JPS60127143A - 耐久性に優れた導電性シ−トもしくはフイルム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ｃ技術分野） 本発明は導１性シートもしくはフィルム、・待に。

表面に熱硬化性もしくは熱可塑性樹脂から成る皮膜１−
を配した耐久性・着色性に優れた導電性シートもしくは
フィルムに関する。

（従来技術） 半導体ウェハー保存容器、電子・電機部材、半導体製造
工場やバイオフリーフルームなどの壁材・床材などには
、空気中の塵埃の付着を防止する童味で、帯電防ＩＥ機
能の要求される場合が多い。そのために、帯電助士機能
を備えたシートやフ（）レムが製】青されている。これ
らシートやフィルムは。

その本体ＬＬ、＜は表面が一般に導電性を有している。

このようなシートやフィルムｌ］Ｌ帯市防止機能を付与
するため導電材が用いられる。導電材は大別すると導電
性粉末と帯電防止剤とに分けられる。Ｓ−ｉ性粉末には
カーボンブラ・ツクτ秩、二・ンケル、アルミニウムな
どの金属粉末；および金属酸化物に３価もしくは５価の
金属であるドーピング剤をドーピングしで得られる導電
性粉末などがある。帯電防止剤には例えは、カルボン酸
塩、硫酸塩、リン酸塩などの官能基を含有するアニオン
型化合物；アミン類、第四級アンモニウム塩などの官能
基を含有するカチオン型化合物；多価アルコール、高級
アルコール−酸化エチレン付加体。

＼ アクリル酸エステル誘導体、アミド銹導体などのアニオ
ン型化合物がある。これらの４鴫材を用いて帯電防止機
能を備えたシートやフィルムを作製するには、（１）金
属やカーボンなどの導電性粉末や導？１１注檎維を含有
する塗料を表面に塗布する；１２）帯電防止剤を塗布す
る；（３）金属やカーボンなどの導電性粉末を練り込ん
でシートを成形する；あるいは、（４）帯電防止剤を混
什してシートを成形する。

などの方法がある。

上記（１）および（３１の方法では、導電性発現のため
には比較的多量の４市性粉末を必要とし、コスト高とな
る；そして、導［■性粉末が金属やカーボンであるため
外観が黒色〜灰色となり、見ばえが悪いうえに任意の色
１こ着色することができない、という欠点がある。カー
ボン自体や金属自体の色を隠蔽するために酸化チタンや
酸化亜鉛を混合することも可能であるがηす重性が低下
してしまう。上記（２１の方法では、帯電防止剤は、そ
のほとんどが水浴性の界面活性剤であるため帯電３．＃
止効果が炉部間のうちに消失してしまう。すなわち、響
品表面に塗布された帯？４Ｋ　ＩＩ）ｉ止剤は水溝など
【こよって流失してしまう。残りの（４）の方法では、
同じ帯電防［Ｆ剤が製品の製造工程において製品内部に
練り込まれる。内部に練り込まされた帯電防止剤は容易
には流失しないが、これを長男１にわたって使用した喝
合、グリードアウド現象が起こり、帯ｉＪｉ防止剤が表
面に同かってしみ出る。帯’Ｆ４１１）Ｔ止剤が表面に
しみ出るとＩ＋ψ品がべγこつき、はこりが付着しやす
（なる。帯電１寅止剤は、一旦表面にしみ出ると。

水洗などでＦｒ失し、短間間のうちにイＩＹ市防止効果
を失う。ブリードアウト現象をｌｌｉ止するために。

帯電防止剤自体を高分子イビしたりあるいは製品の主要
構成制料に対する相溶性を向上さぜる手段がある。この
ような手段を講じてもその製品が屋外に設置されたり使
用時に水洗を必要とする局舎には長期にわたって安定し
た帯電防止か果を期待することはできない。しかも、コ
スト高である。ブリードアウト現象の他にも、ａ品の成
形加工時に帯電防止剤が熱分解したり、あるいは、練り
込まれた帯゛４防止剤により製品の優トθ的Ｉ！ｌｉ度
か低ドするなどの問題がある。

（発明の目的） 本発明の目的は、帯電防止効果を昧期にわたっ−Ｃ安定
して維持しうる。耐久性に優れたｄ１市性シートもしく
はフィルムを提供することにある。本発１ｉ１Ｊの池の
目的はＲ色性に優れゲ価に製造されうるｄｉ　１１性シ
ートもしくはフィルムを提供４−ることにある。

（発明の要旨） 本発明の耐久性にイ与れた導電性シートもしくはフィル
ムは、導電性繊維を含有する織布もしくは不舞布の表面
に熱硬化性もしくは熱可塑性樹脂から成る皮ＩＩＩ　１
１を配して、購成され、そのことにより上記目的かり成
される。

本発明の基材用導電性織布もしくは不織布は非導電性繊
維と導電性繊維とからなる。この織布もしくは不織布に
用いられる非導電性繊維としてはガラス繊耕、ロックウ
ール、セルロースｍ排、合成高分子（、載維などがある
。これらは単独もしくは二重以上を混合して使用される
。導電性繊維としては１例えば、炭素繊維；ステンレス
スチール。

アルミニウムなどの金属繊維ニアルミニウム、亜鉛、ニ
ッケルなどの金１．・Ａを被覆したガラスｒｉｕｒｔな
どが用いられる。これらの導電性！＠維の長さは３咽以
上が好ましい。瀞小になると光分な導電性が得られない
。繊維の太さは、／ｉ＞量で充分な導電性を得るために
、細いことが好ましい。５０μｍ以下が適切である。導
電性繊維は基材用織布もしくは不織布全体の３〜４重量
係以上の割合で混合される。これを下まわると光分な体
積固有抵抗値（１０３〜１０８Ω・ｃｒｎ）が得られな
い。

