JPS60116101A - 感湿素子 - Google Patents
感湿素子Info
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- JPS60116101A JPS60116101A JP58223321A JP22332183A JPS60116101A JP S60116101 A JPS60116101 A JP S60116101A JP 58223321 A JP58223321 A JP 58223321A JP 22332183 A JP22332183 A JP 22332183A JP S60116101 A JPS60116101 A JP S60116101A
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- Japan
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- moisture
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発り］の技術分野］
本兄明は感湿素子に関する。
［発明の技術的背景とその問題点］
大気中の湿度を？１す定、ＯＳ出する感湿素子（１穎度
センサ）は、これまでに極めて多数の方式が提案され、
かつ実用化されている。特に、近年は電気的に直接湿度
を検出できる方式の湿Ｉ！「センサがイ車々提案されて
いる。この湿度センサは湿度の検出のみならず、湿度の
制御をも簡便に電気的信号で処理できる特長を有するた
めに注目されている。
センサ）は、これまでに極めて多数の方式が提案され、
かつ実用化されている。特に、近年は電気的に直接湿度
を検出できる方式の湿Ｉ！「センサがイ車々提案されて
いる。この湿度センサは湿度の検出のみならず、湿度の
制御をも簡便に電気的信号で処理できる特長を有するた
めに注目されている。
その中の１つに、全屈酸化物を感湿素体として用い、大
気中の水分の吸着による電気抵抗値の変化をよみとる感
湿素子がある。
気中の水分の吸着による電気抵抗値の変化をよみとる感
湿素子がある。
しかしながら、金属酸化物を感湿素体とした湿度センサ
は初期の感就が優れているものの、いずれも長期間の使
用においては抵抗値の変化が大きいという欠点があった
。この点を克服するために金Ｊｒｊ’ｓ ＷＸ化物の焼
結体よりなる湿度センサにヒータを付設し、湿度測定前
に一時的に感湿素体を加熱し、高温状態にして感湿素体
面を再生した後に湿度を検出するものも知られている。
は初期の感就が優れているものの、いずれも長期間の使
用においては抵抗値の変化が大きいという欠点があった
。この点を克服するために金Ｊｒｊ’ｓ ＷＸ化物の焼
結体よりなる湿度センサにヒータを付設し、湿度測定前
に一時的に感湿素体を加熱し、高温状態にして感湿素体
面を再生した後に湿度を検出するものも知られている。
つまり、金属酸化物からなる感湿素体の熱安定性を利用
し、湿度を検出する直前に高温にすること゛により感湿
素体を初期状態に戻して再現性を確保している。しかし
ながら、かかる湿度センサでは、湿度検出直前に加熱を
行なう必要があるために、連続的な湿度検出は不可能で
ある。しかも、ヒータやヒータ制つ４１回路という役雑
な砿構が必要となり、コスト高の一因と々る。
し、湿度を検出する直前に高温にすること゛により感湿
素体を初期状態に戻して再現性を確保している。しかし
ながら、かかる湿度センサでは、湿度検出直前に加熱を
行なう必要があるために、連続的な湿度検出は不可能で
