JPS6014463B2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS6014463B2 JPS6014463B2 JP55056011A JP5601180A JPS6014463B2 JP S6014463 B2 JPS6014463 B2 JP S6014463B2 JP 55056011 A JP55056011 A JP 55056011A JP 5601180 A JP5601180 A JP 5601180A JP S6014463 B2 JPS6014463 B2 JP S6014463B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- image
- electron beam
- magnification
- electromagnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
- H01J37/14—Lenses magnetic
- H01J37/141—Electromagnetic lenses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は透過結像型電子顕微鏡における電子線像の回転
を像倍率とは無関係に独立に制御し得る装置に関する。
を像倍率とは無関係に独立に制御し得る装置に関する。
透過結像型電子顕微鏡はその結像レンズ系として複数の
電磁レンズを用いているが、電磁レンズの鞠外対称磁界
によって電子線に対して回転作用が生じ、像倍率を変化
させる操作に伴って姿光坂上に結像する電子線像の視野
が回転する。第１図と第２図は共に通常の電子顕微鏡に
おける結像レンズ系の構成を示す略図であり、レンズ系
の光軸１に沿って薄膜試料２、対物レンズ３、中間レン
ズ４、投影レンズ５及び鞍光板６が順次配置されている
。第１図には高倍率像を得るための電子線経路が描かれ
ており、試料２を透過した電子線が対物レンズ３により
図中７の位置に像を結像し、該像は中間レンズ４により
８の位置に拡大結像され、更に結像は投影レンズ５によ
り発光版６上に投影結像される状態が示されている。第
２図には中倍率像を得るための電子線経路が描かれてお
り、対物レンズ３の励磁か弱く、試料２を透過した電子
線は中間レンズ４の後方８の位置で初めて電子線像を形
成し、該像が投影レンズ５によって姿光板６上に投影さ
れる。これらの図において、各電子線像は全て同一平面
（紙面）にあるように描かれているが、実線には各数は
光軸１に垂直な平面内で電磁レンズの励磁強度に応じた
角度回転するため蟹光坂上に表示される電子線像はその
像倍率が異なると異なった方向で表示されることになる
。そのため試料の同一領域に関して倍率の異なった多数
の電子線像を写真撮影して比較観察する場合などに視野
の方向がバラバラになって不都合を生じる。本発明はこ
のような問題を解決することを目的とするもので、結像
レンズ系内において形成される電子線像の位置又はその
近傍に電磁レンズを設け、該電磁レンズを象回転制御用
として用いることを特徴とするものである。
電磁レンズを用いているが、電磁レンズの鞠外対称磁界
によって電子線に対して回転作用が生じ、像倍率を変化
させる操作に伴って姿光坂上に結像する電子線像の視野
が回転する。第１図と第２図は共に通常の電子顕微鏡に
おける結像レンズ系の構成を示す略図であり、レンズ系
の光軸１に沿って薄膜試料２、対物レンズ３、中間レン
ズ４、投影レンズ５及び鞍光板６が順次配置されている
。第１図には高倍率像を得るための電子線経路が描かれ
ており、試料２を透過した電子線が対物レンズ３により
図中７の位置に像を結像し、該像は中間レンズ４により
８の位置に拡大結像され、更に結像は投影レンズ５によ
り発光版６上に投影結像される状態が示されている。第
２図には中倍率像を得るための電子線経路が描かれてお
り、対物レンズ３の励磁か弱く、試料２を透過した電子
線は中間レンズ４の後方８の位置で初めて電子線像を形
成し、該像が投影レンズ５によって姿光板６上に投影さ
れる。これらの図において、各電子線像は全て同一平面
（紙面）にあるように描かれているが、実線には各数は
光軸１に垂直な平面内で電磁レンズの励磁強度に応じた
角度回転するため蟹光坂上に表示される電子線像はその
