JPS6012187A - 洗浄方法及び装置 - Google Patents
洗浄方法及び装置Info
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- JPS6012187A JPS6012187A JP12076083A JP12076083A JPS6012187A JP S6012187 A JPS6012187 A JP S6012187A JP 12076083 A JP12076083 A JP 12076083A JP 12076083 A JP12076083 A JP 12076083A JP S6012187 A JPS6012187 A JP S6012187A
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- cleaning solvent
- cleaned
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は洗浄方法及び装置に関するものであり、例えば
油等で汚染された＄ｉ密機器類（ＩＣ，電子機器、液晶
パネル、ポンプ等）を洗浄する洗浄方法及び装置として
用いて有効である。
油等で汚染された＄ｉ密機器類（ＩＣ，電子機器、液晶
パネル、ポンプ等）を洗浄する洗浄方法及び装置として
用いて有効である。
洗浄装置は、例えば油等で汚染された精密機器類（例え
ばｌＣ１電子機器、液晶パネル、ポンプ等）を゛フロン
、トリクレン等の洗浄用溶剤中に浸漬するなどして油等
を除去する装置であって、従来その構造は第１図に示す
ように、゛洗浄装置本体８と蒸留器９とにより成り、洗
浄装置本体１内はヒータ３ａを有する温浴槽３、超音波
振動子４ａを有する冷浴槽４、ヒータ５ａを有するペー
パ一槽１５より構成されている。その洗浄方法は、まず
被処理物（ワーク）を治具付チェンコンベア１９に乗せ
、温浴Ｊｌ ３に浸漬する。この温浴槽３内でワークに
付着している油等はＩｌｌ！Ｌ、一部洗浄溶剤中に溶解
する。次に、冷浴槽４内に浸漬し、超音波により油等の
異物をワークより剥離させると同時に、ワークの温度を
下げる。さらにペーパー１１５内に搬送しペーパー雰囲
気中に設置する。すると、ワーク表面で洗浄溶剤が凝縮
しワーク表面をすすぎ洗いする。この後、ワークを冷却
蛇管７の上部に移動させ、ワークを乾燥して取り出す。
ばｌＣ１電子機器、液晶パネル、ポンプ等）を゛フロン
、トリクレン等の洗浄用溶剤中に浸漬するなどして油等
を除去する装置であって、従来その構造は第１図に示す
ように、゛洗浄装置本体８と蒸留器９とにより成り、洗
浄装置本体１内はヒータ３ａを有する温浴槽３、超音波
振動子４ａを有する冷浴槽４、ヒータ５ａを有するペー
パ一槽１５より構成されている。その洗浄方法は、まず
被処理物（ワーク）を治具付チェンコンベア１９に乗せ
、温浴Ｊｌ ３に浸漬する。この温浴槽３内でワークに
付着している油等はＩｌｌ！Ｌ、一部洗浄溶剤中に溶解
する。次に、冷浴槽４内に浸漬し、超音波により油等の
異物をワークより剥離させると同時に、ワークの温度を
下げる。さらにペーパー１１５内に搬送しペーパー雰囲
気中に設置する。すると、ワーク表面で洗浄溶剤が凝縮
しワーク表面をすすぎ洗いする。この後、ワークを冷却
蛇管７の上部に移動させ、ワークを乾燥して取り出す。
この様な洗浄過程において、例えば１個のワークに付着
して、いる油分量が７０ ｍｇ／個のものを洗浄して、
油分量が１〜２ ｍＢ／個以下の洗浄品質を得るには温
浴槽３、冷浴槽４、ペーパ一槽５に各１８０秒間浸漬す
る必要があり、設備自体が大型にかつヒータ３ａ、５ａ
容量も大きくなり、設備費エネルギ費が高くなるという
問題点があった。
して、いる油分量が７０ ｍｇ／個のものを洗浄して、
油分量が１〜２ ｍＢ／個以下の洗浄品質を得るには温
浴槽３、冷浴槽４、ペーパ一槽５に各１８０秒間浸漬す
る必要があり、設備自体が大型にかつヒータ３ａ、５ａ
容量も大きくなり、設備費エネルギ費が高くなるという
