JPS60124010A - 複合型磁気ヘッド用補強コアの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明はビデオ信号をメタルテープのような高抗磁力媒
体に稠密記録、再生する装置（例えば８ミリビデオ）な
ど（：利用される磁気へヴド用補強コアの製造方法に関
する。

（ロ）従来技術 ＶＴＲ装置の稠密記録化のため例えば現在のβ。

ＶＨ８方式に較べて２倍以上の高密度化を図るためいわ
ゆる８ミリビデオの開発が進められている。

このような記録密度の稠密度化（二は記録媒体の保磁力
（Ｈａ）ｆ、従来の酸化物磁性体テープのそれの２倍以
上の１２００〜１５００エルステ噌ドとする必要上、記
録時の磁気へ噌ドの飽和磁束密度（Ｂｓ）は保磁力の約
６倍の値（７０００〜、９０００ガウス）が必要とされ
る。

従来の一般的な磁気ヘダドはＭ　ｎ　−Ｚ　ｎフェライ
トの磁気コアで構成されているが、その飽和磁束密度は
５５００ガウス程度であり上記テープ用の磁気へヴドと
して適当でない。そこで飽和磁束密度が大きい（ＢｓΣ
７０００ガウス）金属磁性材料例えばＦｅ−Ａｌ！−８
１系（センダスト）合金、アモルファス磁性合金を磁気
コアとして利用する磁気へ噌ドの開発が進められ種々の
構造のものが提案されている。

第１８図〜第２１図はそれぞれこれらの構造の典型例（
４種類）を示すものである。各磁気へ雫ド（Ｈｌ）〜（
Ｈ４）は何れも、フロントギヤ噌ブ（ＦＧ）のトラヴク
幅（’Ｉ’Ｗ）ｌ二相当する全厚を有しセンダスト、ア
モルファス等の磁性合金の薄板で構成される主コア（Ｍ
ｌ）〜（Ｈ４）と。

この主コアの片側（図示せず）若しくは両側（二補強コ
ア（８１）〜（Ｓ４）とを備えている。補強コア（Ｓｌ
）はガラスのような非磁性体のみで構成し、耐摩耗性の
改善と機械的剛性の確保を図ったものである。補強コア
（８Ｒ）はフロントギヤ窄ブ（ＦＧ）に対応する部分を
含むテープ当接部（Ｓｉ１）をガラス等の非磁性体とし
、パダクコア部（＝対応する部分（８ｕ）１にフェライ
トで構成し。

ヘダドの再生効率を改善すべく構成したものである。ま
た補強コア（ｓｉ）はテープ当接面をへイバボリ雫り形
状とし、テープ当接部（１３１＋）の横幅（Ｙ唱）を磁
気へ噌ド（Ｈ５）の横幅（Ｙ２）（二比べて小さくして
フェライトで構成される部分（Ｂｓ２）の占有領域を更
に拡大して再生効率の一層の改善を図っている。そして
、補強コア（Ｓ４）はさらに再生効率を上げるためガラ
ス等の非磁性材よりなる部分（３ａ＋）をフロントギヤ
噌プ（ＦＧ）近傍（−制限しフェライトよりなる部分（
Ｓ４２）の領域を広くしたものである。この構成では部
分（８４１）を区分する稜線（Ｚ）がフロントギャヴブ
（ＦＧ）に近いため擬似ギヤ９プとして作用するおそれ
があるが、それは稜線＋Ｚｌの延在方向とフロントギヤ
噌プ（ＦＧ）の延在方向の交差角を大きく（例えば２０
〜６０′）もたせるようにすることで防止できる。