像倍率が異なると異なった方向で表示されることになる
。そのため試料の同一領域に関して倍率の異なった多数
の電子線像を写真撮影して比較観察する場合などに視野
の方向がバラバラになって不都合を生じる。本発明はこ
のような問題を解決することを目的とするもので、結像
レンズ系内において形成される電子線像の位置又はその
近傍に電磁レンズを設け、該電磁レンズを象回転制御用
として用いることを特徴とするものである。
以下図面に基づいて本発明を詳説する。第３図において
、電磁レンズ９（の主面）と物面１０の距離ａとしンズ
９と後面１１の距離ｂの間にはしンズ９の焦点距離をＦ
として次のｍ式が成り立つ。
、電磁レンズ９（の主面）と物面１０の距離ａとしンズ
９と後面１１の距離ｂの間にはしンズ９の焦点距離をＦ
として次のｍ式が成り立つ。
貴十毒＝音 ‐…‐‐（１〕
｛１｝式においてａを減少させてＦ〉ａとなると第４図
に示す如くレンズ９の前方に虚像１２を形成しｂ＜０と
なる。
に示す如くレンズ９の前方に虚像１２を形成しｂ＜０と
なる。
更にａをレンズ９へ近付けると像面ｂもレンズに近付き
レンズ主面の極く近くに物面があると（ａ〒０）像面も
略同じ位置となり、像倍率はｂ／ａご１となる。つまり
この場合、レンズは像位置の変化、拡大、縞少の作用を
伴なわすに像に対する回転作用が現われることになる。
本発明は上述の原理を利用するものでありその−実施例
を第５図に示す。
レンズ主面の極く近くに物面があると（ａ〒０）像面も
略同じ位置となり、像倍率はｂ／ａご１となる。つまり
この場合、レンズは像位置の変化、拡大、縞少の作用を
伴なわすに像に対する回転作用が現われることになる。
本発明は上述の原理を利用するものでありその−実施例
を第５図に示す。
第５図中第１図及び第２図中に用いたものと同一の数字
を付したものは同一の構成要素を表わしており、従釆例
と異なるのは中間レンズ４の嫁面位置に像回転制御用の
電磁レンズ１３が設けられていることである。前記レン
ズ１３の励磁を零とした場合の電子線経路を実線１４で
示し、レンズ１３のレンズコイルへ正負の励磁電流を順
次増加させた場合の電子線経路を破線１５と二点鎖線１
６で示す。このようなしンズ１３の励磁調整によれば蟹
光板６に結像する電子線像の倍率を一定に保つたまま光
軸１を中心軸として擬位置を任意方向に回転させること
ができる。第５図の装置の場合、投影レンズ５の磁極片
の孔径、間隔が比較的小さい事等に原因して、投影レン
ズ５の極〈近くに他のレンズ１３を設けることが実態に
は困難なことも多い。第６図は第５図の装置の欠点を解
決するための実施例を示すもので、投影レンズ５から比
較的離れた位置に像回転制御用の電磁レンズ１７と補助
レンズ１８を設けたものである。
を付したものは同一の構成要素を表わしており、従釆例
と異なるのは中間レンズ４の嫁面位置に像回転制御用の
電磁レンズ１３が設けられていることである。前記レン
ズ１３の励磁を零とした場合の電子線経路を実線１４で
示し、レンズ１３のレンズコイルへ正負の励磁電流を順
次増加させた場合の電子線経路を破線１５と二点鎖線１
６で示す。このようなしンズ１３の励磁調整によれば蟹
光板６に結像する電子線像の倍率を一定に保つたまま光
軸１を中心軸として擬位置を任意方向に回転させること
ができる。第５図の装置の場合、投影レンズ５の磁極片
の孔径、間隔が比較的小さい事等に原因して、投影レン
ズ５の極〈近くに他のレンズ１３を設けることが実態に
は困難なことも多い。第６図は第５図の装置の欠点を解
決するための実施例を示すもので、投影レンズ５から比
較的離れた位置に像回転制御用の電磁レンズ１７と補助
レンズ１８を設けたものである。
図において、中間レンズ４による拡大像は回転制御用レ
ンズ１７の主面近傍に結像されるが、該像は補助レンズ
ｌ６によって投影レンズ５の近傍位置１９に結像する。
これらの像の倍率は各結像レンズ３，４，５に電流を供
給する結像レンズ電源２１を制御する倍率可変手段２２
によって可変され鞍光板上に任意の倍率の像を表示する
ことができる。更に第６図の実施例装置においては回転
制御用レンズ１７と補助レンズ１８のレンズ電源２３が
倍率可変手段２２からの出力によって制御され、倍率の
可変に伴う釜光板上における電子線像の回転を打ち消す
ように構成されているので、前述した本発明の目的が自
