JPS60104939A - サンドブラスト用マスク転写材 - Google Patents

サンドブラスト用マスク転写材

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JPS60104939A
JPS60104939A JP21347383A JP21347383A JPS60104939A JP S60104939 A JPS60104939 A JP S60104939A JP 21347383 A JP21347383 A JP 21347383A JP 21347383 A JP21347383 A JP 21347383A JP S60104939 A JPS60104939 A JP S60104939A
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中村 庄平
Yoshimasa Tsuji
辻 義正
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Asahi Chemical Industry Co Ltd
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Asahi Chemical Industry Co Ltd
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    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明、はサンドブラスト用マスク転写材、サラに詳し
くいえば、被加工基材への転写が可能であって、十分な
サンドブラスト耐性を有し、かつその表面が粘着性を有
しているために、接着剤を用いることなく被加工基材へ
貼着することが可能な、繊細な図柄をもつサンドブラス
ト用マスクパターン層を有したサンドブラスト用マスク
転写材に関するものである。
ガラス、右利、陶磁器、木材、合成樹脂、金属、皮革な
どの表面にサンドブラストによシ彫刻などを施す際に、
通常非彫刻面を保護するためのマスクが用いられる。
従来、このサンドブラスト用マスクを用いる場合、手加
工によりゴムや紙などからパターンを有するマスクを作
り、これを被加工基材に接着剤を用いて貼着していたが
、この方法では手間がかかる上に繊細な図柄を有するマ
スクを得ることができなかった。
したがって、このような欠点を改善するために、最近感
光性樹脂を用いたサンドブラスト用マスクを使用する方
法が各種提案されている。例えば被加工基材上に直接感
光性樹脂層を設け、画1象露光、現像を行ってパターン
を有するマスクを作成する方法(特公昭46−3568
1号公報)が提案されている。しかしながら、この方法
においては、曲面加工が困難である上に、被加工基材が
大きい場合には、多大の労力を必要とするなどの欠点が
ある。
また、支持体フィルム上に感光性樹脂によるマスクパタ
ーン層を形成させて成るマスク転写材を被加工基材に貼
着して転写する方法(特開昭53−99258号公報)
が提案されている。しかしながら、この方法においては
、前記の方法における欠点がある程度改善されるものの
、該支持体フィルム上に接着剤層が設けられていないた
めに、マスクツくターン層作成における現像工程などで
点や線などの細かい硬化した樹脂層が該支持体フィルム
から脱落してしまうという問題があり、その上被加工基
材に該転写材を貼着したのち、その支持体フィルムを剥
離する際に、該支持体フィルムと硬化物との粘着力のた
めに、細かい図柄のマスクパターン層が被加工基材から
脱離し、繊細な図柄の加工には使用することができない
という問題がある。
また、この提案においては、使用しうる感光性樹脂組成
物として、不飽和ポリエステルをポリマー成分として含
むものが例示され、このものは光硬化量の調節によシ硬
化状態で表面に粘着性をもたせうるので、接着剤なしで
被加工暴利に貼着することができると説明されている。
しかしながら、前記したように、この粘着性のために、
支持体フィルムを剥離する際に、繊細な図柄のマスクパ
