JPS60160102A - 感湿抵抗素子 - Google Patents

感湿抵抗素子

Info

Publication number
JPS60160102A
JPS60160102A JP59014739A JP1473984A JPS60160102A JP S60160102 A JPS60160102 A JP S60160102A JP 59014739 A JP59014739 A JP 59014739A JP 1473984 A JP1473984 A JP 1473984A JP S60160102 A JPS60160102 A JP S60160102A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
oxide
moisture
resistance element
sensitive resistance
melting point
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP59014739A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0318721B2 (ja
Inventor
俊彦 鈴木
昇 松井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyota Central R&D Labs Inc
Original Assignee
Toyota Central R&D Labs Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyota Central R&D Labs Inc filed Critical Toyota Central R&D Labs Inc
Priority to JP59014739A priority Critical patent/JPS60160102A/ja
Publication of JPS60160102A publication Critical patent/JPS60160102A/ja
Publication of JPH0318721B2 publication Critical patent/JPH0318721B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
  • Non-Adjustable Resistors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、金属酸化物の焼結体からなり、相対湿度変化
を電気抵抗の変化として検出することができ、しかも空
気中の雑ガスによる検出能劣化が生しにくい感湿抵抗素
子に関するものである。
一般に、!I&湿抵抗抵抗素子感部にはポリアミド樹脂
、ぼりエチレン等の有機高分子、あるいは。
F sm Os 、 Crl ol等の金属酸化物が使
用されている。しかし、金属酸化物の方が有機高分子よ
りも。
化学的、物理的に比較的安定しており、感湿抵抗素子用
材料として有望である。しかし0通常の金属酸化物は、
固有抵抗が高いこと、湿度変化による抵抗変化が小さい
こと、しかも加湿−除湿の条件Tにおいて湿度−抵抗特
性にヒステリシスが存在すること等の欠点を有し、その
ままでは感湿抵抗素子用材料として適当でなかった。そ
こで0発抵抗で、その値がB〜B、桁変化し、高温、高
湿雰囲気Tにおいても長期にわたって特性が変化しない
感湿抵抗素子用材料として+ M l−! A xFe
toa−a系(ここに1M/:マグネシウム(Mg)又
は亜鉛(Zn)、A:アルカリ金属、すなわちリチウム
(Li)、ナトリウム(Na)、もしくはカリウリK)
Fe :鉄)焼成材を見つけ出し、該材料を使用して、
優れた感湿抵抗素子を製作し、既に出願した(特願昭6
6−1965114)。この素子は、比較的清浄な室内
において1年以上使用しても特性変動は極めて小さいと
いう特長を有する。
しかし、煙草の煙等、水分以外のガスにより汚染された
空電中に晒すと、素子の電気抵抗1が高くなり、初期特
性との間に食い違いが発生する。
この特性の食い違いは、素子を約400し以上の温度に
数分間加熱すれば消滅する。しかし使用の途中で、たび
たび加熱処理を必要とするものでは。
素子に加熱用ヒータおよび制御用回路を組込むことが必
要となり、素子自体の構造が複雑になるなどの問題点が
あった・ そこで1発明者らは、上記M1−、A!F、、O,a系
物質に低融点の金属酸化物を添加すると、この物質が煙
草の煙等、水分以外の雑ガスに対して不活性になること
の発見に基づき、上記従来の問題点を克服した感湿抵抗
素子を完成した。すなわち。
本発明は+ MI−x AxFszOa−a (但し0
Mはマグネシウム(Mg)又は亜鉛(Zn)、Aはアル
カリ金属、α001(x(0,2,aは酸素空格子数+
 Feは鉄、Oは酸素)により表わされる複合酸化物と
酸化ホウ素(neon)、酸化ビスマス(BitOn)
酸化バナジウム(Vt Oa )および酸化鉛(PbO
)のうちから少なくとも一種選ばれた低融点酸化物とか
らなることを特徴とする感湿抵抗素子である。
本発明にかかる感湿抵抗素子は、相対湿度変化に対する
電気抵抗変化が大ぎ<、シかも特性にヒスプリミスが少
ないことに加えて、I@<少量の低融点酸化物が存在し
ているために煙草の煙等の雑ガスによる特性劣化が少な
いという優れた性質を有する。
以r0本発明をより詳細に説明する。
本発明にかかる感湿抵抗素子は、複合酸化物と低融点酸
化物とからなるものである。上記複合酸化物はスピネル
であるr MF at 04 JのMのO,1〜201
ト五%を、アルカリ金属で置換した形態を有し−r M
 l−X A エFem0a−a Jの一般式で表わさ
れるものである。
ここに、Xの値としてはα001〜α8の範囲であり、
この範囲内において良好な感湿特性を示す。
さらに、αO1〜α06の範囲内の場合には、相対湿度