第２２図は上記各磁気へ噌ド（Ｈｌ）〜（Ｈ４）のそれ
ぞれ自己録再出力の周波数特性図を示すれぞれ磁気へ曜
ド（Ｈｌ）〜（Ｈ４）の特性シニ対応している。磁気へ
噌ド（Ｈ４）が最も良い特性を示している。この磁気ヘ
ッド（Ｈ４）の構成は実開昭５４−１５５５１７号公報
（−示されているが、補強コア（Ｓ４）の製造方法に付
いては開示がな（テープ当接面側から見て「ハ」の字状
の稜線（Ｚ’ｌを、バダクギャ噌ブ）二対応する部分と
りわけ領域（ＹＩ　）にガラスを配置しないでしかも量
産性鑑二適する方法で構成することは難しいと認められ
る１例えば、第２３図（二示す如く２本のプロ雫り半休
（Ｂｔ）（Ｂｇ）１ｍそれぞれ’ｖ字溝（ＶＧ）（Ｖ（
））を開設し、第２４図（＝示す如く両プロ雫り半体（
Ｂ唱）（Ｂりをガラス（ＧＬ）で一体化し、その後破線
（０）に沿ってハダチング部分のスライシングを行なう
ことで、必要な補強コアを得ることができるが、これは
各ブロプク半体毎（ユＶ字溝（ＶＧ）（Ｖ（））の加工
工程を必要とすること、７字溝内へのガラスの充てんを
コイル窓用溝（ＯＧ）ｌ二人れたガラス棒を溶着して行
なう（ガラスの流動を保障するため溶着時プロ噌り半体
トの低減を妨げていた。

し９　発明の目的 本発明は以上の点（＝鑑みなされたもので、稠密記録に
適する複合型磁気へ一ドに用いる補強コアを低コストで
製造する方法すなわち多量生産可能な製造方法を提供し
ようとするものである。

（ホ）発明の構成 本発明は、酸化物磁性材料よりなるウニへの１面上に一
定ピッチ（Ｐｌ）で並設されかつ個々には一定１ｉ１ｉ
　１Ｔ）のランド部で仕切られていてしかも該ランド部
表面に対して所定角度〔θ１）傾斜する壁面を持つ複数
の第１条溝を開設してなる第１゜第２ウエハを用意し、
さらに少なくとも一方のウニ八例えば第１ウエハの前記
１面りの前記第１条溝に実質的に直交する方向に、一定
ピ噌チ（ＰＲ）で並設されかつ個々にはガラス充てん溝
及びコイル窓用溝をそれぞれランド部金介在させて持つ
複数の第２条溝を開設する工程と、前記両ウェハを、第
１条溝どおしが互いに向かい合うように突き合わせた状
態で前記ガラス充てん溝に入れたガラスを溶融固化する
こと（二より前記第１条溝内にガラスを充てんすると共
に一体化する工程と、この一体化されたウニ八（二付い
て、前記ガラス充てん溝く二沿って前巳一定ビ雫チ（Ｐ
ｌ）で分断して。

実質的に同一形状のコアブロプクを複数個とり出す分断
工程と１個々のコアブロプク（二付いて前記第１条溝の
延在方向に対して一定角（η）傾斜する方向に沿って前
記一定ピ噌チ（Ｐｌ）に関連するピ璽チでスライシング
をして平面に上記傾斜する壁面を表出する複数のコアチ
呼ブをとり出すスライシング工程とを備えることｔ−特
徴とするものである。

本発明は一体化されたウェハから多数のコアプロ嘩りを
切り出すことができるので、コアプロ曜り毎（＝溝加工
を施こすもの（＝比べて格段と生産性を改善することが
できる。

また１本発明はコアプロ雫り（二付いて、第１条溝の延
在方向（二対して一定角（η）傾斜する方向に沿ってス
ライシングを行なうので、補強コアが接合される主コア
のパ―クギャヴプ（二対応する部分とく（二巻線窓（−
近い部分を酸化物磁性材料とすることができ再生効率の
良い磁気へ呼ドを提供することができる。

上記一定角ηはコイル窓の開口長（Ｇ）、フロントギャ
ヴプ（ＦＧ）のデプスエンドでのガラス深さくＩ！？）
、及びコイル窓下端での酸化物磁性材料の有効深さくｔ
ｌなどにより決められ、３．５°〜２ｏ０の範囲Ｃ二選
定される。

