JPS60114227A - 洗浄ブラシ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 し産業上の利用分野〕 この発明は、ガラスや種々セラミックスあるいは金属等
の表面洗浄に用いられる洗浄ブラシに関する。

〔従来技術〕

一般にこの種の洗浄ブラシは、動物性の毛や多数の細い
樹脂繊維等からなるブラシを有していて、該ブラシを上
述したガラスやセラミックス、あるいは金属等の表面に
当接して回転させたり、あるいは前後左右に動かしたり
することによってこれら種々材料の表面洗浄を行うよう
にしている。

ところで、洗浄効率という観点からこのような洗浄ブラ
シを鑑みた場合、同洗浄ブラシによる洗浄効率が優れて
いるなどとは決っしていえないことは多くの当業者も認
めるところである。

すなわち、このような洗浄ブラシでは上記種々材料に付
着したゴミやホコリ（総称して塵という）をそのブラシ
によってただ単に散らそうとするものであることから、
この散らされた塵が再び上記材料表面に付着する可能性
が大きい。現実に、このように散らされた塵が当該材料
に再付着して同洗浄作業の能率を低下せしめるといった
ような現象は多々発生している。

また、このような洗浄ブラシによる洗浄効率を向上させ
得ないもう１つの大きな理由として、上記材料と塵との
いわゆるクーロン力による結合が考えられる。すなわち
、上記材料が特にガラスやセラミックスのようなもので
あった場合、これらは一般に帯電していることが多く（
上記ブラシとの摩擦によって帯電することもある）、ま
た塵自体も帯電していることが多く、結局これら材料と
塵とは上記クーロン力によって案外に強く結合されてい
ることが多い。したがって、この洗浄ブラシによる上述
したような洗浄方法では、同座を完全に除去することは
難しい。また上述した塵の再付着現象もこのクーロン力
に負うところが大である。

このように、上述した従来の洗浄ブラシで上記種々材料
の表面に付着した塵を完全に除去することは不可能に近
かった。特に、半導体用マスク洗浄機等に用いられる洗
浄ブラシにおいてはこの問題も深刻であり、その構造あ
るいは洗浄方法に何らかの対策が望まれていた。

〔発明の目的〕

この発明は、上述した問題を解消して、いかなる塵をも
能率良く、かつ完壁に除去することのできる洗浄ブラシ
を提供することを目的とする。

〔発明の構成〕

上記目的を達成するため、この発明では、上記ブラシの
部分を多数の細い繊維状導体で構成するとともにこれを
適宜に接地するようにして、該ブラシを上記材料表面に
当接させた際、この材料表面およびこれに付着している
塵に存在する電荷が自動的に取り除かれるようにし、さ
らに上記ブラシを支持するブラシ支持体（導電体であり
実際はこのブラシ支持体を介して上記ブラシが接地され
る）に１乃至複数の孔を設けるとともに該ブラシ支持体
を背後から囲繞する適宜な囲繞手段を介して吸気装置を
設けて、上記ブラシにより除電されかつ除去された塵を
上記ブラシ支持体に設けた孔および上記囲繞手段を介し
て強制的に吸引するようにする。

〔発明の効果〕

したがってこの発明にかかる洗浄ブラシによれば、洗浄
を対象とする材料がいかなるものであれ、またこれに付
着している塵がいかなるものであれ、この塵を上記材料
に再付着させることなく有効かつ高能率に除去すること
ができる。

〔実施例〕

図に、この発明にかかる洗浄ブラシの一実施例を示す。

はじめに、この実施例洗浄ブラシの構成について説明す
る。

図において、１は多数の細い繊維状導体からなるブラシ
、また２は該ブラシ１と電気的に導通を保ってこれを支
持するようになる導電性のブラシ支持体であり、特にこ
のブラシ支持体２は適宜な接地装置３によって電気的に
接地されている。すなわち上記ブラシ１もこの支持体２
を介して一体に接地されている。さらにブラシ支持体２
は、同図に示すような複数の孔Ｈを有しており、後述す
る同実施例ブラシの洗浄動作時において吸引される塵を
通過させ得る構造となっている。図中４は上記ブラシ支
持体２を背後から囲繞するようになるハウジングであり
、該ハウジング４の他方端は適宜な管５を介して吸気装
置である真空ポンプ６に機械的に連結されている。また
、図中７はフィルタであり、同図に示されるよう上記管
５中に介在して、後述する同実施例ブラシの洗浄動作時
において吸引される塵を積極的に収集するよう機能する
。なお同図のンは、上記ブラシ１およびブラシ支持体２
の底面から見た構造を示すものであり、この図（ｂ）の
Ａ−Ａ線部における断面構造が同図（ａ）に示したこれ
らブラシ１およびブラシ支持体２の部分に相当するもの
となる。