この導電性織布や不にゆ布は４ト拝電性繊維に導電性繊
維を混合して織成１編織、抄造などの手段により得られ
る。このようにして得られた基材用織布もしくは不織布
に熱硬化性樹脂あるいは熱可塑性樹脂を塗布しあるいは
含浸し１次いで、必要【こ応じて、熱硬化や圧縮などの
後処理を行なって表面に皮膜層を形成させる。このよう
にして、所望の導電性シートもしくはフィルムが得られ
る。皮膜Ｉ−を形成する熱硬化性樹脂ｌこはポリエステ
ル、ジアリルフタレート、ポリウレタン、メラミン、フ
ェノール系樹脂などがある。熱硬化性樹脂昏こはＰ■Ｃ
，アクリル、エチレン−酢酸ビニル共屯合体ブチラール
樹脂、天然ゴム、合成ゴム類などがある。これらは使用
時に溶剤に溶解させるか加熱して俗かされる。

得られたシートもしくはフィルムは１表面が絶縁性の樹
脂であるにもか／ｐわらず、基材の織布もしくは不織布
の導電性が高い。また、第１図（ａｌおよび（ｂ）　＋
こ示すように導電性鏝維３が表面を覆う皮膜層との界面
１こ部分的に位１緻しあるいは皮膜層のなかに突出する
場合もある。そのため、得られるシートもしくはフィル
ムは良好な導電性を示し。

それゆえに、帯電防止効果を奏する。シートもしくはフ
ィルムの表面固有抵抗値１ａは１０’〜１０８Ωである
。シートもしくはフィルムはその表面に皮膜層を有する
ため、耐擦過傷性にも優れる。このため皮膜層が表面に
配されていない導牢性織Ｊｌｉや不蜂布のように発塵源
となることがない。さらに耐水性にも優れる。

上記導電性シートもしくはフィルムは２例えば。

次のようにして着色される：（１）基材用織布もしくは
不織布に面接印刷してお（１２１印刷した薄紙をあらか
じめ基材用溝゛市性織布もしくは不織布上蛋こ貼り、そ
の上にさらに皮膜層を形成する；あるいは、（３）皮膜
層を構成する熱硬化性樹脂もしくは熱可塑性樹脂に顔料
をあらかじめ混合しておく、などである。このような方
法によりシートもしくはフィルムを所望の色彩ｔこ着色
することが可能となる。蘂材用導電性織布もしくは不織
布の色が金属粉末やカーボン粉末などのため黒色〜灰色
であり。

これを充分に隠蔽できない場合には、塗料や顔料を混合
した熱可塑性樹脂もしくは熱硬化性樹脂を厚く塗布すれ
ばよい。このような場合は塗布する園脂にあらかじめ−
Ｊｔ性粉末を混合しておけば表面の４≠串′性を８保し
、育分な帯４防止効果が４られる。このような４電性扮
末としては、金属酸化物に３価もしくは５価の金属であ
るドーピング剤を付片して得られるＳ電性粉末が好まし
い。その例を挙げれは、酸什錫にアンチモンをドーピン
グしたもの、酸化加鉛にアルミニウムをドーピングした
ものなどである。これら導電性粉末は、印刷用塗料を官
む樹脂全体の１〜５０＠＠係の量で含有される。１重量
係を下まわると所期の目的が搾成されず、５０重量係を
越えると表面強度が低下する。このようにして着色され
たシートもしくは）ｆルムは表面１＾１有机ブ充哨が１
０”〜１０８Ωであり。

良好な帯’ｒｌＪ防止幼果を示ず。このようなシートも
しくはフィルムは帯電防止効果を必要とする１例えば、
クリーンルームなどの壁材・床材に使用されつる１、 （）！：施例） 以下に本発明を実施例により説明する。

′井施例１ 炭素繊＃４ｔ−２０重量係とガラス棒竹８（）重量係と
からなる基材用導電性不織布（坪’ｆｊｋ　４０　ｇＡ
ｎ’　）にジアリルフタレートを含浸させ、これを４０
　℃にて２４時間増粘させた。これを、１３０１１１こ
加熱された金型にて成形モカ２０　Ｋｇ／ｃａで２０分
間ｌレス成形した。このようにして、ジアリルフタレー
ト樹脂力６２７　ｇ／ｒｒｊの削除で含浸されたフィル
ムラ得り。

このフィルムから１ｏｃｔｎ×工ｏＣｒｎの試料を切り
出し。

振動容量型微小電流電位差計により１表面固有世抗と体
償固有砥抗とをそれぞれ直径５０ｍｍの金属円盤ｍＷを
用いて１ｆｊｌｌ定した。そのときの市１ｌｌＥ節囲は
０．１Ｖ　〜Ｉ　Ｖ’　Ｊ　ヨび０．０５Ｖ　〜ＩＯＶ
であツタ。得られた表面固有抵抗値は２．８．＜１０’
Ω、そして体積固有抵抗値は４．３ＸＩＱ’Ω・備であ
った。この試料の断面構造を走査型電子顕微鏡で仲整し
た結果を第１図（ａ）および（ｂ）と第２図（ａ）およ
び（ｂｌ　ｌこ示す。この図から、基材用導電性不織布
層１の表面が硬化したジアリルフタレート樹脂層２で被
渉されていることがわかった。第２図（ａ）および（ｂ
）は不織布層１と皮膜層４との界面の拡大図であり、導
雷性繊維３が両層の界面に位置していることがわかる。

基相に用いた嗜、重性不熾布および得られた導電性シー
トをＪＩＳＫ−５４００法による鉛筆引っかき試験に供
してｌ七面イ１ψ度を１ｌｌｌｌ定した。前者の鉛筆硬
度はＨＢそして後者は３Ｈであった。シア“ノルフタし
・−ト樹脂による皮膜層のノヒ成により１表面硬１尾が
著しり向」二しｌこことがわの）る。