ターン層の脱離が生じ、また、この粘着性のレベルでは
、被加工基材に対して十分な接着効果を得ることができ
ないために、サンドブラスト中にマスクの剥離が起り、
実際的には接着剤を用いて被加工基材に貼着しなければ
ならないという問題がある。
また、接着剤層を有する支持体上に感光性樹脂によるマ
スクパターン層を形成したのち、該支持体(ROk接着
剤を用いて被加工晶相に貼着する方法(特開昭55−9
6270号公報)が提案されている。
しかしながら、この方法においては、該支持体をサンド
ブラストで破壊除去するのに長時間を要する上に、接着
剤を用いて被加工暴利へ貼着するために手間がかかると
いう欠点がある。
さらに、支持体フィルム上に感光性樹脂で形成されたマ
スクパターン層を有するマスク転写材において、該支持
体フィルムとマスクパターン層との間に、該フィルムと
は剥離可能で、押圧によシ被加工基材と密着し、かつサ
ンドブラストにより破壊される性質を有する中間被膜を
設ける方法(実開昭55 89555号公報)が提案さ
れている。
しかしながら、この方法においては、該中間被膜の粘着
性が強いと、支持体フィルムとの剥離抵抗が大きくなっ
て、該転写材を被加工基材に貼着したのち、該支持体フ
ィルムを剥離する際に、マスクパターン層の一部が剥落
するという問題が生じ、また、該中間被膜を押圧によっ
て被加工基材に密着させて転写材を貼着するので、図柄
によってマスフパターン層中の透孔部分が狭く、このよ
うな貼p付けは困難であるし、その上サンドブラストに
より、最初に該中間被膜が破壊されて貼着の効果がなく
なり、次いでマスクが剥離するという問題がある。
本発明者らは、このような問題を解決し、接着剤を用い
ずに被加工基材へ貼着することができ、その上繊細な図
柄でも該被加工基材に極めて正確に加工しうるサンドブ
ラスト用マスク転写材を提供すべく鋭意研究を重ねた結
果、支持体の上に特定の性質を有する保持層を設け、該
保持層の上に、特定の組成を有する感光性樹脂組成物か
ら得られ、かつ所定のサンドブラスト耐性及び被加工暴
利との接着性ヲ有する硬化物から成るサンドブラスト用
マスクパターン層を設けたものによシその目的を達成し
うろことを見出し、この知見に基づいて本発明を完成す
るに至った。
すなわち、本発明は、 (A) fイ)一般式%式%(
1) 〔式中の又はウレタン残基、Aはポリエーテル、ポリエ
ステル、ポリエーテルポリエステルブロックコポリマー
、ポリジエン、ボリエ/又はこれらの混合物、Bは一般
式0H2=O(z)coy (ただし、2は水素原子又
はメチル基、Yは+CH2+m0−1m2及びmaはそ
れぞれ1〜15である)で示される化合物、B′は一般
式0H2=O(Z)COY (ただし、れ Z、Yは前記と同じ意味をもつ)、RO又はROY(た
だしRは炭素数1〜8のアルキル基、Yは前記と同じ意
味をもつ)で示される化合物、nは1〜lOである〕 で表わされる不飽和ポリウレタン50〜98重量部、(
ロ)エチレン性不飽和化合物2〜50重量部、及び(ハ
)0)成分と←)成分との和に対して0.05〜105
〜10重量部開始剤を主成分として含有して成る感光性
樹脂組成物から得られ、かつ20℃における被加工基材
に対する剥離抵抗値二I00 f / tri以上、破
断伸度100%以上、100%モジュラス500Kg 
/ crA以下を有する硬化物から成るサンドブラスト
用マスクパターン層、(B)該マスクパターン層を保持
する支持体、及び(C)前記のマスクパターン層と支持
体との間に位置し、該マスク・くターン層とはよく接着
するが、該支持体とは剥離可能であり、かつサンドブラ
ストによシ破壊される性質を有する保持層から成るサン
ドブラスト用マスク転写利を提供するものである。
本発明L:’−) 転写材におけるサンドゲラスト用マ
スクパターン層を形成するために用いる感光性樹脂組成
物において、 H)成分として用いる不飽和ポリウレタ
ンは、次の一般式([I B(XA)nXB’ −−−(1) (式中のX、 A、B、 B’及びnは前記と同じ意味
をもつ) で表わされる化合物であって、式中のXとしては、fi
l、tばトルイレンジイソシアネート残基、ヘキサメチ
