JPS60121167A

JPS60121167A - 荷搬送設備

Info

Publication number: JPS60121167A
Application number: JP22889583A
Authority: JP
Inventors: 武秀林
Original assignee: Daifuku Co Ltd; Daifuku Machinery Works Ltd
Current assignee: Daifuku Co Ltd; Daifuku Machinery Works Ltd
Priority date: 1983-12-02
Filing date: 1983-12-02
Publication date: 1985-06-28

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】離業上の利用分野本発明は、例えばカルテなどの搬送用として病院内に配
設したシ、或いは部品の搬送用として工場内に配設し、
且つ一定経路上を走行自在な台車（自走車）を有する＃
搬送設備に関するものである。

従来例の構成とその問題点最近では、被搬送物として例えばウェハーなどのように
ゴミやホコリをきらうものがある。この場合に配設する
工場（室プ内をクリーン化しているのであるが、それで
も自走車の車輪が案内用レールに接触転動する際に生じ
る粉塵などが被搬送物に悪影響を及ぼすことになる。こ
のような問題点を解決するために、従来、ダクトｒ採用
した荷搬送設＋ｆｉｆが提供されている。すなわち、ダ
クト内にレー／ｌ／装置を配設し、このレー／Ｉ／装置
に案内される自走車の上面から突設した連結部を、ダク
トの天板に形成したスリットに通し、そして連結部の外
端に荷支持部全般けると共に、ダクト内に連通し且つ吸
引ダクトなどを有する吸引装置を設けてスリットに吸引
力を作用させる構成が提供されている。このようなダク
ト形式によると、自走車の走行中において、車輪などの
接触転勤によシ発生した粉塵は吸引装置によってダクト
外に吸引除去されることになシ、マたスリット部にもダ
クト内への吸引力が作用することから、該ダクト内から
粉塵が外部（クリーン室）に出る恐れはない。しかし、
このような従来形式においても種々な問題点がある。す
なわち、上面が開放のＣ字形のレール装置とダクトとを
別々に製作し、これらを一定経路の全長に亘って配設し
なければならないことと、ダクトに対するレール装置の
固定具が必要なことなどによシ、設備全体が高価になる
。またレール装置を内蔵することによってダクトが大型
化し、クリーン室内における設備占有窒聞が大となって
いた。さらに自走車はモータ駆動形式であることから、
スロースタートやスローストップを確保するために中間
での高速走行が行なえず、また浮上シを防止するための
車輪が必要であった。

発明の目的本発明は、上記従来の問題点を解決し得る荷搬送設置１
打を提供することを目的とする。

発明の構成上記目的を達成するために本発明における荷搬送設備は
、箱形ダクトの両側板内面にレール部を突出形成し、こ
れらレール部に支持案内されて箱形ダクト内で走行自在
な台車を設け、この台車の上面から、前記箱形ダクトの
天板に形成したスリットを通る連結部？突設すると共に
、この連結部の外端に荷支持部を設け、前記台車の下面
側にリアクションレー／Ｉ／を設けると共に、前記箱形
ダクトの底板上に固定子を設け、さらに底板に多数の吸
引孔を形成すると共に、この底板の外側に吸引ダクトを
配設して構成している。

実施例と作用以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。（
１）は箱形ダクトで、底板（ＩＡ）と、左右一対の側板
（ＩＢ）と、天板（ＩＣ）とにょシ構成され、天板（Ｉ
Ｃ）の中方向中火部に畏さ方向全長に亘ってのスリット
（２）を形成すると共に、底板（ＩＡ）に多数の吸引孔
（３）を形成している。また両側板（ＩＢ）の内面で上
下方向の上部位置には板条状のレー／Ｖ部（４）が一体
に突出形成しである。（５）は両レール部（４）に支持
案内されて箱形ダク）　（１）内で走行自在な台車で、
本体（６）と、この本体（６）の両側において夫々前後
一対取付けられ且つレール部（４）の上面（４ａ）に支
持案内される走行車輪（７）と、これら走行車輪（７）
とは位置をずらせて同様に同数取付けられ且つレール部
（４）の内側面（４ｂ）に接当自在な横振れ防止車輪（
８）とから構成され、前記本体（６）の下面側にはリア
クションレール（９）が取付けられている。前記本体（
６）の上面中央部からは前記スリット（２）を通る連結
部Ｏ１Ｊが突設され、この連結部（１０の上端（外端）
には荷支持部συが設けられる。この荷支持部θυとし
て実施例ではウェハーキャリア＠を載置自在な受け台形
式を示しているが、これは収納ボックス形式であっても
よい。前記箱形ダクト（１）内において、その底板（Ｉ
Ａ）上には所定間隔置きに固定子（１剣が配設され、こ
の固定子（ロ）と前記リアクションレー／ｌ／　（９）
によりリニヤ七−夕を構成する。前記箱形ダクト（１）
における底板（ＩＡ）の外側（下面側）には吸引ダクｌ
−０４）が配設され、この吸引ダク）　＜１４）には吸
引管Ｑ５が連通している。前記天板（１ｃ）の上面はス
リット（２）側が上位のテーパ面ｆａ）に形成してあり
、このテーパ面（ａ）によシ上部からのエアーを流れ易
くし、クリ−４ル−ム内の気流の流れをスムーズにして
いる。

