JPH0430529B2 - - Google Patents
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- JPH0430529B2 JPH0430529B2 JP1968684A JP1968684A JPH0430529B2 JP H0430529 B2 JPH0430529 B2 JP H0430529B2 JP 1968684 A JP1968684 A JP 1968684A JP 1968684 A JP1968684 A JP 1968684A JP H0430529 B2 JPH0430529 B2 JP H0430529B2
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- capacitor
- circuit
- capacitance
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 70
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 9
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 9
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/24—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
- G01D5/241—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes
- G01D5/2417—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes by varying separation
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は、圧力、差圧等の被測定量に応じてダ
イヤフラム等が変位し、この変位により電極間の
間隔が変化してこれら電極間の容量が変化する可
変コンデンサと、前記変位に応動しない一定容量
の固定コンデンサとを有する検出部を用いた容量
式変換装置の改良に関する。
イヤフラム等が変位し、この変位により電極間の
間隔が変化してこれら電極間の容量が変化する可
変コンデンサと、前記変位に応動しない一定容量
の固定コンデンサとを有する検出部を用いた容量
式変換装置の改良に関する。
この種容量式変換装置の検出器は例えば第１図
に示すように構成されている。ガラス等の絶縁体
１１と対向して、一部にダイヤフラム部１２ａが
形成されたシリコン基板１２が配置されている。
絶縁体１１には固定電極１３ａと１４ａが同心円
状に設けられている。またシリコン基板１２にも
固定電極１３ａ，１４ａと対向して、ダイヤフラ
ム部１２ａに可動電極１３ｂが、固定部に固定電
極１４ｂが設けられている。これら電極間にはシ
リコン油が満されており、シリコン油は開口１１
ａ外側でシールダイヤフラム（図示せず）によつ
て被測定流体からシールされている。シリコン基
板１２の外側は大気圧とされている。したがつて
絶縁体１１の開口１１ａを介して与えられる被測
定圧力Ｐに応じてダイヤフラム部１２ａが変位
し、その変位に応じて可動電極１３ｂと固定電極
１３ａ間に構成される可変コンデンサ１３の容量
C1が変化する。一方固定電極１４ｂと固定電極
１４ａ間に構成される固定コンデンサ１４の容量
C2はダイヤフラム部１２ａの変位に無関係に一
定である。そして可変コンデンサ１３の容量C1
は可動電極１３ｂの変位量ｘに対し、ｘ＝０のと
きの初期容量をC0、固定電極１３ａと可動電極
１３ｂ間の初期間隔をｄとすると、 C1＝C0ｄ／ｄ＋ｘ ……(1) で与えられ、また基準コンデンサ１４の容量C2
は可変コンデンサ１３の初期容量C0と等しく選
ばれている。
に示すように構成されている。ガラス等の絶縁体
１１と対向して、一部にダイヤフラム部１２ａが
形成されたシリコン基板１２が配置されている。
絶縁体１１には固定電極１３ａと１４ａが同心円
状に設けられている。またシリコン基板１２にも
固定電極１３ａ，１４ａと対向して、ダイヤフラ
ム部１２ａに可動電極１３ｂが、固定部に固定電
極１４ｂが設けられている。これら電極間にはシ
リコン油が満されており、シリコン油は開口１１
ａ外側でシールダイヤフラム（図示せず）によつ
て被測定流体からシールされている。シリコン基
板１２の外側は大気圧とされている。したがつて
絶縁体１１の開口１１ａを介して与えられる被測
定圧力Ｐに応じてダイヤフラム部１２ａが変位
し、その変位に応じて可動電極１３ｂと固定電極
１３ａ間に構成される可変コンデンサ１３の容量
C1が変化する。一方固定電極１４ｂと固定電極
１４ａ間に構成される固定コンデンサ１４の容量
C2はダイヤフラム部１２ａの変位に無関係に一
定である。そして可変コンデンサ１３の容量C1
は可動電極１３ｂの変位量ｘに対し、ｘ＝０のと
きの初期容量をC0、固定電極１３ａと可動電極
１３ｂ間の初期間隔をｄとすると、 C1＝C0ｄ／ｄ＋ｘ ……(1) で与えられ、また基準コンデンサ１４の容量C2
は可変コンデンサ１３の初期容量C0と等しく選
ばれている。
ところで従来の容量式変換装置では、例えば実
公昭57−28088号公報に示されているように、検
出部の被測定量に応じて容量が変化する可変コン
デンサと一定容量の基準コンデンサに共通に発振