また、上記スライシング工程（＝先立ち、コアプロ噴り
の平面上に、第１条溝の延在方向（二深さ方向を持つマ
ーカ溝を設け、該マーカ溝を目安にこのスライシング工
程を実行するようにしてスライシングミス（＝よるコア
チダプの歩留り低下を防止している。

（ホ）実施例 本発明の詳細な説明する前（ニ一本発明方法（二′　よ
り製造された補強コアを持つ複合型磁気へ雫ド（二つい
て説明する。

第１図はこの複合型磁気へ帽ドの斜視図、第２図は平面
図、第３図は第２図中のａ　−ａ’断面図。

第４図は分解斜視図である。図では説明の便宜上。

テープ当接面（ＢＴ）を表出するための加工（いわゆる
Ｒ付は加工）前の状態で示している。

各図においてｉｌｌはセンダスト合金等の金属磁性材料
よりなる主コア、　（２）（３１はこの主コアの両側面
にそれぞれ接合される補強コアである。主コア（１）は
コア半体（１ａ）と、コイル窓（１１１を持つコア半体
（１ｂ）とをフロントギヤ噌プ（ＦＧ）’ｉｉ持っよ５
＋＝突き合わせ結合材（＠ロウ）（４）で一体化してい
る。フロントギャヴプ（ＦＧ）の深さはＲ付は加工前１
：おいてり、コイル窓の開口長はＧに選ばれ、厚さくＴ
Ｗ）はトラダク幅（例えば２０μｍ）１：相当する。尚
、この主コアｆｌｌはアジマス角（ｊ）を持っている。

補強コア（２１（３１はトラ噌り延在方向に平行な面Ｃ
一対して対称１；構成されていて。

よりなる磁性体部（２：ｉｃｉとを備えている。部分（
２２１（２３と□□□困を画成する稜線（αｇ）〜（α
４）とコア主体（出御対する垂線（５）の交角（θ１）
は２０〜６旧二設計されている。又稜線Ｃα１）と（α
鵞）及び（αＳ）と（Ｃ４）のＲ付は加工前の最短距離
（ｗｌ）は１４４μｍとなるよう（二構成されている。

さら（二、補強コアは、厚さが（財）、パ噌りギャヴプ
（ＢＧ）の長さが（Ｌ）、フロントギヤザブ（ＦＧ）の
深さが（Ｄ）、コイル窓（２１）Ｃ１ｌｌの開口長（τ
下）がＩＧ）、コイル窓ＱＤの下端（Ｐ）（二おける磁
性体部（２３１の厚さが（ｔｌ、境界面一■の交角が（
η）とされている。

次響二補強コア（２）の製造方法（二付いて工程図（二
従い詳しく説明する。第５図（イ）−）は出発材料であ
るＭｎ−ｚｎ単結晶フェライト（酸化物磁性材料）より
なるウェハの斜視図を示している。このウェハｆ６１ｆ
７１は縦、横、厚さの各寸法（６υ（６２１ｔ６３）が
それぞれ２５〜４０關、２５〜４０目、１．３篩であり
１表面（６ａ）（７ａ）はそれぞれ鏡面（二研磨されて
いる。各ウェハ（６Ｒ７１の研磨面上（二、側面（６ｂ
）（７ｂ）に平行に間隔ＩＱＩを空けて複数の第１条溝
（ｒｌ）（ｒｚ）・・・を順次開設する（第６図（１１
向）。第１条溝（ｒｌ）（ｒｔ）・・・は第７図（−示
す如く、一定のビ雫チ（Ｐｌ）で、隣接する条溝間（＝
一定幅［Ｔ）のランド部（ｒ　１７）（ｒｒ）・・・を
持つように、そして、このランド部表面Ｃ二対して所定
角度（θ１）傾斜する壁面（ｒ＋’）（ｒａ’）・・・
を持つように構成されている。この角度（θ１）は上記
交角（θ１）に対応し、５専の加工性や許容できるクロ
ストーク蓋を考屓、して２♂〜６♂の範囲（二している
。次（二少くとも一方のウェハ例えばウェハ（６１上に
、第１条溝（ｒｊ）（ｒｌ）・・・に実質的（二直交す
る方向ｌ二、一定ビダチ（Ｐｚ）で並設されかつ個々（
二はガラス充てん溝（ｓｔ）（ｓｆｆｉ）・・・及びコ
イル窓用溝（ｕ　＊　）　（１１ｚ　）・・・全それぞ
れランド部（ｓ　１’）（ｕｌ’）’ｉ介在させて持つ
複数の第２条溝（ｖ＋　）（ｙｚ　）・・、を開設する
（第８図、第９図参照）。

