JPS60121096A - レ−ザ集光装置 - Google Patents
レ−ザ集光装置Info
- Publication number
- JPS60121096A JPS60121096A JP58228738A JP22873883A JPS60121096A JP S60121096 A JPS60121096 A JP S60121096A JP 58228738 A JP58228738 A JP 58228738A JP 22873883 A JP22873883 A JP 22873883A JP S60121096 A JPS60121096 A JP S60121096A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- ring
- intermediate ring
- indium material
- indium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、集束レンズによる高ビームエネルギーを用い
て各柚加工を行うレーザ集光装置ｍに関するものである
。
て各柚加工を行うレーザ集光装置ｍに関するものである
。
従来例の構成とその問題点
第１図に従来のレーザ集光装置の７例を示す。
発振器より出たレーザビーム１は反射鏡２で方向？変え
られた後、レンズ３により波長オーダのスポット４に絞
られる。このスポット４の有する高エネルギーをワーク
６に照射するとともに、加工内容に応じた補助ガス６を
ノズル７より吹き伺け、加工能率の向上およびレンズ３
の冷却、汚染防止゛を図るとともに、切断、穴あけ等の
加工において発生するドロス８の除去を行っている。
られた後、レンズ３により波長オーダのスポット４に絞
られる。このスポット４の有する高エネルギーをワーク
６に照射するとともに、加工内容に応じた補助ガス６を
ノズル７より吹き伺け、加工能率の向上およびレンズ３
の冷却、汚染防止゛を図るとともに、切断、穴あけ等の
加工において発生するドロス８の除去を行っている。
レンズ３の保持には、固定リングＳおよびレンズ３表面
の気密保持、熱伝達効率の向上全目的としたインジウム
材１０が用いられて因る。インジウム材１ｏは小さな圧
力で容易に変形するので、レンズ３の球面へのなじみが
良好である。
の気密保持、熱伝達効率の向上全目的としたインジウム
材１０が用いられて因る。インジウム材１ｏは小さな圧
力で容易に変形するので、レンズ３の球面へのなじみが
良好である。
８Ｔ！１図においては、片側が平面のレンズ３の場合を
示しであるが、両面が球面状になっｆこレンズ使用の場
合は、レンズ３の両面にインジウム材１０が必要となる
。
示しであるが、両面が球面状になっｆこレンズ使用の場
合は、レンズ３の両面にインジウム材１０が必要となる
。
また第１図のように固定リング９をねじ込み構造としＬ
ｆａ合、インジウム材１０の取付時におけるねじれ防止
および一定圧力でインジウム材１０全レンズ３に押し付
ける目的で、スリヮリ等にょシバネ性を持たせた中間リ
ング１１を設け、ホルダー１２とともにレンズユニット
ヲ１考成している。
ｆａ合、インジウム材１０の取付時におけるねじれ防止
および一定圧力でインジウム材１０全レンズ３に押し付
ける目的で、スリヮリ等にょシバネ性を持たせた中間リ
ング１１を設け、ホルダー１２とともにレンズユニット
ヲ１考成している。
上記のようなレンズホルダー構造においては、使用する
インジウム材１０の特性により、レンズ３の焦点距離、
厚さ等の違いによる曲率の変化にも対応が可能であり、
加工用補助ガス６に対する気密性、ホルダー１２への熱
伝達効率が良好である反面、インジウム材１０自体、軟
質材料であることに起因する経時変化の発生が問題とな
る。
インジウム材１０の特性により、レンズ３の焦点距離、
厚さ等の違いによる曲率の変化にも対応が可能であり、
加工用補助ガス６に対する気密性、ホルダー１２への熱
伝達効率が良好である反面、インジウム材１０自体、軟
質材料であることに起因する経時変化の発生が問題とな
る。
具体的には、第２図に示すような、中間リング１１の内
ｆＭｌｊへのインジウム材１０のはみ出し、およびレン
ズ３とホルダー１２との間のギャップの発生があげられ
る。
ｆＭｌｊへのインジウム材１０のはみ出し、およびレン
ズ３とホルダー１２との間のギャップの発生があげられ
る。
これは、加工時においてレンズ３を介して加わる補助ガ
ス６の圧力および固定リング９．中間リング１１の締付
圧力によるインジウム材１０のクリープ変形の結果であ
り、第２図に示すようにレンズ３の球面と中間リング１
１とで囲１れる部分１３の面積が使用するインジウム材
１０の断面積より小さい場合に発生する現象である。
ス６の圧力および固定リング９．中間リング１１の締付
圧力によるインジウム材１０のクリープ変形の結果であ
り、第２図に示すようにレンズ３の球面と中間リング１
１とで囲１れる部分１３の面積が使用するインジウム材
