JPS60160102A - 感湿抵抗素子 - Google Patents
感湿抵抗素子Info
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- JPS60160102A JPS60160102A JP59014739A JP1473984A JPS60160102A JP S60160102 A JPS60160102 A JP S60160102A JP 59014739 A JP59014739 A JP 59014739A JP 1473984 A JP1473984 A JP 1473984A JP S60160102 A JPS60160102 A JP S60160102A
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- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 17
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 17
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 claims description 5
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 claims description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical group [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 3
- XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- -1 bemuth oxide Chemical compound 0.000 claims description 2
- 229910052810 boron oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N diboron trioxide Chemical compound O=BOB=O JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N oxolead Chemical compound [Pb]=O YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910001935 vanadium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical group [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910000464 lead oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052725 zinc Chemical group 0.000 claims 1
- 239000011701 zinc Chemical group 0.000 claims 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 9
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 7
- 239000000779 smoke Substances 0.000 description 7
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 235000019504 cigarettes Nutrition 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 4
- 241000208125 Nicotiana Species 0.000 description 3
- 235000002637 Nicotiana tabacum Nutrition 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 2
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 2
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 2
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002651 NO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N Nitrate Chemical compound [O-][N+]([O-])=O NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 229910000416 bismuth oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000007791 dehumidification Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N dibismuth;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Bi+3].[Bi+3] TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- XKXQZHCPLQZQRQ-UHFFFAOYSA-N gold;oxoboron Chemical compound [Au].O=[B] XKXQZHCPLQZQRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- HTUMBQDCCIXGCV-UHFFFAOYSA-N lead oxide Chemical compound [O-2].[Pb+2] HTUMBQDCCIXGCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- ZDHURYWHEBEGHO-UHFFFAOYSA-N potassiopotassium Chemical compound [K].[K] ZDHURYWHEBEGHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001925 ruthenium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N ruthenium(iv) oxide Chemical compound O=[Ru]=O WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、金属酸化物の焼結体からなり、相対湿度変化
を電気抵抗の変化として検出することができ、しかも空
気中の雑ガスによる検出能劣化が生しにくい感湿抵抗素
子に関するものである。
を電気抵抗の変化として検出することができ、しかも空
気中の雑ガスによる検出能劣化が生しにくい感湿抵抗素
子に関するものである。
一般に、!I&湿抵抗抵抗素子感部にはポリアミド樹脂
、ぼりエチレン等の有機高分子、あるいは。
、ぼりエチレン等の有機高分子、あるいは。
F sm Os 、 Crl ol等の金属酸化物が使
用されている。しかし、金属酸化物の方が有機高分子よ
りも。
用されている。しかし、金属酸化物の方が有機高分子よ
りも。
化学的、物理的に比較的安定しており、感湿抵抗素子用
材料として有望である。しかし0通常の金属酸化物は、
固有抵抗が高いこと、湿度変化による抵抗変化が小さい
こと、しかも加湿−除湿の条件Tにおいて湿度−抵抗特
性にヒステリシスが存在すること等の欠点を有し、その
ままでは感湿抵抗素子用材料として適当でなかった。そ
こで0発抵抗で、その値がB〜B、桁変化し、高温、高
湿雰囲気Tにおいても長期にわたって特性が変化しない
感湿抵抗素子用材料として+ M l−! A xFe
toa−a系(ここに1M/:マグネシウム(Mg)又
は亜鉛(Zn)、A:アルカリ金属、すなわちリチウム
(Li)、ナトリウム(Na)、もしくはカリウリK)
。
材料として有望である。しかし0通常の金属酸化物は、
固有抵抗が高いこと、湿度変化による抵抗変化が小さい
こと、しかも加湿−除湿の条件Tにおいて湿度−抵抗特
性にヒステリシスが存在すること等の欠点を有し、その
ままでは感湿抵抗素子用材料として適当でなかった。そ
こで0発抵抗で、その値がB〜B、桁変化し、高温、高
湿雰囲気Tにおいても長期にわたって特性が変化しない
感湿抵抗素子用材料として+ M l−! A xFe
toa−a系(ここに1M/:マグネシウム(Mg)又
は亜鉛(Zn)、A:アルカリ金属、すなわちリチウム
(Li)、ナトリウム(Na)、もしくはカリウリK)
。
Fe :鉄)焼成材を見つけ出し、該材料を使用して、
優れた感湿抵抗素子を製作し、既に出願した(特願昭6
6−1965114)。この素子は、比較的清浄な室内
において1年以上使用しても特性変動は極めて小さいと
いう特長を有する。
優れた感湿抵抗素子を製作し、既に出願した(特願昭6
6−1965114)。この素子は、比較的清浄な室内
において1年以上使用しても特性変動は極めて小さいと
いう特長を有する。
しかし、煙草の煙等、水分以外のガスにより汚染された
空電中に晒すと、素子の電気抵抗1が高くなり、初期特
性との間に食い違いが発生する。
空電中に晒すと、素子の電気抵抗1が高くなり、初期特
性との間に食い違いが発生する。
この特性の食い違いは、素子を約400し以上の温度に
数分間加熱すれば消滅する。しかし使用の途中で、たび
たび加熱処理を必要とするものでは。
数分間加熱すれば消滅する。しかし使用の途中で、たび
たび加熱処理を必要とするものでは。
素子に加熱用ヒータおよび制御用回路を組込むことが必
要となり、素子自体の構造が複雑になるなどの問題点が
あった・ そこで1発明者らは、上記M1−、A!F、、O,a系
物質に低融点の金属酸化物を添加すると、この物質が煙
