JPS60129539A - 空気清浄装置 - Google Patents

空気清浄装置

Info

Publication number
JPS60129539A
JPS60129539A JP58236219A JP23621983A JPS60129539A JP S60129539 A JPS60129539 A JP S60129539A JP 58236219 A JP58236219 A JP 58236219A JP 23621983 A JP23621983 A JP 23621983A JP S60129539 A JPS60129539 A JP S60129539A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
space
air
opening
clean room
pressure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP58236219A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0561541B2 (ja
Inventor
Shingo Ichiki
眞吾 一木
Eiji Kuramitsu
倉光 英次
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP58236219A priority Critical patent/JPS60129539A/ja
Publication of JPS60129539A publication Critical patent/JPS60129539A/ja
Publication of JPH0561541B2 publication Critical patent/JPH0561541B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/163—Clean air work stations, i.e. selected areas within a space which filtered air is passed

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Air-Conditioning Room Units, And Self-Contained Units In General (AREA)
  • Ventilation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、清浄室と外界との間に開閉扉を有すルクリー
ンベンチ、クリーンルーム、エアーシャワー装置などの
空気清浄装置に関する。
〔発明の背景〕
従来、この種の空気清浄装置では、開閉扉とこれを取付
けた本体壁面とのすき間を通って塵埃や雑菌を含む外部
の汚染空気が清浄室に侵入−し、また開閉扉を自動ドア
とした場合には、ドア開閉時にドア駆動部で発生した塵
埃が駆動部ケースと開閉扉とのすき間から清浄室に侵入
して、室内清浄度を低下させる恐れがあった。
以下、具体例Jついて説明する。
第1図は有害物質や危険な病原体なとを扱うための循環
気流形クリーンベンチの従来例を示す。
このクリーンベンチは、前面に開口部2を有する清浄室
1と、この清浄室lに清浄空気を供給するための給気フ
ィルタ3、送風機4、給気タクト5および排気フィルタ
6を備え、清浄室1と外界50との間に透光性を有する
スライド式の開閉扉7を設けである。作業中に清浄室1
内の有害物質や病原体などが外界へ流出するのを防ぐた
め、第1図(a)の矢印で示すように作業台面に設けた
空気吸込口8から清浄室1内の空気を一部外気とともに
作業台下部空間9へ吸込み、送風機4から送り出された
空気の一部を排気フィルタ6を通して外部へ排出し、残
りの空気を給気フィルタ3を通して天井部空気吹出口1
0から清浄室1へ還流させるとともに、開閉扉7で開口
部2をしぼって、清浄室lの内圧を外界50より低(保
つようにしである。
清浄室1への実験用器材の搬入、搬出が容易にできるよ
う開閉扉7を上下方向に可動とし、開閉扉7と本体周壁
11との間には開閉動作中に扉と本体との接触を防止す
るため、すき間12を設けてあり、さらに、すき間12
を通して清浄室1へ外気が流入するのを防ぐため、開口
部2の周辺の一部(上辺部)に開閉扉7と摺動接触する
バッキング13を押え板14により取付けである。
しかし、この構造では、開閉扉7に対するパラ、 キン
グ13の接触圧力を強くすると、摩擦力により開閉扉7
の操作か円滑に行えなくなるため、開閉扉7とバッキン
