JPS60164211A - 容量式変換装置 - Google Patents
容量式変換装置Info
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- JPS60164211A JPS60164211A JP1968684A JP1968684A JPS60164211A JP S60164211 A JPS60164211 A JP S60164211A JP 1968684 A JP1968684 A JP 1968684A JP 1968684 A JP1968684 A JP 1968684A JP S60164211 A JPS60164211 A JP S60164211A
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- capacitance
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- variable capacitor
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/24—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
- G01D5/241—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes
- G01D5/2417—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes by varying separation
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は、圧力、差圧等の被測定量に応じてダイヤフラ
ム等が変位し、この変位によシミ極間の間隔が変化して
これら電極間の容量が変化する可−変コンデンサと、前
記変位に応動しない一定容量の固定コンデンサとを有す
る検出部を用いた容量式変換装置の改良に関する。
ム等が変位し、この変位によシミ極間の間隔が変化して
これら電極間の容量が変化する可−変コンデンサと、前
記変位に応動しない一定容量の固定コンデンサとを有す
る検出部を用いた容量式変換装置の改良に関する。
この種容量式変換装置の検出部は例えば第１図に示すよ
うに構成されている。ガラス等の絶縁体１１と対向して
、一部にダイヤフラム部１２ｍが形成されたシリコン基
板１２が配置されている。
うに構成されている。ガラス等の絶縁体１１と対向して
、一部にダイヤフラム部１２ｍが形成されたシリコン基
板１２が配置されている。
絶縁体１１には固定電極１３ｍと１４ａが同心円状に設
けられている。またシリコン基板１２にも固定電極１３
ａ、１４Ｂと対向して、ダイヤフラム部１２ａに可動電
極１３ｂが、固定部に固定電極１４ｂが設けられている
。これら電極間にはシリコン油が満されておυ、シリコ
ン油ハ開ロ１１ｍ外側でシールダイヤプラム（図示せず
）によって被測定流体からシールされている。シリコン
基板１２の外側は大気圧とされている。したがって絶縁
体１１の開口１１ａを介して与えられる被測定圧力Ｐに
応じてダイヤフラム部１２ａがｆｆｆｉｌ、、その変位
に応じて可動電極１３ｂと固定電極１３ａ間に構成され
る可変コンデンサエ３の容量Ｃ４が変化する。一方固定
電極１４ｂと固定電極１４ａ間に構成される固定コンデ
ンサ１４の容量Ｃ２はダイヤフラム部１２ｍの変位に無
関係に一定である。そして可変コンデンサ１３の容量Ｃ
４は可動電極１３ｂの変位量Ｘに対し、ｘ＝０のときの
