JPS60126687A - 固体映像表示板およびその製造法 - Google Patents
固体映像表示板およびその製造法Info
- Publication number
- JPS60126687A JPS60126687A JP58235738A JP23573883A JPS60126687A JP S60126687 A JPS60126687 A JP S60126687A JP 58235738 A JP58235738 A JP 58235738A JP 23573883 A JP23573883 A JP 23573883A JP S60126687 A JPS60126687 A JP S60126687A
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- Japan
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- electrode group
- band
- shaped electrode
- solid
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は数多くの絵素を有する固体映像表示板およびそ
の製造法に関するものである。
の製造法に関するものである。
従来例の構成とその問題点
従来より電場発光螢光体を用いた固体映像表示装置とし
ては、Ｘ−Ｙマトリックス表示装置が知られている。こ
の装置は電場発光層の両面に水平平行電極群と垂直平行
電極群とを互いに直交するように配置し、それぞれの電
極群に接続された給電線により切換装置を通して信号を
加えて両電極の交点部分の電場発光層（以下、ＥＬ層と
称する）を発光させ（この交点の発光部分面を絵素と称
する）、発光絵素の組合せによって文字信号１図形等を
表示させるものである。
ては、Ｘ−Ｙマトリックス表示装置が知られている。こ
の装置は電場発光層の両面に水平平行電極群と垂直平行
電極群とを互いに直交するように配置し、それぞれの電
極群に接続された給電線により切換装置を通して信号を
加えて両電極の交点部分の電場発光層（以下、ＥＬ層と
称する）を発光させ（この交点の発光部分面を絵素と称
する）、発光絵素の組合せによって文字信号１図形等を
表示させるものである。
ここで用いられる固体映像表示板は、通常ガラスなどの
透光性基板上に透明平行電極群を形成し、その上に電場
発光層と発光制御層とを順次積層し、さらにその上に背
面平行電極群を下層の透明平行電極群に直交する配置で
積層して形成する。各電極群には給電線への接続のため
に引出し端子が設けられる。
透光性基板上に透明平行電極群を形成し、その上に電場
発光層と発光制御層とを順次積層し、さらにその上に背
面平行電極群を下層の透明平行電極群に直交する配置で
積層して形成する。各電極群には給電線への接続のため
に引出し端子が設けられる。
一般に、透明平行電極群としては平滑なガラス基板上に
酸化錫を被着するなどして形成される。
酸化錫を被着するなどして形成される。
これに直交し、対向する平行電極群としてはアルミニウ
ムが真空蒸着などにより形成される。これらのそれぞれ
の電極群から給電線を引出すには、各電極群に設けられ
た引出し端子へ給電線を接続することによって行なう。
ムが真空蒸着などにより形成される。これらのそれぞれ
の電極群から給電線を引出すには、各電極群に設けられ
た引出し端子へ給電線を接続することによって行なう。
この引出し端子としては、通常平行電極群を構成する電
極の材料とは異なる材料の金属膜をメタルマスクを用い
た蒸着などの方法で、平行電極と少なくともその一部分
が接触するように形成されるが、給電線との接続方法に
よっては数種類の膜を積層して形成しなければならない
。したがって、固体映像表示板の製造工程における工程
数がその分だけ増加するので不利である。引出し端子と
給電線との接続法には種々あり、代表的なものとしては
ハンダ接続法や熱圧着法などがあるが、どちらも引出し
端子として複数の金属膜を積層して形成しなければなら
ない。また近年、新しい接続法として異方性導電膜を用
いる方法が使用されているが、この方法でもたとえばア
ルミニウム蒸着膜の電極上には付着強度の関係上直接に
接続することは無理であり、引出し端子を別に設ける必
要がある。
極の材料とは異なる材料の金属膜をメタルマスクを用い
た蒸着などの方法で、平行電極と少なくともその一部分
が接触するように形成されるが、給電線との接続方法に
よっては数種類の膜を積層して形成しなければならない
。したがって、固体映像表示板の製造工程における工程
数がその分だけ増加するので不利である。引出し端子と
給電線との接続法には種々あり、代表的なものとしては
ハンダ接続法や熱圧着法などがあるが、どちらも引出し
端子として複数の金属膜を積層して形成しなければなら