グ13とのすき間をなくすことは不可能であり、かつ前
述のように清浄室1の方が外界50よりも圧力か低いた
め、この圧力差により第1図(b)の矢印で示すよ?に
開閉扉7と本体周壁11およびバッキング13とのすき
間、あるいはパツキン13と本体周壁11との取付面の
すき間がら清浄室1へ外気が流入して室内清浄度を低下
させ、清浄、室1で扱う検体に外気中の雑菌が混入する
等の不都合を生じることがある。
第2図は清浄室に供給された清浄空気の全量を外界へ放
出する開放形クリーンベンチの従来例を示す。このクリ
ーンベンチは、前面に開口部2を有する清浄室lと、こ
の清浄室1に清浄空気を供給するための給気フィルタ3
、送風機4、給気ダクト5、プレフィルタ15を備え、
清浄室1と外界との間に透光性を有するスライド式の開
閉扉7を設けである。作業中に清浄室Jへ外気が流入す
るのを防ぐため、第2図(a)の矢印で示すようにプレ
フィルタ15を通して外気を取り入れ、送風機4から送
り出された空気の全量を給気フィルタ3を通して天井部
空気吹出口10から清浄室1へ供給し、清浄室1内を通
過した気流を開閉扉7の下側の開口部2から外界へ流出
させるようにしである。開閉扉7は本体周壁11との間
にすき間12を設けて上下方向に可動にしてあり、通常
は開閉扉7により清浄室1の空気流出口の面積をできる
だけしぼって清浄室lの内圧を外界より高くした状態で
使用するが、作業の都合により清浄室lの空気流出口の
面積を大きく広げた状態で使用しなければならない場合
もある。この場合は、清浄室1の内圧が大気圧近くまで
低下し、特に空気吹出口1Oの周囲にある本体周壁11
の折曲部下面と開閉扉7の裏面1とで囲まれた清浄室l
の隅部1aは吹出し気流の吸引作用を受けて外界よりも
負圧となり、この負圧部分にすき間12から外気か流入
して室内清浄度を低下させる恐れがある。その対策とし
て従来は、前記本体周壁11の折曲部に開閉扉7と摺動
接触するバッキング13を押え板14により取付けてい
たが、第1図の例と同様に開閉扉7とバッキング13と
のすき間をなくすことができないため、第2図(b)の
矢印で示すように開閉扉7と本体周壁11およびバッキ
ング13とのすき間、あるいはバッキング13と本体周
壁11との取付面のすき間を通って清浄室lの負圧部分
1aに外気が流入し、室内清浄度が低下するのを十分防
止できなかった。
第3図は自動ドア付きエアーシャワー装置の従来例を示
す。同図(a)において、自動ドアとして構成された開
閉扉18の片側はクリーンルーム(清浄室)16に面し
、他の片側はエアーシャワー装置内部のシャワー室17
に面しており、シャワー室17を通ってクリーンルーム
16と外界50との間を人や器材が往来できるようにな
っている。自動ドア駆動部ケース20はクリーンルーム
16の開口部周辺に相当するエアーシャワー装置本体ケ
ース19の端部に取付けられ、その内部に駆動モータ2
1、駆動プーリ22a、アイドルブー!122b、駆動
ベルト23、駆動用ブラケット24、ガイドローラ25
、ガイドレール26などの駆動部品か収納されている。
ドア駆動機構は、第3図(b)に示すように駆動ブー!
J 22aとアイドルブー’J22bとの間に掛は渡し
た駆動ベルト23と開閉扉18をブラケット24を介し
て連結し、駆動モータ21の軸に取付けた駆動ブー!J
 22aの回転により、カイトローラ25を介してガイ
ドレール26に吊り下げられた開閉扉18を駆動ベルト
23、駆動用ブラケット24とともに左右に移動させる
ようになっている。
ドア駆動部ケース2oの下面に開口した溝部周壁と開閉
扉18との間には開閉扉18を摺動させるためのすき間
27が設けられており、ドア駆動部ケース20の内部空
間28はすき間27を介してクリーンルーム16と連通
し、常にクリーンルーム内と同圧になっている。
このような従来の自動ドア付きエアーシャワー装置にお
いては、扉開閉時に駆動ブー!j 22aとの摩擦によ
って駆動ベルト23がら発生した粉塵が第3図fa)の
矢印で示すようにすき間27を通ってクリーンルーム1
6内に拡散し、室内清浄度を低下させる恐れがあった。
実測値によれば、扉開閉時のブー!j 22aとベルト
23の摩擦による局部発塵量は、0.5μm以上の粒子
数で約6000個、0.3μm以上の粒子数では約30
000個にのぼる場合があり、出入りの多いクリーンル
ームでは無視できない汚染源となる。しかも、この場合
は開閉扉18がドア駆動部ケース20の溝内を摺動する
関係上、すき間27を防塵バッキングでふさぐこともで
きない。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、開閉扉とこれを取付けた壁面との間に
