JPS6015954A - フレ−ム付け装置 - Google Patents
フレ−ム付け装置Info
- Publication number
- JPS6015954A JPS6015954A JP58123266A JP12326683A JPS6015954A JP S6015954 A JPS6015954 A JP S6015954A JP 58123266 A JP58123266 A JP 58123266A JP 12326683 A JP12326683 A JP 12326683A JP S6015954 A JPS6015954 A JP S6015954A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- base
- chute
- pellet
- attaching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
- H10P72/0446—Apparatus for mounting on conductive members, e.g. leadframes or conductors on insulating substrates
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［技術分野］
本発明はフレーム付は技術、特に、ペレットボンダにお
いてリードフレームをベースの上に取りイ］けるために
用いて有効なフレーム付は技術に関する。
いてリードフレームをベースの上に取りイ］けるために
用いて有効なフレーム付は技術に関する。
［背景技術］
サーディツプパッケージ用ベレントポンダにおけるフレ
ーム付は装置は第１図に示すようにそれぞれベースロー
ダ、フレームローダから供給されるベース１とリードフ
レーム２とをそれぞれ同じ高さの平行な２本のシュート
で加熱搬送し、フレーム付は位置でリードフレームをベ
ース上へ移送してフレーム付けを行うものが考えられる
。フレーム付けを終了したベースはその後ペレットボン
ディング位置まで搬送しペレットボンディングを行いア
ンローダへ収納する。
ーム付は装置は第１図に示すようにそれぞれベースロー
ダ、フレームローダから供給されるベース１とリードフ
レーム２とをそれぞれ同じ高さの平行な２本のシュート
で加熱搬送し、フレーム付は位置でリードフレームをベ
ース上へ移送してフレーム付けを行うものが考えられる
。フレーム付けを終了したベースはその後ペレットボン
ディング位置まで搬送しペレットボンディングを行いア
ンローダへ収納する。
ところが、この場合、フレーム付けを行うためには、ベ
ース、リードフレームそれぞれの高さが同じであるため
リードフレームを垂直に持ち上げ、次にベースの真上に
水平に移動した後に下方のベース上へ垂直に降下させて
リードフレームを移送しなければならない。
ース、リードフレームそれぞれの高さが同じであるため
リードフレームを垂直に持ち上げ、次にベースの真上に
水平に移動した後に下方のベース上へ垂直に降下させて
リードフレームを移送しなければならない。
その結果、この装置では、フレーム付けのためにフレー
ム付は手段は、垂直と水平の２方向の動作が必要で、機
構が複雑となり、装置の部品点数が多いという問題があ
る。
ム付は手段は、垂直と水平の２方向の動作が必要で、機
構が複雑となり、装置の部品点数が多いという問題があ
る。
［発明の目的コ
本発明の目的は、より容易にかつ能率的にフレーム付け
を行うことのできる簡単なフレーム付は機構を有するフ
レーム付は装置を提供することにある。
を行うことのできる簡単なフレーム付は機構を有するフ
レーム付は装置を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
［発明の概要］
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。
を簡単に説明すれば、次の通りである。
すなわち、フレームシュートをベースシュートの真上に
配置することにより、ペレット付は手段は上下方向の動
作のみでフレーム付けを行うことが可能となり、簡単で
小型のフレーム付は機構によって能率良くフレーム付け
を行うことができる。
配置することにより、ペレット付は手段は上下方向の動
作のみでフレーム付けを行うことが可能となり、簡単で
小型のフレーム付は機構によって能率良くフレーム付け
を行うことができる。
［実施例１］
第２図は本発明に用いるシュート機構の斜視図、第３図
は本発明によるフレーム付は装置の一実施例を組み込ん
だペレットポンダの略平面図、第４図は第３図の略正面
図、第５図はそのフレーム付は機構の説明図である。
は本発明によるフレーム付は装置の一実施例を組み込ん
だペレットポンダの略平面図、第４図は第３図の略正面
図、第５図はそのフレーム付は機構の説明図である。
このペレットポンダにおいて、ベースローダ１はベース