草の煙等、水分以外の雑ガスに対して不活性になること
の発見に基づき、上記従来の問題点を克服した感湿抵抗
素子を完成した。すなわち。
要となり、素子自体の構造が複雑になるなどの問題点が
あった・ そこで1発明者らは、上記M1−、A!F、、O,a系
物質に低融点の金属酸化物を添加すると、この物質が煙
草の煙等、水分以外の雑ガスに対して不活性になること
の発見に基づき、上記従来の問題点を克服した感湿抵抗
素子を完成した。すなわち。
本発明は+ MI−x AxFszOa−a (但し0
Mはマグネシウム(Mg)又は亜鉛(Zn)、Aはアル
カリ金属、α001(x(0,2,aは酸素空格子数+
Feは鉄、Oは酸素)により表わされる複合酸化物と
。
Mはマグネシウム(Mg)又は亜鉛(Zn)、Aはアル
カリ金属、α001(x(0,2,aは酸素空格子数+
Feは鉄、Oは酸素)により表わされる複合酸化物と
。
酸化ホウ素(neon)、酸化ビスマス(BitOn)
。
。
酸化バナジウム(Vt Oa )および酸化鉛(PbO
)のうちから少なくとも一種選ばれた低融点酸化物とか
らなることを特徴とする感湿抵抗素子である。
)のうちから少なくとも一種選ばれた低融点酸化物とか
らなることを特徴とする感湿抵抗素子である。
本発明にかかる感湿抵抗素子は、相対湿度変化に対する
電気抵抗変化が大ぎ<、シかも特性にヒスプリミスが少
ないことに加えて、I@<少量の低融点酸化物が存在し
ているために煙草の煙等の雑ガスによる特性劣化が少な
いという優れた性質を有する。
電気抵抗変化が大ぎ<、シかも特性にヒスプリミスが少
ないことに加えて、I@<少量の低融点酸化物が存在し
ているために煙草の煙等の雑ガスによる特性劣化が少な
いという優れた性質を有する。
以r0本発明をより詳細に説明する。
本発明にかかる感湿抵抗素子は、複合酸化物と低融点酸
化物とからなるものである。上記複合酸化物はスピネル
であるr MF at 04 JのMのO,1〜201
ト五%を、アルカリ金属で置換した形態を有し−r M
l−X A エFem0a−a Jの一般式で表わさ
れるものである。
化物とからなるものである。上記複合酸化物はスピネル
であるr MF at 04 JのMのO,1〜201
ト五%を、アルカリ金属で置換した形態を有し−r M
l−X A エFem0a−a Jの一般式で表わさ
れるものである。
ここに、Xの値としてはα001〜α8の範囲であり、
この範囲内において良好な感湿特性を示す。
この範囲内において良好な感湿特性を示す。
さらに、αO1〜α06の範囲内の場合には、相対湿度
と電気抵抗値の対数との関係がほぼ直線比例となり、よ
り使いやすい感湿抵抗素子となる。
と電気抵抗値の対数との関係がほぼ直線比例となり、よ
り使いやすい感湿抵抗素子となる。
また、aはアルカリ金属の量から決まる数値であって、
その値は約x/gである。
その値は約x/gである。
一方、上記低融点酸化物は−Bx Ox 、Vt Oa
。
。
BitOn、PbOの一種あるいは二種以上を任意の割
合で混合したものでもよい。この低融点酸化物は、@湿
抵抗素子を水分以外のガスに対して不活性とする役目を
有している。感湿抵抗素子中の該低融点酸化物の含有量
は、α5〜2モル%であることが望ましい。gモル%以
上になると雑ガスのみならず、水分に対して屯活性が低
Tし、感湿抵抗素子の感湿感度が低rする。逆に、α6
モル%以丁では、雑ガスに対しても電気抵抗値が変化す
るようになり、該低融点酸化物の添加効果が現われに(
くなる。
合で混合したものでもよい。この低融点酸化物は、@湿
抵抗素子を水分以外のガスに対して不活性とする役目を
有している。感湿抵抗素子中の該低融点酸化物の含有量
は、α5〜2モル%であることが望ましい。gモル%以
上になると雑ガスのみならず、水分に対して屯活性が低
Tし、感湿抵抗素子の感湿感度が低rする。逆に、α6
モル%以丁では、雑ガスに対しても電気抵抗値が変化す
るようになり、該低融点酸化物の添加効果が現われに(
くなる。
該低融点酸化物は、上記複合酸化物を覆うように存在す
る。それ故#惑湿抵抗素子は、これを取りまく大気中の
相対湿度によって電気抵抗値が変化するとともに、低融
点酸化物を含んでいるために。
る。それ故#惑湿抵抗素子は、これを取りまく大気中の
相対湿度によって電気抵抗値が変化するとともに、低融
点酸化物を含んでいるために。
水分以外の雑ガスによる感度低下が抑制されるという優
れた性能を有する。
れた性能を有する。
すなわち、従来のように、感廖が何丁した場合に行なう
加熱等によるクリーニングも不姿となるので、クリーニ
ング用ヒータおよび制御回路を必要としない。
加熱等によるクリーニングも不姿となるので、クリーニ
ング用ヒータおよび制御回路を必要としない。
本発明にかかる感湿抵抗素子は、たとえば次のようにし
て製作することができる。まず、複合酸化物を得るため
に、所望の金ボ酸化物、水酸化物あるいは金属の次酸塩
、硝酸塩等、加熱することによって酸化物となる堆を原
料とし、所望の量。
て製作することができる。まず、複合酸化物を得るため
に、所望の金ボ酸化物、水酸化物あるいは金属の次酸塩
、硝酸塩等、加熱することによって酸化物となる堆を原
