JPS6033587A - 固体映像表示板およびその製造法 - Google Patents
固体映像表示板およびその製造法Info
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- JPS6033587A JPS6033587A JP58143191A JP14319183A JPS6033587A JP S6033587 A JPS6033587 A JP S6033587A JP 58143191 A JP58143191 A JP 58143191A JP 14319183 A JP14319183 A JP 14319183A JP S6033587 A JPS6033587 A JP S6033587A
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- electrodes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は数多くの絵素を有する固体映像表示板およびそ
の製造法に関するものである。
の製造法に関するものである。
従来例の構成とその問題点
従来より電場発光螢光体を用いた固体映像表示装置とし
ては、Ｘ−Ｙマド９フ２２表示装置が知られている。こ
の装置は電場発光層の両面に水平平行電極群と垂直平行
電極群とを互いに直交するように配置し、それぞれの電
極群に接続された給電線によシ切換装置を通して信号を
加えて両電極の交点部分の電場発光層（以下、ＥＬ層と
略称する）を発光させ（この交点の発光部分面を絵素と
称する）、発光絵素の組合せによって文字記号。
ては、Ｘ−Ｙマド９フ２２表示装置が知られている。こ
の装置は電場発光層の両面に水平平行電極群と垂直平行
電極群とを互いに直交するように配置し、それぞれの電
極群に接続された給電線によシ切換装置を通して信号を
加えて両電極の交点部分の電場発光層（以下、ＥＬ層と
略称する）を発光させ（この交点の発光部分面を絵素と
称する）、発光絵素の組合せによって文字記号。
図形等を表示させるものである。
ここで用いられる固体映像表示板は、通常ガラス力どの
透光性基板上に透明平行電極群を形成し、その土に電場
発光層および発光制御層を順次積層し、さらにその上に
背面平行電極群を下層の透明平行電極群に直交する配置
で積層して形成する。
透光性基板上に透明平行電極群を形成し、その土に電場
発光層および発光制御層を順次積層し、さらにその上に
背面平行電極群を下層の透明平行電極群に直交する配置
で積層して形成する。
各電極群には給電線への接続のために引出し端子が設け
られる。
られる。
一般に透明平行電極群としては平滑なガラス基板上に酸
化錫を被着するなどによ多形成される。
化錫を被着するなどによ多形成される。
これに直交させて、対向する平行電極群がアルミニウム
の真空蒸着などにより形成される。これらのそれぞれの
電極群から給電線を引出すには、各電極群に設けられた
引出し端子へ給電線を接続することによっておこなう。
の真空蒸着などにより形成される。これらのそれぞれの
電極群から給電線を引出すには、各電極群に設けられた
引出し端子へ給電線を接続することによっておこなう。
この場合、表示板の表示面積が大きくなるほど、あるい
は表示面積は同じでも表示面密度が大きくなって電極幅
が狭くなるほど透明平行電極の長さ方向の電気抵抗値が
大きくなり、電極の一端のみからの給電では電圧降下が
大きくなって、電極の長さ方向の発光強度に傾斜が生じ
、給電端から遠ざかる程暗くなる。
は表示面積は同じでも表示面密度が大きくなって電極幅
が狭くなるほど透明平行電極の長さ方向の電気抵抗値が
大きくなり、電極の一端のみからの給電では電圧降下が
大きくなって、電極の長さ方向の発光強度に傾斜が生じ
、給電端から遠ざかる程暗くなる。
一般に電極の電気抵抗は断面積に反比例するため、幅が
決まっている場合には厚みを増せば抵抗値を減すること
はできるが、電場発光螢光体を用いた固体映像表示板で
は、この電極の厚みを大きくすると電極の端で生じる段