問題点があった。
本発明は上記問題点に鑑み′、より短時間にて被洗浄物
の洗浄を行うことを目的とする。
の洗浄を行うことを目的とする。
この目的を達するため本発明では、洗浄溶剤を圧縮及び
大気圧沸点以上に加熱し、その洗浄溶剤を被洗浄物に噴
射して洗浄を行う構成とした。
大気圧沸点以上に加熱し、その洗浄溶剤を被洗浄物に噴
射して洗浄を行う構成とした。
次に本発明の実施例を図に基づいて説明する。
第２図は本実施例の洗浄装置８全体を示す断面図である
。洗浄装置８はその外形を外枠２１によって形成され、
この外枠２１によって形成される空間が内枠２２によっ
て区画されている。この外枠２１の上方側面には搬送開
口部２１ａが形成され、この搬送開口部２１ａより治具
付チェンコンベア１９に取付けられた被洗浄物２３が洗
浄装置８内に搬入される。治具付チェンコンベア１９は
ターンホイール２０によってその進行方向を変えられて
おり、搬送開口部２１ａより洗浄装Ｎ８内に進行した直
後に下方に向って進行する。この治具付チェンコンベア
１９が下方に向う途中にコイル状の第１冷却蛇管１７が
配され、この第１冷却蛇管１７の内方を毎具材チーンコ
ンベア１９が通過している。第１冷却蛇管１７の内部に
は冷水が流れており、第１冷却蛇管１７の近傍を冷却し
ている。下方に進行する治具付チェンコンベア１９は洗
浄装置８の下部までくると２つのターンホイール２０に
よって進行方向を上方に逆転している。
。洗浄装置８はその外形を外枠２１によって形成され、
この外枠２１によって形成される空間が内枠２２によっ
て区画されている。この外枠２１の上方側面には搬送開
口部２１ａが形成され、この搬送開口部２１ａより治具
付チェンコンベア１９に取付けられた被洗浄物２３が洗
浄装置８内に搬入される。治具付チェンコンベア１９は
ターンホイール２０によってその進行方向を変えられて
おり、搬送開口部２１ａより洗浄装Ｎ８内に進行した直
後に下方に向って進行する。この治具付チェンコンベア
１９が下方に向う途中にコイル状の第１冷却蛇管１７が
配され、この第１冷却蛇管１７の内方を毎具材チーンコ
ンベア１９が通過している。第１冷却蛇管１７の内部に
は冷水が流れており、第１冷却蛇管１７の近傍を冷却し
ている。下方に進行する治具付チェンコンベア１９は洗
浄装置８の下部までくると２つのターンホイール２０に
よって進行方向を上方に逆転している。
そして、この方向転換箇所には溶剤タンクｌＯが設けら
れ、治具付チェンコンベア１９に取付けられた被洗浄物
は溶剤タンク１０に貯えられた溶剤中を進む。
れ、治具付チェンコンベア１９に取付けられた被洗浄物
は溶剤タンク１０に貯えられた溶剤中を進む。
方向転換して上方に進む治具付チェンコンベア１９の周
囲には内枠２２によってスプレーブース１４が区画形成
され、その両脇には洗浄溶剤を被洗浄物に噴射する噴射
手段として直進性のノズル１３が配設されている。この
スプレーブース１４は溶剤タンク１０内に浸漬し液シー
ルしている。
囲には内枠２２によってスプレーブース１４が区画形成
され、その両脇には洗浄溶剤を被洗浄物に噴射する噴射
手段として直進性のノズル１３が配設されている。この
スプレーブース１４は溶剤タンク１０内に浸漬し液シー
ルしている。
そしてスプレーブース１４の上方には、スプレーブース
１４の開口部１４ａより溶剤噴霧が洗浄装置８内を飛散
するのを防止するために、バッファーブース１６が区画
形成されてい玩。
１４の開口部１４ａより溶剤噴霧が洗浄装置８内を飛散
するのを防止するために、バッファーブース１６が区画
形成されてい玩。
このバッファーブース１６内でｔｈ 具材チェンコンベ
ア１９は２つのターンホイール２０によって１８０＠方
向転換され、バッファーブース１６を抜は出た直後にま
た１８０°方向転１篇されて上方に向って進行する。そ
して上方に進む途中には第２冷却蛇管２４が配され、第
２冷却″蛇管２４の内方を通過後は洗浄装置：８の外形
に沿って進行し、前記搬送開口部２１ａに達する。
ア１９は２つのターンホイール２０によって１８０＠方