ある。しかも、ヒータやヒータ制つ４１回路という役雑
な砿構が必要となり、コスト高の一因と々る。
このようなことから、最近、湿度センサとしてＺｎＯ８
５−９，９モ＃ ％、ＬｉＺｒＶＯ４０，５＝ １０
モル％及びＣｒ２０ａ ＋ Ｆｅ２０ａ Ｏ，５〜５モ
ｈ％の組成の金属酸化物からなる感湿累体を用いたもの
（’ＦＧ開昭５６−４２０１号）が開発されている。こ
の湿度センサはヒータ等の再生処理なしで通常の環境条
件（０〜４０℃、３０〜９０％ＲＨ）で長Ｊす」間に亘
って安定的に。
５−９，９モ＃ ％、ＬｉＺｒＶＯ４０，５＝ １０
モル％及びＣｒ２０ａ ＋ Ｆｅ２０ａ Ｏ，５〜５モ
ｈ％の組成の金属酸化物からなる感湿累体を用いたもの
（’ＦＧ開昭５６−４２０１号）が開発されている。こ
の湿度センサはヒータ等の再生処理なしで通常の環境条
件（０〜４０℃、３０〜９０％ＲＨ）で長Ｊす」間に亘
って安定的に。
しかも低い抵抗値で使用できるものであり、エアコンや
加湿器における湿度制何１には充分適用できる０しかし
なφ５ら、かかる湿度センサは品温条件で使用すると、
必ずしも光分な経時特性、Ｐ＋現性を得られない場合が
あった。
加湿器における湿度制何１には充分適用できる０しかし
なφ５ら、かかる湿度センサは品温条件で使用すると、
必ずしも光分な経時特性、Ｐ＋現性を得られない場合が
あった。
「発明の目的」
本発明は市温糸作下で長時間使用しても抵抗値変化はほ
とんど生じずに安定に使用でき、がψ広４・α囲の湿度
領域においても使い易い電気的抵抗値を有する感湿素子
を提供することを目的とする。
とんど生じずに安定に使用でき、がψ広４・α囲の湿度
領域においても使い易い電気的抵抗値を有する感湿素子
を提供することを目的とする。
「発明９概要」
本Ｂ明？１ Ｃｒ２０Ｂ ２１〜７３−Ｅ：ｋ ％ 、
ＺｎＯ及びＭｆＯのうちの少なくとも１裡２５〜５５
モル％、Ｚｒ０２０．５〜８．０モル係、Ｌｉ２Ｏ０，
５〜８０モルチモル２Ｏ５０，５〜８．０モル係を必須
成分とした焼結体からなる感湿素子である。こうした感
湿素子は例えば周囲温度２５℃、相対湿度３０％の場合
では約５００にΩ、同温度で相対湿度９０％の場合では
約１０にΩ、と広範囲な湿灰領域において使い易い抵抗
値を持ち、しかも８５℃という高温榮件下に長期［１］
放置しても経時変化が小さく高信頼性を有するものであ
る。
ＺｎＯ及びＭｆＯのうちの少なくとも１裡２５〜５５
モル％、Ｚｒ０２０．５〜８．０モル係、Ｌｉ２Ｏ０，
５〜８０モルチモル２Ｏ５０，５〜８．０モル係を必須
成分とした焼結体からなる感湿素子である。こうした感
湿素子は例えば周囲温度２５℃、相対湿度３０％の場合
では約５００にΩ、同温度で相対湿度９０％の場合では
約１０にΩ、と広範囲な湿灰領域において使い易い抵抗
値を持ち、しかも８５℃という高温榮件下に長期［１］
放置しても経時変化が小さく高信頼性を有するものであ
る。
このように本発明のＩへ湿素子が優れた特性な弔するの
は、Ｃｒ２０Ｂ、 ＺｎＯ（又はＺｎＯとＭｐＯ、Ｍｐ
Ｏ単独）の結晶粒子の粒界にこれらＣｒ２０ａやＺｎＯ
等と少量のＺｒ０Ｊ Ｌｉ２Ｏ，Ｖ２Ｏ５の成分が存在
する構造になっているためであると推定される。
は、Ｃｒ２０Ｂ、 ＺｎＯ（又はＺｎＯとＭｐＯ、Ｍｐ
Ｏ単独）の結晶粒子の粒界にこれらＣｒ２０ａやＺｎＯ
等と少量のＺｒ０Ｊ Ｌｉ２Ｏ，Ｖ２Ｏ５の成分が存在
する構造になっているためであると推定される。
上記Ｃｒ２０Ｂの配合割合を限定した理由は、その量を
２１モル裂未満にすると、感湿特性としての抵抗値が全
般的に高くなり、かといってその量が７３モル係を越え