差が大きくなり、ＥＬ層の絶縁破壊の原因となる。した
がって、透明平行電極の厚みを増すことには限界がある
。このため、透明平行電極群に対して、この電極材料よ
り導電性のよい帯状の補助電極（このような補助電極を
差渡し電極と呼ぶ）をそれぞれ対応する透明平行電極に
並列に結合する方法が効果的であシ、実質上は透明平行
電極に対して電極の両端から給電することになる。
決まっている場合には厚みを増せば抵抗値を減すること
はできるが、電場発光螢光体を用いた固体映像表示板で
は、この電極の厚みを大きくすると電極の端で生じる段
差が大きくなり、ＥＬ層の絶縁破壊の原因となる。した
がって、透明平行電極の厚みを増すことには限界がある
。このため、透明平行電極群に対して、この電極材料よ
り導電性のよい帯状の補助電極（このような補助電極を
差渡し電極と呼ぶ）をそれぞれ対応する透明平行電極に
並列に結合する方法が効果的であシ、実質上は透明平行
電極に対して電極の両端から給電することになる。
差渡し電極としては、例えは単に導電線などを用いて透
明平行電極の両端を接続する方法が考えられるが、表示
板が大きくなり平行電極の数が増大１〜てくると、との
方法では多数の導電線が乱雑になり易く、配列整理に時
間がかかり、作業能率が低下する。
明平行電極の両端を接続する方法が考えられるが、表示
板が大きくなり平行電極の数が増大１〜てくると、との
方法では多数の導電線が乱雑になり易く、配列整理に時
間がかかり、作業能率が低下する。
１だ、絶縁性基体上にあらかじめ差渡し電極群を形成し
ておき、その差渡し電極板の電極と透明平行電極とを接
続する方法も考えられる。しかし、この方法では表示板
以外に差渡し電極板が必要であり、工程が複雑になり、
コスト面や外形寸法的にも不利である。
ておき、その差渡し電極板の電極と透明平行電極とを接
続する方法も考えられる。しかし、この方法では表示板
以外に差渡し電極板が必要であり、工程が複雑になり、
コスト面や外形寸法的にも不利である。
発明の目的
本発明は、上記のように、微細に分割された多数の電極
を有する大型の表示板を製作する際に、透明平行電極の
長さ方向の電気抵抗値をできるだけ低くシ、かつ製作容
易でかさばらない差渡し電極を有する固体映像表示板お
よびその製造法を提供することを目的とする。
を有する大型の表示板を製作する際に、透明平行電極の
長さ方向の電気抵抗値をできるだけ低くシ、かつ製作容
易でかさばらない差渡し電極を有する固体映像表示板お
よびその製造法を提供することを目的とする。
発明の構成
本発明は上記の目的を達成するために、以下のような差
渡し電極を用いて固体映像表示板を構成することを特徴
とする。
渡し電極を用いて固体映像表示板を構成することを特徴
とする。
平滑なガラスノ、（板上に、透明平行電極の電極４Ａ料
よシ導電性のすぐれた電極材料で透明平行電極の配列間
隔と同じ、もしくはほぼ同じ配列間隔で帯状の補助電極
（以下差渡し電極と称する）群を形成する。その」二に
上記差渡し電極の両端部を除いて全面に絶縁膜を形成す
る。その上に上記差渡し電極群と同一方向に透明平行電
極群を形成し、対応する差渡し電極とそれぞれの電極の
両端部にて接続する。ぞのｌｘにＥＬ層および発光制御
層を順次積層し、さらにその上に背面平行電極群を透明
平行電極群に直交する配置で積層して形成する。
よシ導電性のすぐれた電極材料で透明平行電極の配列間
隔と同じ、もしくはほぼ同じ配列間隔で帯状の補助電極
（以下差渡し電極と称する）群を形成する。その」二に
上記差渡し電極の両端部を除いて全面に絶縁膜を形成す
る。その上に上記差渡し電極群と同一方向に透明平行電
極群を形成し、対応する差渡し電極とそれぞれの電極の
両端部にて接続する。ぞのｌｘにＥＬ層および発光制御
層を順次積層し、さらにその上に背面平行電極群を透明
平行電極群に直交する配置で積層して形成する。
差渡し電極の幅についてはなるべく広い方が効果は大き
いが、ＥＬ層の発光は通常ガラス基板側 ８− に取出されるため、ガラス基板側から見て差渡し電極と
