JPH031585A - レーザ発振器用放電管 - Google Patents
レーザ発振器用放電管Info
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- JPH031585A JPH031585A JP1135447A JP13544789A JPH031585A JP H031585 A JPH031585 A JP H031585A JP 1135447 A JP1135447 A JP 1135447A JP 13544789 A JP13544789 A JP 13544789A JP H031585 A JPH031585 A JP H031585A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はガスレーザ発振器に使用するレーザ発振器用放
電管に関し、特に高周波（無線周波数を含む）の交流電
源で駆動するレーザ発振器用放電管に関する。
電管に関し、特に高周波（無線周波数を含む）の交流電
源で駆動するレーザ発振器用放電管に関する。
一般に、ガスレーザ発振器では誘電体で構成される放電
管はセラミックあるいは石英等で構成され、その外表面
に一対の電極を設け、この電極に高周波の交流電力を印
加し、放電管内のガスを励起して、放電を行う。この放
電管の両側に反射鏡を設けてレーザ発振器を構成してい
る。
管はセラミックあるいは石英等で構成され、その外表面
に一対の電極を設け、この電極に高周波の交流電力を印
加し、放電管内のガスを励起して、放電を行う。この放
電管の両側に反射鏡を設けてレーザ発振器を構成してい
る。
電極はメタライズによってメッキ層を形成したり、ある
いは金属テープを放電管の表面に接着したりしている。
いは金属テープを放電管の表面に接着したりしている。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、放
電管に放熱フィンを設けて、電極の温度上昇を低減した
レーザ発振器用放電管を提供することを目的とする。
電管に放熱フィンを設けて、電極の温度上昇を低減した
レーザ発振器用放電管を提供することを目的とする。
しかし、放電管に交流電力を印加して、放電をさせると
、放電管内の温度が上昇する。この温度上昇により、放
電管の温度が３００°程度になる。
、放電管内の温度が上昇する。この温度上昇により、放
電管の温度が３００°程度になる。
放電管を構成する誘電体と電極を構成する金属の熱膨張
率の差によって、電極がはがれるという問題があった。
率の差によって、電極がはがれるという問題があった。
また、電極の温度上昇により、周囲の空気の温度が上昇
し、電極の端部にコロナ放電が発生し、電極が劣化する
という問題もあった。
し、電極の端部にコロナ放電が発生し、電極が劣化する
という問題もあった。
このため、電極の剥離を防止するために、電極と放電管
の間にクツションを入れていた。また、コロナ放電を防
止するために、電極の端部にシリコーン等のモールド材
を塗っている。
の間にクツションを入れていた。また、コロナ放電を防
止するために、電極の端部にシリコーン等のモールド材
を塗っている。
これらの処理は放電管の再処理が必要であり、また、放
電管を制作する上で作業工数がかかった。
電管を制作する上で作業工数がかかった。
本発明では上記課題を解決するために、誘電体の放電管
の表面に少なくきも一対の電極を備え、前記電極の一部
に放熱用フィンを取り付けたことを特徴とするレーザ発
振器用放電管が、提供される。
の表面に少なくきも一対の電極を備え、前記電極の一部
に放熱用フィンを取り付けたことを特徴とするレーザ発
振器用放電管が、提供される。
電極に放熱フィンを設けて、放熱フィンから温度を逃が
してやることによって、電極の温度上昇を低減する。
してやることによって、電極の温度上昇を低減する。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図（ａ）は本発明の一実施例のレーザ発振器用放電
管の図である。第１図（ｂ）は第１図（ａ）の側面図で
ある。放電管１はセラミックあるいは石英のパイプが使
用される。放電管１０表面には一対の電極５ａ及び５ｂ
が、らせん状に設けられている。この電極５ａ及び５ｂ
は、メタライズによってメッキ層を作る場合と、金属テ
ープを接着する場合がある。
管の図である。第１図（ｂ）は第１図（ａ）の側面図で
ある。放電管１はセラミックあるいは石英のパイプが使
用される。放電管１０表面には一対の電極５ａ及び５ｂ
が、らせん状に設けられている。この電極５ａ及び５ｂ
は、メタライズによってメッキ層を作る場合と、金属テ
ープを接着する場合がある。
放電管１０両側には、それぞれアルミニューム製の放熱
フィン２ａ及び２ｂが、電極５ａ及び５ｂに密着するよ
うに設けられる。このため、放熱フィン２ａ及び２ｂは
その端部が４分の１円状に削っである。また、放熱フィ
ン２ａ及び２ｂは放電管１に固定するために、中央部が
凹状になっている。この放熱フィン２ａ及び２ｂの凹状
部にセラミック製のクランプ３とステンレス製の抑え板
４を掛けて放熱フィン２ａ及び２ｂを固定している。ク
ランプ３はセラミック製であるので、ネジ７ａと７ｂに
よって、部材６ａ及び６ｂに結合され、さらに部材６ａ
及び６ｂがネジ８ａと８ｂによって、抑え板４と結合さ
れている。
フィン２ａ及び２ｂが、電極５ａ及び５ｂに密着するよ
うに設けられる。このため、放熱フィン２ａ及び２ｂは
その端部が４分の１円状に削っである。また、放熱フィ
ン２ａ及び２ｂは放電管１に固定するために、中央部が
凹状になっている。この放熱フィン２ａ及び２ｂの凹状
部にセラミック製のクランプ３とステンレス製の抑え板
４を掛けて放熱フィン２ａ及び２ｂを固定している。ク