ない。また近年、新しい接続法として異方性導電膜を用
いる方法が使用されているが、この方法でもたとえばア
ルミニウム蒸着膜の電極上には付着強度の関係上直接に
接続することは無理であり、引出し端子を別に設ける必
要がある。
発明の目的
本発明は、上記のように、微細に分割された多数の電極
を有する大型の表示板において、従来の固体映像表示板
の製造工程数を増加させないで、かつ給電線との接続の
ための引出し端子を有する固体映像表示板およびその製
造法を提供することを目的とする。
を有する大型の表示板において、従来の固体映像表示板
の製造工程数を増加させないで、かつ給電線との接続の
ための引出し端子を有する固体映像表示板およびその製
造法を提供することを目的とする。
発明の構成
本発明は上記の目的を達成するために、互いに直交する
方向に複数本配列された第１．第２の２組の帯状電極群
で構成されるマトリックス電極間に誘電体層を介して層
設されたＥＬ発光層が基板上に設けられており、かつ、
第１の帯状電極群が透明導電膜からなり、第２の帯状電
極群の引出し端子を、第１の帯状電極群と同じ透明導電
膜でそれと同時に形成する。
方向に複数本配列された第１．第２の２組の帯状電極群
で構成されるマトリックス電極間に誘電体層を介して層
設されたＥＬ発光層が基板上に設けられており、かつ、
第１の帯状電極群が透明導電膜からなり、第２の帯状電
極群の引出し端子を、第１の帯状電極群と同じ透明導電
膜でそれと同時に形成する。
実施例の説明
本発明の実施例について、以下図面を参照しながら説明
する。第１図は本発明にかかる固体映像表示板の一実施
例を示したものである。ＩＦｉ縦１２０＋ｗ、横２２０
＋ｌｌＩｎ、厚さ２ｆｉの透明なガラス基板であり、２
は酸化すずインジウムＣ以下単にＩＴＯと称す）膜より
なる第１の帯状電極であり、幅は０．３咽、長さは１１
０刷、厚さは３０００八である。３は第１の帯状電極と
同じＩＴＯ膜よりなる幅０．３ ｗａ、長さ１０刷、厚
さ３０００への引出し端子である。４は膜厚６０００人
の酸化イツトリウムからなる第１の誘電体層であり、そ
の上に膜厚４０００人のマンガン付活硫化亜鉛をＥＬ発
光層６として、膜厚５ｏｏｏへの酸化イツトリウムを第
２の誘電体層６として積層して形成されている。７は幅
０．３酎、長さ１９０１ｇ、厚さ１０００人のアルミよ
りなる第２の帯状電極であり、第１の帯状電極２とは互
いに直交するような配置となっている。
する。第１図は本発明にかかる固体映像表示板の一実施
例を示したものである。ＩＦｉ縦１２０＋ｗ、横２２０
＋ｌｌＩｎ、厚さ２ｆｉの透明なガラス基板であり、２
は酸化すずインジウムＣ以下単にＩＴＯと称す）膜より
なる第１の帯状電極であり、幅は０．３咽、長さは１１
０刷、厚さは３０００八である。３は第１の帯状電極と
同じＩＴＯ膜よりなる幅０．３ ｗａ、長さ１０刷、厚
さ３０００への引出し端子である。４は膜厚６０００人
の酸化イツトリウムからなる第１の誘電体層であり、そ
の上に膜厚４０００人のマンガン付活硫化亜鉛をＥＬ発
光層６として、膜厚５ｏｏｏへの酸化イツトリウムを第
２の誘電体層６として積層して形成されている。７は幅
０．３酎、長さ１９０１ｇ、厚さ１０００人のアルミよ
りなる第２の帯状電極であり、第１の帯状電極２とは互
いに直交するような配置となっている。
すなわち、本実施例の固体映像表示板では、外部駆動回
路との接続には第１の帯状電極２の両端と、引出し端子
３とに給電線を接続することにより行なわれる。
路との接続には第１の帯状電極２の両端と、引出し端子
３とに給電線を接続することにより行なわれる。
本実施例ではＥＬ発光層の材料としてマンガン付活硫化
亜鉛を用いたがとくに限定されるものではなく、種々の
ものが用いられるのは言う捷でもない。また、第１．第
２の誘電体層および第２の帯状電極の材料についても種
々のものが考えられるのも同様である。第１の帯状電極
と引出し端子の材料については透明導電膜であれば特に
限定されるものではないが、本実施例で用いたＩＴＯ膜
はとくに効果が大きかった。第２の帯状電極の引出し端
子も本実施例では第２の帯状電極の両側に設けているが
、もちろん片方のみでもなんらさしつかえなく、両帯状
電極の形状寸法や配列間かくについても種々の変形が考
えられることは当然のことである。
亜鉛を用いたがとくに限定されるものではなく、種々の
ものが用いられるのは言う捷でもない。また、第１．第
２の誘電体層および第２の帯状電極の材料についても種
々のものが考えられるのも同様である。第１の帯状電極
と引出し端子の材料については透明導電膜であれば特に
限定されるものではないが、本実施例で用いたＩＴＯ膜
はとくに効果が大きかった。第２の帯状電極の引出し端
子も本実施例では第２の帯状電極の両側に設けているが
、もちろん片方のみでもなんらさしつかえなく、両帯状
