JPS6011038A - エア−シヤワ−装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は清浄作業室（クリーンルーム、）（イオクリー
ンルーム等）の出入口に設置して使用されるエアーシャ
ワー装置に関する。

〔発明の背景〕

エアーシャワー装置は人の衣服や物品の表面にしん埃が
付着したまま清浄作業室に持ち込まれ室内清浄度を低下
させることを防止するためのもので、代表的な例として
、シャワー室の天井部空気吹出口から吹出し常にンヤワ
ー室内を流れる循環気流と、シャワー室の側面部空気吹
出口から吹出しシャワー室内を通る物体（人または物品
）からしん埃を除去するジェット気流を発生する機能を
備えたもの（特公昭４４−１８７０６　）があるが、作
業環境に高水準のしん埃管理が要求される半導体工業等
の分野では性能的に十分でなく、さらに高性能の装置が
必要になって来た。

従来のエアーシャワー装置を図示すれば、第１図（従来
例１）および第２図（従来例２）のようになる。

従来例１では、人が扉２．２′を開いてシャワー室１に
入ると、図示しない検出器（ドアースイッチ等）によっ
て循環気流用送風機８とジェット気流用送風機９が同時
に運転され、送風機８はＨＥＰＡフィルタ７で濾過され
た清浄空気をダクト６を通して吸込み、層流状の低速循
環気流としてシャワー室１の天井部空気吹出口６かも吹
出し、送風機９はＨＥ　Ｐ　Ａフィルタ７で濾過された
清浄空気を同じくダクト６を通して吸込み、高速ジェッ
ト気流としてシャワー室１の側面部空気吹出口４から人
体に向けて吹出す。このジェット気流によって人体から
飛散したしん埃は天井部空気吹出口６から吹出す循環気
流によって下方に運ばれ、シャワー室下部の空気取入口
５を通ってＨＥＰＡフィルタ７で捕集される。人がシャ
ワー室１から出ると送風機９は停止し、平常時には送風
機８のみが運転されて天井部空気吹出口６から吹出す循
環気流によりシャワー室１内を清浄に保つ。上述した機
構が装置本体ケース１０に組込まれている。

従来例２では、人がシャワー室１に入ると、図示しない
検出器によって循環気流用送風機８とジェット気流用送
風機９が同時運転され、送風機８はｆ−ＩＥＰＡフィル
タ７で濾過された清浄空気をダクト６を通して吸込み、
層流状の低速循環気流としてシャワー室１の天井部空気
吹出口６から吹出し送風機９はシャワー室天井付近に設
けたジェット気流用空気取入口１７から上記循環気流の
一部を吸込み、さらに加圧してダクト１４へ送り、高速
ジェット気流としてシャワー室１の側面部空気吹出口４
から人体に向けて吹出す。このジェノ）気流によって人
体から飛散しだしん埃はシャワー室１内を流れる上記循
環気流によって下方に運ばれシャワー室下部の循環気流
用空気取入口１６を通ってＨＥＰＡフィルタ７で捕集さ
れる。本例でも人がシャワー室１から出ると送風機？は
停止し、平常時には送風機８のみが運転されて天井部空
気吹出口ろから吹出す循環気流により／ヤワー室１内を
清浄に保つ。上述した機構が装置本体ケース１０に組込
まれている。

しかし、従来例１では循環気流用送風機８とジェット気
流用送風機９が同一フィルタフの下流側のダクト６がら
空気を吸込むようになっていて、ジェット気流発生時（
送風機９の運転時）にダクト６内の圧力が低下するため
、まだ従来例２ではジェット気流用空気取入口１７がシ
ャワー室１の天井付近にあって、ジェット気流発生時（
送風機９の運転時）に天井部空気吹出口３からの吹出し
気流の一部が空気取入口１７に吸込まれるため、いずれ
の例でもジェット気流発生時にシャワー室１内を流れる
循環気流の風量は平常時の半分程度になってしまう。こ
のため、ジェット気流によってシャワー室１の上方に舞
い上がった飛散じん埃を十分に押え込むことができず、
本装置の重要な機能の一つである飛散じん埃の捕集性能
を十分高めることができなかった。