ランプ３はセラミック製であるので、ネジ７ａと７ｂに
よって、部材６ａ及び６ｂに結合され、さらに部材６ａ
及び６ｂがネジ８ａと８ｂによって、抑え板４と結合さ
れている。
ここで、抑え板４はバネ機能により、放熱フィン２ａ及
び２ｂを放電管１に固定する。クランプ３をセラミック
製としたのは、温度上昇に対する膨張係数が小さいから
である。抑え板４をステンレス製としたのは、高温にな
っても靭性が低下しないためである。
び２ｂを放電管１に固定する。クランプ３をセラミック
製としたのは、温度上昇に対する膨張係数が小さいから
である。抑え板４をステンレス製としたのは、高温にな
っても靭性が低下しないためである。
これによって、放電によって放電管１の温度が上昇して
も、その熱は放熱フィン２ａ及び２ｂを通って空気中に
放散されるので、特に高温になる電極５ａ及び５ｂの温
度上昇は低減される。このような放熱フィンを設けるこ
とにより、出力ＩＫＷ程度の炭酸ガスレーザで、１００
〜１５０”Ｃ程度の温度を低減することができた。また
、レーザの出力がさらに大きいときは、放熱フィン５ａ
及び５ｂをファンによって空冷すれば、さらに電極の温
度を低下させることができる。
も、その熱は放熱フィン２ａ及び２ｂを通って空気中に
放散されるので、特に高温になる電極５ａ及び５ｂの温
度上昇は低減される。このような放熱フィンを設けるこ
とにより、出力ＩＫＷ程度の炭酸ガスレーザで、１００
〜１５０”Ｃ程度の温度を低減することができた。また
、レーザの出力がさらに大きいときは、放熱フィン５ａ
及び５ｂをファンによって空冷すれば、さらに電極の温
度を低下させることができる。
これによって、電極５ａ及び５ｂの放電管１からの剥離
等を防止することができる。さらに、コロナ放電による
、電極５ａ及び５ｂの劣化も防止できる。
等を防止することができる。さらに、コロナ放電による
、電極５ａ及び５ｂの劣化も防止できる。
勿論、このような効果はメタライズによるメッキ層で構
成されている電極、あるいは金属テープで構成されてい
る電極のいずれでも同様な効果がある。
成されている電極、あるいは金属テープで構成されてい
る電極のいずれでも同様な効果がある。
４ ・・・・ 抑え板
５ａ、５ｂ 電極
Claims (6)
- （１）誘電体の放電管の表面に少なくとも一対の電極を
備え、前記電極の端部に放熱用フィンを取り付けたこと
を特徴とするレーザ発振器用放電管。 - （２）前記電極はメッキ層によって構成されていること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ発振器
用放電管。 - （３）前記電極は金属テープによって構成されているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ発振
器用放電管。 - （４）前記放熱フィンはアルミニューム製であることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ発振器用
放電管。 - （５）前記放熱フィンは中央に凹状部を有し、前記凹状
部をクランプと靭性を有する抑え板とによって前記放電
管に固定するようにしたことを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載のレーザ発振器用放電管。 - （６）前記放熱フィンをファンで空冷するようにしたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ発振
器用放電管。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1135447A JPH031585A (ja) | 1989-05-29 | 1989-05-29 | レーザ発振器用放電管 |
| EP90907430A EP0428741B1 (en) | 1989-05-29 | 1990-05-15 | Discharge tube for laser generator |
| PCT/JP1990/000616 WO1990015456A1 (fr) | 1989-05-29 | 1990-05-15 | Tube a decharge pour generateur laser |
| US07/635,596 US5113407A (en) | 1989-05-29 | 1990-05-15 | Discharge tube for laser oscillator |
| DE69012058T DE69012058T2 (de) | 1989-05-29 | 1990-05-15 | Entladungsröhre für lasergenerator. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1135447A JPH031585A (ja) | 1989-05-29 | 1989-05-29 | レーザ発振器用放電管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH031585A true JPH031585A (ja) | 1991-01-08 |
Family
ID=15151931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1135447A Pending JPH031585A (ja) | 1989-05-29 | 1989-05-29 | レーザ発振器用放電管 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5113407A (ja) |
| EP (1) | EP0428741B1 (ja) |
