JPS60114328A - 砒化水素含有ガスの処理方法 - Google Patents
砒化水素含有ガスの処理方法Info
- Publication number
- JPS60114328A JPS60114328A JP58219376A JP21937683A JPS60114328A JP S60114328 A JPS60114328 A JP S60114328A JP 58219376 A JP58219376 A JP 58219376A JP 21937683 A JP21937683 A JP 21937683A JP S60114328 A JPS60114328 A JP S60114328A
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- JP
- Japan
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- gas
- ash3
- hydrogen arsenide
- adsorbent
- gas containing
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- Treating Waste Gases (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は一半導体電子工業の半導体及び集積回路の製
造工程において砒化水素、リン化水素等の金属水素化物
をドーピングガスとして用いられているが、その工程又
は他の化学工業から排出される砒化水素含有ガスを乾式
によって処理する方法に関する。
造工程において砒化水素、リン化水素等の金属水素化物
をドーピングガスとして用いられているが、その工程又
は他の化学工業から排出される砒化水素含有ガスを乾式
によって処理する方法に関する。
砒化水素（アルシン・ＡｓＨ３）やリン化水素（ホスフ
ィン・ＰＨａ ）等は毒性が強く、工程からこれら有毒
ガスが無処理のまま大気中へ放散させると人体の健康に
非常に悪影響をおよぼし、最悪の場合には生命に危険を
生せしめる虞れがあるために、当然に無害化処理が必要
となる。
ィン・ＰＨａ ）等は毒性が強く、工程からこれら有毒
ガスが無処理のまま大気中へ放散させると人体の健康に
非常に悪影響をおよぼし、最悪の場合には生命に危険を
生せしめる虞れがあるために、当然に無害化処理が必要
となる。
現在、半導体電子工業あるいは他の化学工業で排出され
るヒ化水素を含有する排ガスの処理方法として採用され
ている方法を大別すると、固体吸着法、過マンガン酸カ
リ酸化吸収法、燃焼分解法が提案されている。
るヒ化水素を含有する排ガスの処理方法として採用され
ている方法を大別すると、固体吸着法、過マンガン酸カ
リ酸化吸収法、燃焼分解法が提案されている。
これらの処理方法の概要は次のとおりである固体吸着法
の代表例は、特公昭５８−３４１７８号公報に見られる
ように、「塩化第二鉄を主材に水酸化第二鉄、塩化第二
銅、酸化第二銅、塩化マグネシウム及び塩化第二水銀を
助材として加え、これに水を加えた溶液剤を多孔性物質
に浸透・させて成る浄化剤組成物」を使用して排ガスを
浄化する方法であり、その浄化原理は同公報の詳細な説
明中に、ＡｓＨａ＋５ＦｅＣ１３＋４（２０−＋ ６Ｆ
ｅＣ１２＋６ＨＣ１＋Ｈ３Ａｓ０３ （１） ３ＭＣＩ＋Ｆｅ（ＯＨ）３−＋ＦｅＣＩａ＋３Ｈ２０（
２）の吸収機構と再生機構よりなっている。この方法に
おいて、助材として塩化第二水銀を用いるとＨｇが処理
廃水、処理廃棄物中に含まれ、その処理が問題となる。
の代表例は、特公昭５８−３４１７８号公報に見られる
ように、「塩化第二鉄を主材に水酸化第二鉄、塩化第二
銅、酸化第二銅、塩化マグネシウム及び塩化第二水銀を
助材として加え、これに水を加えた溶液剤を多孔性物質
に浸透・させて成る浄化剤組成物」を使用して排ガスを
浄化する方法であり、その浄化原理は同公報の詳細な説
明中に、ＡｓＨａ＋５ＦｅＣ１３＋４（２０−＋ ６Ｆ
ｅＣ１２＋６ＨＣ１＋Ｈ３Ａｓ０３ （１） ３ＭＣＩ＋Ｆｅ（ＯＨ）３−＋ＦｅＣＩａ＋３Ｈ２０（
２）の吸収機構と再生機構よりなっている。この方法に
おいて、助材として塩化第二水銀を用いるとＨｇが処理
廃水、処理廃棄物中に含まれ、その処理が問題となる。
過マンガン酸力！Ｊ （ＫＭｎＯａ）酸化吸収法は、Ｋ
ＭｎＯ４水溶液を吸収剤どし、次式の反応式に従って吸
収除去する方法である。
ＭｎＯ４水溶液を吸収剤どし、次式の反応式に従って吸
収除去する方法である。
ＡｓＨ３＋２ＫＭｎＯ４→ＫｚＨＡｓ０４＋Ｍｎ ２０
３＋Ｈ２０この方法においては、酸化マンガンが生成さ
れて、吸収装置内への沈積による閉塞等に問題がある。
３＋Ｈ２０この方法においては、酸化マンガンが生成さ
れて、吸収装置内への沈積による閉塞等に問題がある。
燃焼分解法は、３０００程度でＡＳＨ３を酸化分解させ
る方法であって、運転管理が煩雑にしてコスト高となる
問題がある。
る方法であって、運転管理が煩雑にしてコスト高となる
問題がある。
上記各処理方法については、夫々一長一短があり、技術
