JPH0326447Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0326447Y2 JPH0326447Y2 JP7843484U JP7843484U JPH0326447Y2 JP H0326447 Y2 JPH0326447 Y2 JP H0326447Y2 JP 7843484 U JP7843484 U JP 7843484U JP 7843484 U JP7843484 U JP 7843484U JP H0326447 Y2 JPH0326447 Y2 JP H0326447Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light receiving
- measured
- section
- optical system
- Prior art date
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- Expired
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- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 20
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 20
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 7
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 5
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の利用分野〕
本考案は、表面不良検知装置に係り、表面欠陥
と異物付着との判別能力を有する各種被計測物の
表面不良検知装置に関する。
と異物付着との判別能力を有する各種被計測物の
表面不良検知装置に関する。
各種被計測物の表面欠陥を計測する装置とし
て、従来光学式表面不良検知装置が用いられてい
た。この装置は被計測物の表面に光を照射し、被
計測物の表面に照射された光の反射光を受光素子
により受光し、この受光量を基に、被計測物の表
面に欠陥が生じたか否かを計測するように構成さ
れていた。
て、従来光学式表面不良検知装置が用いられてい
た。この装置は被計測物の表面に光を照射し、被
計測物の表面に照射された光の反射光を受光素子
により受光し、この受光量を基に、被計測物の表
面に欠陥が生じたか否かを計測するように構成さ
れていた。
ところが、従来の装置では、第３図に示した受
光素子の出力波形図の如く、被計測物の表面にご
み等が付着されていた場合でも、被計測物の表面
に傷等の欠陥が生じたこととして判定してしま
い、傷等の無い良品の物でも不良品として廃棄さ
れる恐れがあつた。そこで、従来の装置を用いて
検査する場合には、不良品になつた物を人手によ
つて再検査を行なうか又は前工程に洗浄機を設置
し、被計測物の表面を清浄することが行なわれて
いた。その為、従来の装置を用いたのでは、被計
測物の表面欠陥を計測する際、歩留りが低下した
り、再検査工数が増加したり、あるいは設備投資
額が増加するという問題があつた。
光素子の出力波形図の如く、被計測物の表面にご
み等が付着されていた場合でも、被計測物の表面
に傷等の欠陥が生じたこととして判定してしま
い、傷等の無い良品の物でも不良品として廃棄さ
れる恐れがあつた。そこで、従来の装置を用いて
検査する場合には、不良品になつた物を人手によ
つて再検査を行なうか又は前工程に洗浄機を設置
し、被計測物の表面を清浄することが行なわれて
いた。その為、従来の装置を用いたのでは、被計
測物の表面欠陥を計測する際、歩留りが低下した
り、再検査工数が増加したり、あるいは設備投資
額が増加するという問題があつた。
本考案は上記事情に鑑みなされたもので、傷等
の表面欠陥と、ごみ等の異物付着を判別すること
ができるようにして、真の欠陥品を確実に検知す
ることができ、これにより歩留りを低下させず、
しかも再検査工数や設備投資願を増加させること
のない表面不良検知装置を提供するのが目的であ
る。
の表面欠陥と、ごみ等の異物付着を判別すること
ができるようにして、真の欠陥品を確実に検知す
ることができ、これにより歩留りを低下させず、
しかも再検査工数や設備投資願を増加させること
のない表面不良検知装置を提供するのが目的であ
る。
本考案の特徴は、被計測物の表面に光を照射し
且つ走査する第１投光部と該被計測物の表面から
の反射光を受ける第１受光素子とから構成される
第１光学系と、被計測物の表面に対して水平方向
より光を照射し且つ前記第１光学系の走査と同期
して走査する第２投光部と該第２投光部から照射
された通過光を受ける第２受光素子とから構成さ
れる第２光学系と、これら両光学系の第１及び第