実施例２ 炭素繊維８　’Ｉｉ：　ｊＪ％とガラス（Ｗ糸１Ｆ９２
屯惧係とからなる暴材用導ｒ＊＋生不熾布Ｃ坪量５５　
ｇ／ｉ　）を用いたこと１ノ、外は実用例１と同様にし
てジアリルフタレート１匍１１旨が４０３ｇ／ｉの〈１
１合でキ浸されたフィルムを得た。その表面固有ｔｉ抗
値は１．５Ｘ１０”Ω、そして体偵固有世抗１ｔｆｒは
２．４　Ｘ　ｉ　（、）’Ω・ｍであった。

実施例３ 炭素繊４ｆ！１６重上１係とガラス場維９４重量係とか
らなる基材用４電性不織、布Ｃ坪量５０ｇ／イ）を用い
て実施例１と同様【こして釧脂が４５０ｇ／ｉの割合で
含有された導電性フィルムを得た。その表面固有抵抗値
は１．５　×１０８Ω、そして体、ｐＨ固有砥抗値は２
．５８１０’Ω・国であった。

実施例４ 炭素繊維８東量係とガラス繊維９２東量係とからなる基
材用導電性不織布Ｃ坪量５５　ｇ／ｍＸ　）　）こアイ
ポリ−の印刷を施した。次いで、これにジアリルフタレ
ート樹脂を含浸させ、そして４０Ｃの雰囲気下で２４時
間博粘させた。次いで、上記試料と５懸の厚さの硅酸カ
ルシウム鈑とを積１ｄＬ１３（１に加熱された金型にて
３０　Ｋｙ／ｃＪの成形子で１０分間プレス成形した。

得られた試料につぃて実施例１と同様の方法で表面固有
抵抗値を測定した。その表面固有抵抗値は２．３　Ｘ　
１０’Ωであった。

実施例５ 炭素繊排８＠′ＮＬ４とパルプ繊維９２市量係とからな
る基材用導電性不織布（坪：ｔｉｔ　５５　ｇ／Ｗ　）
　＋こポリエステル樹脂をｓ　ｏ　ｇ／ｎ？の割合でグ
ラビア塗工した。このポリエステル樹脂には酸化第１礪
にアンチモンをドーピングした金属酸化物が１５重旬′
部の量で含まれている。得られた紙は１．５　×１　ｇ
６Ωの表面固有抵抗を持ち帯電防止性能に優れていた。

実施例６− 炭素繊維８屯量壬とパルプ繊維９２市量係とからなる基
材用導電性不帰布（坪匍５５　ｇ／＋ｆ　）を５順の厚
さの硅酸カルシウム仮にあらかじめ接着剤で貼り付けた
。次いで、その上に、アルミニウムでドーピングされた
酸化亜鉛を１０改肘部なむポリエステル樹脂を１００　
ｇ／ｎ／の場合で塗布し帯電防止（ぶ能を有する建材を
得た。その表面固有抵抗値は６　×１０５Ωてあった。

実施例−ｌ パルプ繊維９２＠購係と炭素繊維８喰端チとからなる基
材用導電性不帰布を漁備した。酸化１１１ｉ鉛にアルミ
ニウムをドーピングした金１１１１２化物を１０重量部
、および酸化チタン重量型量却を含むｉｆ＜化ビニル−
アクリル共。重ば体倒脂を溶剤に溶かしこれを上記不織
布表面をこロールコータ−で１００ｇ／ｍ”の割合で塗
布乾燥してシートを得た。その表面の固有抵抗は５Ｘ１
０’Ωであった。

比較例Ｉ ＰＶＣ（商品名ゼオン１２１　）１００屯量部、可塑剤
（ＤＯＰ）５０＠ｉｆ）部、ポリエステル系可塑剤５０
改肘部、静電防止剤（商品名Ｃａｎｔａｃ　Ｓ　）　０
．２　重量部。

グ定剤として二塩基性リン酸鉛２＠量部、光填剤として
炭酸カルシウム２０＠量部、そして顔料０、０２　重ｉ
　部をポニーミキサーに仕込み混合してプラスチゾルを
得た。このプラスチゾルを不織布にコーティングして帯
電防止性能をもったシートを得た。その表面固有抵抗１
直は５×１０９Ωであった。

このソートと実施例１で得たシートとを２４時間水に浸
漬し１次いで、これを乾燥してその表面固有抵抗を釧定
した。このように水溝処理された比較例におけるシート
の表面固有抵抗値が２　Ｘ　１０”Ωであるのに対し、
実施例１のシートの表面固有抵抗値は２．８×１０５Ω
であった。実施例１のシートは水洗処理にもかかわらず
何らの老化も認められなかった。比較例の異聞活性剤を
用いたシートは簡単に帯電防止性能を失う。

上並員主 ポリエステル樹脂にアルミニウムでドーピングされた酸
化亜鉛が含まれていないこと」９外は実施１ｕｌｌ　６
と同４・１七である。得られた律拐の表聞固有キ１（抗
値は６．５１．１０１２Ω−Ｃあった。

（発明のλツノ東９ 本発明の３弗市斗ソートもし７くはフィルムは、このよ
うに、導出１２１：繊維を含有する躯Ｈ用織布もｊ〜く
は不帰’ＡｊＯ）　左面に熱硬化１４．もしくは熱ｉｉ
ｌ塑性（υ１脂による１υ嘆；禎を）ト成し−Ｃ／；る
ため９表面が絶１号層を（バ成するにもかかわら丁導市
性をイする。この絶縁層か本発明のシートもしくはフィ
ルムの導出１′１：および帯電時１−勿采を１七期にわ
た。っ−Ｃ安定的に維持する。この絶縁層は、織、布が
一友に現われるよ一″ｌｆ、ｌ：卑′拐にくらべてはる
かに１固であり、耐摩耗性、耐１す禍傷４４：　ｔ、；
よひ耐久性に優れる。フコとえ。

