラー２ａの位
置と異なる位置に設ける必要がある。
（７） 発明の効果
以上、詳細に説明したように本発明のスルーボール検査
装置は、スルーホールからの光を三角ミラーなる簡単な
機構で分配でき、また光を光検知器に収差を生じること
なく導く事ができるので精度の高い検査が行なえる効果
大なるものがある。
装置は、スルーホールからの光を三角ミラーなる簡単な
機構で分配でき、また光を光検知器に収差を生じること
なく導く事ができるので精度の高い検査が行なえる効果
大なるものがある。
第１図は本発明一実施例の構成図、第２図は本発明の他
の実施例を示す三角ミラーの機構図である。 １・・・スルーボール ２ａ、２ｂ・・・三角ミラー、
３．・・・プリント板４・・・光 ５・・・マスク、
６・・・集光部 ７，８・・・光検知器 ９ ・・・検査回路
の実施例を示す三角ミラーの機構図である。 １・・・スルーボール ２ａ、２ｂ・・・三角ミラー、
３．・・・プリント板４・・・光 ５・・・マスク、
６・・・集光部 ７，８・・・光検知器 ９ ・・・検査回路
Claims (2)
- （１） プリント板のスルーボールの欠陥を光学的に検
査する装置に於いて、該スルーホール像を検知器に結像
させる集光部と、該スルーホールの欠陥部から漏れた光
を検知する光検知器と遮光マスクで覆われていないスル
ーボールを通過した光を検知する光検知器に該スルーボ
ーからの光を分配する手段を設けた事を特徴とするスル
ーボール検査装置。 - （２） 前記スルーボールからの光を分配する手段は２
つの平面を有するミラーによることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のスルーホール検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11907283A JPS6010155A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | スル−ホ−ル検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11907283A JPS6010155A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | スル−ホ−ル検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6010155A true JPS6010155A (ja) | 1985-01-19 |
Family
ID=14752186
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11907283A Pending JPS6010155A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | スル−ホ−ル検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6010155A (ja) |
-
1983
- 1983-06-30 JP JP11907283A patent/JPS6010155A/ja active Pending
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