向転換され、バッファーブース１６を抜は出た直後にま
た１８０°方向転１篇されて上方に向って進行する。そ
して上方に進む途中には第２冷却蛇管２４が配され、第
２冷却″蛇管２４の内方を通過後は洗浄装置：８の外形
に沿って進行し、前記搬送開口部２１ａに達する。
また、第２冷却蛇管２ｊの下方には内枠２２によってポ
ンプ室２５か区画形成されており、このポンプ室２５内
部には洗浄溶剤を圧縮吐出する圧縮手段としてスプレー
ポンプ１１が配設され、さらにスプレーポンプ゛１１よ
り圧縮吐ｉされた洗浄溶剤を大気・圧沸点以上に加熱す
るための加熱手段として熱交換器１２が配されている。
ンプ室２５か区画形成されており、このポンプ室２５内
部には洗浄溶剤を圧縮吐出する圧縮手段としてスプレー
ポンプ１１が配設され、さらにスプレーポンプ゛１１よ
り圧縮吐ｉされた洗浄溶剤を大気・圧沸点以上に加熱す
るための加熱手段として熱交換器１２が配されている。
尚ミこの熱交換器１２は温水等によ□り間接加熱するも
のであ前記溶剤タンク１０と前記ポンプ室２５との間に
は清浄溶剤タンクｔＯａが形成されており、この清浄溶
剤タンクｔＯａには蒸留装置９で蒸留されたきれいな洗
浄溶剤が流入している。そして前記スプレーポンプ１１
の吸入管がこの清浄溶剤クンｊ’ １０ ａ内に開口し
ており、清浄溶剤タンク１０゛ｈ゛丙中のｌＫ曽された
溶剤は前記スプレーポンプ１１によって吸い上げられ、
圧縮された後前記熱交換暮１２に送られる。キして熱交
換器１２で大気圧沸点以上に加熱された後配管１５を通
って前記ノズノ１１３まで圧送され、ノズル１３より噴
射される。□ 洗浄溶剤はノズル１３より大気圧沸点以上の高温液とな
って噴射されるため、被洗浄物に掛ったへ温液、及びｉ
らなかった高温液溶剤は蒸発し、漏気に吐っｔ洗浄装置
８内を浮遊するが、第１．２冷却蛇管１７．２４によっ
て冷却液化される。
のであ前記溶剤タンク１０と前記ポンプ室２５との間に
は清浄溶剤タンクｔＯａが形成されており、この清浄溶
剤タンクｔＯａには蒸留装置９で蒸留されたきれいな洗
浄溶剤が流入している。そして前記スプレーポンプ１１
の吸入管がこの清浄溶剤クンｊ’ １０ ａ内に開口し
ており、清浄溶剤タンク１０゛ｈ゛丙中のｌＫ曽された
溶剤は前記スプレーポンプ１１によって吸い上げられ、
圧縮された後前記熱交換暮１２に送られる。キして熱交
換器１２で大気圧沸点以上に加熱された後配管１５を通
って前記ノズノ１１３まで圧送され、ノズル１３より噴
射される。□ 洗浄溶剤はノズル１３より大気圧沸点以上の高温液とな
って噴射されるため、被洗浄物に掛ったへ温液、及びｉ
らなかった高温液溶剤は蒸発し、漏気に吐っｔ洗浄装置
８内を浮遊するが、第１．２冷却蛇管１７．２４によっ
て冷却液化される。
ｍ１冷却蛇管１７及び第２冷却蛇管２４にて冷却液化き
れた洗浄溶剤は、洗浄装Ｍ８の外面に設置された水分分
離器１８に流入する。この水分分離器１８は溶剤と水と
を比重によって分離する装置で、分離された溶剤は前記
蒸留器９によって蒸留された溶剤と合流し、前記清浄溶
剤タンク１０ａ内に流入する。また、前記溶剤タンク１
ｏより溢れ出た溶剤は回収れ、蒸留器９に送られて蒸留
精製される。尚、洗浄装置８内の蒸気溶剤は第１．２冷
却蛇管１７．２４のみによって冷却液化されるのではな
く、洗浄装置８内を浮遊している間に自然冷却され、液
化して溶剤タンクｌｏあるいは清浄溶剤タンク１０ａに
流れ込むものもある。また本実施例では洗浄溶剤として
フロン溶剤を用いている。
れた洗浄溶剤は、洗浄装Ｍ８の外面に設置された水分分
離器１８に流入する。この水分分離器１８は溶剤と水と
を比重によって分離する装置で、分離された溶剤は前記
蒸留器９によって蒸留された溶剤と合流し、前記清浄溶
剤タンク１０ａ内に流入する。また、前記溶剤タンク１
ｏより溢れ出た溶剤は回収れ、蒸留器９に送られて蒸留
精製される。尚、洗浄装置８内の蒸気溶剤は第１．２冷
却蛇管１７．２４のみによって冷却液化されるのではな
く、洗浄装置８内を浮遊している間に自然冷却され、液