次にウェハ（７）の上にウェハ（６１を、相互の第１条
溝（ｒｌ）（ｒり・・・が面対称となるように対峙させ
突き合わせ、ガラス充てん溝（ｓｌ＞（ｓｓ）・・・中
（＝ガラス棒（ｗｌ）（ｗｚ　）・・・を挿入し−その
後圧接したウェハｆ６１７１を加熱しガラス棒を溶融さ
せ第１条溝（ｒｌ）（ｒｘ）・・・内：二流動させ。

固化させる。そして１両つェハｆ６１ｉ７１を一体化し
てなるブロプクを得る（第１０図参照）。尚（Ｒ１）（
Ｒｚ）−・・は第１条溝（ｒ　１）　（ｒ　ｚ　）、、
、内に充てんされたガラスである。次いで、このプロ哩
り（二付いて上記ガラス充てん溝（ｓｌ）ｌ二沿ってす
なわち図中の破線（ｘ’　）（ｘｚ　）・・・に沿りて
上記一定ピッチ（Ｐｚ）で切断し複数本Ｃ図では４本）
のコアプロ雫りを得る。第１１図（イ１（口１（／１は
１つのコアブロヴクの平面図、正面図−右側面図であり
、第１２図（イ）向はそれぞれ第１１図（イ）の部分拡
大図と−ｂ−ｂ断面図で又、第１２図し斡ま厚み加工後
の補強コアの側面図である。コアプロプク（８）の天面
（８ａ）上にマーカ溝（ｍｌ）（ｍｚ）・・・を等と呼
テで開設する。このマーカ溝（ｍｌ）（ｍ２）・・・は
第１条溝（ｒｒ）（ｒｚ）・・・の溝縁（１１）　（ｉ
　！　）−・・から所定量（Ｋ　１　）　ノ位に’＜”
−３〜４個程度、深さくｄｍ）で削設される。このマー
カ溝（ｍｓ）（ｍｚ）、、、の溝縁（ｋ　１　）　（ｋ
り・・・を基準として切断シロ（ｊ　１）（Ｊｘ）・・
・（ハーチングで示す）で、角度（η）（第１条溝の延
在方向に対する角度）でワイヤーソーＣ二より切断する
。このようＩＬして第１３図（−示す補強コアのコアチ
雫プ（９）を得る。このときの厚みｔｖ１’ｅ第１’ｅ
　９　ａ　）　ｉΔ１　、第２面（９ｂ）をΔ２各々研
磨加工して一第１４図（；示す補強コア０］）を得る。

この補強コア１ｉｔ）は第４図１＝示す補強コア（３）
と同じもので、対向する第１条溝間の最短距離はｗ％と
され−厚さはＭとされている。又、コア半休０４輪をガ
ラス軸（至）で接合し、コイル窓輪を開設する如く構成
されている。

第１条溝（ｒ　１）　（ｒ　重）−・・のビ噌チ（Ｐｌ
）とランド部（ｒｌ）の幅（慣は次式（二基づき設計さ
れる。

Ｐ　１−Ｍ＋Δ１　＋Δ２　＋０ｗ　−・”　（１１Ｔ
＝Ｌｔａｎり＋ｔ・・−・・・・・・・・・・・・１２
）ここで１Ｍは補強コアＩυの最終厚み、Δ１．Δ２は
研磨１：よる除去量、ＯＷは切断シロ、Ｌは補　“強コ
ア０すのパ璽りギャ幇ブの長さ、ηは切断角度（ワイヤ
ーソーの送り方向角度１．ｔはコイル窓輪下端げにおけ
る磁性体部の有効厚みである。