すき間があっても、このすき間を通って塵埃、雑菌など
の汚染物が清浄空間内に侵入し清浄空間内の清浄度を低
下させることのない空気清浄装置を提供することにある
。
〔発明の概要〕
本発明は、第1の空間と清浄に保たれた第2の空間とを
仕切る開閉自在に設けられたシャッタを備えたものにお
いて、前記第1の空間と前記第2の空間との間に前記シ
ャッタに沿って開口する第3の空間を形成シ、゛前記第
3の空間の圧力を調整する圧力調整手段を設けたことを
特徴とする空気清浄装置である。
〔発明の実施例〕
第4図および第5図は有害物質や危険な病原体などを扱
うための循環気流形クリーンベンチに適用した本発明の
第1の実施例を示す。
本実施例の第1図に示す従来例と異なる点は、第2の空
間である清浄室1の開口部周辺の一部(上辺部)に本体
周壁11の折曲部1’laとバッキング13a、 13
bによりシャッタである開閉扉7に面した第3の空間2
9を形成するとともに、該空間2つを清浄室1と第1の
空間である外界5oとのいずれとも異なる圧力に保持す
る圧力調整手段を設けたことにある。それ以外の基本的
構成および機能は第1図の従来例と変わりがないので、
対応する部分に同一符号を付して示すのみで、説明を省
略する。
第4図(a)の実線Cで囲んだ部分についてさらにfi
シ<説明すると、第4図fb)に拡大して示すようにバ
ッキング13a、 13bは本体周壁11の]字形に形
成されたUj曲部]1aの対向する2辺にそれぞれ押え
板14a、 14bによって取付けられ、これらバッキ
ング13a、 13bの間に第3の空間29が形成され
ている。該空間29はバッキング13aを介して開閉扉
7と本体周壁11とのすき間12に隣接し、バッキング
13bを介して清浄室lに隣接している。第5図に示す
ように、開口部2の上辺部に沿って形成された空間29
の長手方向の両端は清浄室1の左右両側にある空気通路
30に連通し、該空気通路30の下部は送風機4が収納
されている作業台下部空間9に接続して、空間29を清
浄室lと外界とのいずれとも異なる圧力に保持する圧力
調整手段を構成している。すなわち本例では、送風機4
の運転時に空間29内の空気が空気通路30、作業台下
部空間9を通して送風機4により吸引されるため、該空
間29は清浄室lと外界のいずれよりも低い圧力になる
。
したがって、第4図(blの矢印で示すように、開閉扉
7と本体周壁11とのすき間12から開閉扉7とバッキ
ング13aとのすき間を通って空間29へ流入する外気
の流れと、清浄室Jから開閉扉7とバッキング13bと
のすき間を通って空間29へ流入する清浄空気の流れが
生じ、空間29に流入した外気はすべて送風機4により
抽出されるので、すき間12を通って清浄室1へ外気が
流入する恐れは全(なくなり、また、清浄室l内の有害
物質や危険な病原体がすき間12を通って外界へ流出す
る恐れもない。
この場合、空間29と清浄室1および外界との圧力差を
維持てきさえすれば、バッキング13a、 13bと開
閉扉7との間に多少すき間があっても差支えないので、
バッキングによる摩擦力を小さくすることができ、小さ
な力で開閉扉7を開閉できるこ。
とになる。
第5図の31は開閉扉7を上下動させるため開口部2の
両側に設けられたガイド部である。
このようなスライド式開閉扉を有するクリーンベンチに
おいて、室内清浄度に大きな影響を及ぼすのは前記すき
間12からの外気の流入である。したがって、外気の流
入による室内清浄度の低下を防止するためには、開口部
2の上辺部に沿って前記空間29を設ければ実用的には
十分であるが、必要とあればガイド31が設けられた開
口部2の両側部にも空気通路30と連通ずる第3の空間
29を設けて、開閉扉7とがイド31とのすき間からの
外気の流入を防止することもできる。
上記実施例では、第3の空間29を開口部2の上辺部に
沿ったすき間12の下部に設けているが、すき間12の
上部あるいはすき間12の中間部に独立した空間29を
設けてもよい。また、すき間12の上下端にバッキング
13a、 13bを取付けてすき間12自体を第3の空
間29として形成してもよい。
また、上記実施例は空間29を清冷室1と外界とのいず
れよりも低い圧力に保持した例であるが、空間29に清
浄空気を押し込む別の圧力調整手段を設けて、該空間2
9を清浄室1と外界とのいずれよりも高い圧力に保持す
るようにしても同等の効果が得られる。その具体的手段
は第2の実施例において説明する。
第6図は開放形クリーンベンチに適用した本発明の第2
の実施例を示す。
本実施例の第2図に示す従来例と異なる点は、開閉扉7
と本体周壁11との間に設けられたすき間−ア」上下端
をバッキング13a、 13bでふさいで開閉扉7に面
