JPS6013137B2 - 欠陥検出方法 - Google Patents
欠陥検出方法Info
- Publication number
- JPS6013137B2 JPS6013137B2 JP52032417A JP3241777A JPS6013137B2 JP S6013137 B2 JPS6013137 B2 JP S6013137B2 JP 52032417 A JP52032417 A JP 52032417A JP 3241777 A JP3241777 A JP 3241777A JP S6013137 B2 JPS6013137 B2 JP S6013137B2
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- Japan
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- inspected
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、飛像走査または飛点走査により、走行中のフ
ィルム、紙、鋼板等の長尺物体を幅方向に走査して傷、
汚れろ、厚みムラ等の欠陥を検出する欠陥検出方法に関
するものでる。
ィルム、紙、鋼板等の長尺物体を幅方向に走査して傷、
汚れろ、厚みムラ等の欠陥を検出する欠陥検出方法に関
するものでる。
走査型の欠陥検出方法としては、光源からの光を被検査
物体の幅方向に照射し、この反射光または透過光を回転
多面鏡、振動鏡、回転スリット等で走査し、この走査光
を受光器で電気信号に変換して欠陥を検出する飛像走査
方法と、光源からのビーム光を回転多面鏡等で被検査物
体の幅方向に走査し、その反射光またはは透過光を凹面
鏡で集光して受光器に導くようにした飛点走査方法とが
知られている。
物体の幅方向に照射し、この反射光または透過光を回転
多面鏡、振動鏡、回転スリット等で走査し、この走査光
を受光器で電気信号に変換して欠陥を検出する飛像走査
方法と、光源からのビーム光を回転多面鏡等で被検査物
体の幅方向に走査し、その反射光またはは透過光を凹面
鏡で集光して受光器に導くようにした飛点走査方法とが
知られている。
これらの走査型の欠陥検出方法は、被検査物体に隣、汚
れ等があると、その反射光、または透過光が変化するこ
とに着目して光学的に欠陥検出を行なうものである。と
ころでこれらの走査型の欠陥検出方法は、受光器に入射
する光量が幅方向の全域に亘つて一定していないことが
普通である。
れ等があると、その反射光、または透過光が変化するこ
とに着目して光学的に欠陥検出を行なうものである。と
ころでこれらの走査型の欠陥検出方法は、受光器に入射
する光量が幅方向の全域に亘つて一定していないことが
普通である。
一般的には、被検挙物体の幅方向各点から回転鏡までの
距離の相違、光源の位置等の影響によって受光器の出力
信号が凸型の曲線を示す。なお走査光学系の種類および
その調節によっては、２つ山型、凹型の出力曲線を示す
ことがある。このように幅方向に光量の不均一性がある
と、同一程度の傷が被検査物体の中央と、端付近にあっ
た場合に、受光器から出力される欠陥信号は、入射光量
が高い中央部の傷が大きいものとなって現われ、端付近
の隊が４・さし、ものとなって現われる。
距離の相違、光源の位置等の影響によって受光器の出力
信号が凸型の曲線を示す。なお走査光学系の種類および
その調節によっては、２つ山型、凹型の出力曲線を示す
ことがある。このように幅方向に光量の不均一性がある
と、同一程度の傷が被検査物体の中央と、端付近にあっ
た場合に、受光器から出力される欠陥信号は、入射光量
が高い中央部の傷が大きいものとなって現われ、端付近
の隊が４・さし、ものとなって現われる。
その結果、欠陥検出レベルがこれらの間に設定されてい
る場合には、中央の傷が欠陥として検出されるが、端付
近の陽は欠陥検出レベル以上になるため「欠陥として検
出されないことが起こる。そこでト受光器の入射する光
量を被検査物体の幅方向の全域に亘つて一定にするため
に従釆は、多面鏡の｝面による走査角をなるべく４・さ
くして幅方向の光量変化を極小にする方法「被検査物体
の幅方向の両端に相当する部分にスポット光源を１個ず