以下に上記実施例における作用を説明する。台車（５）
は、リアクションレール（９）と固定子（ｌ榎とによる
リニヤモータによって、前記箱形ダクト（１）内におい
て一定経路θＧ上を往復走行し、その際に走行は、リニ
ヤモータであることから、スロースタート、中間高速、
スローストップが行なえることがら、振動のない走行や
精度良い停止が可能となる。

そして走行中においては、スリット（２）を通る連結部
αＱを介して荷支持部０υがτ体移動を行ない、以って
ウェハーキャリア（２）を搬送し得る。まだ前記箱形ダ
クト（１）側には、スリット（２）から箱形ダクト（１
）内、吸引孔（３）、吸引ダクト（１４１内、吸引管Ｑ
Ｆ９へと流れる電流が発生しており、したがってレール
部（４）近辺などで発生した粉塵はスリット（２）がら
外部（クリーンルーム）に漏出することなく、吸引管α
Ｑを通して吸引除去される。

なお実施例においては、箱形ダクト（１）を、側板（Ｉ
Ｂ）と底板（ＩＡ）とからなる口形状物に対してカバー
状の天板（ＩＣ）を取付けた構成にしたが、これは各板
（ＩＡ）　（ｉＢバＩＣ）を一体形成したものであって
もよい。

上述した本実施例によれば、信号電線ダクトカバーと吸
引ダクトα→とを併用することによりコストダウンをは
かることができる。

発明の効果本発明構成の荷搬送設備によると、次のような効果を期
待できる。すなわち、レール部を有する箱形ダクトを使
用することによシ、従米別々に製作し配設していたレー
／ｌ’装置とダクトとを一体化して兼用でき、製作費や
工事費などを含む全体の設備費を安価にできる。まだレ
ール装置を省略した形式となることから箱形ダクトは小
型化でき、クリーン室内における設備占有空間が小とな
って、スペース的に配設を容易に行なうことができる。

さらに台車はりニヤモータによる駆動形式であることか
ら、スロースタート、中間高速、スローストップの走行
制御を容易に行なうことができ、振動のない走行、能率
的な高速搬送、精度よい停止を可能にできる。しかもリ
ニヤモータの使用により、従来のようなブラシ集電形式
に比べてゴミのり６生を極減でき、さらに磁力で台車が
浮上しないことから、従来取付けていた浮上９防止車輪
を省略できる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示し、第１図は一部切欠き側
面図、第２図は横断平面図、第３図は縦断面図である。（１）・・・箱形ダクト、（ＩＡ）・・・底板、（ＩＢ
）・・・側板、（ＩＣ）・・・天板、（ａ）・・・テー
パ面、（２）・・・スリン）、（３）・・・吸引孔、（
４）・・・レール部、（４ａ）・・・上面、（４ｂ）・
・・内側面、（５）・・・台車、（６）・・・本体、（
７）・・・走行車輪、（８）・・・横振れ防止車輪、（
９）・・・リアクションレール、ｕＱ・・・連結部、Ｏ
ｖ・・・前支持部、（６）・・・ウェハーキャリア、α
４・・・固定子、Ｏく・・・吸引ダクト、α〜・・・吸
引管、ｕＱ・・・一定経路代理人　森　本　義　弘

Claims

【特許請求の範囲】

１、箱形ダクトの両側板内面にレール部を突出形成し、
これらレール部に支持案内されて箱形ダクト内で走イテ
自在な台車を設け、この台車の上面から、前記箱形ダク
トの天板に形成したスリットを通る連結部を突設すると
共に、この連結部の外端に荷支持部を設け、自ｊＪ記台
車の下面側にリアクションレールを設けると共に、前記
箱形ダクトの底板上に固定子を設け、さらに底板に多数
の吸引孔を形成すると共に、この底板の外側に吸引ダク
トを配設したことを特徴とする荷搬送設備。