さらに従来例１では、ジェット気流停止時（送風機９の
停止時）にもダクト６内が負圧になっているため、シャ
ワー室１から側面部空気吹出ロ４−送風機？−ダクト６
−送風機８を経由し、ＨＥ　ＰＡフィルタ７を通らない
気流が再び天井部空気吹出口６から循環気流の一部とし
て吹出されるショートサーキット現象が生じてシャワー
室１内の清浄度を低下させるという欠点があり、従来例
２では、ジェット気流用空気取入口１７がシャワー室１
の天井付近に設けられているだめ、ジェット気流発生時
に天井部空気吹出口６から吹出される循環気流の風量が
半減していることも相乗して、シャワー室１の上方に舞
い上がった飛散じん埃の一部が空気取入口１７に吸込ま
れ、側面部空気吹出口４からじん埃を含んだジェット気
流が人体に向けて吹出される恐れがあり、じん埃除去の
面から見て好ましくなかった。

〔発明の目的〕

本発明は上記した従来技術の問題点を解決し、さらに高
性能のエアーシャワー装置を提供することを目的とする
。

〔発明の概要〕

本発明は、エアーシャワー装置において上方部空気吹出
口へ清浄空気を供給する送風機およびフィルタを含む循
環気流形成手段と、側面部空気吹出口へ清浄空気を供給
する送風機およびフィルタを含むジェット気流形成手段
をそれぞれ独立させて設け、シャワー室の下部に上記循
環気流形成手段と↓記ジェット気流形成手段の空気取入
口を設けたことを特徴とするものである。

〔発明の実施例〕

本発明の実施例を第３図、第４図に示す。

第５図に示す実施例について説明すると、１は図示しな
い清浄作業室の出入口に直結し、前室として形成された
シャワー室、２．２′はシャワー室と清浄作業室および
シャワー室と外部との間の出入口扉である。

シャワー室１の天井部空気吹出口６はパンチング板等に
よって形成されている。シャワー室１と装置本体ケース
１０との間にはシャワー室１の両側方から上方にかけて
循環気流用ダクト１１を設け、ダクト１１の両側下部に
循環気流用送風機８を設置し、ダクト１１の上部と天井
部空気吹出口６との間に循環気流用フィルタ（ＨＥＰＡ
フィルタ）１２を設置しである。循環用送風機８は通常
シロッコファンを用いるが、これに限定するものではな
い。循環気流゛用空気取入口１３はシャワー室下部の対
向する両側面に設けてあシ、空気取入口１６のプレフィ
ルタを通してシャワー室内の空気な吸込む。前記空気取
入口１６から吸込まれた空気は送風機８によってダクト
１１へ送シ込まれ、フィルタ１２で濾過されて清浄空気
となり天井部空気吹出口６から比較的低風速（好ましく
は０．０２〜２ｍ／Ｓ）の層流状の気流としてシャワー
室１内に吹出される。

また、シャワー室１の両側方には前記循環気流用ダクト
１１より内側にジェット気流用ダクト１４を設け、ダク
ト１４の下部にジェット気流用送風機９を設置し、ダク
ト１４とチャンバ１５との間にジェット気流用フィルタ
（ＨＥＰＡフィルタ）１６を設置しである。ジェット気
流用送風機９は通常ターボファンまたはシロッコファン
が用いられるが、所定の風速・風量が得られればこれに
限るものではない。本実施例ではジェット気流用空気取
入口１７もシャワー室下部の対向する両側面に循環気流
用空気取入口１３とは独立して設けてあり空気取入口１
７のプレフィルタを通して吸込まれた空気を送風機９に
よってダクト１４へ送り込みフィルタ１６で濾過された
清浄空気をチャンバ１５を経てシャワー室１の対向する
両側面に設けた側面部空気吹出口４から高速ジェット気
流（たとえば１０〜ｂ 側面部空気吹出口４は吹出し気流に指向性を持たせるた
め一例として図示したようなノズル形に形成しである。

本実施例においては循環気流用送風機８を常時運転し、
矢印ａで示すようにダクト１１−フィルタ１２−天井部
空気吹出口３−シャワー室１−空気取入口１６−送風機
８の経路で循環気流を発生させておく。シャワー室１に
人や物品が入ると、図示しない検出器が働いてジェット
気流用送風機９を循環気流用送風機８とともに運転し、
矢印すで示すように側面部空気吹出口４からジェット気
流を発生させる。