Ｂを、フレームローダ２はリードフレームＦをそれぞれ
ペースシュート４、フレームシュート２へ１１１Ｉずつ
供給する。第２図に示すように、フレームシュート３は
ペースシュート４の真上に設けである。
Ｂを、フレームローダ２はリードフレームＦをそれぞれ
ペースシュート４、フレームシュート２へ１１１Ｉずつ
供給する。第２図に示すように、フレームシュート３は
ペースシュート４の真上に設けである。
マグネットブロック６ （フレーム付は手段）は、フレ
ームシュー１−３上を搬送されて来たリードフレームＦ
をベースシュート４上のベースＢへ移送してフレーム付
けを行うものであり、フレーム移送装置５により駆動さ
れてる。
ームシュー１−３上を搬送されて来たリードフレームＦ
をベースシュート４上のベースＢへ移送してフレーム付
けを行うものであり、フレーム移送装置５により駆動さ
れてる。
また、フレーム移送装置５の下流側には、ベレン！・ボ
ンディング用のボンディング装置７が設けられ、これよ
りベースシュート４方向に延びたアームの先端には、ペ
レットボンディング後のコレット８が取り４＝Ｊけられ
ている。
ンディング用のボンディング装置７が設けられ、これよ
りベースシュート４方向に延びたアームの先端には、ペ
レットボンディング後のコレット８が取り４＝Ｊけられ
ている。
このコレン１−８へのペレットの供給のため、該コレッ
ト８の前方にはｘＹテーブルを有するペレソ１−供給部
９が設りられ、このベレット供給部９上ノヘレノｌ−ハ
該コレット８とは別のコレット（図示ゼず）により、該
ペレット供給部９とベースシュート４との間にあるペレ
ット位置決め部１０に一度ｔａ送されて位置決めされた
後、該ペレット位置決め部１０からコレット８で真空吸
着してベースＢの金箔上にボンディングされる。ペレッ
トボンディング後のパッケージを収納するため、ベース
シフ−−）４の下流側にはアンローダ１１が設げである
。
ト８の前方にはｘＹテーブルを有するペレソ１−供給部
９が設りられ、このベレット供給部９上ノヘレノｌ−ハ
該コレット８とは別のコレット（図示ゼず）により、該
ペレット供給部９とベースシュート４との間にあるペレ
ット位置決め部１０に一度ｔａ送されて位置決めされた
後、該ペレット位置決め部１０からコレット８で真空吸
着してベースＢの金箔上にボンディングされる。ペレッ
トボンディング後のパッケージを収納するため、ベース
シフ−−）４の下流側にはアンローダ１１が設げである
。
また、本発明におけるフレーム付は機構は第５図に示す
ように、駆動モーフ（図示せず）により上下動カム１２
が回転し所定のカム形状によってカムフォロア１３を介
してレバー１４が揺動させられる構造である。そのレバ
ー１４の先端はスライドシャフト１５に接しており、レ
バー１４の揺動によりスライドシャフト１５がスライド
用ベアリング１６にガイドされて上下する。また、スラ
イドシャフト１５の先端に固定されているマグネットブ
ロック６ば上下動カム１２と一体的に回転するスリット
円板１７により所望のタイミングで励磁されるように、
マグネットブロック６の」二下動との間に所定の調時間
係を有している。
ように、駆動モーフ（図示せず）により上下動カム１２
が回転し所定のカム形状によってカムフォロア１３を介
してレバー１４が揺動させられる構造である。そのレバ
ー１４の先端はスライドシャフト１５に接しており、レ
バー１４の揺動によりスライドシャフト１５がスライド
用ベアリング１６にガイドされて上下する。また、スラ
イドシャフト１５の先端に固定されているマグネットブ
ロック６ば上下動カム１２と一体的に回転するスリット
円板１７により所望のタイミングで励磁されるように、
マグネットブロック６の」二下動との間に所定の調時間
係を有している。
すなわち、リードフレームＦがフレームシュート２上を
マグネットブロック６の下方まで搬送されて来た時に該
マグネットブロック６が励磁され、リードフレームＦ＠
磁力で吸着した後、」二下動カム１２、レバー１４、ス
ライドシャフト１５’Ｊの作用によって下降してそのリ
ードフレームＦをへ−スＢの」−に載せる。
マグネットブロック６の下方まで搬送されて来た時に該
マグネットブロック６が励磁され、リードフレームＦ＠
磁力で吸着した後、」二下動カム１２、レバー１４、ス
ライドシャフト１５’Ｊの作用によって下降してそのリ
ードフレームＦをへ−スＢの」−に載せる。
次に、本実施例の作用について説明する。
ベースローダ１、フレームローダ２がら供給されるベー
スＢ１リードフレームＦはそれぞれペースシュート４と
その真上に平行に設けられたフレームシュート３でフレ
ーム付は位置まで搬送される。フレーム付は位置では、
フレームシュート３上を搬送されて来たリードフレーム
Ｆを、マグネットブロック６によりベースシュート４上
のベースＢの上に降下させ上下方向の動作のみでフレー
ム付けを行う。その後、フレーム付けされたベースＢを