表面１こ（１〜］））ついても本発明シートもしくはフ
ィルムの導電計Ｌは実−われることはなく、その小車性
はかえっ−Ｃ高くなる。さらに、皮膜層に適切な切指’
ｃ　ｙ’１４へは、耐刹晶：牛１こも優れたシートもし
、＜はフィルムが得られる。本発明のシートもしくはフ
ィルムは所望の１．′１色が自由になされ得るため、広
範囲にわＩころイ’：！ｔ−ｃの使用がり能である。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本発明の導電性シー１−　ｏつ）′１ｂ
り）的ｊ　ｔａｉ構造、背にカーボン繊維とガラ７、、
＠、　４１１とで構り晃される基材用不織布層と樹脂層
との状態を示−Ｖ走査４四電子顕微鏡写０１、第１図（
１））はその屑、１月Ｉ又である。 第２図（ａ）は基材用不織布層１と皮膜ｌ−４とσ）界
［７１′ｉ付近に存在するカーボン繊維を示すΔネ市ヒ
ｔシート断面のｊｔｌｓ分拡大写真、第２図（ｂ）（よ
そのｉ１見１月１閑である。 １・樽市性不織布１−３２・・・樹１１８層、３　・カ
ーボン禮誰。 以　上 出願人　積水化学工業株式会社 代理人　弁理士　山　本　秀　策 第１図 （ａ） 第１図 Ωへ 手続補正書（自発） １．事件の表示 昭和５８年特許願第２３５９０２号 ２、発明の名称 導電性シートもしくはフィルム ３４補正をする者 事件との関係　特許出願人 郵便番号　５３０ 住所　大飯市北区西天満２°丁目４番４号名称（２１７
）　積水化学工業株式会社代表者　廣　１）馨 特許装置大阪（０６）　３６５−２１８１特許部置東京
（０３）　４３４−９５５２（ばか１名） ４、代理人　〒５３０ 住所　大阪府大阪市北区西天満４丁目３番１７号５、補
正の対象 明細書の全文 ６、補正の内容 別紙のとおり 明細書 二Ｊ渣銭 導電性シートもしくはフィルム Ｉ−豊許鼠氷ｑ範皿 １、導電性繊維を含有する基材用織布もしくは不織布の
表面に、導電性粉末を含有した熱硬化性もしくは熱可塑
性樹脂がら成る皮膜層を配した導電性シートもしくはフ
ィルム。 ２、前記導電性繊維が炭素繊維、金属繊維、または導電
性素材で被覆されたガラス繊維である特許請求の範囲第
１項に記載の導電性シートもしくはフィルム。 ３、前記皮膜層は導電性粉末を１〜５ＯＮ景％含有する
特許請求の範囲第１項または第２項に記載の導電性シー
トもしくはフィルム。 ４、前記導電性粉末は金属酸化物にドーピング剤を付与
して得られる導電性粉末である特許請求の範囲第３項に
記載の導電性シートもしくばフィルム。 ↓−発里匁群１に１里 （産業上の利用分野） 本発明は導電性シートもしくはフィルム、特に。 導電性粉末を含有した熱硬化性もしくは熱可塑性樹脂か
ら成る皮膜層を表面に配した着色性・耐久性に優れた導
電性シートもしくはフィルムに関する。 （従来の技術） 半導体ウェハー保存容器、電子・電機部材、半導体製造
工場やバイオクリーンルームなどの壁材・床材などには
、空気中の塵埃の付着を防止する意味で、帯電防止機能
の要求される場合が多い。 実開昭５８−４８４３５号公報には帯電防止用の導電性
化粧板が開示されている。この導電性化粧板は基材層と
しての加工紙と表面材としての樹脂層とでなり、加工紙
に炭素繊維が混抄されている。 （発明が解決しようとする問題点） この炭素繊維の黒色が樹脂層を通して透視されるため、
得られる導電性化粧板は全体として黒色を呈する。しか
しながら、壁材や床材として用いられるべき導電性化粧
板がこのように黒色である以」二、その適用箇所は極端
に限定されざるを得す。 実用的ではない。そのため、この黒色を隠蔽すべく樹脂
層を厚くしようとすると、化粧板の導電性が低下する問
題点があった。 本発明の目的は着色性・耐久性に優れ安価に製造されう
る導電性シートもしくはフィルムを提供することにある
。 （問題点を解決するための手段および作用）本発明の着
色性に優れた導電性シートもしくはフィルムは、導電性
繊維を含有する織布もしくは不織布の表面に、導電性粉
末を含有した熱硬化性もしくは熱可塑性樹脂から成る皮
膜層を配して構成され、そのことにより上記目的が達成
される。 本発明の基材用導電性織布もしくは不織布は非導電性繊
維と導電性１哉維とからなる。この織布もしくは不織布
に用いられる非導電性繊維としてはガラス繊維、ロック
ウール、セルロース繊維２合成高分子繊維などがある。 これらは単独もしくは二種以上を混合して使用される、
導電性繊維としては、例、ｔば、炭素繊維；ステンレス
スチール。 アルミニウムなどの金属繊維；アルミニウム、亜鉛、ニ
ッケルなどの金属を被覆したガラス繊維などが用いられ
る。これらの導電性繊維の長さは３龍以上が好ましい。 過小になると充分な導電性が得られない。繊維の太さは
、少量で充分な導電性を得るためには、細いことが好ま
しい。５０μｍ以下が適切である。導電性繊維は基材用
織布もしくは不織布全体の３〜４重量％以上の割合で混
合される。これを下まわると充分な体積固有抵抗値（１
０３〜１０８Ω・ｃｍ）が得られない。 この導電性織布や不織布は非導電性繊維に導電性繊維を