人の衣服や物品に付着していたしん埃はこのジェット気
流によって飛散し一部は上方に舞い上がろうとするが、
天井部空気吹出口６から吹出す循環気流により押え込ま
れて、シャワー室１内を下向に流れる循環気流およびジ
ェット気流とともにシャワー室下部の空気取入口１６．
１７から吸引され、それぞれフィルタ１２．１６で捕集
される。人や物品がシャワー室１から出るか、またはタ
イマにより設定された所定時間が経過すると、ジェット
気流用送風機９は停止して循環気流用送風機８のみが運
転される平常状態に戻り、平常状態では天井部空気吹出
口５から吹出す循環気流によってシャワー室１内が清浄
に保たれる。本装置は上記機能によって人や物品の出入
に伴う清浄作業室へのしん埃粒子の持込み、および汚染
空気の流入を防止する。

シャワー室への人や物品の出入を検知する検出器として
は、公知のドアースイッチ、踏板スイッチ、光ビームセ
ンサ、音波スイッチ、静電スイッチ、電波スイッチ等を
用いることができる。

このように本実施例では、従来例１．２と異なり天井部
空気吹出口６へ清浄空気を供給する循環気流形成手段（
送風機８、ダクト１１、フィルタ１２）と側面部空気吹
出口４へ清浄空気を供給するジェット気流形成手段（送
風機９、ダクト１４、チヤンバ１５、フィルタ１６）を
それぞれ独立させて設け、かつシャワー室１の下部に循
環気流用空気取入口１３およびジェット気流用空気取入
口１７を設けであるため、ジェット気流発生時にも天井
部空気吹出口６から吹出してシャワー室１内を流れる循
環気流の風量は平常時と変らず、ジェット気流発生時に
人や物品からの飛散じん埃の一部がシャワー室の上方に
舞い上がろうとするのを循環気流によって十分に押え込
むことができる。そのうえ、ジェット気流発生中（シャ
ワー室１内の発生しん埃量が最も多い時）は天井部空気
吹出口６がらシャワー室下部の空気取入口１６へ向う循
環気流に、側面部空気吹出口４がも同じくシャワー室下
部の空気取入口１７へ向うジェット気流も加わって発生
したしん埃の室内上方への飛散を抑制するため、シャワ
ー室内の発生じん埃量が最も多い時期でのしん埃捕集速
度が従来例１．２に比べ送風機８．９の容量を同一とし
てもほぼ１．５倍早くなシ、本装置の最も重要な轡能で
ある飛散じん埃の捕集性能が著しく向上する。

さらに本実施例では、循環気流形成手段とジェット気流
形成手段がそれぞれ送風機およびフィルタを含む独立し
た風路を有しているので、従来例１のように平常時に側
面部空気吹出口４を経由してフィルタを通らない気流が
／ヤワー室１内を循環するというショートサーキット現
象がなくなって平常時の室内清浄度も上げることができ
、また従来例２のようにジェット気流用空気取入口１７
から吸込まれた飛散じん埃が再びジェット気流とともに
吹出され、じん埃を含んだジェット気流が人体等に吹き
伺けられる恐れもない。

第４図は本発明の他の実施例を示す。本実施例はシャワ
ー室１の下部に設けた共通の空気取入口５からシャワー
室１の両側方に設けた吸込用ダクト１８を経由して循環
気流用送風機８およびジェット気流用送風機９へ空気を
吸込ませるようにしたもので、それ以外の構成は第６図
と同様である本実施例でに空気取入口５を共通としてい
るが　１空気取入口５のプレフィルタの圧損は比較的小
さいので、ジェット気流発生時（送風機９の運転時）に
も送風機８によって天井部空気吹出口６から吹出される
循環気流の風量は平常時とほとんど変わらず、第６図の
実施例とほぼ同等の性能が得られる。