ペレットボンディング位置まで搬送し、ボンディング装
置７でペレットボンディングを行い、アンローダ１１へ
収納する。
スＢ１リードフレームＦはそれぞれペースシュート４と
その真上に平行に設けられたフレームシュート３でフレ
ーム付は位置まで搬送される。フレーム付は位置では、
フレームシュート３上を搬送されて来たリードフレーム
Ｆを、マグネットブロック６によりベースシュート４上
のベースＢの上に降下させ上下方向の動作のみでフレー
ム付けを行う。その後、フレーム付けされたベースＢを
ペレットボンディング位置まで搬送し、ボンディング装
置７でペレットボンディングを行い、アンローダ１１へ
収納する。
したがって、本実施例ではフレーム付けにおいて水平方
向の動作を必要とせず、上下方向の動作のみでフレーム
イ」けを能率良く、簡単に行うことが可能となり、フレ
ーム付は機構の単純化、小型化等が可能である。
向の動作を必要とせず、上下方向の動作のみでフレーム
イ」けを能率良く、簡単に行うことが可能となり、フレ
ーム付は機構の単純化、小型化等が可能である。
［実施例２］
第６図は本発明の実施例２によるフレーム付は機構の説
明図である。
明図である。
この実施例では、上下動のみでフレーム付けを行うこと
のできるフレーム付は手段として真空吸着ヘッド１８を
持つ真空吸着機構が用いられている。この真空吸着ヘッ
ド１８は可撓性のホース１９を介して真空吸引源２０に
接続され、該へ・ノド１８の下面ばリードフレームＦを
吸着できるよう１個または複数個の孔が設けられている
。
のできるフレーム付は手段として真空吸着ヘッド１８を
持つ真空吸着機構が用いられている。この真空吸着ヘッ
ド１８は可撓性のホース１９を介して真空吸引源２０に
接続され、該へ・ノド１８の下面ばリードフレームＦを
吸着できるよう１個または複数個の孔が設けられている
。
この場合も、真空吸引源２０の真空吸引動作は、カム１
２、レバー１４、スライドシャフト１５等による真空吸
着ヘッド１８の上下動と調時間係にあり、フレームシュ
ート３上を搬送されて来たリードフレームＦが真空吸着
ヘッド１８の下方に来ると、真空吸引源２０の作動によ
り該へ・ノド１８はリードフレームＦを真空吸着して、
カム１２等の作用で下降し、そのリードフレームＦをペ
ースシュート４上のベースＢの上に載せる。
２、レバー１４、スライドシャフト１５等による真空吸
着ヘッド１８の上下動と調時間係にあり、フレームシュ
ート３上を搬送されて来たリードフレームＦが真空吸着
ヘッド１８の下方に来ると、真空吸引源２０の作動によ
り該へ・ノド１８はリードフレームＦを真空吸着して、
カム１２等の作用で下降し、そのリードフレームＦをペ
ースシュート４上のベースＢの上に載せる。
［効果］
（１）、フレームシュートをベースシュートの真上に配
設し゛たことにより、フレーム付は手段は上下動作のみ
でフレーム付けを行うことができ、能率の良いフレーム
付けが容易に可能である。
設し゛たことにより、フレーム付は手段は上下動作のみ
でフレーム付けを行うことができ、能率の良いフレーム
付けが容易に可能である。
（２）、フレーム付は手段の動作が上下方向のみであり
、フレーム付は装置の小型化、簡単化が可能である。
、フレーム付は装置の小型化、簡単化が可能である。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
たとえば、第６図に二点鎖線２１で示すように、フレー
ムシュート４上を１般送されて来たリードフレームＦを
受け取って真空吸着ヘッド１８の下側まで持って来る移
送アームを設けることもできる。
ムシュート４上を１般送されて来たリードフレームＦを
受け取って真空吸着ヘッド１８の下側まで持って来る移
送アームを設けることもできる。
［利用分野］
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるペレットボンダに適
用した場合について説明したが、それに限定されるもの
ではなく、たとえば、フレーム付けを単独的に行う専用
のフレーム付は装置として利用することもできる。
をその背景となった利用分野であるペレットボンダに適
用した場合について説明したが、それに限定されるもの
ではなく、たとえば、フレーム付けを単独的に行う専用
のフレーム付は装置として利用することもできる。
第１図は考えられるフレーム付は装置のシュート機構を
示す概略説明図、 第２図は本発明に用いられるフレーム付は機構を示す概
略説明図、 第３図は本発明の実施例によるフレーム付は装置の略平
面図、 第４図はその略正面図、 第５図は本発明のフレーム付は機構の実施例を示す概略
説明図、 第６図は本発明の実施例２によるフレーム付は機構の概
略説明図である。 ■・・・ベースローダ、２・・・フレームローダ、３・
・・フレームシュート、４・・・ペースシュート、５・
・・フレーム移送装置、６・・・マグネットブロック
（フレーム付は手段）、７・−・ボンディング装置、８