レンジイレンアネート残基などが挙げられ、Aとしては
、例えばポリエチレングリコール残基、ポリプロピレン
グリコール残基、ポリテトラメチレングリコール残基、
ポリエチレングリコールポリプロピレングリコール残基
、ポリプロピレンゲlJ=+−ル7ジペート残基、ポリ
ブタジェン、水添化ポリブタジェンなどが挙げられる。
またBとしては、例えば2−ヒドロキシエチルメタクリ
レート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ポリ
プロピレングリコールメタクリレート、ポリエチレング
リコールメタクリレート又はこれらのアクリレート類な
どが、B′としては、例えばエタノール残基、グロパノ
ール残基、ヘキサノール残基、オクタツール残基、ポリ
エチレングリコールモノエチルエーテル残基、ボ’、1
プロピレンクリコール組成物の硬化物が十分な表面粘着
性を有し、かつ十分なサンドブラスト耐性を有するため
には、1分子中に二重結合が平均して1.5〜1.9個
あるものが好ましく、またその数平均分子量が5000
〜5oooo、%に10000〜30000の範囲内に
あるものが、表面粘着性、耐ブラスト性及び未硬化状態
の取り扱い性などの点で好適である。
本発明に係る感光性樹脂組成物に(0)成分として用い
るエチレン性不飽和化合物としては、例えばアクリル酸
、メタクリル酸又はこれらのエステル類、例えばアルキ
ル、ンクロアルキル、テトラヒドロフルフリル、アリル
、グリシジル、ヒドロキシアルキルアクリレートやそれ
らのメタクリレート、アルキレングリコール、ポリアル
キレングリコールのモノ、シアクリL/−)やそれらの
メタクリレート、ヘンタエリス1月・−ルテ+−シアク
リレートやそのメタクリレートなど;アクリルアミドメ
タクリルアミド又はこれらの誘導体、例えばN−メチロ
ールアクリルアミドやそのメタン1ノルアミド、 N,
N’−アルキレンビスアクリルアミドやそのメタクリル
アミド、ジアセトンアクリルアミドやそのメタクリルア
ミドなど;付加重合可能な不飽和単i体、例えはスチレ
ン、ビニルトルエンジビニルベンゼン、ジアリルフタレ
ート、トリアリルシアヌレート、ビニルアセテート、ア
クリロニトリルなど;不飽和ポリエステル;アルキッド
樹脂;ヒドロキシアルキルアクリレートやそのメタクリ
レートなどの活性水素を有する付加重合可能な単量体で
改質されたポリウレタンのような不飽和ポリウレタンな
どが挙げられる。
本発明においては、前記(1)成分の不飽和ポリウレタ
ンと(口)成分のエチレン性不飽和化合物の配合割合は
、前者が50〜98重量部、後者が2〜50重量部の範
囲にあることが必要である。この範囲づ辷′l′Vれる
と、得られた硬化物は所望の表面粘着性やサンドブラス
ト耐性が得られ々い。また、該不飽和ポリウレタンに対
する該エチレン性不飽和化合物の比率が高くなると、硬
1ヒ物の表面粘着性が小さくなる傾向を示すので、この
比率が高いときは、エチレン性不飽和化合物として単官
能の化合物を多く用いることが好ましい。
また、感光性樹脂組成物に(ハ)成分として用いる光重
合開始剤としては、例えばベンゾイン、ベンゾインアル
キルエステル、αーメチルベンソインヤーt−(7)フ
ルキルエーテル、α−フェニルベンゾイン、α−アリル
ベンゾイン、アンスラキノン、クロロアンスラキノン、
メチルアンスラキノン、エチルアンスラキノン、ベンジ
ル、ジアセチル、アセトフェノン、ω−ブロモアセトフ
ェノン、2,2−ジメトキシフェニルアセトフェノン、
α−ナフタレンスルホニルクロリド、シフエ、ニルジス
ルフィド、エオシンやチオニンのような染料などが挙げ
られる。
これらの光重合開始剤は、@)成分の不飽和ポリウレタ
ンと←)成分のエチレン性不飽和化合物との和に対して
0.05〜io重量係の範囲で用いられる0 本発明においては.前記の不飽和ポリウレタ/、エチレ
ン性不飽和化合物及び光重合開始剤を主成分とする感光
性樹脂組成物から得られる硬化物は、十分なサンドブラ
スト耐性及び表面粘着性金有するためには、20℃にお
いて被加工基、1(°に対し300 f / c++1
以上の剥離抵抗値を有し、また破断伸度100%以上、