ると、高温放置での経時変化が大きくなるからである。
２１モル裂未満にすると、感湿特性としての抵抗値が全
般的に高くなり、かといってその量が７３モル係を越え
ると、高温放置での経時変化が大きくなるからである。
上記ＺｎＯ及びＭｌ、Ｏのうちの少なくとも１＠の配合
割合を限定した理由は、その量を２５モル係未満にする
と、高温放置での経時変化が大きくかり、かといってそ
の弁士が５５モルチを越えると％ ’ Ｍ＜混生を性と
しての抵抗値が全般的に高くなるからである。
割合を限定した理由は、その量を２５モル係未満にする
と、高温放置での経時変化が大きくかり、かといってそ
の弁士が５５モルチを越えると％ ’ Ｍ＜混生を性と
しての抵抗値が全般的に高くなるからである。
この場合、ＺｎＯ，Ｍｙｏを夫々単独で用いても、それ
らを併用しても同様な作用を発揮できる。
らを併用しても同様な作用を発揮できる。
上記ｚｒＯ２の配合割合を限定した理由は、その景を０
．５モル係未満にすると、高温放置での釘時変化が犬き
くなり、かといってその量が８．０モル係を倶ρえると
、低湿度側でのＷ ｆｉｘが低下するからである。
．５モル係未満にすると、高温放置での釘時変化が犬き
くなり、かといってその量が８．０モル係を倶ρえると
、低湿度側でのＷ ｆｉｘが低下するからである。
上記Ｌｉ ｚＯ，ＶｚＯ５の配合１い合を夫’ｚ 限”
ｙｌ Ｌ／ ７ｊ ｊ、ｌｊ！ 由はＬｉｓ＋Ｏ，Ｖ２
Ｏ５の企を谷々０５モル飴未にＩ・−にすると、ｆｄ
ｉ’Ｌ特住としての抵抗値が全般的に、亘って高くなり
、かといってＬｉ２Ｏ，Ｖ２０ＦｌのＪ：：、が各々８
．０モル係を越えると、高温放１武での経時変化が犬さ
くなるからである。
ｙｌ Ｌ／ ７ｊ ｊ、ｌｊ！ 由はＬｉｓ＋Ｏ，Ｖ２
Ｏ５の企を谷々０５モル飴未にＩ・−にすると、ｆｄ
ｉ’Ｌ特住としての抵抗値が全般的に、亘って高くなり
、かといってＬｉ２Ｏ，Ｖ２０ＦｌのＪ：：、が各々８
．０モル係を越えると、高温放１武での経時変化が犬さ
くなるからである。
［発ゆコの実施例］
次に、本発明の詳細な説明する。
実施例１
まず、出発原料としてた？化り四ム、酸化亜鉛。
酸化ジルコニウム、炭酸リチウム、酸化バナジウムの微
粉末を用いた。これら出発原料を、ＣｒｚＯａ。
粉末を用いた。これら出発原料を、ＣｒｚＯａ。
ＺｎＯ，ＺｒＯ２，Ｌｉ２Ｏ，ＶｇＯ５のモル比で４５
％、 ４５％、 ４％、’３（ｆｏ、３％となるように
秤量を行ない、しがる後にポットミルで２４時同湿式混
合した。つづいて、この混合物を１２０ ℃で１２峙間
乾燥した後、８００℃で仮焼した。ひきつづき、仮焼物
をポットミルで２４時同湿式初砕した後、１２０℃で１
２時１′４」角度乾燥して原料粉末を調製した。
％、 ４５％、 ４％、’３（ｆｏ、３％となるように
秤量を行ない、しがる後にポットミルで２４時同湿式混
合した。つづいて、この混合物を１２０ ℃で１２峙間
乾燥した後、８００℃で仮焼した。ひきつづき、仮焼物
をポットミルで２４時同湿式初砕した後、１２０℃で１
２時１′４」角度乾燥して原料粉末を調製した。
次いで、上記原料粉末にポリビニルアルコール（粘結剤
）を２重葺チ加え、ライヵ機で造粒した後、との造粒物
を５００ Ｋｙ／ｃＪの条件で加圧成形して直径８ ｒ
ｕｇ 、厚さ約２１債の円盤状成形体を造った。
）を２重葺チ加え、ライヵ機で造粒した後、との造粒物
を５００ Ｋｙ／ｃＪの条件で加圧成形して直径８ ｒ
ｕｇ 、厚さ約２１債の円盤状成形体を造った。
つづいて、この成形体を１３００ ’ＣＯｇＬ度下で２
時１・１１鉋、成した後、力り結体の両王面を研腸して