料とし、所望の量。
秤量して混合し、必要であればボールミル等で粉砕する
。得られる混合粉末を80ON1000℃で仮焼成し、
スピネル構造を主体とする複合酸化物とする。
。得られる混合粉末を80ON1000℃で仮焼成し、
スピネル構造を主体とする複合酸化物とする。
一方、低融点酸化物の粉末を用意し、上記複合酸化物と
混合、粉砕し、粉末の原料を得る。粉末の粒径はα1〜
111mの範囲が、感湿抵抗素子の感度、耐久性等から
見て望ましい。該混合粉末を。
混合、粉砕し、粉末の原料を得る。粉末の粒径はα1〜
111mの範囲が、感湿抵抗素子の感度、耐久性等から
見て望ましい。該混合粉末を。
必要であればポリビニ−A//アルコール等の粘結剤を
加えて混練し、 80 kq / d−2ton/d
f)圧力で1円板状部の所望形状に加圧し、成形体とす
る。さらに、該成形体を11究炉等により、6bO6〜
1100℃でl−を時間焼成し1本発明にかかる感湿抵
抗素子を得る。焼成温度は、混合した低融点酸化物の融
点以上沸点以下の温度である。以上のようにして9本発
明にかかる感湿抵抗素子を製作することができる。
加えて混練し、 80 kq / d−2ton/d
f)圧力で1円板状部の所望形状に加圧し、成形体とす
る。さらに、該成形体を11究炉等により、6bO6〜
1100℃でl−を時間焼成し1本発明にかかる感湿抵
抗素子を得る。焼成温度は、混合した低融点酸化物の融
点以上沸点以下の温度である。以上のようにして9本発
明にかかる感湿抵抗素子を製作することができる。
#、W&湿抵抗素子の表面に酸化ル!=ウムの電極。
さらにその上に銀皮膜を形成したのち、リード線をハン
ダ付けしてもよい。
ダ付けしてもよい。
以r1本発明の詳細な説明する。
まず9表の各実施番号1〜16.と比較例としてのC1
,C2に示す組成となるように、ZnO。
,C2に示す組成となるように、ZnO。
MgCO5−N畠、CO,、KNO□−LizCOs、
FすOlのうちの該当するものを組合せて、複合酸化物
用原料を得る。この原料を乳鉢で混合、粉砕したのち。
FすOlのうちの該当するものを組合せて、複合酸化物
用原料を得る。この原料を乳鉢で混合、粉砕したのち。
約bah/dの圧力でr1F径11謂の円板に粗成形し
、800〜1100℃の温度で2時間大気雰囲気の加熱
を行ない、仮焼成体18種を得た。各仮焼成体を再び乳
鉢、乳棒で粉砕して粉末とし、さらに各粉末に各実施番
号に示した低融点酸化物を粉末状態で加え、再混合、粉
砕した。次に、これうf)粉末ヲFE力1 ton/d
テm! 11 W 、 I!i[さl腑の円板軟体に
成形し8表に示した焼成導度9時間で本焼成した。以上
のようにして本発明にかかる16種の感湿抵抗素子と、
比較用としての2W1の感湿抵抗素子を製作した。
、800〜1100℃の温度で2時間大気雰囲気の加熱
を行ない、仮焼成体18種を得た。各仮焼成体を再び乳
鉢、乳棒で粉砕して粉末とし、さらに各粉末に各実施番
号に示した低融点酸化物を粉末状態で加え、再混合、粉
砕した。次に、これうf)粉末ヲFE力1 ton/d
テm! 11 W 、 I!i[さl腑の円板軟体に
成形し8表に示した焼成導度9時間で本焼成した。以上
のようにして本発明にかかる16種の感湿抵抗素子と、
比較用としての2W1の感湿抵抗素子を製作した。
その後、上記感湿抵抗素子の両面を研摩したのち、アセ
トンで洗浄し、m素子の両面に酸化ルテニウム(Rus
t) ペーストを直径10mの円形状に塗布し、大気雰
囲電で800tiに加熱し、電極を焼付けた。さらに、
この電極の一部表面に銀ペーストをつけて700℃に加
熱することにより。
トンで洗浄し、m素子の両面に酸化ルテニウム(Rus
t) ペーストを直径10mの円形状に塗布し、大気雰
囲電で800tiに加熱し、電極を焼付けた。さらに、
この電極の一部表面に銀ペーストをつけて700℃に加
熱することにより。
銀の面を形成し、そこに、リード線を半円付けした。
上記感湿抵抗素子の感湿特性を調査するために。
まず、これらの素子なhT温恒湿槽に入れ、槽内の温度
を26℃一定にしたままで、相対湿度な0〜100%の
範囲内で変化させた。この上きの相対湿度と素子の電気
抵抗との関係をめた。素子の11HK抵抗は交流ブリッ
ジ(周波数lKHに)により測定した。電気抵抗値の対
数と相対湿度との間にはほぼ直線の関係が見られる。こ
れらの関係の代表例をm1図に示す。曲線につけた番号
は表に示した実施番号の素子に対応する。
を26℃一定にしたままで、相対湿度な0〜100%の
範囲内で変化させた。この上きの相対湿度と素子の電気
抵抗との関係をめた。素子の11HK抵抗は交流ブリッ
ジ(周波数lKHに)により測定した。電気抵抗値の対
数と相対湿度との間にはほぼ直線の関係が見られる。こ
れらの関係の代表例をm1図に示す。曲線につけた番号
は表に示した実施番号の素子に対応する。
次に、上記素子の煙草の煙による感湿特性の劣化の程度
を調べるために、内容積g50aaの容器内に巻たばこ
を1本人れて燃焼させ、さらに上記素子を投入して24
時間放置した。この試験のあと、相対湿度−電気抵抗の
、関係をめた。上記。
を調べるために、内容積g50aaの容器内に巻たばこ