100%モジュラ2500に9/c!以下を有すること
が必要である。この剥離抵抗1直力;300 9 /c
niよジも低いとサンドブラストの際に剥離を生じ、ま
た破断伸度が100%未満、100%モジュラスが50
0に9/cr1未満では)々ターンJ會が破壊され、十
分なマスキングがなされない。
本発明の転写材において用(^る支持体としては、例え
はポリプロピレン、ボリエ,ステル、ポリ塩化ビニル、
ポリカーボネート 、l? IJスチレン、ポリ丁チレ
ノなどの合成樹脂フィルム、スチールやアルミニウムの
ような金属ソートなどが挙げられる。これらの支持体の
厚みは50μ〜1闘の範囲が好適である。この厚み力;
50μより薄いと支持体に、いわゆるコシがなくなって
支持体としての働きができにくくなり、また1mmJニ
ジ厚くなると取り扱い作業性が悪くなって好ましくない
また、本発明の転写拐において、支持体とAil記の感
光性樹脂組成物の硬化物から成るサンドブラスト用マス
クツくターン層との間に介在させる保持層は、該−マス
クノくターン層とはよく接着するが、該支持体とは剥離
可能であシ、かつサンドブラストにより破壊される性質
を有することが必要である。
工程において、細かい点や線の樹脂硬化物が該支持体か
ら脱離するのを防ぐためと、転写劇ヲ被加工基材に貼シ
付けたのら、支持体を剥離する際に、マスクパターン層
が波加工基材から脱離しないようにする目的で設けられ
る。この保持層と支持体との剥離抵抗値は、該支持体を
剥離する際の作業性の点から1 Ofl / ctn以
下であることが望ましい。
この保持層には、例えばセルロースエーテルやセルロー
スエステルなどのセルロース誘導体、ポリメタクリル酸
メチルなどのアクリル樹脂、ポリスチレン、石油樹脂な
どが用いられるが、マスクパターン層との接着性の点で
セルロース誘導体が特に優れている。また未硬化樹脂組
成物の洗い出し工程において、樹脂硬化物が脱離しない
ために、洗い出し液である水、アルカリ液、界面活i生
剤水溶液などに不溶性であることが重要であり、この観
点からセルロース誘導体の中でも、特にエチルセルロー
ス、メチルセルロースナトのアルキルセルロース アセテートブチレートなどのセルロースモノカルボン 好ましくは0.5〜20μの厚さで用いられる。この厚
さが0.5μ未満では保持層としての機能が劣り、1だ
20μを超えると、このような保持層を設けた支持体の
製造が困難となって経済的でない。
次に、本発明の転写材を製造する方法についてその1例
を示すと、1ず保護フィルムの表面に該フィルムと剥離
しやすく、かつ未露光感光性樹脂組成物の洗い出し液に
可溶な被膜金形成し、この保護フィルムを該被膜が露出
する状態で透明1面像用体上に設ける。該保護フィルム
としては、例えばポリプロピレン、ポリエステル、ポリ
エチレン、ボlJスーfーレン、ポリ塩化ビニル、 ホ
’J 7 ミド”、 n¥酸セルロース、ポリカーボネ
ートなどの透明な合成樹脂フィルムが挙げられ,その厚
みは通常5〜50μのものが用いられる。これよシ厚い
と、該フィルム内での光の散乱によシ画像の再現性が低
下しこれよシ薄いと取シ扱い性が悪くなる。好捷しくは
9〜25μの厚さである。また、該フィルムの酸素透過
性が小さいと、形成されるサンドブラスト用マスクパタ
ーン層の表面粘着性を減少させる傾向を示すので、酸素
透過量が30X10’J’/ 2 4 h r / n
?/ynm厚/ cm Hg( 2 1℃)以上である
ものが好°ましい。この点からポリプロピレンフィルム
、セルロースエステル系フィルム、ポリカーボネートフ
ィルム、ポリエチレンフィルム、ポリスチレンフイルム
などが適している。さらに取扱い性を考慮するとポリプ
ロピレンフィルムが最も適している。
この保護フィルムの表面に設ける被膜は、該フィルムと
剥離が容易であって、未露光感光性樹脂組成物の洗い出
し液に可溶であることが必要であり、また、該フィルム
との剥離抵抗値は102/cm以下であることが好まし
い。したがって、この被膜には、例えばヒドロキシル基
含有セルロースエーテル又ハエステル、カルボキシル基
含有セルロースエーテル又ハエステルナトのセルロース