厚さ１關とした。ひきつづき、この焼結体（感湿葉体）
の両主面にｃ４ψ化ルテニウｌ、ペーストをスクリーン
印Ａ１１ｌ した後、約７００℃で焼付けを行なって電
体を形成し、行′５１図に示す構造の感湿素子を製造し
た。
時１・１１鉋、成した後、力り結体の両王面を研腸して
厚さ１關とした。ひきつづき、この焼結体（感湿葉体）
の両主面にｃ４ψ化ルテニウｌ、ペーストをスクリーン
印Ａ１１ｌ した後、約７００℃で焼付けを行なって電
体を形成し、行′５１図に示す構造の感湿素子を製造し
た。
なお、第１図中の１は感存素体、２は電極である。
しかして、本実施例１の感湿素子について周囲温度を２
５℃に一定とし、相対湿度を３０〜９０条に変化させた
時の抵抗値（感湿特性）を調べたところ、第２図に示す
特性図を得た。この第２図から明らかな如く本発明の感
湿素子は周囲温度２５℃下、相対湿度３０係では５３０
にΩ、同温度下、相対湿度９０％では１４にΩと広範囲
の湿度領域で極めて使い易い低い抵抗値な示すことがわ
かる。
５℃に一定とし、相対湿度を３０〜９０条に変化させた
時の抵抗値（感湿特性）を調べたところ、第２図に示す
特性図を得た。この第２図から明らかな如く本発明の感
湿素子は周囲温度２５℃下、相対湿度３０係では５３０
にΩ、同温度下、相対湿度９０％では１４にΩと広範囲
の湿度領域で極めて使い易い低い抵抗値な示すことがわ
かる。
また、本実施例１の感湿素子について温駄８５℃の恒温
槽に１０００時間放ｔ３１シた後、周ＩＮ温度２５℃で
相対湿度を３０〜９０条に変化させた時の抵抗値（／ｌ
＜Ｑ ｆＭｉ特性）をダ？、Ｉべたところ、第３図に示
す特性図を得た。この第３図から明らかな如く、本発明
の感湿素子は高温放置した後のｂ（々ｉ（特性がほとん
ど変化しておらず、安定した経時特性を有すること、が
わかる。
槽に１０００時間放ｔ３１シた後、周ＩＮ温度２５℃で
相対湿度を３０〜９０条に変化させた時の抵抗値（／ｌ
＜Ｑ ｆＭｉ特性）をダ？、Ｉべたところ、第３図に示
す特性図を得た。この第３図から明らかな如く、本発明
の感湿素子は高温放置した後のｂ（々ｉ（特性がほとん
ど変化しておらず、安定した経時特性を有すること、が
わかる。
実施例２〜７
前記実施例１と同様な方法により下記第１表に示す組成
の焼結体（感湿素体）を備えた６種の感湿素子を製造し
た。
の焼結体（感湿素体）を備えた６種の感湿素子を製造し
た。
しかして、本実施例２〜７の感湿素子について周囲温度
２５℃下、相対湿度３０係、９０％の抵抗値（初期感湿
特性）、並びに８５℃の恒温槽に１０００時間放置した
後での周囲温度２５℃下、相対湿度３０％、９０％の抵
抗値（高温放置後の感湿特性）を調べた。その結果を同
第１表に併記した。また、同第１辰中には本発明の組成
範囲をはずれる感湿素体を備えた感湿素子を参照例１〜
６として併記したＯ 以下余白 上記第１表から明らかな如く、本発明の感湿素子は広範
囲の湿度領域で極めて使い易い抵抗値を有し、かつ高温
条件下でも安定した経時特性を有することがわかる。こ
れに対し、本発明の組成範ｔａｉ力・らはずれた焼結体
からなる感湿素子（参照例１〜６）は前記広範囲の湿度
領域で使い易い抵抗値と、高温条件下で安定した経時特
性との両方を満足しない。
２５℃下、相対湿度３０係、９０％の抵抗値（初期感湿
特性）、並びに８５℃の恒温槽に１０００時間放置した
後での周囲温度２５℃下、相対湿度３０％、９０％の抵
抗値（高温放置後の感湿特性）を調べた。その結果を同
第１表に併記した。また、同第１辰中には本発明の組成
範囲をはずれる感湿素体を備えた感湿素子を参照例１〜