を1本人れて燃焼させ、さらに上記素子を投入して24
時間放置した。この試験のあと、相対湿度−電気抵抗の
、関係をめた。上記。
試験を8回繰返したあとの感湿特性には、実施番号1〜
16のものでは初期特性から10形以丁の偏倚しか現れ
なかったが、CIおよびC2比較例においては20%以
上の偏倚を示した。第2図には、′gi!施番号8とC
Iの場合について、初期特性(実線)と、煙による試験
を3回実施したのちの特性(破線)とを比較して示す。
16のものでは初期特性から10形以丁の偏倚しか現れ
なかったが、CIおよびC2比較例においては20%以
上の偏倚を示した。第2図には、′gi!施番号8とC
Iの場合について、初期特性(実線)と、煙による試験
を3回実施したのちの特性(破線)とを比較して示す。
第8図には、!J!施番号8とCIの場合について、た
ばこ試験の回数による特性変化の様子を、相対湿度90
%、60形、80%において測定した抵抗値で示す。こ
れらの図かられかるように9本発明にかかる感湿抵抗素
子は、たばこ試験の回数にかかわらず抵抗値の変化は極
く少ないが、比較例のものでは、試験回数の増加ととも
に抵抗値が増加する。すなわち比較例の素子は煙に晒さ
れると、感湿特性が低rするが9本願にかかる素子の感
湿特性はほとんど変化しないことがわかる。また、低融
点酸化物を添加することによって、低1.&雰囲気中で
の電気抵抗値が若干低下するので1g湿感度は若干低下
構造となるので1機械的強度が向上し、取扱いやすくな
る等の効果も得られた。
ばこ試験の回数による特性変化の様子を、相対湿度90
%、60形、80%において測定した抵抗値で示す。こ
れらの図かられかるように9本発明にかかる感湿抵抗素
子は、たばこ試験の回数にかかわらず抵抗値の変化は極
く少ないが、比較例のものでは、試験回数の増加ととも
に抵抗値が増加する。すなわち比較例の素子は煙に晒さ
れると、感湿特性が低rするが9本願にかかる素子の感
湿特性はほとんど変化しないことがわかる。また、低融
点酸化物を添加することによって、低1.&雰囲気中で
の電気抵抗値が若干低下するので1g湿感度は若干低下
構造となるので1機械的強度が向上し、取扱いやすくな
る等の効果も得られた。
第1〜8図は実施例を示す図であり、檎1図は感湿抵抗
素子の相対湿度−電気抵抗特性の代表例を示す線図、第
2図は煙による試験の前後における相対湿度−電気抵抗
特性の代表例を示す@図。 第8図は、たばこ試験の回数と電気抵抗値との関係の代
表例を示す線図である。 特許出顆人 株式会社 豊田中央研究所 (外2名)
素子の相対湿度−電気抵抗特性の代表例を示す線図、第
2図は煙による試験の前後における相対湿度−電気抵抗
特性の代表例を示す@図。 第8図は、たばこ試験の回数と電気抵抗値との関係の代
表例を示す線図である。 特許出顆人 株式会社 豊田中央研究所 (外2名)
Claims (2)
- (1) M I−x A x FexOa−a (但し
0Mはマグネシウム又は亜鉛1人はアルカリ金属、α0
01〈x<O,Q、、aは酸素空格子数)により表わさ
れる複合酸化物と、酸化ホウ素、酸化ビヒマス、酸化バ
ナジウムおよび酸化鉛のうちから少なくとも一種選ばれ
た低融点酸化物とからなることを特徴とする感湿抵抗素
子。 - (2) 上記低融点酸化物は0.5〜2モル%含まれて
いることを特徴とする特許請求の範囲第(1)項記載の
感湿抵抗素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59014739A JPS60160102A (ja) | 1984-01-30 | 1984-01-30 | 感湿抵抗素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59014739A JPS60160102A (ja) | 1984-01-30 | 1984-01-30 | 感湿抵抗素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60160102A true JPS60160102A (ja) | 1985-08-21 |
| JPH0318721B2 JPH0318721B2 (ja) | 1991-03-13 |
Family
ID=11869485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59014739A Granted JPS60160102A (ja) | 1984-01-30 | 1984-01-30 | 感湿抵抗素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60160102A (ja) |
-
1984
- 1984-01-30 JP JP59014739A patent/JPS60160102A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0318721B2 (ja) | 1991-03-13 |
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