混合して織成７編織、抄造などの手段により得られる。 このようにして得られた基材用織布もしくは不織布に、
導電性粉末を含有した熱硬化性樹脂あるいは熱可塑性樹
脂を塗布しあるいは含浸し２次いで、必要に応じて、熱
硬化や圧縮などの後処理を行って導電性粉末の混入した
皮膜層を表面に形成させる。皮膜層を形成する熱硬化性
樹脂には、ポリエステル、ジアリルフタレート。 ポリウレタン、メラミン、フェノール系樹脂などがある
。熱可塑性樹脂には、ｐｖｃ、アクリル。 エチレン−酢酸ビニル共重合体、ブチラール樹脂。 天然ゴム、合成ゴム類などがある。これらは使用時に溶
剤に溶解させるか加熱して溶かされる。 皮膜層に含有される導電性粉末としては、金属酸化物に
３価もしくは５価の金属であるドーピング剤を付与して
得られる導電性粉末が好ましい。 その例を挙げれば、酸化錫にアンチモンをドーピングし
たもの、酸化亜鉛にアルミニウムをドーピングしたもの
などである。これら導電性粉末は。 使用される樹脂全体の１〜５０重量％、好ましくは３０
重量％以下の量で含有される。１重量％を下まわると所
期の目的が達成されず、５０重量％を越えると表面強度
が低下する。 これら導電性粉末は皮膜層中に分散して存在し入射光を
乱反射するため１　′Ｆ層の基材層中の導電性織布もし
くは不織布の色（金属繊維やカーボン繊維などのため１
通常、黒色〜灰色である）を効果的に隠蔽する機能を果
たす。よって、得られたシートもしくはフィルムは、基
材層の色にかかわらず、全体として、白色もしくは皮膜
層と同一の色彩を呈する。基材層の色をより効果的に隠
蔽するために、皮膜層を厚く形成することも可能である
。皮膜層は厚くなってもそこには導電性粉末が分散して
いるため、得られるシートもしくはフィルムの導電性が
損なわれることはない。 得られたシートもしくはフィルムの導電性は。 第１図（ａｌ、　（ｂｌおよび第２図（ａｌ、　（ｂｌ
に示ずように。 基材層の導電性繊維３が表面を覆う皮膜層との界面に部
分的に位置しあるいは皮膜層のなかに突出する場合もあ
り、そのため、基材層中の導電性繊維３が皮膜層中の導
電性粉末と電気的に導通する。 その結果、得られるシートもしくはフィルムは良好な導
電性を示し、それゆえに、優れた帯電防止効果を奏する
。これら図に示されたフィルムは炭素繊維２０重量％と
ガラス繊維８０重量％とからなる暴利用導電性不織布（
秤量４０ｇ／ｒｒｌ）にジアリルツクレート樹脂を６２
７　ｇ　／　ｎ（の割合で含浸して得られたもので、そ
の表面固有抵抗と体積固有抵抗とをそれぞれ振動容量型
微小電流電位差言１により測定したところくそのときの
電圧範囲は０．１Ｖ〜ｉｖおよび０．０５Ｖ　〜ｌ０Ｖ
）　、表面固有抵抗値が２．８×１０５Ω、そして体積
固有抵抗値が４．３　Ｘ　１０６Ω・ｃｍであった。 このようにして得られる本発明のシートもしくはフィル
ムの表面固有抵抗値は５通常、　１０”〜１０ＢΩであ
る。このシーＩ・もしくはフィルムはその表面に皮膜層
を有するため、耐棒過傷性にも優れる。 このため皮膜層が表面に配されていない導電性織布や不
織布のように発塵源となることがない。さらに耐水性に
も優れる。 本発明の導電性シートもしくはフィルムは、既述のよう
に、基材中の導電性繊維などの色彩には無関係に全体と
して白色もしくは皮膜層と同一の色を呈するため、所望
の色に自在に着色されうる。 着色は２例えば１次のようにしてなされる：（Ｊ）基材
用織布もしくは不織布に直接印刷しておく：（２）印刷
した薄紙をあらかじめ基材用導電性織布もしくは不織布
上に貼り、その上にさらに皮膜層を形成する；あるいは
、（３）皮膜層を構成する熱硬化性樹脂もしくは熱可塑
性樹脂に顔料をあらかじめ混合しておく、などである。 このような方法によりシートもしくはフィルムを所望の
色彩に着色することができる。皮膜層用樹脂に顔料が加
えられる場合の導電性粉末の含量は、皮膜層用樹脂と顔
料中の樹脂との総量の１〜５０重量％である。このよう
にして着色されたシートもしくはフィルムの表面固有抵
抗値も２通常、１０２〜１０ＢΩであり、良好な帯電防
止効果を示す。このようなシートもしくはフィルムは帯
電防止効果を必要とする１例えば、クリーンルームなど
の壁材・床材に使用されうる。 （実施例） 以下に本発明を実施例により説明する。 失施炭よ 炭素繊維８重量％とバルブ繊維９２重量％とからなる基
材用導電性不織布（秤量５５ｇ／ｍ）にポリエステル樹
脂を５０ｇ／ｒｄの割合でグラビア塗工した。このポリ
エステル樹脂には酸化第１錫にアンチモンをドーピング
した金属酸化物が１５重量部の量で含まれている。得ら
れた紙は１．５　Ｘ　１０’Ωの表面固有抵抗を持ち帯
電防止性能に優れていた。 この紙の基材の炭素繊維の色は、この程度の樹脂量でな
る皮膜層により、隠蔽された。ポリエステル樹脂を１０
０　ｇ　／　ｒｒｒ用いると隠蔽性はさらに向上した。 導電性は劣らなかった。ポリエステル樹脂による皮膜層
の形成により、得られた紙の表面硬度も著しく向上して
いた。 比較例１ 実施例１におけるポリエステル樹脂の５０ｇ／ｒｒｒに