性及び経済性は一般に正当化されない傾向がある。
性及び経済性は一般に正当化されない傾向がある。
この発明は、運転管理が容易にして入手容易な吸着剤を
使用して処理コストの低減を図り、しかも処理廃棄物等
に有害物質を含有せしめず（３） 二次薬害の処理等の問題も少ない砒化水素含有ガスの処
理方法を提供する目的をもって開発したものである。
使用して処理コストの低減を図り、しかも処理廃棄物等
に有害物質を含有せしめず（３） 二次薬害の処理等の問題も少ない砒化水素含有ガスの処
理方法を提供する目的をもって開発したものである。
この発明の特徴は、砒化水素含有ガスを増湿して後、さ
らし粉の単味もしくはこのものと鉄化合物、ケイソウ土
との混合物より成る吸着剤の充填層に流通せしめてガス
中の砒化水素を酸化吸着させることにある。
らし粉の単味もしくはこのものと鉄化合物、ケイソウ土
との混合物より成る吸着剤の充填層に流通せしめてガス
中の砒化水素を酸化吸着させることにある。
高度晒粉の主成分は１次亜塩素酸カルシウム（Ｃａ（Ｏ
ＣＩ ）２）であり１通常の晒粉（ＣａＯＣＩ２）より
も有効塩素の量が多いのでＡｓＨ３の処理に好ましいが
、通常の晒粉も必要に応じて使用することができる。こ
のことは晒粉の主要成分は塩化カルシウムと次亜塩素酸
カルシウムとの混合塩であるとされているからである。
ＣＩ ）２）であり１通常の晒粉（ＣａＯＣＩ２）より
も有効塩素の量が多いのでＡｓＨ３の処理に好ましいが
、通常の晒粉も必要に応じて使用することができる。こ
のことは晒粉の主要成分は塩化カルシウムと次亜塩素酸
カルシウムとの混合塩であるとされているからである。
この発明で述べられる鉄化合物は、生成されたＡｓを捕
集して系外へ溶出させない目的で添加するものであり一
酸化鉄（Ｆｅ ２０３ ）や塩化第二鉄（ＦｅＣｌ３）
が用いられる〇 ケイソウ土は加湿によって吸着剤が泥土化す（Ａ’＋ ることを防止するために添加される。ケイソウ土の添加
量は晒粉量に対して、２〜４倍量が用いられる。また鉄
化合物の添加量は晒粉のし２〜１７４量が添加される。
集して系外へ溶出させない目的で添加するものであり一
酸化鉄（Ｆｅ ２０３ ）や塩化第二鉄（ＦｅＣｌ３）
が用いられる〇 ケイソウ土は加湿によって吸着剤が泥土化す（Ａ’＋ ることを防止するために添加される。ケイソウ土の添加
量は晒粉量に対して、２〜４倍量が用いられる。また鉄
化合物の添加量は晒粉のし２〜１７４量が添加される。
砒化水素含有ガスは予め増湿することによって晒粉の酸
化効率を高めることができる。増湿操作は水中へのバブ
リング、噴霧ノズル等による方式などが採用される。ど
の位に増湿するかは、吸着剤の充填量やガス中の砒化水
素濃度などの処理条件を考慮して定められる。
化効率を高めることができる。増湿操作は水中へのバブ
リング、噴霧ノズル等による方式などが採用される。ど
の位に増湿するかは、吸着剤の充填量やガス中の砒化水
素濃度などの処理条件を考慮して定められる。
次にこの発明の実施例を示す。
実施例ま
た
水１５０ｍ７を容れ９シリンダーに砒化水素含有ガス（
ＡｓＨ３１ｐｐｍ、湿度０係、温度２５Ｃ）を導入し、
バブリングさせた後、１５ ｍｍグＸ １５０ｍｍ）（
の吸着塔に、高度晒粉（有効塩素６０％） ４ｇ、 Ｆ
ｅＣｌ３１ｇ、ケイソウ±１０ｇの混合物（１５ｇ）を
充填した充填層に、流通ガス量２．４ ｌ／Ｈｒで夫々
流通した。充填層入口のガス中の湿度は温度２５Ｃにお
いて夫々０％、６５係であった。実施（ｔｋ） の結果を図表化して添付図に示した。
ＡｓＨ３１ｐｐｍ、湿度０係、温度２５Ｃ）を導入し、
バブリングさせた後、１５ ｍｍグＸ １５０ｍｍ）（
の吸着塔に、高度晒粉（有効塩素６０％） ４ｇ、 Ｆ
ｅＣｌ３１ｇ、ケイソウ±１０ｇの混合物（１５ｇ）を
充填した充填層に、流通ガス量２．４ ｌ／Ｈｒで夫々
流通した。充填層入口のガス中の湿度は温度２５Ｃにお
いて夫々０％、６５係であった。実施（ｔｋ） の結果を図表化して添付図に示した。
同図が示すように、砒化水素含有ガスを増湿することに
よって、処理ガス中の砒化水素濃度を０．Ｏ５ｐｐｍ以
下にすることができた。
よって、処理ガス中の砒化水素濃度を０．Ｏ５ｐｐｍ以
下にすることができた。
実施例２
Ｃａ（ＣＩＯ） ２の砒素吸着性能を知見するために。
砒素発生器（Ａｓｉａ ＋Ｚｎ ＋ＫＩ ）で砒素を発
生し、導入空気に同伴（湿度６７％一温度２６Ｃ）させ
て、１５ｍｍｍ ｘ １５０＋ｕ＋Ｈの吸着塔に高度晒
粉（有効塩素６０％）１０ｇを充填した充填層に２ ｌ
／Ｈｒの流通量で流通し、排出ガスをジエチルヂチオカ
ルバミン酸銀液を容れたシリンダー中の同液に流通し、
Ａｓの濃度を測定したところ次表の結果を得たこの発
明の方法に従えば、湿式法に比較してプロセスが単純化
されるので、運転管理が非常に容易となると共に有害物
が処理廃棄物等に混入しないので二次処理に問題が少な
く、しかも入手容易な吸着剤を使用すると共にユテイリ
テイの消費量も少ないので処理コストの低減が図られる
等の利益をもたらす。
生し、導入空気に同伴（湿度６７％一温度２６Ｃ）させ
て、１５ｍｍｍ ｘ １５０＋ｕ＋Ｈの吸着塔に高度晒