つ配置して両端部分の光量を予め高めにしておき、これ
を相殺して補正する方法（袴関昭５０−３４８８２号）
「円錐面鏡を用いて円弧状に走査することにより、幅方
向の各点に対する光学長を一定に保って幅方向の光量変
化を少なくする方法〜および光量変化に応じて幅方向の
欠陥検出レベルを調節する処理回路を設けて補正する方
法等が提案されている。しかし多面鏡の走査角を小さく
する方法は「検査幅が狭くなるという欠点があり、また
両端に光源を配置する方法では、両端と中央にピークが
現われ易いため、光源の大きさ、光度等の調節が極めて
面倒であるとし・難点がある。
る場合には、中央の傷が欠陥として検出されるが、端付
近の陽は欠陥検出レベル以上になるため「欠陥として検
出されないことが起こる。そこでト受光器の入射する光
量を被検査物体の幅方向の全域に亘つて一定にするため
に従釆は、多面鏡の｝面による走査角をなるべく４・さ
くして幅方向の光量変化を極小にする方法「被検査物体
の幅方向の両端に相当する部分にスポット光源を１個ず
つ配置して両端部分の光量を予め高めにしておき、これ
を相殺して補正する方法（袴関昭５０−３４８８２号）
「円錐面鏡を用いて円弧状に走査することにより、幅方
向の各点に対する光学長を一定に保って幅方向の光量変
化を少なくする方法〜および光量変化に応じて幅方向の
欠陥検出レベルを調節する処理回路を設けて補正する方
法等が提案されている。しかし多面鏡の走査角を小さく
する方法は「検査幅が狭くなるという欠点があり、また
両端に光源を配置する方法では、両端と中央にピークが
現われ易いため、光源の大きさ、光度等の調節が極めて
面倒であるとし・難点がある。
円錐鏡を用いる方法はト円錐鏡の製作がむずかしいため
「高価になるとともに、大きなものを作ることができな
いから走査幅が４００〜５００肋に限定されるという難
点がある。また処理回路によって欠陥検出レベルを変え
る方法は、処理回路が複雑になり、費用がかかるという
欠点がある。本発明は、上記欠点に鑑み、簡単かつ確実
に幅方向の光量変化を補正することができるようにした
欠陥検出方法を提供することを目的とするものである。
「高価になるとともに、大きなものを作ることができな
いから走査幅が４００〜５００肋に限定されるという難
点がある。また処理回路によって欠陥検出レベルを変え
る方法は、処理回路が複雑になり、費用がかかるという
欠点がある。本発明は、上記欠点に鑑み、簡単かつ確実
に幅方向の光量変化を補正することができるようにした
欠陥検出方法を提供することを目的とするものである。
また本発明は、安価でしかも走査幅が制限されることが
ない欠陥検出方法を提供することを目的とするものであ
る。
ない欠陥検出方法を提供することを目的とするものであ
る。
本発明は、被検査物体の欠陥を光学的に検出する飛像走
査系、または飛点走査系に、受光器の幅方向の全域に亘
ってその受光量が一定となるように調節する光学フィル
ターを挿入したことを特徴とするものである。
査系、または飛点走査系に、受光器の幅方向の全域に亘
ってその受光量が一定となるように調節する光学フィル
ターを挿入したことを特徴とするものである。
この光学フィルターは幅方向の光透過率が受光器の受光
量に対して逆になっているため、受光器からの出力信号
が補正され、横方向の全域に亘って同一の値となる。し
たがって予め受光器の幅方向の出力信号を測定し、これ
が一定レベルとなるような光学フィルターを作って走査
系の光路に配すればよいから、幅方向の受光量の不均一
性が簡単かつ確実に補正することができる。
量に対して逆になっているため、受光器からの出力信号
が補正され、横方向の全域に亘って同一の値となる。し
たがって予め受光器の幅方向の出力信号を測定し、これ
が一定レベルとなるような光学フィルターを作って走査
系の光路に配すればよいから、幅方向の受光量の不均一
性が簡単かつ確実に補正することができる。
また、光学フィルターはＮＤフィルター等を重ね合わせ
ることによって各点の濃度が異なったものを簡単に作る
ことができるから、安価である。さらに光学フィルター
は１仇程度の長いもの作ることができるから「走査幅が
制限されることがない。以下図面を参照して本発明の実