化して溶剤タンクｌｏあるいは清浄溶剤タンク１０ａに
流れ込むものもある。また本実施例では洗浄溶剤として
フロン溶剤を用いている。
次に本実施例の作動について説明する。
まず、外枠２１の搬送開口部２１ａより外方に出ている
治具付チェンコンベア１９に、油等で汚れた被洗浄物２
３を取り付ける。治具付チェンコンベア１９は図示しな
い駆動源により第２図中矢印Ｒで示す方向に駆動されて
おり、最初に被洗浄物２３は第１冷却蛇管１７の内方を
通過する。その後治具付チェンコンベア１９の進行に伴
い溶剤タンク１０内に入り、洗浄溶剤に浸漬する。この
とき被洗浄物２３に付着している油等は膨張し、一部洗
浄溶剤中に溶解する。そして、次にスプレーブース１４
内に入り、ノズル１３から溶剤を噴射される。前記清浄
溶剤タンク１０ａよりスプレーポンプ１１によって吸い
上げられた洗浄溶剤は約２ｋｇ／ｃＩｉＩ（ゲージ圧）
まで圧縮され、その後熱交換器１２によって約８０℃ま
で加熱される。そしてこの圧縮加熱された洗浄溶剤がノ
ズル１３より噴射されるものである。
治具付チェンコンベア１９に、油等で汚れた被洗浄物２
３を取り付ける。治具付チェンコンベア１９は図示しな
い駆動源により第２図中矢印Ｒで示す方向に駆動されて
おり、最初に被洗浄物２３は第１冷却蛇管１７の内方を
通過する。その後治具付チェンコンベア１９の進行に伴
い溶剤タンク１０内に入り、洗浄溶剤に浸漬する。この
とき被洗浄物２３に付着している油等は膨張し、一部洗
浄溶剤中に溶解する。そして、次にスプレーブース１４
内に入り、ノズル１３から溶剤を噴射される。前記清浄
溶剤タンク１０ａよりスプレーポンプ１１によって吸い
上げられた洗浄溶剤は約２ｋｇ／ｃＩｉＩ（ゲージ圧）
まで圧縮され、その後熱交換器１２によって約８０℃ま
で加熱される。そしてこの圧縮加熱された洗浄溶剤がノ
ズル１３より噴射されるものである。
ここで洗浄溶剤に加える圧力と洗浄溶剤（フロン溶剤）
の沸点との関係を第３図に示す。この第３図よりわかる
様に、洗浄溶剤は大気圧下で４７゜６℃で蒸発するが、
２ｋｇ／ｃ＋ａ加圧時では８４℃で蒸発する。従ってノ
ズル１３内までは２ ｋｇ ／ ｃｔａ 。
の沸点との関係を第３図に示す。この第３図よりわかる
様に、洗浄溶剤は大気圧下で４７゜６℃で蒸発するが、
２ｋｇ／ｃ＋ａ加圧時では８４℃で蒸発する。従ってノ
ズル１３内までは２ ｋｇ ／ ｃｔａ 。
８０℃の洗浄溶剤は高温液状のままであり、この洗浄溶
剤液を被洗浄物に向けて噴射させるのである。また、被
洗浄物に掛らなかった液は液自体の保有している熱容量
で蒸発する。常温と８０℃とのフロン溶剤の保有する熱
エネルギは約１０倍異なる。この熱エネルギを利用して
８０℃の洗浄溶剤液を被洗浄物に照射させることにより
、被洗浄物表面に付着している油等は従来５４０秒かか
っ□ていたものが約３０秒で約７０ ｍｇ／個から１〜
２ｍｇ／個の残留油分になる。さらに、１００μ程の微
細な空隙にある油でも、８０℃の洗浄溶剤液が浸透し、
空隙内で高温洗浄溶剤液が蒸発し、この洗浄溶剤蒸気の
動きにより洗浄溶剤液が複雑に挙動し微細空隙内の油等
も洗浄する。なお、被洗浄物の汚染程度によっては圧力
、温度とも下げても良い洗浄品質が得られる。ただし、
大気圧沸点以上にする必要がある。
剤液を被洗浄物に向けて噴射させるのである。また、被
洗浄物に掛らなかった液は液自体の保有している熱容量
で蒸発する。常温と８０℃とのフロン溶剤の保有する熱
エネルギは約１０倍異なる。この熱エネルギを利用して
８０℃の洗浄溶剤液を被洗浄物に照射させることにより
、被洗浄物表面に付着している油等は従来５４０秒かか
っ□ていたものが約３０秒で約７０ ｍｇ／個から１〜
２ｍｇ／個の残留油分になる。さらに、１００μ程の微
細な空隙にある油でも、８０℃の洗浄溶剤液が浸透し、
空隙内で高温洗浄溶剤液が蒸発し、この洗浄溶剤蒸気の
動きにより洗浄溶剤液が複雑に挙動し微細空隙内の油等
も洗浄する。なお、被洗浄物の汚染程度によっては圧力
、温度とも下げても良い洗浄品質が得られる。ただし、
大気圧沸点以上にする必要がある。