又、切断角度ηは次式を満たすように選定される。

η−ｔａｎ、’二社ＬＬ・・・・・・（３）ここで、Ｇ
はコイル窓（イ）の開口長、ｌ！１はフロントギヤ曜プ
のデプスエンドでのガラス深さである。

さら（二、マーカ溝（ｍｌ）の位置を決める上記所定量
に１は。

Ｋｌ−Ｄｔａｎη＋ｅ　１＋Ｍ＋Δ１　＋Δ２　＝−＝
−ｆ４１として決められる（ここで、ＤはＲ付は加工前
のフロントギャヴブのデプス長）。

尚１以上の製法による補強コア０１フは第４図（−示す
一方のもの（３）（−付いてであるが、他方のもの（２
）（二付いても同様の方法で得ることができる。すなわ
ち、第１５図（イ）（ロル→（＝示すよう（−第１条溝
（−ｒｌ）（−ｒｚ）・・・の向きを反転して削設し、
切断時の角度を（−η）とすれば他は同様であり。

切り出されたコアチプブ（９）Ｃ第１６図）に付いて同
様にΔ１．Ａ２だけ厚み加工を行ない第１７図に示す他
方の補強コアｅυを得ることができる。

ここで、上記各寸法の数値例〔既述のものを除く）を示
す。補強コアの最終厚みＭは複合型磁気ヘダドの寿命保
証のため（１５０〜１００μｍ程度で選ぶことが望まし
い。そして、研磨量へ１．Δ２はスライシング工程時の
面粗さ、チ璽ピング。

うねり等で勘案する必要があるが、ワイヤーソー（＝よ
る方法では２０〜５０μｍ程度で良い。ワイヤーソーの
切断シロ（Ｏｗ）は１５０μｍ程度である。これらによ
り、上記（１）式からピヴチ（Ｐｌ）は５３０μｓ［Ｐ
＋＝Ｍ（１００μｍ）十Δ１（４０／！Ｊｔｎ）＋Ａ２
（４０μｍ）＋０Ｗ（１５０μｍ）］として選ばれる。

又、第１条溝（ｒｌ）・・・のランド部（ｒ　＋”）の
幅（Ｔｌは上記（２）式により決められる。すなわち、
補強コアのバ曜りギャ噌プの長さＩＬＩはへ噌ド再生効
率の理論計算と実証試作の結果５００μｍ以上であれば
充分であることが確認できている。切断角度（η）は後
述するよう（ニコイル窓寸法（二より決定され約８とす
る。更に有効厚みｉｔ）は上記長さｉｌｌの選定基準と
同じく再生効率を勘案し５０μｍ以上であれば良い効果
が得られることが判明した。以上により１幅（Ｔ）の必
要最小量Ｔｍは１２０μｍ［Ｔ−５００ｔａｎ８＋５０
］として得られる・ 一方、上記ビ噌チ（Ｐりは複合型磁気ヘダドの高さ０（
第１図参照）１：より決定される。通常。

高さΩは１．７〜２．５門として設計されるため、ビダ
チＰＲはこの高さΩと第１０図における切断シロの和と
してめられ１例えば２．０藺とすれば初期ウニへの幅を
４０篩としたとき、一体化ウニへから２０本のブロヴク
を得ることができる。

フロントギャヴプ（ＦＧ）のデプスエンド即ちコ・イル
窓−の上縁（０）における主コア（１）に対面するガラ
ス（非磁性部）の幅（ＷＯ）は、補強コア（２）と主コ
アｔｎの突合せ工程における精度Ｃ：より決められ、理
論的にはこの値はできるだけ小さい値の方が望しいが１
通常６０μｍ程度必要である。ＷＯ”２１　ｔ　ｔａｎ
Ｏ嘴の関係から、デプスエンドでのガラス深さＩ！１は
３０μＷ１（−例として０１１１６４Ｆｇとする）であ
る。尚図中の１ｍ、Ｉ！ｓ及びｗｔ、ｗｔはそれぞれＲ
付は加工後及び加工前のガラス深さとガラス幅を示して
いる。