した第3の空間29を形成するとともに、該空間29を
清浄室1と外界とのいずれとも異なる圧力に保持する圧
力調整手段を設けたことにある。
それ以外の基本的構成および機能は第2図の従来例と変
わりがないので、対応する部分に同一符号を付して示す
のみで、説明を省略する。
第6図fa、)の実線りで囲った部分についてさらにi
”p L <説明すると、第6図(b)に拡大して示す
ように開閉扉7と本体周壁11との間に設けられたすき
間は上部バッキング13aを介して外界に隣接し、下部
バッキング13bを介して清浄室1と隣接する独立した
空間29を形成している。該空間29は本体周壁の穴3
2を介して第2の給気フィルタ33、第2の給気用送風
機34を有する給気チャンバ35に接続され、このフィ
ルタ33、送風機34、給気チャンバ35により前記空
間29を清浄室1と外界とのいずれとも異なる圧力に保
持する圧力調整手段を構成している。すなわち、送風機
4から送り出された空気の一部は送風機34によりさら
に加圧され、フィルタ33により清浄空気として給気チ
ャンバ35から前記空間29へ送り込まれるので、前記
空間29は清浄室1と外界50とのいずれよりも高い圧
力になる。
このため、第6図(b)の矢印で示すように開閉扉7と
バッキング13aとのすき間を通って空間29から外界
5Oへ向う清浄空気の流れと、開閉扉7とバッキング1
3bとのすき間を通って空間29から清浄室1へ向う清
浄空気の流れが生し、たとえ清浄室1の隅部laが外界
50より負圧になるような使用条件においても、隅部1
aに外気が流入することはない。また本例では、前記空
間29から清浄室Jの隅部1aへ清浄空気が供給される
ので、隅部1aに塵埃を含んだ空気が停滞して清浄室]
の清浄度を低下させることもない。
この場合も、前記空間29と清浄室1および外界15O
との圧力差を維持できさえすれは、バッキング13a、
 13bと開閉扉7との間に多少すき間があっても差支
えないので、バッキングによる摩操力を小さくでき、小
さな力で扉を開閉することかできる。
第7図〜第9図にはシャッタとして自動1・′アが設け
られたエアーシャワー装置に適用した本発明の第3の実
施例を示す。
第7図はエアーシャワー装置の全体構造を示す図で、常
時は循環気流用送風機36のみが作動し、該送風機36
によりシャワー室17内の空気は空気取入口37、循環
気流用ダクl−38、39を経て循環気流用フィルタ4
0へ送られ、フィルタ40で1過された清浄空気が天井
部空気吹出口41からシャワー室17内に放出され、低
風速の循環気流aを形成している。シャワー室17に人
や物品が入ると、ジェット気流用送風機42が作動し、
該送風機42により空気取入口37から取込まれた空気
の一部はジェット気流用ダクト43,44、ジェット気
流用フィルタ45を経て側面部空気吹出口46から高速
ジェット気流としてシャワー室17内に吹出し、人体や
物品に付着した塵埃を除去する。このエアシャワーはク
リーンルーム16の隔壁16′を貫通してクリーンルー
ム16に接続される。
このエアーシャワー装置では、常時送風機36ニよって
循環気流用ダクト38内が第1の空間となる一シャワー
室17より低い圧力に保たれており、一方、これに接続
する第2の空間となるクリーンルーム16は常時シャワ
ー室17より高い圧力に保たれているので、第9図に示
すようにドア駆動部ケース20の内部空間28と前記循
環気流用ダクト38とをドア駆動部ケース2O、エアー
シャワー装置本体周壁19に設けた穴47を介して連通
させておけば、開閉扉18に面した前記内部空間28は
クリーンルーム16とシャワー室17とのいずれよりも
圧力の低い第3の空間となり、第9図の矢印で示すよう
にクリーンルーム16から前記内部空間28へ、さらに
該空間から前記循環気流用ダクト38へ向う気流が生し
る。
したがって、扉開閉時にブー1J 22aとベルト23
の摩擦により発生した粉塵はすべて第7図に示す循環気
流用送風機36に吸込まれてフィルタ40で捕集され、
クリーンルーム16内へ粉塵が拡散して清浄度を低下さ
せることがない。
本実施例では、圧力調整手段としてエアーシャワー装置
の循環気流用送風機を利用しているが、第10図に示す
ようにドア駆動部ケース20に別の吸引用ダクト48を
設け、このダクトを送風機49の吸込口に接続して内部
空間28で発生した粉塵を吸引し、クリーンルーム以外
の場所に排出する構成としても同等の効果が得られる。
また、第9図、第10図の実施例をシャワー室17と外
界50との間に設けられた開閉扉18′に適用すれば、
ドア駆動部からの粉塵の拡散によるシャワー室17の清
浄度低下を防止することもできる。