１０の断面積より小さい場合に発生する現象である。
レンズ取伺部におけるギャップ発生による問題点として
は、 （１）焦点位置の上下変動 （２）ノズル中上・上りのズレ （３）熱伝達効率の低下 等があげられ、上記（１） ！ （２）は加工精度・加
工能率の低下につながり、上記（３）はレンズ寿命を短
くする要因となる。
は、 （１）焦点位置の上下変動 （２）ノズル中上・上りのズレ （３）熱伝達効率の低下 等があげられ、上記（１） ！ （２）は加工精度・加
工能率の低下につながり、上記（３）はレンズ寿命を短
くする要因となる。
発明の目的
本発明は、前記従来の欠点を除去するものであり、取付
状態におけるインジウム材の時間的変形の進行全防止し
、レンズ保持力の長期信頼性の向上を図ることを目的と
するものである。
状態におけるインジウム材の時間的変形の進行全防止し
、レンズ保持力の長期信頼性の向上を図ることを目的と
するものである。
発明の構成
そのための構成として、本発明は、レーザビ−ムを集束
するレンズとそのレンズ全保持するホルダーと、前記レ
ンズの周縁に配設した気密保持のためのインジウム材と
、前記インジウム材を一定圧力で押付けるためのばね性
を有しかつ前記インジウム材の逃げ部を設けた中間リン
グと、前記中間リングを押付けるため前記ホルダーに取
付けた固定リングとを備えたものである。
するレンズとそのレンズ全保持するホルダーと、前記レ
ンズの周縁に配設した気密保持のためのインジウム材と
、前記インジウム材を一定圧力で押付けるためのばね性
を有しかつ前記インジウム材の逃げ部を設けた中間リン
グと、前記中間リングを押付けるため前記ホルダーに取
付けた固定リングとを備えたものである。
実確例の説明
以下、本発明の一実殉例を第３図にもとづいて説明する
。
。
第３図において、３はレンズ、９は固定リング、１０は
インジウム材、１１Ａはバネ性を有する形状・材質の中
間リング、１２はホルダーである。
インジウム材、１１Ａはバネ性を有する形状・材質の中
間リング、１２はホルダーである。
中間リング１１Ａのインジウム材１ｏの接触０１１１に
は、図に示すようにインジウム拐１０の変形に対する逃
げ部（凹部）１１Ｂが設けられてお９、中間リング１１
Ａとレンズ３が直接に接触するとともにインジウム材１
０のレンズ３への密着もあわせて達成される構造となっ
ている。
は、図に示すようにインジウム拐１０の変形に対する逃
げ部（凹部）１１Ｂが設けられてお９、中間リング１１
Ａとレンズ３が直接に接触するとともにインジウム材１
０のレンズ３への密着もあわせて達成される構造となっ
ている。
このように中間リング１１Ａとレンズ３が直接接触した
状態においてはインジウム材１ｏのクリープによる影瞥
はなくな９、したがってレンズ３は中間リング１１Ａに
より常に一定圧力でホルダー１２に押し付けられている
ことになる。
状態においてはインジウム材１ｏのクリープによる影瞥
はなくな９、したがってレンズ３は中間リング１１Ａに
より常に一定圧力でホルダー１２に押し付けられている
ことになる。
中間リング１１Ａの逃げ部１１Ｂの形状は上記の条件全
満足するものであれば、どんな形状であってもかまわな
い。また逃げ部１１Ｂ金ホルダー１２側に設けることも
可能であるが図のようＶＣ中間リング１１Ａに溝を設け
るのが容易である。
満足するものであれば、どんな形状であってもかまわな
い。また逃げ部１１Ｂ金ホルダー１２側に設けることも
可能であるが図のようＶＣ中間リング１１Ａに溝を設け
るのが容易である。
発明の効果
以上のような本発明のレーザ集光装置によれば次のよう
な効果がある。
な効果がある。
（１）レンズ保持力の安定化にもとづく加工精度・加工
能力の長期信頼性の向上が図れる。
能力の長期信頼性の向上が図れる。
（２） レンズ冷却効率の向上による寿命信租性の向上
が図れる。
が図れる。
第１図は従来のレーザ集光装置の断面正面図、第２図は
レンズ取付状態におけるインジウム拐の変形状態図、第
３図は本発明のレーザ集光装置におけるレンズのホルダ
一部分の断面正面図である。 １・・・・・・レーザビーム、３・・・・・・レンズ、
９・・・・・・固定リング、１０・・・・・・インジウ
ム材、１１Ａ・・・・・・中間リング、１１Ｂ・・・・
・・逃げ部、１２・・・・・・ホルダー。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図
レンズ取付状態におけるインジウム拐の変形状態図、第
３図は本発明のレーザ集光装置におけるレンズのホルダ
一部分の断面正面図である。 １・・・・・・レーザビーム、３・・・・・・レンズ、
９・・・・・・固定リング、１０・・・・・・インジウ
ム材、１１Ａ・・・・・・中間リング、１１Ｂ・・・・
・・逃げ部、１２・・・・・・ホルダー。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図
Claims (1)
- レーザビーム全果束するレンズと、そのレンズ紮保持す