初期容量を００．固定電極１３ｍと可動電極１３ｂ間の
初期間隔をｄとすると、 Ｉ Ｑｄ十よ °°”−−−（ｔｌ で与えられ、また基準コンデンサ１４の容量Ｃ２は可変
コンデンサ１３の初期容量Ｃと等しく選ばれている。
けられている。またシリコン基板１２にも固定電極１３
ａ、１４Ｂと対向して、ダイヤフラム部１２ａに可動電
極１３ｂが、固定部に固定電極１４ｂが設けられている
。これら電極間にはシリコン油が満されておυ、シリコ
ン油ハ開ロ１１ｍ外側でシールダイヤプラム（図示せず
）によって被測定流体からシールされている。シリコン
基板１２の外側は大気圧とされている。したがって絶縁
体１１の開口１１ａを介して与えられる被測定圧力Ｐに
応じてダイヤフラム部１２ａがｆｆｆｉｌ、、その変位
に応じて可動電極１３ｂと固定電極１３ａ間に構成され
る可変コンデンサエ３の容量Ｃ４が変化する。一方固定
電極１４ｂと固定電極１４ａ間に構成される固定コンデ
ンサ１４の容量Ｃ２はダイヤフラム部１２ｍの変位に無
関係に一定である。そして可変コンデンサ１３の容量Ｃ
４は可動電極１３ｂの変位量Ｘに対し、ｘ＝０のときの
初期容量を００．固定電極１３ｍと可動電極１３ｂ間の
初期間隔をｄとすると、 Ｉ Ｑｄ十よ °°”−−−（ｔｌ で与えられ、また基準コンデンサ１４の容量Ｃ２は可変
コンデンサ１３の初期容量Ｃと等しく選ばれている。
ところで従来の容量式変換装置では、例えば実公昭５７
−２８０８８号公報に示されているように、検出部の被
測定量に応じて容量が変化する可変コンデンサと一定容
量の基準コンデンサに共通に発振器の発振出力を与え、
それぞれの容量に応じ九交流電流をダイオードで整流し
た後平滑し、可変コンデンサの容量に対応した直流電圧
が一定になるように発振器の発振出力を制御し、固定コ
ンデンサの容量に対応した直流電圧を出力信号とすると
とＫよって、被測定量に応じた電気信号を得ている。
−２８０８８号公報に示されているように、検出部の被
測定量に応じて容量が変化する可変コンデンサと一定容
量の基準コンデンサに共通に発振器の発振出力を与え、
それぞれの容量に応じ九交流電流をダイオードで整流し
た後平滑し、可変コンデンサの容量に対応した直流電圧
が一定になるように発振器の発振出力を制御し、固定コ
ンデンサの容量に対応した直流電圧を出力信号とすると
とＫよって、被測定量に応じた電気信号を得ている。
ところで、可変コンデンサ１３の容量Ｃ１が例えば１０
．Ｆ程度の微小容量の場合には、整流用のダイオードの
２ＰＦ程度の並列容量ＣＤや順方向電圧ＥＤ（＝０．６
Ｖ）の影響を受ける。また、順方向電圧ＥＤの温度係数
（２ｍＶ／℃）のため温度変動による影響も受ける。こ
のように従来の容量式変換装置では、可変コンデンサの
可動電極の微小変位（例えば１μｍ）を精度よく直流信
号に変換することは困難であった。
．Ｆ程度の微小容量の場合には、整流用のダイオードの
２ＰＦ程度の並列容量ＣＤや順方向電圧ＥＤ（＝０．６
Ｖ）の影響を受ける。また、順方向電圧ＥＤの温度係数
（２ｍＶ／℃）のため温度変動による影響も受ける。こ
のように従来の容量式変換装置では、可変コンデンサの
可動電極の微小変位（例えば１μｍ）を精度よく直流信
号に変換することは困難であった。
本発萌の目的は、可変コンデンサの可動電極の微小変位
を精度よく直流信号に変換できる容量式変換装置を実現
するにある。
を精度よく直流信号に変換できる容量式変換装置を実現
するにある。
本発明は、発振器出力が共通に与えられる可変コンデン
サと基準コンデンサの容量をそれぞれ第ｉ 、 ｗ２ｏ
チャージコンバータで交流電圧として検出し、これら