粉（有効塩素６０％）１０ｇを充填した充填層に２ ｌ
／Ｈｒの流通量で流通し、排出ガスをジエチルヂチオカ
ルバミン酸銀液を容れたシリンダー中の同液に流通し、
Ａｓの濃度を測定したところ次表の結果を得たこの発
明の方法に従えば、湿式法に比較してプロセスが単純化
されるので、運転管理が非常に容易となると共に有害物
が処理廃棄物等に混入しないので二次処理に問題が少な
く、しかも入手容易な吸着剤を使用すると共にユテイリ
テイの消費量も少ないので処理コストの低減が図られる
等の利益をもたらす。
図面はこの発明の実施例の結果を図表化した図表である
。 （７） 出口ガス 流通ガスＩＣＩ／Ｈｒ）
。 （７） 出口ガス 流通ガスＩＣＩ／Ｈｒ）
Claims (1)
- 砒化水素含有ガスを増湿して後、さらし粉の単味もしく
はこのものと鉄化合物、ケイソウ土との混合物よりなる
吸着剤の充填層に流通せしめてガス中の砒化水素を酸化
吸着させることを特徴とする砒化水素含有ガスの処理方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58219376A JPS60114328A (ja) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | 砒化水素含有ガスの処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58219376A JPS60114328A (ja) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | 砒化水素含有ガスの処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60114328A true JPS60114328A (ja) | 1985-06-20 |
| JPS629367B2 JPS629367B2 (ja) | 1987-02-27 |
Family
ID=16734445
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58219376A Granted JPS60114328A (ja) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | 砒化水素含有ガスの処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60114328A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4869735A (en) * | 1987-04-30 | 1989-09-26 | Mitsubishi Jukogyo K.K. | Adsorbent for arsenic compound and method for removing arsenic compound from combustion gas |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0472558U (ja) * | 1990-11-02 | 1992-06-25 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5095104A (ja) * | 1973-12-26 | 1975-07-29 | ||
| JPS58122026A (ja) * | 1982-01-13 | 1983-07-20 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | ガス中ヒ素成分の除去法 |
-
1983
- 1983-11-24 JP JP58219376A patent/JPS60114328A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5095104A (ja) * | 1973-12-26 | 1975-07-29 | ||
| JPS58122026A (ja) * | 1982-01-13 | 1983-07-20 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | ガス中ヒ素成分の除去法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4869735A (en) * | 1987-04-30 | 1989-09-26 | Mitsubishi Jukogyo K.K. | Adsorbent for arsenic compound and method for removing arsenic compound from combustion gas |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS629367B2 (ja) | 1987-02-27 |
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