・・・コレット、９・・・ペレット供給部、ｌＯ・・・
ペレット位置決め部、１１・・・アンローダ、１２・・
・上下動カム、１３・・・カムフォロア、１４・・・レ
バー、１５・・・スライドシャフト、１６・・・スライ
ド用ヘアリング、１７・・・スリット円板、１８・・・
真空吸着ヘッド（フレーム付は手段）、１９・・・ホー
ス、２０・・・真空吸引源、２１・・・移送アーム。 第 １ 図 第 ２ 図 第 ３ 図 第 ４ 図
示す概略説明図、 第２図は本発明に用いられるフレーム付は機構を示す概
略説明図、 第３図は本発明の実施例によるフレーム付は装置の略平
面図、 第４図はその略正面図、 第５図は本発明のフレーム付は機構の実施例を示す概略
説明図、 第６図は本発明の実施例２によるフレーム付は機構の概
略説明図である。 ■・・・ベースローダ、２・・・フレームローダ、３・
・・フレームシュート、４・・・ペースシュート、５・
・・フレーム移送装置、６・・・マグネットブロック
（フレーム付は手段）、７・−・ボンディング装置、８
・・・コレット、９・・・ペレット供給部、ｌＯ・・・
ペレット位置決め部、１１・・・アンローダ、１２・・
・上下動カム、１３・・・カムフォロア、１４・・・レ
バー、１５・・・スライドシャフト、１６・・・スライ
ド用ヘアリング、１７・・・スリット円板、１８・・・
真空吸着ヘッド（フレーム付は手段）、１９・・・ホー
ス、２０・・・真空吸引源、２１・・・移送アーム。 第 １ 図 第 ２ 図 第 ３ 図 第 ４ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ベースローダから供給されるベースをフレーム付は
位置に搬送するベースシュートと、フレームローダから
供給されるリードフレームをフレーム付は位置にｆｌｕ
送するフレームシュートと、フレーム付は位置に搬送さ
れたリードフレームをベース上に取り付けるフレーム付
は手段とよりなり、前記フレームシュートは前記ペース
シュートの真上に位置していることを特徴とするフレー
ム付は装置。 ２、前記フレーム付は手段は、フレームシュート上を搬
送されて来たリードフレームを磁力で吸着して下方のベ
ースシュート上のベースに取り付ける上下動可能なマグ
ネット機構よりなることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載のフレーム付は装置。 ３、前記フレーム付は手段は、フレームシュート上を１
１９送されて来たリードフレームを真空吸着して下方の
ベースシュート上のベースに取り付ける上下動可能な真
空吸着機構よりなることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載のフレーム付は装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58123266A JPS6015954A (ja) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | フレ−ム付け装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58123266A JPS6015954A (ja) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | フレ−ム付け装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6015954A true JPS6015954A (ja) | 1985-01-26 |
Family
ID=14856307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58123266A Pending JPS6015954A (ja) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | フレ−ム付け装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6015954A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61263230A (ja) * | 1985-05-17 | 1986-11-21 | Hitachi Ltd | ペレット付方法 |
-
1983
- 1983-07-08 JP JP58123266A patent/JPS6015954A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61263230A (ja) * | 1985-05-17 | 1986-11-21 | Hitachi Ltd | ペレット付方法 |
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