第１．第２のチャージコンバータの出力をそれぞれ可変
コンデンサおよび基準コンデンサの容量よシ大きい容量
の第１．第２の固定コンデンサに印加するとともに各チ
ャージコンバータの帰還回路にそれぞれ補償用のダイオ
ード回路を設け、第１．第２の固定コンデンサを流れる
交流電流をそれぞれダイオードを用いた第１．第２の整
流回路で整流して可変コンデンサの容量に応じた直流電
流と基準コンデンサの容量に応じた直流電流を得、可変
コンデンサの容量に応じた直流電流が所定の値になるよ
うに発振器の発振出力を制御し、基準コンデンサの容量
に応じた直流電流と可変コンデンサの容量に応じた直流
電流との差を演算して出力信号を得るようにしたことを
特徴としたものである。
サと基準コンデンサの容量をそれぞれ第ｉ 、 ｗ２ｏ
チャージコンバータで交流電圧として検出し、これら
第１．第２のチャージコンバータの出力をそれぞれ可変
コンデンサおよび基準コンデンサの容量よシ大きい容量
の第１．第２の固定コンデンサに印加するとともに各チ
ャージコンバータの帰還回路にそれぞれ補償用のダイオ
ード回路を設け、第１．第２の固定コンデンサを流れる
交流電流をそれぞれダイオードを用いた第１．第２の整
流回路で整流して可変コンデンサの容量に応じた直流電
流と基準コンデンサの容量に応じた直流電流を得、可変
コンデンサの容量に応じた直流電流が所定の値になるよ
うに発振器の発振出力を制御し、基準コンデンサの容量
に応じた直流電流と可変コンデンサの容量に応じた直流
電流との差を演算して出力信号を得るようにしたことを
特徴としたものである。
第２図は本発明変換装置の一実施例を示す接続図である
。第２図において、１０は検出部で、被測定圧力Ｐによ
って可動電極１３ｂが変位し電極１３ｍ、１３ｂ 間の
容量Ｃ１が変化する可変コンデンサ１３と、被測定圧Ｐ
に無関係に電極１４ｍ、 １４ｂ間の容量Ｃ２が一定な
基準コンデンサ１４とを有している。２０は発振器で、
その発振出力ｅＢ（周波数ｆ、振幅ＥＢＰＰ）を可変コ
ンデンサ１３と基準コンデンサ１４に印加する。３１．
３２は各々チャージコンバータである。チャージコンバ
ータ３１は演算増幅器３１ａを有し、その入力回路に可
変コンデンサ１３が接続され、帰還回路に互いに逆極性
に接続された補償用ダイオード３１ｂ、３１ｃの並列回
路と、容量値がＣ０のコンデンサ３１ｄと抵抗値がＲ８
，の抵抗３１ｅの並列回路が直列に接続され、その接続
点３１ｊが調整用コンデンサ３１ｆを介してコモンに接
続されている。チャージコンバータ３２は演算増幅器３
２ｍを有し、その入力回路に基準コンデンサ１４が接続
され、帰還回路に互いに逆極性に接続された補償用ダイ
オード３２ｂ、３２ｃ の並列回路と、容量値がｃ、の
コンデンサ３２ｄと抵抗値がＲａ□の抵抗３２ｅの並列
回路が直列に接続され、その接続点３２ｊが調整用コン
デンサ３２ｆを介してコモンに接続されている。４１．
４２は各々固定コンデンサで、４１にはチャージコンバ
ータ３１の出力ｅ、が印加され、４２にはチャージコン
バータ３２の出力ｅ２が印加される。５１．５２は各々
整流回路で、５１はダイオード５１ｍ、５１ｂ からな
り、固定コンデンサ４１を流れる交流電流１．を整流し
、５２はダイオード５２ａ、５２ｂからなり、固定コン
デンサ４２を流れる交流電流１２を整流する。６０は制
御回路で、演算増幅器６０ｍとその帰還回路に接続され
た積分コンデンサ６０ｂとからなる積分器で構成されて
おシ、整流回路５１のダイオード５１ｍを流れる負の直
流電流Ｉ、と、基準電流Ｘ８とを加算積分し、その出力
で発振−２０を制御する。７０は電流／電圧変換回路で