代えて２０　ｇ　／　ｒｄを用い、これに同じ金属酸化
物１５重里部を含有させていないこと以外はすべて実施
例１と同様にして紙を作成した。得られた紙の表面固有
抵抗は２Ｘ１０’Ωであり、帯電防止性能に優れていた
。しかし、基材の炭素繊維の黒色が充分に隠蔽されず５
　したがって１紙の外観は著しく悪かった。 ■−件Ｉ 炭素繊維８重量％とバルブ繊維９２重量％とからなる基
材用導電性不織布（秤量５５ｇ／％）を５貢１の厚さの
珪酸カルシウム板にあらかじめ接着剤で貼り付けた。次
いで、その上に、アルミニウムでドーピングされた酸化
亜鉛を１０重量部含むポリエステル樹脂を１００ｇ／ｒ
ｒ＋の場合で塗布し帯電防止機能を有する建材を得た。 その表面固有抵抗値は６Ｘ１０！　Ωであった。 実巖桝菱 バルブ繊維９２重量％と炭素繊維８重量％とからなる基
材用導電性不織布を準備した。酸化亜鉛にアルミニウム
をドーピングした金属酸化物を１０重量部、および酸化
チタン１０重量部を含む塩化ビニル−アクリル共重合体
樹脂を溶剤に溶かしこれを上記不織布表面にロールコー
タ−で１００ｇ／ｍの割合で塗布乾燥してシートを得た
。その表面の固有抵抗値は５Ｘ１０７Ωであった。 比較例２ ポリエステル樹脂にアルミニウムでドーピングされた酸
化亜鉛が含まれていないこと以外は実施例２と同様であ
る。得られた建＋４の表面固有抵抗値は６．５Ｘ１０′
２Ωであった。 （発明の効果） 本発明の導−電性シートもしくはフィルムは、このよう
に、導電性繊維を含有する基材用織布もしくは不織布の
表面に、導電性粉末の含有した熱硬化性もしくは熱可塑
性による皮膜層を形成してなるため、皮膜層中の導電性
粉末が入射光を乱反射する。そのため、基材中の導電性
繊維の黒色や灰色などの見栄えの悪い色が効果的に隠蔽
され、シートもしくはフィルムは全体として白色もしく
は皮膜層と同一の色を呈する。シートもしくはフィルム
は、それゆえ、所望の色に自在に着色され得る。したが
って、その用途は広範囲におよびうる。 その導電性も、基材中の導電性繊維が皮膜層中の導電性
粉末と導通ずるため、得られるシートもしくはフィルム
の導電性は著しく優れている。皮膜層に適切な樹脂を選
べば、耐薬品性にも優れたシートもしくはフィルムが得
られる。 （よ−図面の簡単な説吸 第１図ｔａ）は導電性シートの部分断面構造、特にカー
ボン繊維とガラス繊維とで構成される基材用不織布層と
樹脂層との状態を示す走査型電子顕微鏡写真、第１図（
ｂｌはその説明図である。第２図（ａ＋は基材用不織布
層１と皮膜層４との界面付近に存在するカーボン繊維を
示す導電性シート断面の部分拡大写真、第２図（ｂｌは
その説明図である。 ■・・・導電性不織布層、２・・・樹脂層、３・・・カ
ーホン繊維。 以」二 出願人　積水化学工業株式会社 代理人　弁理士　山本秀策 手続補正書（自発） 昭和６０年３月１３日 昭和５８年特許願第２３５９０２−号 ２、発明の名称 導電性シートもしくはフィルム ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 郵便番号　５３０ 住所　大阪市北区西天満２丁目４番４号名称（２１７）
　積水化学工業株式会社代表者　廣　１）馨 特許装置大阪（０６）　３６５−２１８１特許部置東京
（０３）　４３４−９５５２（ほか１名） ４、代理人　〒５３０ 住所　大阪府大阪市北区西天満４丁目３番１７号３゜ ５、補正の対象 昭和６０年３月４日提出の手続補正書の内容の欄６、補
正の内容 別紙のとおり 明細書 −し一介訓−９各称 導電性シートもしくはフィルム 文−待蓑」Ｉぐ（社）１皿 １、導電性繊維を含有する基材用織布もしくは不織布の
表面に、導電性粉末を含有した熱硬化性もしくは熱可塑
性樹脂から成る皮膜層を配した導電性シートもしくはフ
ィルム。 ２、前記導電性繊維が炭素繊維、金属繊維、または導電
性素材で被覆されたガラス繊維である特許請求の範囲第
１項に記載の導電性シートもしくはフィルム。 ３、前記皮膜層は導電性粉末を１〜５０重量％含有する
特許請求の範囲第１項または第２項に記載の導電性シー
トもしくはフィルム。 ４、前記導電性粉末は金属酸化物にドーピング剤を付与
して得られる導電性わ）末である特許請求の範囲第３項
ムこ記載の導電性シー１〜もしくはフィルＪ１゜ （産業上の利用分野） 本発明は導電性シートもしくはフィルム、特に。 導電性粉末を含有した熱硬化性もしくは熱可塑性樹脂か
ら成る皮膜層を表面に配した着色性・耐久性に優れた導
電性シートもしくはフィルムに関する。 （従来の技術） 半導体ウェハー保存容器、電子・電機部材、半導体製造
工場やバイオクリーンルームなどの壁材・床材などには
、空気中の塵埃の付着を防止する意味で、帯電防止機能
の要求される場合が多い。 実開昭５８−４８４３５号公報には帯電防止用の導電性
化粧板が開示されている。この導電性化粧板は１層とし
ての加工紙と表面材としての樹脂層とでなり、加工紙に
炭素繊維が混抄されている。 （発明が解決しようとする問題点） この炭素繊維の黒色が樹脂層を通して透視されるため、