２受光素子からの両出力信号を組合せて表面の良
否を判別する信号処理部とから構成することによ
り、傷等の表面欠陥の場合は第２投光部から照射
される光が減衰せず、従つて第２受光素子の出力
電圧が低下しないが、異物付着の場合は第１及び
第２受光素子のいずれも、その出力電圧が低下す
ることを利用して、傷等の表面欠陥とごみ等の異
物付着を判別するようにした点にある。
且つ走査する第１投光部と該被計測物の表面から
の反射光を受ける第１受光素子とから構成される
第１光学系と、被計測物の表面に対して水平方向
より光を照射し且つ前記第１光学系の走査と同期
して走査する第２投光部と該第２投光部から照射
された通過光を受ける第２受光素子とから構成さ
れる第２光学系と、これら両光学系の第１及び第
２受光素子からの両出力信号を組合せて表面の良
否を判別する信号処理部とから構成することによ
り、傷等の表面欠陥の場合は第２投光部から照射
される光が減衰せず、従つて第２受光素子の出力
電圧が低下しないが、異物付着の場合は第１及び
第２受光素子のいずれも、その出力電圧が低下す
ることを利用して、傷等の表面欠陥とごみ等の異
物付着を判別するようにした点にある。
以下、本考案を図面の実施例に基いて詳細に説
明する。
明する。
第１図は本考案の一実施例を示す構成図、第２
図は第１及び第２受光素子の出力波形を示す図で
ある。本考案に係る装置は、第１光学系１、第２
光学系２及びこれら両光学系１，２からの出力信
号を受ける信号処理部３とから構成されている。
第１光学系１は、レーザ光源４と該レーザ光源４
からの光を受けて被計測物８の表面に上方より照
射する振動ミラー５と該振動ミラー５からの光を
走査する走査レンズ６とから構成される第１投光
部７と、被計測物８の表面からの反射光を集光す
る集光レンズ９と該集光レンズ９により集光され
た光を受ける受光素子１０とから構成される第１
受光部１８とから構成されている。
図は第１及び第２受光素子の出力波形を示す図で
ある。本考案に係る装置は、第１光学系１、第２
光学系２及びこれら両光学系１，２からの出力信
号を受ける信号処理部３とから構成されている。
第１光学系１は、レーザ光源４と該レーザ光源４
からの光を受けて被計測物８の表面に上方より照
射する振動ミラー５と該振動ミラー５からの光を
走査する走査レンズ６とから構成される第１投光
部７と、被計測物８の表面からの反射光を集光す
る集光レンズ９と該集光レンズ９により集光され
た光を受ける受光素子１０とから構成される第１
受光部１８とから構成されている。
第２光学系２は、レーザ光源１１と該レーザ光
源１１からの光を受けて被計測物８の表面に水平
方向より照射する振動ミラー１２と該振動ミラー
１２からの光を走査する走査レンズ１３とから構
成される第２投光部１４と、該第２投光部１４か
ら照射されて被計測物８の表面を通過した通過光
を集光する集光レンズ１５と該集光レンズ１５に
より集光された光を受ける受光素子１６とから構
成される第２受光部１７とから構成されている。
１９は同期部を示し、該同期部１９は両光学系
１，２の走査と、信号処理部３の第１受光素子１
６の信号取込みとを同期させる。
源１１からの光を受けて被計測物８の表面に水平
方向より照射する振動ミラー１２と該振動ミラー
１２からの光を走査する走査レンズ１３とから構
成される第２投光部１４と、該第２投光部１４か
ら照射されて被計測物８の表面を通過した通過光
を集光する集光レンズ１５と該集光レンズ１５に
より集光された光を受ける受光素子１６とから構
成される第２受光部１７とから構成されている。
１９は同期部を示し、該同期部１９は両光学系
１，２の走査と、信号処理部３の第１受光素子１
６の信号取込みとを同期させる。
次に作用を説明する。第１光学系１の第１投光
部７から被計測物８の表面に照射された光は、該
表面で反射され、その反射光は第１受光部１８に
入る。この状態で被計測物８の表面を走査すれ
ば、傷等の表面欠陥あるいは異物付着のある場所
で反射光の光量は減衰され、第２図に示した第１
受光素子１０の出力波形図の如くなる。すなわ
ち、表面欠陥あるいは異物付着のある場所では出
力電圧が低下する。
部７から被計測物８の表面に照射された光は、該
表面で反射され、その反射光は第１受光部１８に
入る。この状態で被計測物８の表面を走査すれ
ば、傷等の表面欠陥あるいは異物付着のある場所
で反射光の光量は減衰され、第２図に示した第１
受光素子１０の出力波形図の如くなる。すなわ
ち、表面欠陥あるいは異物付着のある場所では出
力電圧が低下する。
一方、第２光学系２の第２投光部１４から被計
測物８の表面に水平方向より照射された光は、該
表面を通過し、第２受光部１７に入る。この場
合、異物付着の場合のみ通過光は減衰され、第２
図に示した第２受光素子１６の出力波形図の如く
なる。すなわち、表面欠陥の部分では出力電圧は
低下せず異物付着の部分でのみ出力電圧が低下す