施例について詳細に説明する。
ることによって各点の濃度が異なったものを簡単に作る
ことができるから、安価である。さらに光学フィルター
は１仇程度の長いもの作ることができるから「走査幅が
制限されることがない。以下図面を参照して本発明の実
施例について詳細に説明する。
第１図は帯状の被検査物体を飛像走査系で走査して欠陥
を検出する実施例を示すものである。
を検出する実施例を示すものである。
被検査物体軍‘まその長手方向に連続的に移送されてい
る。この被検査物体１の上方に、その幅方向に延びた光
源２が配されており、この光源２からの光によって被検
査物体１が幅方向に一様に照射される。この被検査物体
１からの反射光は、光学フィル夕−３を透過して回転ミ
ラー４に入射する。この回転ミラ−…こより、被検査物
体１が幅方向に延びた走査線！に沿って走査される。回
転ミラー４で反射された光は受光器５に入り、電気信号
に変換され、例えばブラウン管等に表示される。前記光
学フィルター３が設けられていない場合は「幅方向の受
光量が不均一となり、受光器５の出力信号が例えば第２
図に示すような凸型の曲線となる。そこでこの受光器３
の出力信号を一定のレベルにするために光学フィル夕−
３が光路上に挿入されている。第３図に示すように、光
学フィルター３は、その幅方向の光透過率の変化を示す
曲線が、第２図の受光器の出力信号を示す曲線と逆にな
っている。
る。この被検査物体１の上方に、その幅方向に延びた光
源２が配されており、この光源２からの光によって被検
査物体１が幅方向に一様に照射される。この被検査物体
１からの反射光は、光学フィル夕−３を透過して回転ミ
ラー４に入射する。この回転ミラ−…こより、被検査物
体１が幅方向に延びた走査線！に沿って走査される。回
転ミラー４で反射された光は受光器５に入り、電気信号
に変換され、例えばブラウン管等に表示される。前記光
学フィルター３が設けられていない場合は「幅方向の受
光量が不均一となり、受光器５の出力信号が例えば第２
図に示すような凸型の曲線となる。そこでこの受光器３
の出力信号を一定のレベルにするために光学フィル夕−
３が光路上に挿入されている。第３図に示すように、光
学フィルター３は、その幅方向の光透過率の変化を示す
曲線が、第２図の受光器の出力信号を示す曲線と逆にな
っている。
したがって光学フィルター３の中央部は「光透過率が低
く、その両端部が高くなっているため、受光器５の受光
量が補正され、第４図に示すように幅方向の全域におい
て一定の出力信号が得られる。前記光学フィルター３は
「被検査物体１の幅方向の出力信号を測定し、幅方向の
位置に関係なく一定になるように作られている。
く、その両端部が高くなっているため、受光器５の受光
量が補正され、第４図に示すように幅方向の全域におい
て一定の出力信号が得られる。前記光学フィルター３は
「被検査物体１の幅方向の出力信号を測定し、幅方向の
位置に関係なく一定になるように作られている。
第５図は光学フィルターの実施例を示すものである。こ
の光学フィルター３は、厚さ１０奴程度のＮＤフィルタ
ーを重ねて用いられている。また光透過率の異なったＮ
Ｄフィルターを幅方向に継ぎ合わせて光学フィルターを
作ることもできる。あるいはガラス板に不透明粒子を蒸
着して作ったフィルターを使用してもよい。この場合は
蒸着濃度を幅方向に連続的に変化させることによって１
枚のフィルターとすることもできる。なおＮＤフィルタ
ーの代わりに、一般の色フィルターを使用してもよいこ
とは勿論である。つぎに上記構成の装置の作用について
説明する。
の光学フィルター３は、厚さ１０奴程度のＮＤフィルタ
ーを重ねて用いられている。また光透過率の異なったＮ
Ｄフィルターを幅方向に継ぎ合わせて光学フィルターを
作ることもできる。あるいはガラス板に不透明粒子を蒸
着して作ったフィルターを使用してもよい。この場合は
蒸着濃度を幅方向に連続的に変化させることによって１
枚のフィルターとすることもできる。なおＮＤフィルタ
ーの代わりに、一般の色フィルターを使用してもよいこ
とは勿論である。つぎに上記構成の装置の作用について
説明する。
光源２からの光によって走行中の被検査物体１が走査線
１に沿って一様に照射される。この被検査物体１からの