得られる導電性化粧板は全体として黒色を呈する。しか
しながら、壁材や床材として用いられるべき導電性化粧
板がこのように黒色である以上、その適用箇所は極端に
限定されざるを得す。 実用的ではない。そのため、この黒色を１！蔽すべく樹
脂層を厚（しようとすると、化粧板の導電性が低下する
問題点があった。 本発明の目的は着色性・耐久性に優れ安価に製造されう
る導電性シートもしくはフィルムを提供するごとにある
。 （問題点を解決するだめの手段および作用）本発明の着
色性に優れた感電性シートもしくはフィルムは、導電性
繊維を含有する織布もしくは不織布の表面に、導電性粉
末を含有した熱硬化性もしく　４；ｌ熱可塑性樹脂から
成る皮膜層を配して構成され、そのことにより上記目的
が達成される。 本発明の基（イ用導電性織布もしくは不織布は非導電性
繊維と導電性繊維とからなる。この織布もしくは不織布
に用いられる非導電性繊維としてはガラス繊維、ロック
ウール、セルロース繊維１合成品分子繊維などがある。 これらは単独もしくは二種以」二を混合して使用される
。導電性繊維としては９例えば、炭素繊維；ステンレス
スチール。 アルミニウムなどの金属繊維；アルミニウム、亜鉛、ニ
ッケルなどの金属を被覆したガラス繊維などが用いられ
る。これらの導電性繊維の長さば３龍以上が好ましい。 過小になると充分な導電性が得られない。繊維の太さは
、少量で充分な導電性を得るためには、細いことが好ま
しい。５０μｍ以下が適切である。導電性繊維は基材用
織布もしくは不織布全体の３〜４重量％以上の割合で混
合される。これを下まわると充分な体積固有抵抗値（１
０３〜１０”Ω・ｃｍ）が得られない。 この導電性織布や不織布は非導電性繊維に導電性繊維を
混合して織成１編織、抄造などの手段により得られる。 このようにして得られた基材用織布もしくは不織布に２
導電性粉末を含有した熱硬化性樹脂あるいは熱可塑性樹
脂を塗布しあるいは含浸し１次いで２必要に応じて、熱
硬化や圧縮などの後処理を行って導電性粉末の混入した
皮膜層を表面に形成させる。皮膜層を形成する熱硬化性
樹脂には、ポリエステル、ジアリルフタレ−１〜。 ポリウレタン、メラミン、フェノール系樹脂などがある
。熱可塑性樹脂には、ｐｖｃ、アクリル。 エチレン−酢酸ビニル共重合体、ブチラール樹脂。 天然ゴム、合成ゴム類などがある。これらは使用時にン
容斉りに？容解させるか力１１熱してン容かされる。 皮膜層に含有される導電性粉末としては、金属酸化物に
３価もしくは５価の金属であるドーピング剤を付与して
得られる導電性粉末が好ましい。 その例を挙げれば、酸化錫にアンチモンをドーピングし
たもの、酸化亜鉛にアルミニウムをドーピングしたもの
などである。これら導電性粉末は。 使用される樹脂全体の１〜５０重量％、好ましくは３０
０重量以下の用で含イラされる。１重量％を下まわると
所期の目的が達成されず、５０重量％を越えると表面強
度が低下する。 これら導電性粉末が皮膜層中に分散して存在すると透明
状となるため皮膜層と同一の色を呈する。 したがって、顔料などを混入させるなどの手段により下
層の基材層の導電性織布もしくは不織布の色（金属繊維
やカーボン繊維などのため１通常。 黒色〜灰色である）を効果的に隠蔽する機能を果たず。 皮膜層用樹脂に顔料が加えられる場合の導電性粉末の含
量は、皮膜層用樹脂と顔料中の樹脂との総量の１〜５０
重量％である。得られたシートもしくはフィルムは、基
材層の色にかかわらず。 全体として、皮膜層と同一の色彩を呈する。基材層の色
をより効果的に隠蔽するために、皮膜層を厚く形成する
ことも可能である。皮膜層は厚くなってもそこには導電
性粉末が分散しているため２得られるシートもしくはフ
ィルムの導電性が損なわれることはない。 その他の隠蔽手段として、皮膜層が透明である場合には
、皮膜層と基材との間に色印刷や柄印刷などを施した印
刷層を設けることが考えられる。 得られるシートもしくはフィルムは印刷層の呈する色彩
もしくは色柄を呈し、基材の色が効果的に隠蔽される。 得られたシートもしくはフィルムの導電性は。 第１図（ａｌ、　（ｂｌおよび第２図（ａｌ、　（ｂｌ
に示すように。 基材層の導電性繊維３が表面を覆う皮膜層との界面に部
分的に位置しあるいは皮膜層のなかに突出する場合もあ
り、そのため、基材層中の導電性繊維３が皮膜層中の導
電性粉末と電気的に導通する。 その結果、得られるシー１〜もしくはフィルムは良好な
導電性を示し、それゆえに、優れた帯電防止効果を奏す
る。これら図に示されたフィルムは炭素繊維２０重里％
とガラス繊維８０重量％とからなる基材用導電性不織布
（秤量４０ｇ／％）にジアリルフタレーＩ・樹脂を６２
７　ｇ　／　ｒｄの割合で含浸して得られたもので、そ
の表面固有抵抗と体積固有抵抗とをそれぞれ振動容量型
微小電流電位差計により測定したところ（そのときの電
圧範囲は０．１Ｖ〜１■および０．０５Ｖ〜ｌ０Ｖ）、
表面固有抵抗値が２．８×１０５Ω、そして体積固有抵
抗値が４．３　Ｘ　１０’Ω−ｃｍてあった。 このようにして得られる本発明のシートもしくはフィル