透明平行電極とが重なると光をさえぎり、効率よく取出
せなくなる。したがって、差渡し電極の幅は透明平行電
極間隔に一致するようにし、配置も全く重ならないよう
にすれば効果はもつと ゛も大きい。このような両電極
の関係はたとえば透明平行電極のパターンを形成すると
きに、差渡し電極の必要な個所をフォトマスクとして利
用しガラス基板側よ如露光することにより達成される。
いが、ＥＬ層の発光は通常ガラス基板側 ８− に取出されるため、ガラス基板側から見て差渡し電極と
透明平行電極とが重なると光をさえぎり、効率よく取出
せなくなる。したがって、差渡し電極の幅は透明平行電
極間隔に一致するようにし、配置も全く重ならないよう
にすれば効果はもつと ゛も大きい。このような両電極
の関係はたとえば透明平行電極のパターンを形成すると
きに、差渡し電極の必要な個所をフォトマスクとして利
用しガラス基板側よ如露光することにより達成される。
また、差渡し電極と透明平行電極との接続法についても
いろいろ考えられるが、たとえばメタルマスク蒸着法に
より両電極を接続すると、その接続電極がそのまま給電
線の取出し電極として利用でき効果的である。
いろいろ考えられるが、たとえばメタルマスク蒸着法に
より両電極を接続すると、その接続電極がそのまま給電
線の取出し電極として利用でき効果的である。
このようにして、たとえば電気抵抗値Ｈの透明平行電極
と電気抵抗値、Ｈの差渡し電極とを並列に接続すると、
実質的には電気抵抗値Ｒ／（ｋ＋１）の透明平行電極を
用いていることになる。
と電気抵抗値、Ｈの差渡し電極とを並列に接続すると、
実質的には電気抵抗値Ｒ／（ｋ＋１）の透明平行電極を
用いていることになる。
上記のように本発明によれば、通常の薄膜形成法で容易
に差渡し電極を作製することができ、しかも従来の表示
板と比較して表示部の実効表示面積を少しも減じること
のない固体映像表示板およびその製造法を得ることがで
きる。
に差渡し電極を作製することができ、しかも従来の表示
板と比較して表示部の実効表示面積を少しも減じること
のない固体映像表示板およびその製造法を得ることがで
きる。
実施例の説明
第１図は本発明にかかる固体映像表示板の一実施例を示
したもので、図（ａ）は平面図、図（ｂ）はそのＡ−Ａ
’断面図である。１は縦２２０ＷＬＩＩＬ、横２２０甑
、厚さ１結の透明なガラス基板であり、２は幅０．１５
１ＲＩＩＬ１長さ２１０飢、厚さ３ｏｏｏＡのクロムか
らなる差渡し′電極である。３は絶縁層であり、膜厚５
０００Ａの酸化アルミニウムからなっている。
したもので、図（ａ）は平面図、図（ｂ）はそのＡ−Ａ
’断面図である。１は縦２２０ＷＬＩＩＬ、横２２０甑
、厚さ１結の透明なガラス基板であり、２は幅０．１５
１ＲＩＩＬ１長さ２１０飢、厚さ３ｏｏｏＡのクロムか
らなる差渡し′電極である。３は絶縁層であり、膜厚５
０００Ａの酸化アルミニウムからなっている。
４は酸化インジウムすず膜（以下ＩＴＯ膜と称する）よ
りなる幅０．１５Ｍ、長さ２ｏｏＷ！／Ｌ１厚さ２５ｏ
Ｏ人の透明平行電極であり、その上に膜厚５０００Ａの
マンガン付活硫化亜鉛をＥＬ発九層５として、膜厚５０
００ｉの酸化イツ） ＩＪウムを発光制御層６として積
層して形成されている。７は幅０．１５Ｍ。
りなる幅０．１５Ｍ、長さ２ｏｏＷ！／Ｌ１厚さ２５ｏ
Ｏ人の透明平行電極であり、その上に膜厚５０００Ａの
マンガン付活硫化亜鉛をＥＬ発九層５として、膜厚５０
００ｉの酸化イツ） ＩＪウムを発光制御層６として積
層して形成されている。７は幅０．１５Ｍ。
長さ２２０ｊ１ｍ、厚さ１０００Ａの、アルミニウムよ
りなる背面平行電極であり、透明平行電極とは直交する
よう外配置となっている。透明平行電極４のパターンと
差渡し電極２のパターンとはガラス基板１側から見て全
く重ならないように配置されており、透明平行電極４の
電極間隔は差渡し電極２の線幅に等しい。８は給電線の
取出し電極であり、幅０ 、２１１１！ 、長さ１５ｍ
１１で膜厚は４０００Ａであり、ニクロム（膜厚３００
０λ）と金（膜厚１０００人）との二層膜であり、透明