誘導体、部分ケン化ポリ酢酸ビニルなどが使用可能であ
る。ヒドロキシル基a有セルロース誘導体としてU、例
えばヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシプロピル
セルロース、セルロースヒドロキン酢酸エステルなどが
、カルボキシル基含有セルロースエステルとしては、例
えばカルボキンメチルセルロース、カルボキシエチルセ
ルロースなどが挙げられる。また、カルボキシル基含有
セルロースエステルとしては、セルロースト、ジ又はト
リカルボン酸などのポリカルボン酸、例えばコハク酸、
アジピン酸、セバシン酸、フタル酸、イソフタル酸、テ
レフタル酸、トリメリット酸などとの、あるいはこれら
の一部を酢酸、プロピオン酸、醋酸、安息香酸などのモ
ノカルボン酸で置き換えたものとのエステル化反応物が
挙げられる。
まン′こ、これらのカルボン酸は塩の状態になっていて
もよい。
前記以外のものでも洗い出し液に可溶で被膜性を有する
ものであれば使用可能である。
寸だ、これらの被膜材の酸素透過性が小さいと露光過程
で表面の硬化がよく進み、形成されるサンドブラスト用
マスクパターン層の粘着性が低下するので好1しくなく
、この点から酸素透過性の高イセルロース誘導体が00
しい。このセルロース誘導体の中でも、吸湿性が小さく
、弱アルカリ水溶液や界面活性剤水溶液に可溶なカルボ
キシル基含有セルロース誘導体が好ましく、さらに好ま
しくはセルロースとポリカルボン酸及びモノカルボン酸
とのエステルであシ、特に入手の容易さからセルロース
アセテートフタレートが最適である。
この被膜の厚さは、通常0.1〜10μの範囲である。
これより厚いと画像の再現性が低下し、これより薄いと
製造上厚みコントロールが難しく、またピンホールなど
が発生しやすくなる。好ましい被膜の厚さは0.2〜5
μの範囲である。
次に、前記の保護フィルムの被膜の上に感光性樹脂組成
物層を設け、さらにその上に、保持層を設けた支持体を
、該保持層が感光性樹脂組成物層に接するようにラミネ
ートする。次いで透明画像担体全通して活性光線で画像
露光を行ったのち、透明画像担体を外し、さらに保護フ
ィルムを剥離して、未露光部を洗い出し、乾燥すること
によυ、本発明の転写材が得られる。
この際、保護フィルムの被膜上に設ける感光性樹脂組成
物層の厚さは、通常0.05〜3醋の範囲である。これ
より薄バと十分なサンドプラス耐性が得られず、またこ
れより厚いと解像力が悪くなって好ましくない。
また、画像露光に用いる活性光線の光源としては、例え
ばアーク灯、水銀灯、キセノン灯、けい光灯、紫外線発
主装置、太陽光などが挙げられる。
活性光線の波長としては200〜800mμ、好ましく
は300〜500mμの範囲である□さらに、未露光部
の洗い出し液として位、例えば水、又は水酸化ナトリウ
ム、炭酸ナトリウム、酸性炭酸ナト−リウム、ホウ酸ナ
トリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、トリ
エタノールアミンなどのアルカリ水溶液、あるいはセラ
クン、アルキルベンゼンスルホネート、アルキルスルホ
ネート、アルキルアミンクロリド、ポリオキンアルキレ
ングリコール、ポリオキシアルキレ/グリコールアルキ
ルエーテル、ポリオキシアルキレノグリコールアルキル
エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシアル
キレングリコールンルビタン脂肪酸エステルなどの界面
活性剤水溶液が挙げられる。また、乾燥は温風又は熱風
の吹きつけや、室温での放置などによって行われる。
本発明のサンドブラスト用マスク転写拐は、接着剤を用
いずに被加工基材に貼シ付けることができ、その上サン
ドブラスト用マスクパターン層の脱離を起さずに支持体
を剥離することができ、繊細な図柄でも極めて正確に被
加工暴利にザ/ドプラスト加工ができる。
次に実施例によって本発明をさらに詳細に説明するが1
本発明はこれらの例によって何ら限定さノするものでは
ない。
実施例1 セルロースアセテートフタレートラメチルエチルケトン
/酢酸セロソルブ混合溶媒(重量化層)に溶解させ、こ