、演算増幅器７０ｍとその帰還回路に接続された可変抵
抗７０ｂと平滑用コンデンサ７０ａよりなっており、整
流回路５１のダイオード５１ｂを流れる正の直流電流！
、と整流回路５２のダイオード５２ｍを流れる負の直流
電流■２ とを加算し出力電圧Ｅ０に変換する。
。第２図において、１０は検出部で、被測定圧力Ｐによ
って可動電極１３ｂが変位し電極１３ｍ、１３ｂ 間の
容量Ｃ１が変化する可変コンデンサ１３と、被測定圧Ｐ
に無関係に電極１４ｍ、 １４ｂ間の容量Ｃ２が一定な
基準コンデンサ１４とを有している。２０は発振器で、
その発振出力ｅＢ（周波数ｆ、振幅ＥＢＰＰ）を可変コ
ンデンサ１３と基準コンデンサ１４に印加する。３１．
３２は各々チャージコンバータである。チャージコンバ
ータ３１は演算増幅器３１ａを有し、その入力回路に可
変コンデンサ１３が接続され、帰還回路に互いに逆極性
に接続された補償用ダイオード３１ｂ、３１ｃの並列回
路と、容量値がＣ０のコンデンサ３１ｄと抵抗値がＲ８
，の抵抗３１ｅの並列回路が直列に接続され、その接続
点３１ｊが調整用コンデンサ３１ｆを介してコモンに接
続されている。チャージコンバータ３２は演算増幅器３
２ｍを有し、その入力回路に基準コンデンサ１４が接続
され、帰還回路に互いに逆極性に接続された補償用ダイ
オード３２ｂ、３２ｃ の並列回路と、容量値がｃ、の
コンデンサ３２ｄと抵抗値がＲａ□の抵抗３２ｅの並列
回路が直列に接続され、その接続点３２ｊが調整用コン
デンサ３２ｆを介してコモンに接続されている。４１．
４２は各々固定コンデンサで、４１にはチャージコンバ
ータ３１の出力ｅ、が印加され、４２にはチャージコン
バータ３２の出力ｅ２が印加される。５１．５２は各々
整流回路で、５１はダイオード５１ｍ、５１ｂ からな
り、固定コンデンサ４１を流れる交流電流１．を整流し
、５２はダイオード５２ａ、５２ｂからなり、固定コン
デンサ４２を流れる交流電流１２を整流する。６０は制
御回路で、演算増幅器６０ｍとその帰還回路に接続され
た積分コンデンサ６０ｂとからなる積分器で構成されて
おシ、整流回路５１のダイオード５１ｍを流れる負の直
流電流Ｉ、と、基準電流Ｘ８とを加算積分し、その出力
で発振−２０を制御する。７０は電流／電圧変換回路で
、演算増幅器７０ｍとその帰還回路に接続された可変抵
抗７０ｂと平滑用コンデンサ７０ａよりなっており、整
流回路５１のダイオード５１ｂを流れる正の直流電流！
、と整流回路５２のダイオード５２ｍを流れる負の直流
電流■２ とを加算し出力電圧Ｅ０に変換する。
このように構成し九本発明装置においては、チャージコ
ンバータ３１．３２の帰還回路の時定数Ｃ１Ｒ１” Ｃ
１２Ｒａ２を発振器２０の発振周期ｉ／ｆよシ充分に大
きく選べば、チャージコンバータ３１゜３２の出力＠、
＋６２の振幅Ｅ、ＰＰ、Ｅ２Ｐ、は補償用ダイオードの
電圧降下による振幅が２ＥＤ であるので、 となり、ｅ、は可変コンデンサ１３の容ｉ ｃ、に、Ｃ
２は基準コンデンサ１４の容量Ｃ２に応じた値と彦る。
ンバータ３１．３２の帰還回路の時定数Ｃ１Ｒ１” Ｃ
１２Ｒａ２を発振器２０の発振周期ｉ／ｆよシ充分に大
きく選べば、チャージコンバータ３１゜３２の出力＠、
＋６２の振幅Ｅ、ＰＰ、Ｅ２Ｐ、は補償用ダイオードの
電圧降下による振幅が２ＥＤ であるので、 となり、ｅ、は可変コンデンサ１３の容ｉ ｃ、に、Ｃ
２は基準コンデンサ１４の容量Ｃ２に応じた値と彦る。
この出力ｅ、＋１１２がそれぞれ固定コンデンサ４１．
４２に印加され、４１．４２にはその容量Ｃｂ４．Ｃｂ
２に応じた交流電流ｉ１．１□が流れる。この交流電流