| JP (1) | JPH031585A (ja) |
| DE (1) | DE69012058T2 (ja) |
| WO (1) | WO1990015456A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007042755A (ja) * | 2005-08-01 | 2007-02-15 | Mitsubishi Electric Corp | Ｌｅｄ照明装置 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5661746A (en) * | 1995-10-17 | 1997-08-26 | Universal Laser Syatems, Inc. | Free-space gas slab laser |
| US5881087A (en) * | 1997-04-30 | 1999-03-09 | Universal Laser Systems, Inc. | Gas laser tube design |
| US5901167A (en) * | 1997-04-30 | 1999-05-04 | Universal Laser Systems, Inc. | Air cooled gas laser |
| US5867517A (en) * | 1997-04-30 | 1999-02-02 | Universal Laser Systems, Inc. | Integrated gas laser RF feed and fill apparatus and method |
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|---|---|---|---|---|
| JPS6288384A (ja) * | 1985-10-15 | 1987-04-22 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレ−ザ装置 |
| JPS6420682A (en) * | 1987-07-16 | 1989-01-24 | Toshiba Corp | Gas laser apparatus excited by high frequency discharge |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS543491A (en) * | 1977-06-09 | 1979-01-11 | Toshiba Corp | Gas laser tube |
| JPS6017975A (ja) * | 1983-07-11 | 1985-01-29 | Mitsubishi Electric Corp | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
| JPS61287285A (ja) * | 1985-06-14 | 1986-12-17 | Hitachi Ltd | レ−ザ発振管 |
| JPS62174990A (ja) * | 1986-01-29 | 1987-07-31 | Fanuc Ltd | 高周波励起同軸型ｃｏ２レ−ザ− |
| JPS62209878A (ja) * | 1986-03-10 | 1987-09-16 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ管 |
| JPH07105543B2 (ja) * | 1986-11-21 | 1995-11-13 | 株式会社東芝 | ガスレ−ザ管装置 |
| US4953176A (en) * | 1989-03-07 | 1990-08-28 | Spectra-Physics | Angular optical cavity alignment adjustment utilizing variable distribution cooling |
-
1989
- 1989-05-29 JP JP1135447A patent/JPH031585A/ja active Pending
-
1990
- 1990-05-15 US US07/635,596 patent/US5113407A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-05-15 DE DE69012058T patent/DE69012058T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-05-15 EP EP90907430A patent/EP0428741B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-05-15 WO PCT/JP1990/000616 patent/WO1990015456A1/ja not_active Ceased
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69012058D1 (de) | 1994-10-06 |
| EP0428741A1 (en) | 1991-05-29 |
| US5113407A (en) | 1992-05-12 |
| EP0428741B1 (en) | 1994-08-31 |
| EP0428741A4 (en) | 1991-10-23 |
| WO1990015456A1 (fr) | 1990-12-13 |
| DE69012058T2 (de) | 1995-04-13 |
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