れを厚さ22μのポリプロピレンフィルム上にバーコー
ターを用いてコーティングスルことにより、2μ厚さの
セルロースアセテートフタレート膜を有するポリプロピ
レンフィルムを得た。これをフィルムAとする。
また、エチルセルロースをメチルエチルケトンに溶解さ
せ、これを厚さ75μのポリエステル−フィルム上ニバ
ーコーターを用いてコーティングし、8μ厚のエチルセ
ルロース層を有するポリエステルフィルムを得た。これ
をフィルムBとする。
さらに、ポリプロピレングリコールアジベートジオール
(数平均分子量2500)39重量部、ポリプロピレン
グリコール(両末端にエチレンオキシド合計10重量係
付加させたもので、数平均分子量2500)39重量部
及びトルイレンジインシアネート6重量部を反応させて
、両末端にインシアネート基を有するポリウレタンを得
た。これに、15重量部の2−ヒドロキシプロピルメタ
クリレートを反応させて、両末端にメタクリレート基金
有する不飽和ポリウレタンを得た。この不飽和ポリウレ
タンに、ポリプロピレングリコールモノメタクリレート
(数平均分子量550 ) 20重量部、ジエチレング
リコールジメタクリレ−一ト3重量部、2.2−ジメト
キシフェニルアセトフェノン1.5重量部、2.6−ジ
ーt−ブチル−p−クレゾール0.1重量部を添加混合
して液状感光性樹脂組成物を得た。
次に、厚さlQmmのガラス板上にボンフィルムを置キ
、その上を前記フィルムAでセルロースアセテートフタ
レート膜がむき出しになるようにして覆った。さらに厚
さ0.3罷のテフロン製スペーサーを置き、前記のよう
にして調製した液状感光性1財脂組成物を注いだ。次い
で前記フィルムBf:エチルセルロース膜が感光性樹脂
組成物層と接するようにしてラミネートし、その上にl
Qmm厚のガラス板を置いて西端をクリップで固定する
ことによシ厚みを制御した。
このようにして得た構成体’52KWの高圧水銀灯から
5OL:rnの位置に置き、ポジフィルムを通して80
秒間露光した。次いでカラス板を外し、ポジフィルムに
接していたフィルムAを剥離した。この際の剥離抵抗は
ほとんどなく、小さな硬化樹脂部分も脱離することはな
かった。次に2重量%の界面活性剤(ライオン■製、ラ
イボンF)水溶液t−0,8K9/ cr/iの圧力で
150秒間吹きつけることによシ、未露光感光性樹脂組
成物を洗い出した。このときも硬化樹脂が脱離すること
はなかった。次いで60℃で10分間乾燥することによ
り、サンドブラスト用マスク転写材を得た。このものを
20℃に冷却後、幅13mm、直径3 Q IrKのア
ルミニウム円柱の曲面に両面接着テープで貼着し、ガラ
ス板表面に500 ’? / cn!の力で4秒間押し
つけたのち、30mm/minのスピードで引き剥がし
剥離抵抗値全測定したところ、6001F/c1nであ
った。
次に、この転写材を厚さ7朋のガラス板に貼着し、フィ
ルムBを剥ぎ取った。このとき剥離抵抗はほとんどなか
った。次いでサイホン式サンドプラスターを用い、研磨
材としてアランダム#180f 3 、5 K97 c
alの空気圧で全面に30′f/J)間吹きつけて彫刻
を行ったところ、マスクがガラスよシ剥離することがな
く、目的とするパターンを彫刻することができた。
実施例2 末端水酸基型水添化1,2−ポリブタジェン(数平均分
子量3000 ) 86重量部、トルイレンジイソシア
ネート6重量部とを反応させて、末端にイノンアネート
基を有するポリウレタンを得た。これに15重量部の2
−ヒドロキシプロピルメタクリレートを反応させて、末
端にメタクリレート基を有する不飽和ポリウレタンを得
た。
この不飽和ポリウレタンにラウリルメタクリレート20
重量部、トリメチロールプロパントリメタクリレート2
重量部、ジエチレングリコールジメタクリレート3重量
部、2,2−ジメトキシフェニルアセトフェノン1−5
i量部、2.6−シー t −ブチル−p−クレゾール
0.1重量部を添加混合し、液状感光性樹脂組成物を得
た。
この感光性樹脂組成物を用い、実施例1と同様にしてサ
ンドブラスト用マスク転写材を得た。このもののガラス