電極の形状寸法や配列間かくについても種々の変形が考
えられることは当然のことである。
つぎに本発明にかかる固体映像表示板の製造法の一実施
例について第２図を用いて説明する。本発明にかかる固
体映像表示板は以下のようにして製造される。縦１２０
ｍｍ、横２２０闘、厚さ２闘の透明なガラス基板１上に
電子ビーム蒸着法にて厚さ３０００人のＩＴＯ膜を基板
全面に形成する。
例について第２図を用いて説明する。本発明にかかる固
体映像表示板は以下のようにして製造される。縦１２０
ｍｍ、横２２０闘、厚さ２闘の透明なガラス基板１上に
電子ビーム蒸着法にて厚さ３０００人のＩＴＯ膜を基板
全面に形成する。
その後写真食刻法にて第１の帯状電極２および引出し端
子３を同時にパターン形成する。その上に厚さ６０００
人の酸化イツトリウム、厚さ４０００へのマンガン付活
硫化亜鉛、厚さ５０００人の酸化イツトリウムの各層の
膜を電子ビーム蒸着法にて順次積層して形成する。最後
に厚さ１０００人のアルミニウムからなる第２の帯状電
極を第１の帯状電極と直交するようにたとえば抵抗加熱
法にて形成する。
子３を同時にパターン形成する。その上に厚さ６０００
人の酸化イツトリウム、厚さ４０００へのマンガン付活
硫化亜鉛、厚さ５０００人の酸化イツトリウムの各層の
膜を電子ビーム蒸着法にて順次積層して形成する。最後
に厚さ１０００人のアルミニウムからなる第２の帯状電
極を第１の帯状電極と直交するようにたとえば抵抗加熱
法にて形成する。
本発明にかかる固体映像表示板の製造法において特徴と
するところは、第１の帯状電極と第２の帯状電極の引出
し端子とを同じ材料で形成することである。その形成法
はたとえばメタルマスクを用いる方法など種々考えられ
ることは言うまでもない。また、固体映像表示板の各層
膜の形成に本実施例では電子ビーム蒸着法を用いたが、
他の方法たとえば抵抗加熱法、スパッタリング法などを
用いても、あるいはそれらの組合せであっても全くさし
つかえないことは言うまでもない。
するところは、第１の帯状電極と第２の帯状電極の引出
し端子とを同じ材料で形成することである。その形成法
はたとえばメタルマスクを用いる方法など種々考えられ
ることは言うまでもない。また、固体映像表示板の各層
膜の形成に本実施例では電子ビーム蒸着法を用いたが、
他の方法たとえば抵抗加熱法、スパッタリング法などを
用いても、あるいはそれらの組合せであっても全くさし
つかえないことは言うまでもない。
発明の効果
上述のように、本発明によれば第２の帯状電極の引出し
端子を第１の帯状電極と同一の透明導電膜にて形成する
ことにより、引出し端子を簡単な構成で形成でき、しか
も製造工程数もすくなく、給電線との接続条件も同一に
できる製造容易で信頼性も向上させやすい固体映像表示
板およびその製造法を提供することができる。
端子を第１の帯状電極と同一の透明導電膜にて形成する
ことにより、引出し端子を簡単な構成で形成でき、しか
も製造工程数もすくなく、給電線との接続条件も同一に
できる製造容易で信頼性も向上させやすい固体映像表示
板およびその製造法を提供することができる。
第１図（ａ）は本発明の一実施例を示す固体映像表示板
の上面図、同図（紛はそのＡ−Ａ’断面図、第２図（−
）はその要部の製造過程を示す上面図、同図（ｂ）はそ
のＢ−Ｂ’断面図である。 １ ・ ガラス基板、２・・・・第１の帯状電極、３・
・・・引出し電極、４・・・・・第１の誘電体層、６・
・・・・・ＥＬ発光層、６・・・第２の誘電体層、７・
・・・・第２の帯状電極。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 ７ 第 ２１！！１
の上面図、同図（紛はそのＡ−Ａ’断面図、第２図（−
）はその要部の製造過程を示す上面図、同図（ｂ）はそ
のＢ−Ｂ’断面図である。 １ ・ ガラス基板、２・・・・第１の帯状電極、３・
・・・引出し電極、４・・・・・第１の誘電体層、６・
・・・・・ＥＬ発光層、６・・・第２の誘電体層、７・
・・・・第２の帯状電極。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 ７ 第 ２１！！１
Claims (3)
- （１）互いに直交する方向に複数本配列された第１゜第
２の２組の帯状電極群で構成されるマトリックス電極間
に誘電体層を介して層設されたＥＬ発光層が基板上に設
けられており、かつ前記第１の帯状電極群が透明導電膜
からなり、前記第２の帯状電極群の引出し端子が、前記
第１の帯状電極群と同じ透明導電膜からなることを特徴
とする固体映像表示板。 - （２）透明導電膜が酸化すずインジウム膜であることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の固体映像表示板
。 - （３）互いに直交する方向に複数本配列された第１゜第