以上の実施例はスライド式開閉扉を有する空気清浄装置
を対象としているか、これに限ることなく、第11図に
示すように第1の空間と第2の空間の間に設けられた蝶
番式開閉扉18″に適用してもよ(、扉18“の周囲に
第3の空間28′を設け、この空間28′を図示しない
送風機の吸込口に接続して第1の空間および第2の空間
より低い圧力として扉周囲のすき間から清浄空間への汚
染物の侵入を防止する手段としてもよく、これは特に負
圧式クリーンルームに有効である。
なお、第1j図において51は蝶番、52は扉の把手で
ある。本発明は以上例示した以外でも開閉扉を有する空
気清浄装置にはすべて適用することができる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、開閉扉とこれを取付けた壁面との間に
すき間があっても、このすき間から清浄室への汚染物の
侵入を防止し、室内清浄度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は第1の従来例を示す図で、(a)は側断面図、
(blはそのA部拡大図、第2図は第2の従来例を示す
図で、(a)は側断面図、(blはそのB部拡大図、第
3図は第3の従来例を示す図で、(a)は要部側断面図
、(b)はドア駆動機構の概要図、第4図、第5図は本
発明の第1の実施例図で、第4図(a)は側断面図、(
b)はそのC部拡大図、第5図は一部切欠いた正面図、
第6図は本発明の第2の実施例図で、(a)は側断面図
、(b)はそのD部拡大図、第7図〜第9図は本発明の
第3の実施例図で、第7図は切断正面図、第8図は第7
図のE−E断面図、第9図は第8図のF−F断面図、第
10図は本発明の第4の実施例を示す要部側断面図、第
1j図は蝶番式開閉扉に本発明を適用した実施例を示す
断面図である。 1.16:第2の空間 7、18.18”:シャッタ 28、28’、 29 :第3の空間 4、30.32.33,34.35.36.38.47
.48.49 :圧力調整手段 17.50:第1の空間 代理人弁理土中村純之助 1 (Q) (b) 2 i2図 (a)(b) 1F4図 (a) (b) 17′5 図 1P6図 (a) (b) 矛7図 1’8図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)第1の空間と清浄に保たれた第2の空間とを仕切
    る開閉自在に設けられたシャッタを備えたものにおいて
    、前記第1の空間と前記警2の空間との間に前記シャッ
    タに沿って開口する第3の空間を形成し、前記第3の空
    間の圧力を調整する圧力調整手段を設けたことを特徴件
    する空気清浄袋置a0
  2. (2)前記圧力調整手段は前記第3の空間より空気を吸
    引し、前記第3の空間を前記第1の空間と前記第2の空
    間のいずれよりも低い圧力に保持するよう構成仝れたこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の空気清浄装
    置。
  3. (3)前記圧力調整手段は前記第3の空間へ清浄空気を
    押し込み、前記第3の空間を前記第1の空間と前記第2
    の空間のいずれよりも高い圧力に保持するよう構成され
    たことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の空気清
    浄装置。
JP58236219A 1983-12-16 1983-12-16 空気清浄装置 Granted JPS60129539A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58236219A JPS60129539A (ja) 1983-12-16 1983-12-16 空気清浄装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58236219A JPS60129539A (ja) 1983-12-16 1983-12-16 空気清浄装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60129539A true JPS60129539A (ja) 1985-07-10
JPH0561541B2 JPH0561541B2 (ja) 1993-09-06

Family

ID=16997541