１．、 Ｉ２を整流回路５１．５２で整流して得た直流
電流Ｉ１．Ｉ２はそれぞれ次式で与えられる。
４２に印加され、４１．４２にはその容量Ｃｂ４．Ｃｂ
２に応じた交流電流ｉ１．１□が流れる。この交流電流
１．、 Ｉ２を整流回路５１．５２で整流して得た直流
電流Ｉ１．Ｉ２はそれぞれ次式で与えられる。
Ｉ、 ＝ｆ（Ｃｂ、（Ｅ、ＰＰ−２ＥＤ）−４０ＤＥＤ
） ・・・（４）Ｉ２＝ｆ（Ｃｂ２（Ｅ２ＰＰ−２ＥＤ
）−４ＣＤＥＤ） ・・・（５）＋４１ 、 ＋５１式
にそれぞれ（２＋ 、 （３１式を代入すると、となる
。したがって固定コンデ／す４１，４２の容量Ｃｂ１．
Ｃｂ２を可変コンデンサ１３の容量ｃ５．基準コンデン
サー４の容量Ｃ２およびチャージコンバータ３１，３２
の帰還回路のコンデンサ３１ｄ。
） ・・・（４）Ｉ２＝ｆ（Ｃｂ２（Ｅ２ＰＰ−２ＥＤ
）−４ＣＤＥＤ） ・・・（５）＋４１ 、 ＋５１式
にそれぞれ（２＋ 、 （３１式を代入すると、となる
。したがって固定コンデ／す４１，４２の容量Ｃｂ１．
Ｃｂ２を可変コンデンサ１３の容量ｃ５．基準コンデン
サー４の容量Ｃ２およびチャージコンバータ３１，３２
の帰還回路のコンデンサ３１ｄ。
３２ｄの容量Ｃａ１ ” Ｃ２よシ充分に大きく選び、
を満足させれば、直流電流”１１”２は、となシ、整流
回路５１．５２のダイオードの順方向電圧ＥＤおよび並
列容量ＣＤの影響を有効に除去することができる。そし
て、Ｃ＝２ＰＦ、ＫＤ〒［Ｌ６Ｖ。
を満足させれば、直流電流”１１”２は、となシ、整流
回路５１．５２のダイオードの順方向電圧ＥＤおよび並
列容量ＣＤの影響を有効に除去することができる。そし
て、Ｃ＝２ＰＦ、ＫＤ〒［Ｌ６Ｖ。
ｆ＝１００ＫＨｚ、 ＥＢＰｐ＝３ＶＰＰ、 Ｃ，、＝
ｃａ、＝１１ ＰＦ。
ｃａ、＝１１ ＰＦ。
Ｃ０＝１１ＰＦであれば、固定コンデンサ４１．４２の
容ｉ ｃ、、 、 ｃ、２ を１０ Ｑ ＰＦ程度に選
ベハ（８）式ノ関係を満足させることができる。
容ｉ ｃ、、 、 ｃ、２ を１０ Ｑ ＰＦ程度に選
ベハ（８）式ノ関係を満足させることができる。
制御回路６０の積分器は負の直流電流！、と正の基準電
流ＩＩＩとの和が零になるように発振器２゜の発振出力
ｅＢを制御するので、次式の関係が成立する。
流ＩＩＩとの和が零になるように発振器２゜の発振出力
ｅＢを制御するので、次式の関係が成立する。
−” ｂｌ ？ ” ＥＢＰＰ＋ Ｉ！ｌ＝０ − （
ｕ１一方電流／電圧変換回路７ｏの出力端に生ずる出力
電圧Ｅ０は、可変抵抗７０ｂの抵抗値をＲとすると次式
で与えられる。
ｕ１一方電流／電圧変換回路７ｏの出力端に生ずる出力
電圧Ｅ０は、可変抵抗７０ｂの抵抗値をＲとすると次式
で与えられる。
ここで、ａつ式に００式を代入し、）１っＣ１＝Ｃ，□
ミ。
ミ。
Ｃｂ、＝Ｃｂ２＝Ｃｂとすると、出力電圧Ｅ０は、Ｅ０
＝ハーニＲ６Ｉ、 曲・曲Ｑ１ トナル。−ｔＬ［、ｃ、 ＝＝ｃｏ７１ｉ７−、 ｃ２
＝ｃ０ であるので、ＥＯは、 Ｅ ＝）二Ｒ１ ０ｄ ａｌｌ ・凹曲Ｉ となシ、可変コンデンサー３の可動電極１３ｍの変位量
Ｘに比例したものとなる。
＝ハーニＲ６Ｉ、 曲・曲Ｑ１ トナル。−ｔＬ［、ｃ、 ＝＝ｃｏ７１ｉ７−、 ｃ２
＝ｃ０ であるので、ＥＯは、 Ｅ ＝）二Ｒ１ ０ｄ ａｌｌ ・凹曲Ｉ となシ、可変コンデンサー３の可動電極１３ｍの変位量
Ｘに比例したものとなる。
表お、可変コンデンサー３および基準コンデンサー４の
電極間にそれぞれストレイ容量Ｃがあシ、ｃ、、ｃ２
が、 ｃ、 ＝ｃ、而＋面８ ・・曲・・・峙ｃ２＝ｃ０＋
ｃ、 聞・曲（ＩＩ で与えられる場合には、第３図に示すように基準コンデ