動的に達成される。尚同一倍率において電子線像を回転
させる場合の電子線経路を図中に２０，２１，２２で示
した。
ンズ１７の主面近傍に結像されるが、該像は補助レンズ
ｌ６によって投影レンズ５の近傍位置１９に結像する。
これらの像の倍率は各結像レンズ３，４，５に電流を供
給する結像レンズ電源２１を制御する倍率可変手段２２
によって可変され鞍光板上に任意の倍率の像を表示する
ことができる。更に第６図の実施例装置においては回転
制御用レンズ１７と補助レンズ１８のレンズ電源２３が
倍率可変手段２２からの出力によって制御され、倍率の
可変に伴う釜光板上における電子線像の回転を打ち消す
ように構成されているので、前述した本発明の目的が自
動的に達成される。尚同一倍率において電子線像を回転
させる場合の電子線経路を図中に２０，２１，２２で示
した。
第１図及び第２図は電子顕微鏡における結像レンズ系の
作用を説明するための略図、第３図及び第４図は本発明
の原理を説明するための略図、第５図及び第６図は夫々
本発明の実施例装置を示す略図である。 １：光軸、２：試料、３：対物レンズ、４：中間レンズ
、５：投影レンズ、６：姿光板、１３，１７：回転制御
用レンズ、１８：補助レンズ、２１：結像レンズ電源、
２２：倍率可変手段、２３：レンズ電源。 オー図 オＺ図 ズろ園 ※４図 火５釘 ズ６図
作用を説明するための略図、第３図及び第４図は本発明
の原理を説明するための略図、第５図及び第６図は夫々
本発明の実施例装置を示す略図である。 １：光軸、２：試料、３：対物レンズ、４：中間レンズ
、５：投影レンズ、６：姿光板、１３，１７：回転制御
用レンズ、１８：補助レンズ、２１：結像レンズ電源、
２２：倍率可変手段、２３：レンズ電源。 オー図 オＺ図 ズろ園 ※４図 火５釘 ズ６図
Claims (1)
- １ 少なくとも対物レンズ、中間レンズおよび投影レン
ズ以上の電磁レンズから成る結像レンズ系内に、前記中
間レンズによる結像位置またはその近傍をレンズ主面と
する電磁レンズを設け、該電磁レンズの励磁強度を調整
することにより、前記結像レンズ系による電子線像の回
転を制御するように構成したことを特徴とする電子顕微
鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55056011A JPS6014463B2 (ja) | 1980-04-26 | 1980-04-26 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55056011A JPS6014463B2 (ja) | 1980-04-26 | 1980-04-26 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56152145A JPS56152145A (en) | 1981-11-25 |
| JPS6014463B2 true JPS6014463B2 (ja) | 1985-04-13 |
Family
ID=13015108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55056011A Expired JPS6014463B2 (ja) | 1980-04-26 | 1980-04-26 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6014463B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0732108B2 (ja) * | 1982-07-28 | 1995-04-10 | 株式会社日立製作所 | 電子線露光装置 |
| JP3782692B2 (ja) * | 2001-09-06 | 2006-06-07 | 株式会社東芝 | 電子線装置及び該装置を用いた半導体デバイス製造方法 |
-
1980
- 1980-04-26 JP JP55056011A patent/JPS6014463B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56152145A (en) | 1981-11-25 |
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