るホルダーと、前６己レンズの周縁に閂己設し７ζ気笥
・昧持のためのインジウム拐と、＠記インジウム材を一
定圧力で仰付けるためのばね性を有しかつ前記インジウ
ム材の逃げ部を設けた中間リングと、前記中間リングを
押付けるため前記ボルダ−に取付けた固定リングと全備
えたレーザ集光へ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58228738A JPS60121096A (ja) | 1983-12-02 | 1983-12-02 | レ−ザ集光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58228738A JPS60121096A (ja) | 1983-12-02 | 1983-12-02 | レ−ザ集光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60121096A true JPS60121096A (ja) | 1985-06-28 |
| JPH0322275B2 JPH0322275B2 (ja) | 1991-03-26 |
Family
ID=16881041
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58228738A Granted JPS60121096A (ja) | 1983-12-02 | 1983-12-02 | レ−ザ集光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60121096A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0228385U (ja) * | 1988-08-11 | 1990-02-23 |
-
1983
- 1983-12-02 JP JP58228738A patent/JPS60121096A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0228385U (ja) * | 1988-08-11 | 1990-02-23 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0322275B2 (ja) | 1991-03-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4403243A (en) | Semi-conductor laser apparatus with support and soldering means for light-transmitting member | |
| US5939726A (en) | Infrared radiation source | |
| MY119045A (en) | Laser disk texturing apparatus | |
| JPS60121096A (ja) | レ−ザ集光装置 | |
| JPS6046892A (ja) | レ−ザ−光照射方法 | |
| JP2579539Y2 (ja) | エキシマレーザ用ウインドウ | |
| JPS58176979A (ja) | 光半導体装置のパツケ−ジ | |
| US5048046A (en) | Cathode and cathode mount for a gas laser | |
| JPS59208886A (ja) | 発光半導体装置 | |
| JP3454565B2 (ja) | 密閉式電池の封口方法及びその電池 | |
| JP2970635B2 (ja) | 半導体レーザーモジュール及び金属フェルール | |
| JPS609189A (ja) | 半導体レ−ザ装置 | |
| JP3160159B2 (ja) | 半導体レーザモジュール | |
| JPS6022619Y2 (ja) | ガスレ−ザ管 | |
| JPS57126061A (en) | Manufacture of nonaqueous electrolyte battery | |
| US7100815B2 (en) | Diebond strip | |
| JPH02297988A (ja) | 光半導体装置を用いた光結合系 | |
| JP3056159B2 (ja) | 半導体パッケージの気密封止方法及びそれを適用した抵抗溶接装置 | |
| JP2000121886A (ja) | 光結合装置 | |
| JPS58207689A (ja) | 半導体レ−ザ装置 | |
| JP2500736Y2 (ja) | レ―ザ加工機 | |
| JPS60221189A (ja) | レ−ザ光学部品保持装置 | |
| JPH09325247A (ja) | 光ファイバモジュール | |
| JPH01125883A (ja) | 気体レーザ装置 | |
| JPS63194887A (ja) | レ−ザ加工機ヘツド |