ンサー４の容量ｃ２に関連した正の直流電流Ｉ２をスベ
リ抵抗８０で分流して補償電流Ｉｒ（＝αｒ２）を制御
回路６ｏの積分器に加え、■、＋αＩ２＋Ｉ、＝＝Ｑ
・・曲・・・αηを満足するように発振器２ｏを制御す
れば、出力電圧Ｅ０は、 ただＬ／ ％ Ｃ＠１＝Ｃａ２ ＝Ｃａ ’ Ｃｂ’
”Ｃｂ２＝ Ｃｂとなる。よって、 ｃ、−ａ （ｃ０＋ｃ、 ）＝ｏ −・−＝ａ＊を満足
するようにスベリ抵抗８０の刷子８０ｍを移動させ、α
を調整すれば電極間のストレイ容量Ｃの影響を有効に除
去することができる。
電極間にそれぞれストレイ容量Ｃがあシ、ｃ、、ｃ２
が、 ｃ、 ＝ｃ、而＋面８ ・・曲・・・峙ｃ２＝ｃ０＋
ｃ、 聞・曲（ＩＩ で与えられる場合には、第３図に示すように基準コンデ
ンサー４の容量ｃ２に関連した正の直流電流Ｉ２をスベ
リ抵抗８０で分流して補償電流Ｉｒ（＝αｒ２）を制御
回路６ｏの積分器に加え、■、＋αＩ２＋Ｉ、＝＝Ｑ
・・曲・・・αηを満足するように発振器２ｏを制御す
れば、出力電圧Ｅ０は、 ただＬ／ ％ Ｃ＠１＝Ｃａ２ ＝Ｃａ ’ Ｃｂ’
”Ｃｂ２＝ Ｃｂとなる。よって、 ｃ、−ａ （ｃ０＋ｃ、 ）＝ｏ −・−＝ａ＊を満足
するようにスベリ抵抗８０の刷子８０ｍを移動させ、α
を調整すれば電極間のストレイ容量Ｃの影響を有効に除
去することができる。
なおｔｓ３図においては、発振器２０としてイ、ンパー
タ２０ａ、２０ｂ とコンデンサ２０ｃおよび抵抗２０
ｄ、２０ｅで構成したものを用いておシ、制御回路６０
の出力でインバータ２０ｍ、２０ｂの正の電源電圧＋■
を制御し、発振出力ｅＢを制御するものを示しである。
タ２０ａ、２０ｂ とコンデンサ２０ｃおよび抵抗２０
ｄ、２０ｅで構成したものを用いておシ、制御回路６０
の出力でインバータ２０ｍ、２０ｂの正の電源電圧＋■
を制御し、発振出力ｅＢを制御するものを示しである。
またチャージコンバー、夕３１（３２）の帰還回路の抵
抗３１ｅ（３２ｅ）の代シに、抵抗３１ｇ（３２ｇ）、
３１ｈ（３２ｈ） およびコンデンサ３１ｊ（３２３
） からなるＴ形フィルタを用いることもてきる。
抗３１ｅ（３２ｅ）の代シに、抵抗３１ｇ（３２ｇ）、
３１ｈ（３２ｈ） およびコンデンサ３１ｊ（３２３
） からなるＴ形フィルタを用いることもてきる。
本発明においては、可変コンデンサの可動電極の微小変
位を精度よく直流信号に変換できる容量式変換装置が得
られる。
位を精度よく直流信号に変換できる容量式変換装置が得
られる。
第１図は本発明装置に用いる検出部の一例の断面図、第
２図は本発明装置の一実施例を示す接続図、第３図は本
発明装置の他の実施例を示す接続図である。 １０・・・検出部 １３・・・可変コンデンサ １４・
・・基準コンデンサ ２０・・・発振器 ３１．３２・
・・チャージコンバータ ３１ｂ、３１ｅ、３２ｂ。 ３２ｅ・・・補償用ダイオード ４１．４２・・・同定
コンデンサ ５１．５２・・・整流回路 ６０・・・制
御回路 ７０・・：を流／鴬圧変換回路
２図は本発明装置の一実施例を示す接続図、第３図は本
発明装置の他の実施例を示す接続図である。 １０・・・検出部 １３・・・可変コンデンサ １４・
・・基準コンデンサ ２０・・・発振器 ３１．３２・
・・チャージコンバータ ３１ｂ、３１ｅ、３２ｂ。 ３２ｅ・・・補償用ダイオード ４１．４２・・・同定
コンデンサ ５１．５２・・・整流回路 ６０・・・制
御回路 ７０・・：を流／鴬圧変換回路
Claims (1)
- 被測定量に応じて容量が変化する可変コンデンサと、被
測定量に無関係に容量が一定な基準コンデンサと、前記
可変コンデンサと固定コンデンサに発振出力を印加する