溶剤液噴射によって洗浄された被洗浄物は、治具付チェ
ンコンベア１９に□伴って、第２冷却蛇管２４の内方を
通過して乾燥され、搬送開口部２１°：：譜≧１４１ｈ
ｒｉ＆４１ｓＬｔｉ？Ａ−ｉＪ［溶剤タンクｌＯ内に流
れ込み、蒸気のままの洗浄溶剤は第１．２冷却蛇管１７
．２４によって冷却液化され、溶剤タンクｌＯあるいは
清浄溶剤タンク１０ａ内に流入する。そして、溶剤タン
ク１０内に流入する汚れた洗浄溶剤は蒸留器９に送られ
、蒸留器９によって蒸留された後、清浄溶剤タンク１０
ａ内に送られる。この様な洗浄溶剤の流れが繰り返され
る。
ンコンベア１９に□伴って、第２冷却蛇管２４の内方を
通過して乾燥され、搬送開口部２１°：：譜≧１４１ｈ
ｒｉ＆４１ｓＬｔｉ？Ａ−ｉＪ［溶剤タンクｌＯ内に流
れ込み、蒸気のままの洗浄溶剤は第１．２冷却蛇管１７
．２４によって冷却液化され、溶剤タンクｌＯあるいは
清浄溶剤タンク１０ａ内に流入する。そして、溶剤タン
ク１０内に流入する汚れた洗浄溶剤は蒸留器９に送られ
、蒸留器９によって蒸留された後、清浄溶剤タンク１０
ａ内に送られる。この様な洗浄溶剤の流れが繰り返され
る。
本実施例の様な洗浄装置を用いれば、ノズル１３より溶
剤を噴射する空間が内枠２２によってスプレーブース１
４として区画されているため、噴射溶剤が洗浄装置８外
に飛散することはほとんどない。従って作業環境を良好
に保ちつづけることができる。
剤を噴射する空間が内枠２２によってスプレーブース１
４として区画されているため、噴射溶剤が洗浄装置８外
に飛散することはほとんどない。従って作業環境を良好
に保ちつづけることができる。
尚、上記実施例では洗浄溶剤としてフロン溶剤を用いた
が、トリクレン、トリクロールエタン等、の洗浄溶剤で
も同様の効果を得ることができる。
が、トリクレン、トリクロールエタン等、の洗浄溶剤で
も同様の効果を得ることができる。
さらに）熱交換８１２を用いて洗浄溶剤を温水で間接加
熱したが、電気ヒータで直接加熱してもよい。
熱したが、電気ヒータで直接加熱してもよい。
さらに、上記実施例では一槽式の設備で説明したが、多
槽式の溶剤洗浄装置の一工程である一槽内に、この機構
を導入ずればさらに良好な洗浄品質が得られることはも
ちろんである。
槽式の溶剤洗浄装置の一工程である一槽内に、この機構
を導入ずればさらに良好な洗浄品質が得られることはも
ちろんである。
また、ノズル１３として直進性のあるものを利用したが
、被洗浄物の大きさ等によりＶ型、フルコーン型等のノ
ズルを用いても良い。
、被洗浄物の大きさ等によりＶ型、フルコーン型等のノ
ズルを用いても良い。
以上説明した様に、本発明の洗浄方法を用いれば従来よ
り極めて短時間に高洗浄品質の洗浄を行うことができる
。また、本発明の洗浄装置を用いれば本発明の洗浄方法
を容易に達成することができる。
り極めて短時間に高洗浄品質の洗浄を行うことができる
。また、本発明の洗浄装置を用いれば本発明の洗浄方法
を容易に達成することができる。
第１図は従来の洗浄装置を示す断面図、第２図は本発明
の実施例を示す断面図、第３図はフロン溶剤の圧力と沸
点との関係を示ず図である。 １１・・・スプレーポンプ（圧縮手段）、１２・・・熱
交換器（加熱手段）、１３・・・ノズル（噴射手段）。 代理人弁理士 岡 部 隆
の実施例を示す断面図、第３図はフロン溶剤の圧力と沸
点との関係を示ず図である。 １１・・・スプレーポンプ（圧縮手段）、１２・・・熱
交換器（加熱手段）、１３・・・ノズル（噴射手段）。 代理人弁理士 岡 部 隆
Claims (2)
- （１）洗浄溶剤を圧縮する圧縮工程と、前記圧縮工程に
より圧縮された洗浄溶剤を大気圧沸点以上に加熱する加
熱工程と、前記ＩＥ縮工程及び加熱工程を圧縮加熱され
た洗浄溶剤を被体浄物に噴射し”Ｃ洗浄する洗浄方法。 - （２）洗浄溶剤を圧縮する圧縮手段と、洗浄溶剤を大気
圧沸点以上に加熱する加熱手段と、前記圧縮手段及び加
熱手段によって圧呻加熱された洗浄溶剤を被洗浄物に噴