２の２組の帯状電極群で構成されるマトリックス電極間
に誘電体層を介して層設されたＥＬ発光層が基板上に設
けられており、かつ、前記第１の帯状電極群が透明導電
膜からなり、前記第２の帯状電極群の引出し端子が、前
記第１の帯状電極群と同じ透明導電膜で構成された固体
映像表示板を製造する工程において、前記第１の帯状電
極群と前記引出し端子とを同時に形成することを特徴と
する固体映像表示板の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58235738A JPS60126687A (ja) | 1983-12-14 | 1983-12-14 | 固体映像表示板およびその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58235738A JPS60126687A (ja) | 1983-12-14 | 1983-12-14 | 固体映像表示板およびその製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60126687A true JPS60126687A (ja) | 1985-07-06 |
Family
ID=16990486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58235738A Pending JPS60126687A (ja) | 1983-12-14 | 1983-12-14 | 固体映像表示板およびその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60126687A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6134889A (ja) * | 1984-07-26 | 1986-02-19 | 関西日本電気株式会社 | 薄膜ｅｌパネル |
| JPS62202799U (ja) * | 1986-06-16 | 1987-12-24 | ||
| JPS63157197U (ja) * | 1987-04-01 | 1988-10-14 | ||
| JPS6414891A (en) * | 1987-07-08 | 1989-01-19 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Thin film el element |
| JPH11224775A (ja) * | 1998-02-06 | 1999-08-17 | Denso Corp | Ｅｌ素子およびその製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5272196A (en) * | 1975-12-12 | 1977-06-16 | Sharp Corp | Thin film el element |
| JPS5841675U (ja) * | 1981-09-17 | 1983-03-18 | マツダ株式会社 | 自動車のスペアタイヤ格納構造 |
-
1983
- 1983-12-14 JP JP58235738A patent/JPS60126687A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5272196A (en) * | 1975-12-12 | 1977-06-16 | Sharp Corp | Thin film el element |
| JPS5841675U (ja) * | 1981-09-17 | 1983-03-18 | マツダ株式会社 | 自動車のスペアタイヤ格納構造 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6134889A (ja) * | 1984-07-26 | 1986-02-19 | 関西日本電気株式会社 | 薄膜ｅｌパネル |
| JPS62202799U (ja) * | 1986-06-16 | 1987-12-24 | ||
| JPS63157197U (ja) * | 1987-04-01 | 1988-10-14 | ||
| JPS6414891A (en) * | 1987-07-08 | 1989-01-19 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Thin film el element |
| JPH11224775A (ja) * | 1998-02-06 | 1999-08-17 | Denso Corp | Ｅｌ素子およびその製造方法 |
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