６として併記したＯ 以下余白 上記第１表から明らかな如く、本発明の感湿素子は広範
囲の湿度領域で極めて使い易い抵抗値を有し、かつ高温
条件下でも安定した経時特性を有することがわかる。こ
れに対し、本発明の組成範ｔａｉ力・らはずれた焼結体
からなる感湿素子（参照例１〜６）は前記広範囲の湿度
領域で使い易い抵抗値と、高温条件下で安定した経時特
性との両方を満足しない。
実施例８
まず、出発原料として酸化クロム、炭酸マグネシウム、
酸化ジルコニウム、炭酸リチウム、酸化バナジウムの微
粉末を用いた。これら出発原料を、Ｃｒ２Ｏ５，Ｍｈｏ
、 ＺｒＯ２，Ｌｉ Ｂｏ、 Ｖ２Ｏ５のモル比で４５
％、４５襲、４９１ｔ、３％、３９ｇとなるように秤量
を行ない、しかる後にポットミルで２４時時間式混合し
た。
酸化ジルコニウム、炭酸リチウム、酸化バナジウムの微
粉末を用いた。これら出発原料を、Ｃｒ２Ｏ５，Ｍｈｏ
、 ＺｒＯ２，Ｌｉ Ｂｏ、 Ｖ２Ｏ５のモル比で４５
％、４５襲、４９１ｔ、３％、３９ｇとなるように秤量
を行ない、しかる後にポットミルで２４時時間式混合し
た。
つづいて、この混合物を１２０’Ｃで１２時間乾燥した
後、ｓｏｏ℃で仮焼した。ひきつづき、仮焼物をポット
ミルで２４時時間式粉砕した後、１２０℃で１２時時間
区乾燥して原料を調製した。
後、ｓｏｏ℃で仮焼した。ひきつづき、仮焼物をポット
ミルで２４時時間式粉砕した後、１２０℃で１２時時間
区乾燥して原料を調製した。
次いで、上記原料粉末を用いて実施例１と同根な方法に
より第１図と同構造の感湿素子を製造した０ しかして、本実施例８の感湿素子について周囲温度を２
５℃に一定とし、相対湿Ｋを３０〜９０優に変化させた
時の抵抗値（感湿特性）を調べたところ、第４図に示す
特性図を得た。この第４図から明らかな如く本発明の感
湿素子は周囲温度２５℃下、相対湿度３０％では７２０
にΩ、同温度下、相対湿度９０％ではｌｌｋΩと広範囲
の湿度領域で極めて使い易い低い抵抗値を示すことがわ
かる。
より第１図と同構造の感湿素子を製造した０ しかして、本実施例８の感湿素子について周囲温度を２
５℃に一定とし、相対湿Ｋを３０〜９０優に変化させた
時の抵抗値（感湿特性）を調べたところ、第４図に示す
特性図を得た。この第４図から明らかな如く本発明の感
湿素子は周囲温度２５℃下、相対湿度３０％では７２０
にΩ、同温度下、相対湿度９０％ではｌｌｋΩと広範囲
の湿度領域で極めて使い易い低い抵抗値を示すことがわ
かる。
また、本実施例８の感湿素子について温度８５℃の恒温
槽に１０００時間放ｕした後、周囲温度２５℃で相対湿
度を３０〜９０％に変化させた時の抵抗値（感湿特性）
を調べたところ、第５図に示す特性図を１０だ。この第
５図から明らかな如く、本発明の感湿素子：ま高温放置
した後の感湿特性がほとんど変化しておらず、安定した
経時特性を有することがわかる。
槽に１０００時間放ｕした後、周囲温度２５℃で相対湿
度を３０〜９０％に変化させた時の抵抗値（感湿特性）
を調べたところ、第５図に示す特性図を１０だ。この第
５図から明らかな如く、本発明の感湿素子：ま高温放置
した後の感湿特性がほとんど変化しておらず、安定した
経時特性を有することがわかる。
実施例９〜１４
前記実施例１と同様な方法により下記第２表に示す組成
の焼結体（感湿素体）を備えた６種の感湿素子を製造し
た。
の焼結体（感湿素体）を備えた６種の感湿素子を製造し
た。
しかして、本実施例９〜１４の感湿素子について周囲温
度２５℃下、相対湿度３０％、９０％の抵抗値（初期感
湿特性）、並びに８５℃の恒温槽に１０００時間放置し