反射光は、光学フィルター３を透過して幅方向の光量が
一定になるように補正された後、回転ミラー４に入射す
る。この回転ミラー４で被検査物体１の反射光が幅方向
に走査され、受光器５に送られる。この受光器５で被検
査物体亀からの反射光が電気信号に変換され、この電気
信号の出力レベルの変化から傷、汚れ等の欠陥が検出さ
れる。第６図は飛点走査系によって欠陥を検出する実施
例を示すものである。この実施例では、光源１０からの
光が回転鏡１１で振られて被検査物体１の幅方向に延び
た走査線１に沿って走査される。この回転鏡１１と被検
査物体１の間に光学フィルター１２が挿入されている。
被検査物体１からの反射光は、凹面鏡１３によって反射
され受光器５に入射する。なお、前記光学フィルター１
２は凹面鏡に貼着しておくと便利である。前記各実施例
は反射光を測定するものであるが、本発明は透過光を測
定するものにも利用するこができる。
１に沿って一様に照射される。この被検査物体１からの
反射光は、光学フィルター３を透過して幅方向の光量が
一定になるように補正された後、回転ミラー４に入射す
る。この回転ミラー４で被検査物体１の反射光が幅方向
に走査され、受光器５に送られる。この受光器５で被検
査物体亀からの反射光が電気信号に変換され、この電気
信号の出力レベルの変化から傷、汚れ等の欠陥が検出さ
れる。第６図は飛点走査系によって欠陥を検出する実施
例を示すものである。この実施例では、光源１０からの
光が回転鏡１１で振られて被検査物体１の幅方向に延び
た走査線１に沿って走査される。この回転鏡１１と被検
査物体１の間に光学フィルター１２が挿入されている。
被検査物体１からの反射光は、凹面鏡１３によって反射
され受光器５に入射する。なお、前記光学フィルター１
２は凹面鏡に貼着しておくと便利である。前記各実施例
は反射光を測定するものであるが、本発明は透過光を測
定するものにも利用するこができる。
上記横成を有する本発明によれば、光学フィルターを走
査系に挿入して受光器の受光量を補正するものであるか
ら、幅方向の受光量がどのように変化しているものであ
っても簡単にしかも適正に補正することができる。
査系に挿入して受光器の受光量を補正するものであるか
ら、幅方向の受光量がどのように変化しているものであ
っても簡単にしかも適正に補正することができる。
また光学フィルターは例えば安価なＮＤフィルター等を
組み合わせるだけで簡単に作ることができるから、安価
に作ることができる。さらに光学フィルターの長さはｌ
ｍ以上のものも容易に作れるから、被検査物体の幅が１
の以上になってもその幅方向の光量変化を補正すること
ができる。さらにまた回転鏡を被検査物体に近づけて、
その間の距離を従釆よりも短か〈して幅方向の光量変化
を大きくしても、これを簡単に補正することができるた
め、装置を小型にすることが可能である。
組み合わせるだけで簡単に作ることができるから、安価
に作ることができる。さらに光学フィルターの長さはｌ
ｍ以上のものも容易に作れるから、被検査物体の幅が１
の以上になってもその幅方向の光量変化を補正すること
ができる。さらにまた回転鏡を被検査物体に近づけて、
その間の距離を従釆よりも短か〈して幅方向の光量変化
を大きくしても、これを簡単に補正することができるた
め、装置を小型にすることが可能である。
第１図は本発明の方法を実施する装置の斜視図、第２図
は光学フィルターを除去した場合の受光器の幅方向の出
力信号を示すグラフ、第３図は光学フィルターの光透過
率を示すグラフ、第４図は補正後の受光器の出力信号を
示すグラフ、第５図は光学フィルターの平面図、第６図
は別の装置の実施例を示す斜視図である。 １・・・・・・被検査物体、２・・…・光源、３…・・
・光学フィルター、４・・・・・・回転鏡、５…・・・
受光器、１・・・・・・走査線、１０…・・・光源、１
１・・・・・・回転鏡、１３……凹面鏡。 第ー図 第２図 第４図 第５図 第３図 第６図
は光学フィルターを除去した場合の受光器の幅方向の出
力信号を示すグラフ、第３図は光学フィルターの光透過
率を示すグラフ、第４図は補正後の受光器の出力信号を
示すグラフ、第５図は光学フィルターの平面図、第６図
は別の装置の実施例を示す斜視図である。 １・・・・・・被検査物体、２・・…・光源、３…・・