補強コアのＲ付は加工前のギヤヴプデブスＤは２００〜
４００μｍ程度（二選ばれるがここでは３００μｍとす
ると、マーカ溝の位置を決める量（Ｋｌ）は（４）式よ
り約２５２μ解となる。各マーカ溝の幅は１０　（）〜
２００　ｐｍ、深さくｄａ）は１００〜２００μｍで行
なっているが、この値はマーカとしての効果があれば任
意の値を選定すればよい。

次に、ワイヤーソーによるコアブロヴク（８）の切断時
（＝おけるカーターの送りビヴチ（Ｐ暴）Ｃ第１２図（
イ）参照）は３２６．８．ｕｓｅ（Ｐｇ−Ｐｔ−ｏ。

ＳηＩＰＭ−５００ｐｗｓ、　１ｍ８）で、切断シロ（
Ｏｗ　）が１５０μｍとすれば、厚み加工前の厚さＭは
１７６μｍとなる。

切断角度（ダ）は上記（３）式よりめられ、ｔ−５０μ
ｍ、／１−３０μｍとし、コイル窓曽の開口長Ｇを６０
０μｍとすると、角度η−ｔとなる。この切断角度Ｖは
コイル窓の開口長（）ｌ二依存するため、磁気へ噌ドの
設計ζ；よる必要巻数値Ｃ二よりコイル窓の大きさは決
定されてしまう。通常、この開口長Ｇは４００〜１００
０μｍ程度で設計される場合が多い。上記（３）式及び
上記ｔ、ｚｔ、及びＧの範囲から、切断角度ηは、　２
０　（ｔ−Ｉ　ＤＯｐｍ、／１１−５０ｐ、Ｇ−４００
μｍ）から上記実施例の８（ｔ＝５０ｐｍ、１１１−３
ｃＪｐ。

Ｇ＝６００μｍ）を含み６．５°（ｔ＝５０μｓ、ｉ！
１−１０μｍ、Ｇ＝１０００μｍ）までの範囲Ｃ二進ん
で有効なコアチ噌ブを得ることができる。

切り出されたコアチ噌ブ１；対する厚み加工はΔ１、Δ
２がそれぞれ約３９μｍ程度となるように研磨すること
で厚みＭを約１００μｍとすることができるａＲ付は研
磨前のガラス（Ｒ１）の幅（Ｗｔ）は、Ｗｔ　−２（Ｄ
ｔａｎη＋ｌ！１）ｔａｎθ１より１４４μｍとなる。