板表面からの剥離抵抗値を実施例1と同様にして測定し
たところ、6509/arrであった。
この転写材をかこう岩表面に貼着したのち、フ・rルム
Bを剥ぎ取シ、次いで直圧式ザンドブラスターを用い、
研磨材としてカーボランダム#200f 4 Ky /
 cr/1の空気圧で全面に50秒間吹きつけを行った
ところ、マスクが5拐よシ剥離することなく、目的のパ
ターンを彫刻することができた。
比較例 無水マレイン酸2モル、イソフタル酸1モル、トリエチ
レングリコール3モルを脱水縮合反応させて、酸価23
の不飽和ポリエステルを得た。この不飽和ポリエステル
70重量部、2−ヒドロキシエチルメタクリレート30
重量部、ベンゾインイソブチルエーテル1重量部、2,
6−ジーt−ブチル−p−クレゾール0.1重量部を混
合溶解して液状感光性樹脂組成物を得た。
この感光性樹脂組成物を用いて、現像液を1重量係ホウ
酸ナトリウム水溶液とする以外は、実施例1と同様にし
てサンドブラスト用マスク転写材を作成した。これにつ
いて実施例1と同様にしてガラス板からの剥離強度を測
定したところ、100? / cmと小さい値であった
これを用いて実施例1と同様にしてガラス板のサンドブ
ラスト加工を試みたが、途中でマスクがガラス板から剥
離し、彫刻することはできなかったO 参考例 実施例1及び2、比較例の感光性樹脂組成物を、厚さ2
朋のスペーサーを用いて片側を9μのポリエステルフィ
ルムで覆った2枚のガラス板の間に樹脂とポリエステル
フィルムが接するようにして成形し、20Wの紫外線け
い光灯10本を並べた光源の下方10>の位置におき、
片側から10分間露光し、次いで成型体を反転させて最
初とは反対の側から10分間露光することにより、感光
性樹脂硬化シートを得た。このシートf:J工S1号の
ダンベルで打ち抜き、500 mm/ minのスピー
ドで引張を行い100%沖張時のモジュラスと破断伸度
を測定した。
次に実施例1及び2、比較例で作成した各サンドブラス
ト用マスクの一点(アランダム#180を5に9/ca
の空気圧で吹きつけて破壊されるまでの時間を測定した
以上の結果を次表に示す。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 ■(A)(イ)一般式 %式%) 〔式中のXはウレタン残基、Aはボリエーテ乞ポリエス
    テル、ポリエーテルポ1凡Lステルブロックコポリマー
    、ポリジエン、ポリエン又はこれらの混合物、Bは一般
    式CH2=C(Z)li!OY(ただし、Zは水素原子
    又はメチル基、Yはmlは1〜6、m2及びm3はそれ
    ぞれ1〜15である)で示される化合物、B′は一般式
    CH2=C(Z) COY (ただし、Z、Yは前記と
    同μ じ意味をもつ)、RO又はROM (ただしRは炭素数
    1〜8のアルキル基、Yは前記と同じ意味をもつ)で示
    される化合物、nは1〜10である〕 で表わされる不飽和ポリウレタン50〜98重量部、(
    ロ)エチレン性不飽和化合物2〜50]i量部、及び(
    ハ)0)成分と(0)成分との和に対して帆05〜10
    重量係の光重合開始剤を主成分として含有して成る感光
    性樹脂組成物から得られ、かつ20℃における波加工基
    材に対する剥離抵抗値300 fl / a1以上、破
    断伸度100係以上、100乃モジユラス500 Kg
     / cni以下を有する硬化物から成るサンドブラス
    ト用マスクパターン層、(B)該マスクパターン層を保
    持するための支持体、及び(C)前記のマスクパターン
    層と支持体との間に位置し、該マスクパターン層とはよ
    く接着するが、該支持体とは剥離可能であり、かつサン
    ドブラストにより破壊される性質を有する保持層から成
    るサンドブラスト用マスク転写材。
JP21347383A 1982-05-13 1983-11-14 サンドブラスト用マスク転写材 Granted JPS60104939A (ja)

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