次に、この実施例洗浄ブラシによる洗浄動作について説
明する。

まず、この洗浄ブラシを使用する際の操作として、上記
真空ポンプ６を駆動させる。これにより吸気が開始され
、ブラシ１周辺の空気およびハウジング４、管５内の空
気はそれぞれ図（ａ）の破線矢印で示す態様で急速に流
動する。続いて弘の操作として、上記ブラシ１を洗浄対
象とする材料（図示せず）の表面に当接させ、該表面に
付着した塵を除去するよう同ブラシ１を適宜に運動させ
る。

これにより、上記材料や塵がたとえ帯電していたとして
も、上記ブラシ１が該材料表面に当接した時点で、この
帯電電荷は自動的に接地されることとなって該ブラシ１
１こよる塵の運搬が容易な状態となり、さらに該ブラシ
１の上述した運動と、真空ポンプ６による上述した吸気
によって、この除電された塵は上記材料表面から容易に
除去され、かつ上記ブラシ支持体２の孔Ｈを介して上述
したフィルタ７に能率良く収集される。勿論、一旦収集
された塵が材料表面ζこ再付着するようなことはない。

なお、この実施例においては、吸気装置として真空ポン
プ６を用いたが、同様に吸気機能を有する装置であれば
他のいかなる装置を用いてもよい。

また、上記ブラシ支持体２に設ける孔Ｈの数および大き
さは、除去を対象とする塵の種類に応じて任意に決定す
ればよく、最低１つの孔でもこの発明の実現は可能であ
る。

さらに、この実施例ではフィルタ７を用いて上記除去し
た塵を該フィルタに収集するようにしたが、特にこのフ
ィルタ７を削除した構成としてもこの発明の実現は可能
である。

また、ハウジング４と真空ポンプ６との連結態様も任意
であり、図示したような構成に限られるものではない。

【図面の簡単な説明】

図はこの発明にかかる洗浄ブラシの一実施例構成を示す
略図である。 ｌ・ブラシ、２・・・ブラシ支持体、３・・接地装置、
４・・・ハウジング、５−管、６・・・真空ポンプ、７
・フィルタ、Ｈ・孔 手続宇山正出（方式〉 昭和５９年３月／を臼 １、事１′１の表示 昭和５８年４！ｒＦｌ願第２２３５３０　＞’３２、発
明の名称 洗浄ブラシ ３、補正をづる者 Ｊ１１′１との関係　１４清出願人 富゛士Ｕロックス株式会社 ４、代理人 （〒１０４）東京都中央区銀座２丁目１１Ｍ２丹銀座大
作ビル６階　電話０３−５４５−３５０８　（代表）昭
和５９年２月８０ （発送日　昭和５９年２月２８日） ６６補正の対象 明細Ｊ１の発明の詳細な説明の欄Ｊｊよび図面の簡単な
説明の７、補正の内容 （１）　明細書の第５ページ第６行目に「図に、」とあ
るを「第１図に、」に訂正する。 （２）同第５ヘージ第１０行目に「図において、」とあ
るを「第１図において、」に訂正する。 （３）　同第６ページ第７行目に「なお同図（ｂ）は、
」とあるを「なお第１図（ｂ）は、」に訂正する。 （４）　同第６ページ第９行目に「この図（ｂ）の」と
あるを「この第１図（ｂ）の」に訂正する。 （５）　同第６ページ第１７行目に「それぞれ図＜）の
」とあるを「それぞれ第１図（ａ）の」に訂正する。 （６）　同第８ページ第７行目に「図は」とあるを「第
１図は」に訂正する。 （７）　明細書添付図面を別紙の通り訂正する。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 多数の細い繊維状導体から、なるブラシと、該ブラシと
   電気的に導通を保ってこれを支持するようになり、かつ
   この間隙に１乃至複数の孔を有する導電性のブラシ支持
   体と、該ブラシ支持体を接地する手段と、前記ブラシ支
   持体を背後から囲繞するようになる囲繞手段と、前記ブ
   ラシによって除電されかつ除去された塵を前記ブラシ支
   持体の孔および前記囲繞手段を介して吸引する吸気装置
   とを具えた洗浄ブラシ。