と電気抵抗値の対数との関係がほぼ直線比例となり、よ
り使いやすい感湿抵抗素子となる。
また、aはアルカリ金属の量から決まる数値であって、
その値は約x/gである。
一方、上記低融点酸化物は−Bx Ox 、Vt Oa
 。
BitOn、PbOの一種あるいは二種以上を任意の割
合で混合したものでもよい。この低融点酸化物は、@湿
抵抗素子を水分以外のガスに対して不活性とする役目を
有している。感湿抵抗素子中の該低融点酸化物の含有量
は、α5〜2モル%であることが望ましい。gモル%以
上になると雑ガスのみならず、水分に対して屯活性が低
Tし、感湿抵抗素子の感湿感度が低rする。逆に、α6
モル%以丁では、雑ガスに対しても電気抵抗値が変化す
るようになり、該低融点酸化物の添加効果が現われに(
くなる。
該低融点酸化物は、上記複合酸化物を覆うように存在す
る。それ故#惑湿抵抗素子は、これを取りまく大気中の
相対湿度によって電気抵抗値が変化するとともに、低融
点酸化物を含んでいるために。
水分以外の雑ガスによる感度低下が抑制されるという優
れた性能を有する。
すなわち、従来のように、感廖が何丁した場合に行なう
加熱等によるクリーニングも不姿となるので、クリーニ
ング用ヒータおよび制御回路を必要としない。
本発明にかかる感湿抵抗素子は、たとえば次のようにし
て製作することができる。まず、複合酸化物を得るため
に、所望の金ボ酸化物、水酸化物あるいは金属の次酸塩
、硝酸塩等、加熱することによって酸化物となる堆を原
料とし、所望の量。
秤量して混合し、必要であればボールミル等で粉砕する
。得られる混合粉末を80ON1000℃で仮焼成し、
スピネル構造を主体とする複合酸化物とする。
一方、低融点酸化物の粉末を用意し、上記複合酸化物と
混合、粉砕し、粉末の原料を得る。粉末の粒径はα1〜
111mの範囲が、感湿抵抗素子の感度、耐久性等から
見て望ましい。該混合粉末を。
必要であればポリビニ−A//アルコール等の粘結剤を
加えて混練し、 80 kq / d−2ton/d 
f)圧力で1円板状部の所望形状に加圧し、成形体とす
る。さらに、該成形体を11究炉等により、6bO6〜
1100℃でl−を時間焼成し1本発明にかかる感湿抵
抗素子を得る。焼成温度は、混合した低融点酸化物の融
点以上沸点以下の温度である。以上のようにして9本発
明にかかる感湿抵抗素子を製作することができる。
#、W&湿抵抗素子の表面に酸化ル!=ウムの電極。
さらにその上に銀皮膜を形成したのち、リード線をハン
ダ付けしてもよい。
以r1本発明の詳細な説明する。
まず9表の各実施番号1〜16.と比較例としてのC1
,C2に示す組成となるように、ZnO。
MgCO5−N畠、CO,、KNO□−LizCOs、
FすOlのうちの該当するものを組合せて、複合酸化物
用原料を得る。この原料を乳鉢で混合、粉砕したのち。
約bah/dの圧力でr1F径11謂の円板に粗成形し
、800〜1100℃の温度で2時間大気雰囲気の加熱
を行ない、仮焼成体18種を得た。各仮焼成体を再び乳
鉢、乳棒で粉砕して粉末とし、さらに各粉末に各実施番
号に示した低融点酸化物を粉末状態で加え、再混合、粉
砕した。次に、これうf)粉末ヲFE力1 ton/d
 テm! 11 W 、 I!i[さl腑の円板軟体に
成形し8表に示した焼成導度9時間で本焼成した。以上
のようにして本発明にかかる16種の感湿抵抗素子と、
比較用としての2W1の感湿抵抗素子を製作した。
その後、上記感湿抵抗素子の両面を研摩したのち、アセ
トンで洗浄し、m素子の両面に酸化ルテニウム(Rus
t) ペーストを直径10mの円形状に塗布し、大気雰
囲電で800tiに加熱し、電極を焼付けた。さらに、
この電極の一部表面に銀ペーストをつけて700℃に加
熱することにより。
銀の面を形成し、そこに、リード線を半円付けした。
上記感湿抵抗素子の感湿特性を調査するために。
まず、これらの素子なhT温恒湿槽に入れ、槽内の温度
を26℃一定にしたままで、相対湿度な0〜100%の
範囲内で変化させた。この上きの相対湿度と素子の電気
抵抗との関係をめた。素子の11HK抵抗は交流ブリッ
ジ(周波数lKHに)により測定した。電気抵抗値の対
数と相対湿度との間にはほぼ直線の関係が見られる。こ
れらの関係の代表例をm1図に示す。曲線につけた番号
は表に示した実施番号の素子に対応する。
次に、上記素子の煙草の煙による感湿特性の劣化の程度
を調べるために、内容積g50aaの容器内に巻たばこ
を1本人れて燃焼させ、さらに上記素子を投入して24
時間放置した。この試験のあと、相対湿度−電気抵抗の
、関係をめた。上記。
試験を8回繰返したあとの感湿特性には、実施番号1〜
16のものでは初期特性から10形以丁の偏倚しか現れ
なかったが、CIおよびC2比較例においては20%以
上の偏倚を示した。第2図には、′gi!施番号8とC
Iの場合について、初期特性(実線)と、煙による試験
を3回実施したのちの特性(破線)とを比較して示す。
第8図には、!J!施番号8とCIの場合について、た
ばこ試験の回数による特性変化の様子を、相対湿度90
%、60形、80%において測定した抵抗値で示す。こ
れらの図かられかるように9本発明にかかる感湿抵抗素
子は、たばこ試験の回数にかかわらず抵抗値の変化は極
く少ないが、比較例のものでは、試験回数の増加ととも
に抵抗値が増加する。すなわち比較例の素子は煙に晒さ
れると、感湿特性が低rするが9本願にかかる素子の感
湿特性はほとんど変化しないことがわかる。また、低融
点酸化物を添加することによって、低1.&雰囲気中で
の電気抵抗値が若干低下するので1g湿感度は若干低下
構造となるので1機械的強度が向上し、取扱いやすくな
る等の効果も得られた。
【図面の簡単な説明】
第1〜8図は実施例を示す図であり、檎1図は感湿抵抗
素子の相対湿度−電気抵抗特性の代表例を示す線図、第
2図は煙による試験の前後における相対湿度−電気抵抗
特性の代表例を示す@図。 第8図は、たばこ試験の回数と電気抵抗値との関係の代
表例を示す線図である。 特許出顆人 株式会社 豊田中央研究所 (外2名)