第６図、第４図に示した実施例以外にも循環気流形成手
段とジェット気流形成手段の送風機、フィルタの配置や
ダクト構成等については本発明の要旨内で任意に変更す
ることができる。まだ、第６図、第４図では空気取入口
をシャワー室の下部側面に設けているが、シャワー室の
床に空気取入口を設け、床下ダクトを経て循環気流用、
ジェット気流用の各送風機に至る風路を形成してもよい
次にシャワー室の側面部空気吹出口について説明を加え
る。従来から用いられていた側面部空気吹出口４には、
吹出し気流に指向性を与えるだめと圧力損失を少なくし
て送風機負荷の低減をはかるため、第５図（ａ）に示す
ようにシャワー室側壁１′の表側に突出した気流ガイド
４１の先端に吹出口開口部４２を設けて凸形吹出口とし
たものや、第５図（ｂ）に示すようにシャワー室側壁１
′の一部に凹部４３を形成し、この凹部４６内に上記と
同様な気流ガイド４１と吹出口開口部４２を有する凸形
吹出口を設けて見掛上吹出口がシャワー室１内に突出し
ない形にしたものがあるが、これらのものは凸形吹出口
の気流ガイド４１や凹部４６の上に人体や物品から飛散
しだしん埃が堆積し、この堆積しん埃がシャワー室１内
の循環気流によシ再飛散して室内清浄度を低下させる恐
れがあった。

この恐れをなくすため側面部空気吹出口４は、第６図に
示すようにシャワー室側壁１′には吹出口開口部４２の
みを設け、気流ガイド４１をンヤワー室側壁１′の裏側
の清浄気流中に設けた構成とすることが望ましい。第６
図中、（ａ）は気流ガイド４１を円筒形とした例、（ｂ
）は気流ガイド４１を截頭円錐形とした例、（Ｃ）は気
流ガイド４１を球面の一部として形成した例である。

この構成によれば、シャワー室１内には飛散じん埃が堆
積する凹凸部がないので、堆積しん埃の再飛散による室
内清浄度の低下を防止できるし、吹出口がシャワー室ｉ
内に突出して通行のじゃまになることもない。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明によれば、側面部空気吹出口か
らのジェット気流発生時にも上方部空気吹出口からの循
環気流の風量を平常時とほとんど変わらない十分な量に
維持でき、そのうえ、循環気流にジェット気流も加わっ
て人体や物品から飛散したしん埃を速やかに除去できる
ため、飛散じん埃の捕集性能を十分に向上させることが
でき、高性能のエアーシャワー装置を実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、（ｂ）は従来例の切断正面図およびその
Ａ、−Ａ断面図、第２図は他の従来例の切断正面図、第
６図（ａ）、（ｂ）は本発明の一実施例を示す切断正面
図およびそのＢ−Ｂ断面図、第４図は１本発明の他の実
施例を示す切断正面図、第５図（ａ）、（ｂ）は側面部
空気吹出口の従来例を示す切断側面図、第６図（ａ）、
（ｂ）、（Ｃ）は側面部空気吹出口の改善例を示す切断
側面図である。 １１１．シャワー室　６・・・天井部空気吹出↓４・・
・側面部空気吹出口 ５・・・循環気流用とジェット気流用に共通の空気取入
口 １６・・・循環気流用空気取入口 １７・・・ジェット気流用空気取入口 ８．１１．１２・・・循環気流形成手段（８・・・送風
機１１・・・ダクト、１２・・・フィルタ）９．１４．
１５．１６・・・ジェット気流形成手段（９・・・送風
機、１４・・・ダクト、１５・・・。 チャンバ、１６°・・フィルタ） 代理人弁理士　中村純之助 １？１　図 （Ｇ） （ｂ） 矛２図 １−３図 （０） （ｂ） １Ｆ４図 ＋　５　ｆ （Ｑ） 十６図 （ａ）　（ｂ） （ｂ） （Ｃ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. シャワー室の上方部空気吹出口から吹出しシャワー室内
   を流れる循環気流と、シャワー室の側面部空気吹出口か
   らのジェット気流を発生する機能を備えたエアーシャワ
   ー装置において、上方部空気吹出口へ清浄空気を供給す
   る送風機およびフィルタを含む循環気流形成手段と、側
   面部空気吹出口へ清浄空気を供給する送風機およびフイ
   ）レタを含むジェット気流形成手段をそれぞれ独立させ
   て設け、シャワー室下部に上記循環気流形成手段と上記
   ジェット気流形成手段の空気取入口を設けたことを特徴
   とするエアーシャワー装置。