ン、の表面固有抵抗値は２通常、１０３〜１０８Ωであ
る。このシートもしくばフィルＪ１はその表面に皮膜層
を有するため、ｉ４擦過傷性にも優れる。 このため皮膜層が表面に配されていない導電性織布や不
織布のように発塵源となることがない。さらに耐水性に
も優れる。 このようなシートもしくはフィルムは帯電防止効果を必
要とする１例えば、クリーンル−ムなどの壁材・床材に
使用されうる。 （実施例） 以下に本発明を実施例により説明する。 去籐桝上 炭素繊維８重量％とバルブ繊維９２重量％とからなる基
材用導電性不織布（秤量５５　ｇ　／　ｎ（）に白色に
着色されたポリエステル樹脂を５０ｇ／ｎ（の割合でグ
ラビア塗工した。この白色ポリエステル樹脂には酸化第
１錫にアンチモンをドーピングした金属酸化物が１５重
量部の量で含まれている。得られ。 た紙は１．５　Ｘ　１０５Ωの表面固有抵抗を持ち帯電
防止性能に優れていた。この紙の基材の炭素繊維の色は
、皮膜層により隠蔽された。ポリエステル樹脂を１００
　ｇ　／　ｒｒｌ用いると隠蔽性はさらに向上した。 導電性は劣らなかった。ポリエステル樹脂による皮膜層
の形成により、得られた紙の表面硬度も著しく向上して
いた。 ↓じｔｄ列」一 実施例１におけるポリエステル樹脂の５０ｇ／ｍに代え
て２０ｇ／ｍを用い、これに同じ金属酸化物１５重量部
を含有させていないこと以外はすべて実施例１と同様に
して紙を作成した。得られた紙の表面固有抵抗は２Ｘ１
０６Ωであり、帯電防止性能に優れていた。しかし、基
材の炭素繊維の黒色が充分に隠蔽されず、したがって２
紙の外観は著しく悪かった。 人飾−刷−？− 炭素繊維８重撹％とパルプ繊維９２重里％とからなる皓
４Ａ用導電性不織布（秤量５５ｇ、／％）を５龍の１ｖ
さの珪酸カルシウム板にあらかじめ接着剤で貼り（（Ｊ
番Ｊた。次いで、その上に、アルミニウムで１・−−ピ
ングされた酸化亜鉛を１０重量部含み白色に着色された
ポリエステル樹脂をｌｏｏ　ｇ　／　＝の割合で塗布し
帯電防止機能を有する建材を得た。その表面固有抵抗値
は６ＸＩ０５Ωであった。 ｉｔ　ｊ）％コ性β− パルプ繊１１１９２１１１ｆ量％と炭素繊維８重量％と
からなる基材用導電性不織布を準備した。酸化亜鉛にア
ルミニウムをドーピングした金属酸化物を１０重量部、
および酸化チタン１０重量部を含み白色に着色された塩
化ビニル−アクリル共重合体樹脂を溶剤に溶かしこれを
」二記不織布表面にロールコータ−で１００　ｇ　／　
ｎ？の割合で塗布乾燥してシートを得た。その表面の固
有抵抗値は５Ｘ１０７Ωであった。 比較例２ ポリエステル樹脂にアルミニ・ラムでドーピングされた
酸化亜鉛が含まれていないこと以外は実施例２と同様で
ある。得られた建材の表面固有抵抗値ば６．５Ｘ］０”
Ωであった。 （発明の効果） 本発明の導電性シー１〜もしくはフィルムは、このよう
に、導電性繊維を含有する暴利用織布もしくは不織布の
表面に、導電性粉末の含有した熱硬化性もしくは熱可塑
性による皮膜層を形成してなるため、導電性粉末が皮膜
層中に分散して透明状となり皮膜層と同一の色を呈する
。そのため、顔料などを混入させるなどの手段によりＢ
ｓ　４，１中の導電性繊維の黒色や灰色などの見栄えの
悪い色が効果的に隠蔽される。したがって、その用途は
広範囲におよびうる。その導電性も、基材中の導電性繊
維が皮膜層中の導電性わ）末と導通ずるため、得られる
シートもしくはフィルムの導電性は著しく優れている。 皮１９層に適切な樹脂を選べば、耐薬品性にも優れたシ
ートもしくはフィルムが得られる。 」−５−」＆」町の一ηＷ斯牟岐所 第１図（ａｌは導電性シートの部分断面構造、特にカー
ボン繊維とガラス繊維とで構成される基材用不織布層と
樹脂層との状態を示す走査型電子顕微鏡写真、第１図（
ｂｌはその説明図である。第２図ｔａ＋は基材用不織布
層ｌと皮膜層４との界面付近に存在するカーボン繊維を
示す導電性シート断面の部分拡大写真、第２図ｆｂｌは
その説明図である。 １・・・導電性不織布層、２・・・樹脂層、３・・・カ
ーホン繊維。 以上 出願人　積水化学工業株式会社 代理人　弁理士　山本秀策

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ｌ、導電性繊維を含有する基材用織布もしくは不織布の
   表面に熱硬化性もしくは熱可塑性樹脂から成る皮膜層を
   配した耐久性に優れた導電性シートもしくはフィルム。 ２、前記ぜｔ電性繊維が炭素繊維、敞属繊維、または嗜
   、電池素拐で被覆されたガラス繊維である特許請求の範
   囲第１項に記載の耐久性に優れた導電性シートもしくは
   フィルム。 ３、Ｍｆｉ記皮嘆層は導電性粉末を１〜５０屯′＃係含
   有する特、ｉ＋！［請求の範囲第１項または第２項に記
   載の耐久性に優オ］た導電性シートもしくはフィルム。 ４、前記４電性粉末は金属酸化物にドーピング剤を付与
   して得られる導電性粉末である特許請求の範囲α３墳に
   記載の而」人件に優れた導電性シートもしくはフィルム
   。