・光学フィルター、４・・・・・・回転鏡、５…・・・
受光器、１・・・・・・走査線、１０…・・・光源、１
１・・・・・・回転鏡、１３……凹面鏡。 第ー図 第２図 第４図 第５図 第３図 第６図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 照明光源からの光を被検査物体の幅方向に照射し、
この被検査物体の幅方向の各点の反射または透過による
走査光を幅方向に連続的に測定して被検査物体の欠陥を
検出する方法において、前記照明光源から被検査物体に
至る光路上、または被検査物体から受光器に至る光路上
に、受光器が受ける幅方向の光量の不均一性を補正する
光学フイルターを配置したことを特徴とする欠陥検出方
法。 ２ 前記光学フイルターが、幅方向の光量変化に応じて
ＮＤフイルター等を複数枚重ね合せたものであることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の欠陥検出方法。 ３ 前記光学フイルターが、幅方向の光量変化に応じて
光透過率の異なったフイルターが幅方向に継ぎ合わされ
たものであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の欠陥検出方法。４ 前記光学フイルターが飛点走査
系の凹面鏡に貼着されていることを特徴とする特許請求
の範囲第１項ないし第３項記載の欠陥検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52032417A JPS6013137B2 (ja) | 1977-03-24 | 1977-03-24 | 欠陥検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52032417A JPS6013137B2 (ja) | 1977-03-24 | 1977-03-24 | 欠陥検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS53118089A JPS53118089A (en) | 1978-10-16 |
| JPS6013137B2 true JPS6013137B2 (ja) | 1985-04-05 |
Family
ID=12358363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52032417A Expired JPS6013137B2 (ja) | 1977-03-24 | 1977-03-24 | 欠陥検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6013137B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59155540U (ja) * | 1983-04-05 | 1984-10-18 | 三菱電機株式会社 | 欠陥検査装置 |
| US6714296B2 (en) | 2001-10-25 | 2004-03-30 | Fuji Photo Film. Co., Ltd. | Method and apparatus for inspecting photosensitive material for surface defects |
| JP2017011246A (ja) * | 2015-06-26 | 2017-01-12 | リンテック株式会社 | 光照射装置および光照射方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50149367A (ja) * | 1974-05-09 | 1975-11-29 |
-
1977
- 1977-03-24 JP JP52032417A patent/JPS6013137B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS53118089A (en) | 1978-10-16 |
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