平行電極４と差渡し電極２との接続も兼ねている。
りなる背面平行電極であり、透明平行電極とは直交する
よう外配置となっている。透明平行電極４のパターンと
差渡し電極２のパターンとはガラス基板１側から見て全
く重ならないように配置されており、透明平行電極４の
電極間隔は差渡し電極２の線幅に等しい。８は給電線の
取出し電極であり、幅０ 、２１１１！ 、長さ１５ｍ
１１で膜厚は４０００Ａであり、ニクロム（膜厚３００
０λ）と金（膜厚１０００人）との二層膜であり、透明
平行電極４と差渡し電極２との接続も兼ねている。
つぎに第２図、および第３図を用いて本発明にかかる固
体映像表示板の製造法の一実施例を説明する。なお、図
（−）は平面図、図（ｂ）はそれぞれのＢＢ／断面図、
Ｃ−Ｃ′断面図である。本発明にかかる固体映像表示板
は一般に以下の手順で製造される。まず透明なガラス基
板１上に第２図に示すようにクロムの蒸着膜を電子ビー
ム蒸着で被着し、エツチングにより差渡し電極２のパタ
ーンを形成する。その土に酸化アルミニウムからなる絶
縁層３、ＩＴＯ膜９を順次電子ビーム蒸着法で形成し、
その上にポジレジスト膜１０を形成する。次に、このポ
ジレジスト膜１０を、差渡し電極２をマスりとして、ガ
ラス基板１側より光を照射して露光する。その後ポジレ
ジスト膜１０の露光部を除去し、アルゴンガス２Ｘ１０
Ｔｏｒｒ、２ ｏｏｗのプラズマ中でスパッタエッチ
４行ない、第３図のように透明平行電極４のパターンを
形成する。しかる後に、マンガン付活硫化亜鉛からなる
ＥＬ層５、酸化イツトリウムからなる発光制御層６を順
次電子ビーム蒸着にて積層して形成し、その上にフォリ
ソグラフィにてアルミニウムからなる背面平行電極７の
パターンを形成する。最後にメタルマスクを用いてニク
ロム、金を順次電子ビーム蒸着にて積層して形成（７、
取出し電極８をパターン形成する。
体映像表示板の製造法の一実施例を説明する。なお、図
（−）は平面図、図（ｂ）はそれぞれのＢＢ／断面図、
Ｃ−Ｃ′断面図である。本発明にかかる固体映像表示板
は一般に以下の手順で製造される。まず透明なガラス基
板１上に第２図に示すようにクロムの蒸着膜を電子ビー
ム蒸着で被着し、エツチングにより差渡し電極２のパタ
ーンを形成する。その土に酸化アルミニウムからなる絶
縁層３、ＩＴＯ膜９を順次電子ビーム蒸着法で形成し、
その上にポジレジスト膜１０を形成する。次に、このポ
ジレジスト膜１０を、差渡し電極２をマスりとして、ガ
ラス基板１側より光を照射して露光する。その後ポジレ
ジスト膜１０の露光部を除去し、アルゴンガス２Ｘ１０
Ｔｏｒｒ、２ ｏｏｗのプラズマ中でスパッタエッチ
４行ない、第３図のように透明平行電極４のパターンを
形成する。しかる後に、マンガン付活硫化亜鉛からなる
ＥＬ層５、酸化イツトリウムからなる発光制御層６を順
次電子ビーム蒸着にて積層して形成し、その上にフォリ
ソグラフィにてアルミニウムからなる背面平行電極７の
パターンを形成する。最後にメタルマスクを用いてニク
ロム、金を順次電子ビーム蒸着にて積層して形成（７、
取出し電極８をパターン形成する。
このとき、取出し電極８にて透明平行電極４と差渡し電
極２とを接続する前後において透明平行電極４の長さ方
向の抵抗値を比較してみると、接続前は１０にΩであり
、接続後は７４０Ωであって大きく低下していた。
極２とを接続する前後において透明平行電極４の長さ方
向の抵抗値を比較してみると、接続前は１０にΩであり
、接続後は７４０Ωであって大きく低下していた。
発明の効果
以上のように、本発明によれば差渡し電極群を１０ パ
絶縁層を介して透明電極と接続することにより、透明電
極の長さ方向の電気抵抗値を低下させ、しかも製作容易
で、表示板以外にとくに空間を必要としない差渡し電極
を有する固体映像表示板およびその製造法を得ることが
できる。
極の長さ方向の電気抵抗値を低下させ、しかも製作容易
で、表示板以外にとくに空間を必要としない差渡し電極
を有する固体映像表示板およびその製造法を得ることが
できる。
