JPS6010683A - Ｃｏ↓２レ−ザ−管 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 もって放電管部を形成せしめられるＣ０２レーザー管に
関する。

従来、ＣＯ２レーザ−は、ＣＯ２，Ｈｅ及びＮ２の３種
のガスをガラス又は金属酸化物等から形成される管内で
放電せしめてうるものであるが、該放電管は連続的に作
動することが多いため管部の発熱が著しく犬となりこれ
を強制的に空冷又は水冷が必要であってこの場合外部へ
の熱の放散には、管部自身の熱伝導性が良好であること
が要求されていた。また、放電を伴う高圧電流を取扱う
ものであるから電気絶縁性が犬なることも極めて重要な
条件であり、さらに、装置に接触する期会の多い取扱者
に有害な物質であってはならないものであつ′ｆｉ−Ｏ しかして、従来、放電管には、硬哲石英ガラス、酸化ア
ルミニウム、酸化ベリリウム、グラファイト等が使用さ
れていた。

しかし、硬質石英ガラスは、放電にイオンの衝撃によジ
損傷を受け易く、また、熱伝導性がよくないため水冷効
果も不十分であり内部が過熱し勝ちで従ってレーザー出
力に悪影響を及ぼす欠点があり、また酸化アルミニウム
は上記ガラス同様電気絶縁性は比較的良好であるが、熱
伝導性が同様によくないので十分な冷却効果が得られず
、そのため所望の出力にアップすることが屡々困難であ
り、さらに、酸化ぺＩＪ　ＩＪウムは電気絶縁性、熱伝
導性の点では良好であるが、その粉塵が人体に極めて有
害であるため単独では現在殆んど使用されてなく、さら
に、グラファイト等Ｆｉ電気伝導性が大なるため、電気
絶縁手段を別に講する必要がある等、これまで試みられ
た材料はいずれも何等かの欠点を有するため、要求性能
を具備する新たな放電管材料の出現が強く要望されてい
た。

本発明はかかる実情に鑑みてなされたもので、放射管部
に適当と思われる多くの材料について、特に、放射管部
に必要な熱伝導性及び電気絶縁性において、熱伝導率が
少くとも２００Ｗ−ｍ　・０［以上であり、また、比抵
抗が１０　Ωα以上であって、しかも、人体に対し有害
でないものを見出すべく種々検討したが、このたびその
条件にか々う緒特性を具備する最適材料としてシリコン
カーバイドを発見し本発明を完成するに至りたるもので
ある。

一般に００２レーザービームの発振管における放射管部
は第１図に示す如く、両端に反射鏡１，１′を有し、該
反射鋼に近い位＠　Ｋ　Ｔｆｊ極２，２′を有する細長
い管球３をもって形成されるもので、電極間で行われる
連続的放電のため放電管全体が著しく発熱する。

しかして、従来は前記する如き各種材料が試みられてい
るが、これらはすべて何等の不具合を有するもので、熱
伝導性及び電気路Ｒ・性が良好であること、有毒でない
ことの条件を満足するものはこれまで殆んど見出されて
いなかった。

本発明に係るシリコン・カーバイドには、例えば日立製
作所製造に係る商品名「ヒタセラム丁が有用であるが、
このものは熱伝導率（Ｗ−ｒｎ−、’・０Ｋ−１）が２
７０を示すのでＢｅＯセラミックの２４０と同程度であ
り、また、比抵抗（Ω−（？ｒｎ）が＞４Ｘ１０１３で
あるからＢｅＯの〉１０１４．Ａｔ２０３の＞１０”と
ほぼ同程度であり、さらに必要な強度を保有し、かつ、
サーマルショックに強く、真空に必須条件であるちみつ
質である等の特性を有するものであるから放電管部に適
用しうる材料として極めて好適である。

以上の如く、本発明が適用される放射管部は熱伝導性及
び電気絶縁性を同時に要求されるものであり、特に、熱
伝導率（ｗ−ｍ＝・０Ｋ−１）が少くとも２００以上、
また、比抵抗（Ω・ａ）が１０　以上であることが必要
であるが、これを満足するものとしてシリコンカーバイ
ドが好適であり、発明所期の　１目的を十分に達成しう
るものである。本発明品はさらに放電管の冷却を要する
他種のレーザー管例えばＡｒレーザ管ｒ　Ｃｕレーザ管
、Ｃｕレーザ管等にも充分応用しうるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明が適用されるＣＯ２レーザー管の放電管
部を元す説明図である。 １．１′・・・反射管、２．２′・・・電極、３・・・
管球。 特許出願人　持田製薬株式会社 代理人　弁理士甲斐正憲 （５） 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 放電管部をシリコンカーバイトをもって形成せしめるこ
   とを特徴とするＣＯ２レーザー管。