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58236219A Granted JPS60129539A (ja) 1983-12-16 1983-12-16 空気清浄装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60129539A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2824626A1 (fr) * 2001-05-14 2002-11-15 Pierre Bridenne Procede et dispositif pour diffuser un flux de protection a l'egard d'une ambiance environnante

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5543940B2 (ja) * 2011-04-01 2014-07-09 興研株式会社 開放型クリーンベンチ

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6089538U (ja) * 1983-11-28 1985-06-19 鹿島建設株式会社 クリ−ンル−ムの防塵装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6089538U (ja) * 1983-11-28 1985-06-19 鹿島建設株式会社 クリ−ンル−ムの防塵装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2824626A1 (fr) * 2001-05-14 2002-11-15 Pierre Bridenne Procede et dispositif pour diffuser un flux de protection a l'egard d'une ambiance environnante
WO2002093082A1 (fr) * 2001-05-14 2002-11-21 Acanthe Sarl Procede et dispositif pour diffuser un flux de protection a l'egard d'une ambiance environnante
US7297050B2 (en) 2001-05-14 2007-11-20 Acanthe Method and device for diffusing a protective flux with regard to a surrounding environment

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0561541B2 (ja) 1993-09-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4927438A (en) Horizontal laminar air flow work station
US5964910A (en) Diffusing filter for downdraft air moving appliances
JPH08510826A (ja) 環境制御システム
JPH0798129A (ja) 分離型空気調和機
JPH01288342A (ja) 清浄キャビネット
JP2508365B2 (ja) 冷暖房装置付エレベ―タかご
US20060199509A1 (en) Ventilating system
JPH0561541B2 (ja)
JP3861534B2 (ja) クリーンルーム用無人搬送車
JP2645538B2 (ja) エアシヤワー装置
JPH0763387A (ja) 安全キャビネットの外気吸込装置
JP7569760B2 (ja) 安全キャビネット
JPH10185297A (ja) 空気調和機
JPS62105884A (ja) 搬送装置
JPS61202027A (ja) クリ−ンル−ムの壁体構造
JPH0354342Y2 (ja)
JP4435099B2 (ja) 作業開口面に移動式プッシュ又はプッシュプル気流を備えたフード
JPH0486439A (ja) クリーンルーム内に設置されるベンチ式ユニット
JP4377469B2 (ja) エアーカーテン付き低露点作業装置及びエアーカーテン付き低露点作業設備
JPH0311649Y2 (ja)
JPH086182Y2 (ja) クリーンルーム
JPH01262947A (ja) バイオハザード・アンティルーム
JPH0732538Y2 (ja) クリ−ンル−ム用エレベ−タ
JPH0518617U (ja) 空気清浄装置
JPS62275917A (ja) 室内外間の搬送装置