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1) M I−x A x FexOa−a (但し
    0Mはマグネシウム又は亜鉛1人はアルカリ金属、α0
    01〈x<O,Q、、aは酸素空格子数)により表わさ
    れる複合酸化物と、酸化ホウ素、酸化ビヒマス、酸化バ
    ナジウムおよび酸化鉛のうちから少なくとも一種選ばれ
    た低融点酸化物とからなることを特徴とする感湿抵抗素
    子。
  2. (2) 上記低融点酸化物は0.5〜2モル%含まれて
    いることを特徴とする特許請求の範囲第(1)項記載の
    感湿抵抗素子。
JP59014739A 1984-01-30 1984-01-30 感湿抵抗素子 Granted JPS60160102A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59014739A JPS60160102A (ja) 1984-01-30 1984-01-30 感湿抵抗素子

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59014739A JPS60160102A (ja) 1984-01-30 1984-01-30 感湿抵抗素子

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60160102A true JPS60160102A (ja) 1985-08-21
JPH0318721B2 JPH0318721B2 (ja) 1991-03-13

Family

ID=11869485

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59014739A Granted JPS60160102A (ja) 1984-01-30 1984-01-30 感湿抵抗素子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60160102A (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0318721B2 (ja) 1991-03-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6054259B2 (ja) 感湿セラミツク
JPS61260605A (ja) セラミツク湿度センサ
JPS6022302A (ja) サ−ミスタ用酸化物半導体
JPS639722B2 (ja)
JPS60160102A (ja) 感湿抵抗素子
KR910001859B1 (ko) 감습소자 조성물
JPH0378761B2 (ja)
JPS6322601B2 (ja)
JPS5840801A (ja) 湿度センサ素子とその製造法
JP3355834B2 (ja) 炭酸ガスセンサ及びその製造方法
JPS5928861B2 (ja) ガス検知素子
JPS6161241B2 (ja)
JPS6317207B2 (ja)
JPS6317203B2 (ja)
JPS5811721B2 (ja) カンシツソシ
JPS6161242B2 (ja)
JPS6145180B2 (ja)
JPH0218310B2 (ja)
JPS6252921B2 (ja)
JPS6317206B2 (ja)
JPH0828283B2 (ja) 感湿素子組成物
JPS60251164A (ja) 感湿材料
JPS6390101A (ja) 湿度センサ
JPS6317201B2 (ja)
JPH0915179A (ja) 炭酸ガスセンサ