第１図（−）は本発明の一実施例を示す固体映像表示板
の平面図、同図（ｂ）はそのＡ−Ａ’断面図、第２図（
−）および第３図体）はその要部の製造過程を示す平面
図、第２図（ｂ）および第３図（ｂ）はそれぞれＢ−Ｂ
′断面図、ｃ−ｃ’断面図である。 １・・・・・・ガラス基板、２・・・・・・差渡し電極
、３・・・・・・絶縁層、４・・・・・・透明平行電極
、５・・・・・・ＥＬ発光層、６・・・・・・発光制御
層、７・・・・背面平行電極、８・・・・・・取出し電
極、９・・・・・・ＩＴＯ膜、１ｏ・・・・・・ポジレ
ジスト膜。
の平面図、同図（ｂ）はそのＡ−Ａ’断面図、第２図（
−）および第３図体）はその要部の製造過程を示す平面
図、第２図（ｂ）および第３図（ｂ）はそれぞれＢ−Ｂ
′断面図、ｃ−ｃ’断面図である。 １・・・・・・ガラス基板、２・・・・・・差渡し電極
、３・・・・・・絶縁層、４・・・・・・透明平行電極
、５・・・・・・ＥＬ発光層、６・・・・・・発光制御
層、７・・・・背面平行電極、８・・・・・・取出し電
極、９・・・・・・ＩＴＯ膜、１ｏ・・・・・・ポジレ
ジスト膜。
Claims (3)
- （１）透明電極の配列間隔と同じ、もしくはほぼ同じ配
列間隔で帯状の差渡し電極群が上記透明電極と絶縁層を
介して積層して形成されていることを特徴とする固体映
像表示板。 - （２）差渡し電極の電極幅が透明電極の電極間間隔と等
しいことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の固体
映像表示板。 - （３）透明電極のパターンを形成する工程において、上
記差渡し電極のパターンのすくなくとも一部をフォトマ
スクとして使用する工程を含むことを特徴とする固体映
像表示板の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58143191A JPS6033587A (ja) | 1983-08-04 | 1983-08-04 | 固体映像表示板およびその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58143191A JPS6033587A (ja) | 1983-08-04 | 1983-08-04 | 固体映像表示板およびその製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6033587A true JPS6033587A (ja) | 1985-02-20 |
| JPH0576637B2 JPH0576637B2 (ja) | 1993-10-25 |
Family
ID=15332983
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58143191A Granted JPS6033587A (ja) | 1983-08-04 | 1983-08-04 | 固体映像表示板およびその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6033587A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5978384A (ja) * | 1982-10-28 | 1984-05-07 | 富士通株式会社 | 表示パネル |
-
1983
- 1983-08-04 JP JP58143191A patent/JPS6033587A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5978384A (ja) * | 1982-10-28 | 1984-05-07 | 富士通株式会社 | 表示パネル |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0576637B2 (ja) | 1993-10-25 |
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