従い、△１の研摩量は幅Ｗ１の値を測定しながら行なっ
ても良いことがわかる。

（へ）発明の効果 本発明は金属磁性材料を主コアとする複合型磁気へヴド
の補強コアとして再生出力特性の点て秀れている第１４
図及び第１７図の形体のものを、即ちテープ当接面側か
ら見て非磁性体部が「ハ」の字を呈するものを、β規格
やＶＨ８規格の磁気ヘッドで多用されているフェライト
製磁気へ曜ドの製造方法（二準拠して、一体化ブロダク
から多数のコアプロヴクを、また各コアプロ９りから多
数の補強コアチ噌プをそれぞれ切り出すこと（ユよって
極めて容易Ｃ二、かつ歩留り良く得ることができ磁気ヘ
ッドの低コスト化に寄与できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法（二より製造された補強コアを備え
る複合型磁気へ噌ド（Ｒ付は加工前）の斜視図、第２図
、第６図、第４図はそれぞれ該磁気へ１ドの平面図、第
２図中のａ−ａ断面図、及び分解斜視図である。第５図
〜第１４図は本発明方法の工程説明図であり、第５図（
イ）油）は出発材料である１組のウニへの斜視図、第６
図（イ）（ロ）は第１条溝を開設したウェハの斜視図、
第７図は第１条溝に直交する方向の部分断面図、第８図
は一方のウェハに更Ｃ二第２条溝を開設した状態を示す
斜視図。 第９図は第１条溝に平行１；切断し第２条溝を拡大して
示す断面図、第１０図は両つニへを合体して示す斜視図
、第１１図（イ）（ロ）（／→は切り出された１つのコ
アプロ噌りの平面図、正面図、右側面図、第１２図（イ
）１０）は第１１図（イ）向の部分拡大図、第１２図（
／→は第１２図（ロ）の厚み加工完了時（二おける右イ
剖面図、第１３図はスライシングされたチ噌プの斜視図
、第１４図は厚み加工後のチ曜ブの斜視図である。第１
５図（イ）ｌｏｌし→、第第１固は他方の補強コアの製
造工程での第１１図（イ）（口）ｌ，Ｊ。 第１３図，及び第１４図（＝対応する図である．第１８
図〜第２１図は複合型磁気へヴドの典型的な従来例（４
種類）の斜視図、第２２図はこの４種類の磁気へ噌ドの
自己録再出力特性図，第２３図及び第２４図は第２１図
の磁気へ噌ド（二使用される補強コアの製造工程図であ
る。 主な図番の説明 （６１ｉ７１・・・第１，第２ウエハ、（ｒｌ）（ｖｌ
）・・・第１，第２条溝，　（５１）・・・ガラス充て
ん溝。 （ｕｌ）・・・コイル窓用溝，（９）・・・コアチダプ
。 第７図 第９図 Ｕ１？２ 第１Ｑ図 第１１図 特開昭ＧＯ−１２４０１０（９） 第２２図 ＋２３４５６７ −−同彼牧ｆ（ＭＨｚ） 第２８図 １　Ａ 特開昭ＧＯ−１２４０１０（１ω 第尋図 ２１−

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）酸化物磁性材料よりなるウェハの１面上（＝一定
   ビ噌チ（Ｐｌ）で並設されかつ個々（二は一定幅＋Ｔ）
   のランド部で仕切られていてしかも該ランド部表面（二
   対して所定角度（θ１）傾斜する壁面を持つ複数の第１
   条溝を開設してなる第１．第２クエ八を用意し、さらに
   少なくとも一方のウェハ例えば第１ウニへの前記１面上
   の前記第１条溝（二実質的（二直交する方向（二、一定
   ビ雫チ（Ｐｉ）で並設されかつ個々（二はガラス充てん
   溝及びコイル窓用溝をそれぞれランド部を介在させて持
   つ複数の第２条溝を開設する工程と、前記両ウェハを、
   第１条溝どおしが互いに向かい合うようＣ二突き合わせ
   た状態で前記ガラス充てん溝に入れたガラスを溶融固化
   することＣ二より前記第１条溝内１；ガラスを充てんす
   ると共（ニ一体化する工程と、この一体化されたクエハ
   Ｃ二付いて、前記ガラス充てん溝１；沿って前記一定ビ
   ヴチ〔Ｐｌ）で分断して、実質的（：同一形状のコアブ
   ロックを複数個とり出す分断工程と１個々のコアブロッ
   クに付いて前記第１条溝の延在方向（二対して一定角（
   η）傾斜する方向に沿って前記一定ビ・ソチ（Ｐｌ）に
   関連するビ噴チでスライシングをして平面に上記傾斜す
   る壁面を表出する複数のコアチ噌ブをとり出すスライシ
   ング工程とを備えてなる複合型磁気へ一ド用補強コアの
   製造方法。
2. （２）上記一定角（η）は６．５′〜２♂の範囲１：あ
   ることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載の複
   合型磁気へ噌ド用補強コアの製造方法。
3. （３）前記スライシング工程（；先立ち、前記コアプロ
   雫りの平面上１ニー、ＩｇＱ記第１条溝の延在方向（二
   深さ方向を持つマーカ溝を設け、該マーカ溝を目安６二
   該スライシング工程を実行することを特徴とする特許請
   求の範囲第（１１項記載の複合型磁気へ号ド用補強コア
   の製造方法。