た後での周囲温度２５℃下、相対湿度３０％、９０饅の
抵抗値（高温放置後の感湿特性）を調べた。その結果は
同第２表に併記した。
度２５℃下、相対湿度３０％、９０％の抵抗値（初期感
湿特性）、並びに８５℃の恒温槽に１０００時間放置し
た後での周囲温度２５℃下、相対湿度３０％、９０饅の
抵抗値（高温放置後の感湿特性）を調べた。その結果は
同第２表に併記した。
また、同第２表中には本発明の組成範囲をはずれる感湿
素体を備えた感湿素子を参照例７〜１２として併記した
。
素体を備えた感湿素子を参照例７〜１２として併記した
。
以下渋白
上記第２表から明らかな如く、本発明の感湿素子は広範
囲の湿度領域で極めて使い易い抵抗値を有し、かつ高温
条件下でも安定した経時特性を有することがわかる。こ
れに対し、本発明の組成範囲からはずれた焼結体からな
る感湿素子（参照例７〜１２）は前記広範囲の湿度領域
で使い易い抵抗値と、高温条件下で安定した経時特性と
の両方を満足しない。
囲の湿度領域で極めて使い易い抵抗値を有し、かつ高温
条件下でも安定した経時特性を有することがわかる。こ
れに対し、本発明の組成範囲からはずれた焼結体からな
る感湿素子（参照例７〜１２）は前記広範囲の湿度領域
で使い易い抵抗値と、高温条件下で安定した経時特性と
の両方を満足しない。
実施例１５〜１９
前記実施例１と同様な方法により下記第３表に示す組成
の焼結体（感湿素体）を備えた６種のＩ湿素子を製造し
た。
の焼結体（感湿素体）を備えた６種のＩ湿素子を製造し
た。
しかして、本実施例１５〜１９の感湿素子（二ついて周
囲温度２５℃下、相対湿度３０％、９０％の抵抗値（初
期感湿特性）、並びζ二８５℃の恒温槽に１０００時間
放置した後での周囲温度２５℃下、相対湿度３０％、９
０％の抵抗値（高温放置後の感湿特性）を調べた。その
結果を同第３表に併記した。
囲温度２５℃下、相対湿度３０％、９０％の抵抗値（初
期感湿特性）、並びζ二８５℃の恒温槽に１０００時間
放置した後での周囲温度２５℃下、相対湿度３０％、９
０％の抵抗値（高温放置後の感湿特性）を調べた。その
結果を同第３表に併記した。
また、同第３表中には本発明の組成範囲をはずれる感湿
素体を備えた感湿素子を参照例１３〜１４として併記し
た。
素体を備えた感湿素子を参照例１３〜１４として併記し
た。
以下余白
上記第３表から明らかな如く、本発明の感湿素子は広範
囲の湿度領域で極めて使い易い抵抗値を有し、かつ高温
条件下でも安定した経時特性を有することがわかる。こ
れに対し、本発明の組成範囲からはずれた焼結体からな
る感湿素子（参照例１３〜１４）は前記広範囲の湿度領
域で使い易い抵抗値と、高温条件下で安定した経時特性
との両方を満足しない。
囲の湿度領域で極めて使い易い抵抗値を有し、かつ高温
条件下でも安定した経時特性を有することがわかる。こ
れに対し、本発明の組成範囲からはずれた焼結体からな
る感湿素子（参照例１３〜１４）は前記広範囲の湿度領
域で使い易い抵抗値と、高温条件下で安定した経時特性
との両方を満足しない。
［発明の効果］
以上詳述した如く、本発明によれば広範１ｉ１の湿度領
域においても使い易い電気抵抗値（感湿９′１′註）を
■し、しかも高温条件１で長時間１更用しても抵抗値変
化をほとんど生じずに安定的に使用できる高信頼性の感
湿素子を−Ｊｊ４供できる。
域においても使い易い電気抵抗値（感湿９′１′註）を
■し、しかも高温条件１で長時間１更用しても抵抗値変
化をほとんど生じずに安定的に使用できる高信頼性の感
湿素子を−Ｊｊ４供できる。
、４、図面の簡単な説明
第１Ｎは不発１刀の感湿素子の一形態を示ず余１視図、