発振器°と、前記可変コンデンサが入力回路に接続され
、その容量に応じた振幅の交流電圧を出力する第１のチ
ャージコンバータと、前記基準コンデンサが入力回路に
接続され、その容量に応じた振幅の交流電圧を出力する
第２のチャージコンバータと、前記第１のチャージコン
バータの帰還回路に接続された第１の補償用のダイオー
ド回路と、前記第２のチャージコン、（−タの帰還回路
に接続された第２の補償用のダイオード回路と、前記第
１のチャージコンバータの出力が印加される一定容量の
第１の固定コンデンサと、前記第２のチャージコンバー
タの出力が印加される一定容量の第２の固定コンデンサ
と、前記第１の固定コンデンサを流れる交流電流を整流
するダイオードを有する第１の整流回路と、前記第２の
固定コンデンサを流れる交流電流を整流するダイオード
を有する第２の整流回路と、前記第１の整流回路で整流
して得た可変コンデンサの容量に関連する電流が所定の
値になるように前記発振器の発振出力を制御する回路と
、前記第２の整流すの容量に関連する電流との差に応じ
た出力信号を得る回路とを具備したことを特徴とする容
量式
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1968684A JPS60164211A (ja) | 1984-02-06 | 1984-02-06 | 容量式変換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1968684A JPS60164211A (ja) | 1984-02-06 | 1984-02-06 | 容量式変換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60164211A true JPS60164211A (ja) | 1985-08-27 |
| JPH0430529B2 JPH0430529B2 (ja) | 1992-05-22 |
Family
ID=12006117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1968684A Granted JPS60164211A (ja) | 1984-02-06 | 1984-02-06 | 容量式変換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60164211A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002185298A (ja) * | 2000-12-11 | 2002-06-28 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 物理量検出回路 |
-
1984
- 1984-02-06 JP JP1968684A patent/JPS60164211A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002185298A (ja) * | 2000-12-11 | 2002-06-28 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 物理量検出回路 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0430529B2 (ja) | 1992-05-22 |
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