る。信号処理部３において、両受光部１７，１８
からの出力信号を組合せて、第１受光素子１０の
出力電圧が低下し且つ第２受光素子１６の出力電
圧が低下する部分は異物付着として判別させ、第
１受光素子１０の出力電圧のみが低下している部
分を傷等の表面欠陥として検知させることによ
り、表面欠陥と異物付着とは確実に判別される。
測物８の表面に水平方向より照射された光は、該
表面を通過し、第２受光部１７に入る。この場
合、異物付着の場合のみ通過光は減衰され、第２
図に示した第２受光素子１６の出力波形図の如く
なる。すなわち、表面欠陥の部分では出力電圧は
低下せず異物付着の部分でのみ出力電圧が低下す
る。信号処理部３において、両受光部１７，１８
からの出力信号を組合せて、第１受光素子１０の
出力電圧が低下し且つ第２受光素子１６の出力電
圧が低下する部分は異物付着として判別させ、第
１受光素子１０の出力電圧のみが低下している部
分を傷等の表面欠陥として検知させることによ
り、表面欠陥と異物付着とは確実に判別される。
本考案によれば、２つの光学系により、被計測
物の表面に上方向及び水平方向の２方向より光を
照射し且つ走査させ、これらの２方向からの光を
受光比較するようにしたので、被計測物の表面の
傷等の表面欠陥と異物付着とを確実に判別するこ
とができる。従つて、真の欠陥品を確実に検知す
ることができ、これにより歩留りを低下させず、
しかも再検査工数や設備投資額を増加させること
がない。
物の表面に上方向及び水平方向の２方向より光を
照射し且つ走査させ、これらの２方向からの光を
受光比較するようにしたので、被計測物の表面の
傷等の表面欠陥と異物付着とを確実に判別するこ
とができる。従つて、真の欠陥品を確実に検知す
ることができ、これにより歩留りを低下させず、
しかも再検査工数や設備投資額を増加させること
がない。
第１図は本考案の一実施例を示す構成図、第２
図は第１及び第２受光素子の出力波形を示す図、
第３図は従来例による場合の出力波形を示す図で
ある。 １……第１光学系、２……第２光学系、３……
信号処理部、７……第１投光部、８……被計測
物、１０……第１受光素子、１４……第２投光
部、１６……第２受光素子、１７……第２受光
部、１８……第１受光部、１９……同期部。
図は第１及び第２受光素子の出力波形を示す図、
第３図は従来例による場合の出力波形を示す図で
ある。 １……第１光学系、２……第２光学系、３……
信号処理部、７……第１投光部、８……被計測
物、１０……第１受光素子、１４……第２投光
部、１６……第２受光素子、１７……第２受光
部、１８……第１受光部、１９……同期部。
Claims (1)
- 被計測物の表面に光を照射し且つ走査する第１
投光部と該被計測物の表面からの反射光を受ける
第１受光部とから構成される第１光学系と、被計
測物の表面に対して水平方向より光を照射し且つ
前記第１光学系の走査と同期して走査する第２投
光部と該第２投光部から照射された通過光を受け
る第２受光部とから構成される第２光学系と、前
記両光学系の第１受光部及び第２受光部からの両
出力信号を組合せて表面の良否を判別する信号処
理部とから構成したことを特徴とする表面不良検
知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7843484U JPS60189840U (ja) | 1984-05-28 | 1984-05-28 | 表面不良検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7843484U JPS60189840U (ja) | 1984-05-28 | 1984-05-28 | 表面不良検知装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60189840U JPS60189840U (ja) | 1985-12-16 |
| JPH0326447Y2 true JPH0326447Y2 (ja) | 1991-06-07 |
Family
ID=30622410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7843484U Granted JPS60189840U (ja) | 1984-05-28 | 1984-05-28 | 表面不良検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60189840U (ja) |
-
1984
- 1984-05-28 JP JP7843484U patent/JPS60189840U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60189840U (ja) | 1985-12-16 |
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