射する噴射手段とを備える洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12076083A JPS6012187A (ja) | 1983-07-02 | 1983-07-02 | 洗浄方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12076083A JPS6012187A (ja) | 1983-07-02 | 1983-07-02 | 洗浄方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6012187A true JPS6012187A (ja) | 1985-01-22 |
| JPH0237232B2 JPH0237232B2 (ja) | 1990-08-23 |
Family
ID=14794311
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12076083A Granted JPS6012187A (ja) | 1983-07-02 | 1983-07-02 | 洗浄方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6012187A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03263831A (ja) * | 1990-03-14 | 1991-11-25 | Dan Clean Prod:Kk | スプレー洗浄装置 |
| JPH0551229A (ja) * | 1991-08-23 | 1993-03-02 | Bandou Kiko Kk | ガラス板の加工機械 |
| US5807166A (en) * | 1994-07-21 | 1998-09-15 | Bando Kiko Co., Ltd. | Glass-plate working machine |
| JP2011228385A (ja) * | 2010-04-16 | 2011-11-10 | Denso Corp | 洗浄乾燥方法および洗浄乾燥装置 |
| JP2013251548A (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-12 | Semes Co Ltd | 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 |
Citations (3)
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| JPS5218594U (ja) * | 1975-07-28 | 1977-02-09 | ||
| JPS5546936A (en) * | 1978-09-06 | 1980-04-02 | Ekstroem H A B & Co | Mandrel that can be expanded |
| JPS588378U (ja) * | 1981-07-07 | 1983-01-19 | 内田 千年 | ２個の小物用収納袋にも転用できる着脱自在の防寒用襟及保温器用入部を兼備せる掛蒲団カバ− |
-
1983
- 1983-07-02 JP JP12076083A patent/JPS6012187A/ja active Granted
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| JP2013251548A (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-12 | Semes Co Ltd | 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0237232B2 (ja) | 1990-08-23 |
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