第２図は実施例１の感湿素子（二おける初期感湿特性を
示す線図、第３図は同実施例１の感湿素子における高温
放置後の感湿特性を示す線図、第４図は実施例８の感湿
素子における初期感湿特性を示す線図、第５図は同実施
例８の感湿素子における高温放置後の感湿特性を示す線
図である。
第２図は実施例１の感湿素子（二おける初期感湿特性を
示す線図、第３図は同実施例１の感湿素子における高温
放置後の感湿特性を示す線図、第４図は実施例８の感湿
素子における初期感湿特性を示す線図、第５図は同実施
例８の感湿素子における高温放置後の感湿特性を示す線
図である。
１・・・焼結体（感湿素体） ２・・・電極代理人弁理
士 則 近 意 佑（ほか１名）ｍ１図 第 ２ 図 第 ３ 図 、３０ 、！、Ｄ ７０ ？Ｄ３０ ＡＤ ７０ ’？
Ｄ相夕・↑１渡ｔｚ）ＪａＪ↑盈友＜’ｔ）第 ４ 図
第 ５ 凶 相λ”」（２） Ｊｈｌ対」（２）
士 則 近 意 佑（ほか１名）ｍ１図 第 ２ 図 第 ３ 図 、３０ 、！、Ｄ ７０ ？Ｄ３０ ＡＤ ７０ ’？
Ｄ相夕・↑１渡ｔｚ）ＪａＪ↑盈友＜’ｔ）第 ４ 図
第 ５ 凶 相λ”」（２） Ｊｈｌ対」（２）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｃｒ２０Ｂ ２１〜７３ ｍｏｉ％ １Ｚｏｏ及びＭｐ
Ｏのうち少なくとも一種２５〜５５ ｍｏｌ、％； Ｚｒ０Ｚ ０．５〜ｇ、Ｑ ｍｏ１％ Ｖ２Ｏ５０，５〜８．Ｏｒｎｏ１％ ；Ｌｉ ２０ ０
．５ ＝ ８．Ｏｎ１ＯＪ ％を含有する焼結体からな
ることを特徴とした感湿素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58223321A JPS60116101A (ja) | 1983-11-29 | 1983-11-29 | 感湿素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58223321A JPS60116101A (ja) | 1983-11-29 | 1983-11-29 | 感湿素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60116101A true JPS60116101A (ja) | 1985-06-22 |
Family
ID=16796317
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58223321A Pending JPS60116101A (ja) | 1983-11-29 | 1983-11-29 | 感湿素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60116101A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6390101A (ja) * | 1986-10-03 | 1988-04-21 | 日本油脂株式会社 | 湿度センサ |
-
1983
- 1983-11-29 JP JP58223321A patent/JPS60116101A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6390101A (ja) * | 1986-10-03 | 1988-04-21 | 日本油脂株式会社 | 湿度センサ |
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