器の発振出力を与え、それぞれの容量に応じた交
流電流をダイオードで整流した後平滑し、可変コ
ンデンサの容量に対応した直流電圧が一定になる
ように発振器の発振出力を制御し、固定コンデン
サの容量に対応した直流電圧を出力信号とするこ
とによつて、被測定量に応じた電気信号を得てい
る。
公昭57−28088号公報に示されているように、検
出部の被測定量に応じて容量が変化する可変コン
デンサと一定容量の基準コンデンサに共通に発振
器の発振出力を与え、それぞれの容量に応じた交
流電流をダイオードで整流した後平滑し、可変コ
ンデンサの容量に対応した直流電圧が一定になる
ように発振器の発振出力を制御し、固定コンデン
サの容量に対応した直流電圧を出力信号とするこ
とによつて、被測定量に応じた電気信号を得てい
る。
ところで、可変コンデンサ１３の容量C1が例
えば10PF程度の微小容量の場合には、整流用のダ
イオードの2PF程度の並列容量CDや順方向電圧ED
（＝0.6V）の影響を受ける。また、順方向電圧ED
の温度係数（2mV／℃）のため温度変動による
影響も受ける。このように従来の容量式変換装置
では、可変コンデンサの可動電極の微小変位（例
えば1μm）を精度よく直流信号に変換することは
困難であつた。
えば10PF程度の微小容量の場合には、整流用のダ
イオードの2PF程度の並列容量CDや順方向電圧ED
（＝0.6V）の影響を受ける。また、順方向電圧ED
の温度係数（2mV／℃）のため温度変動による
影響も受ける。このように従来の容量式変換装置
では、可変コンデンサの可動電極の微小変位（例
えば1μm）を精度よく直流信号に変換することは
困難であつた。
本発明の目的は、可変コンデンサの可動電極の
微小変位を精度よく直流信号に変換できる容量式
変換装置を実現するにある。
微小変位を精度よく直流信号に変換できる容量式
変換装置を実現するにある。
本発明は、発振器出力が共通に与えられる可変
コンデンサと基準コンデンサの容量をそれぞれ第
１，第２のチヤージコンバータで交流電圧として
検出し、これら第１，第２のチヤージコンバータ
の出力をそれぞれ可変コンデンサおよび基準コン
デンサの容量より大きい容量の第１，第２の固定
コンデンサに印加するとともに各チヤージコンバ
ータの帰還回路にそれぞれ補償用のダイオード回
路を設け、第１，第２の固定コンデンサを流れる
交流電流をそれぞれダイオードを用いた第１，第
２の整流回路で整流して可変コンデンサの容量に
応じた直流電流と基準コンデンサの容量に応じた
直流電流を得、可変コンデンサの容量に応じた直
流電流が所定の値になるように発振器の発振出力
を制御し、基準コンデンサの容量に応じた直流電
流と可変コンデンサの容量に応じた直流電流との
差を演算して出力信号を得るようにしたことを特
徴としたものである。
コンデンサと基準コンデンサの容量をそれぞれ第
１，第２のチヤージコンバータで交流電圧として
検出し、これら第１，第２のチヤージコンバータ
の出力をそれぞれ可変コンデンサおよび基準コン
デンサの容量より大きい容量の第１，第２の固定
コンデンサに印加するとともに各チヤージコンバ
ータの帰還回路にそれぞれ補償用のダイオード回
路を設け、第１，第２の固定コンデンサを流れる
交流電流をそれぞれダイオードを用いた第１，第
２の整流回路で整流して可変コンデンサの容量に
応じた直流電流と基準コンデンサの容量に応じた
直流電流を得、可変コンデンサの容量に応じた直
流電流が所定の値になるように発振器の発振出力
を制御し、基準コンデンサの容量に応じた直流電
流と可変コンデンサの容量に応じた直流電流との
差を演算して出力信号を得るようにしたことを特
徴としたものである。
第２図は本発明変換装置の一実施例を示す接続
図である。第２図において、１０は検出部で、被
測定圧力Ｐによつて可動電極１３ｂが変位し電極
１３ａ，１３ｂ間の容量C1が変化する可変コン
デンサ１３と、被測定圧Ｐに無関係に電極１４
ａ，１４ｂ間の容量C2が一定な基準コンデンサ
１４とを有している。２０は発振器で、その発振
出力eB（周波数，振幅EBPP）を可変コンデンサ
１３と基準コンデンサ１４に印加する。３１，３
２は各々チヤージコンバータである。チヤージコ
ンバータ３１は演算増幅器３１ａを有し、その入
力回路に可変コンデンサ１３が接続され、帰還回
路に互いに逆極性に接続された補償用ダイオード
３１ｂ，３１ｃの並列回路と、容量値がCa1のコ
ンデンサ３１ｄと抵抗値がRa1の抵抗３１ｅの並
列回路が直列に接続され、その接続点３１ｊが調
整用コンデンサ３１ｆを介してコモンに接続され
ている。チヤージコンバータ３２は演算増幅器３
２ａを有し、その入力回路に基準コンデンサ１４
が接続され、帰還回路に互いに逆極性に接続され
た補償用ダイオード３２ｂ，３２ｃの並列回路
と、容量値がCa2のコンデンサ３２ｄと抵抗値が
Ra2の抵抗３２ｅの並列回路が直列に接続され、
その接続点３２ｊが調整用コンデンサ３２ｆを介
してコモンに接続されている。４１，４２は各々
固定コンデンサで、４１にはチヤージコンバータ
３１の出力e1が印加され、４２にはチヤージコン
バータ３２の出力e2が印加される。５１，５２は
各々整流回路で、５１はダイオード５１ａ，５１
ｂからなり、固定コンデンサ４１を流れる交流電
流i1を整流し、５２はダイオード５２ａ，５２ｂ
からなり、固定コンデンサ４２を流れる交流電流
i2を整流する。６０は制御回路で、演算増幅器６
０ａとその帰還回路に接続された積分コンデンサ
６０ｂとからなる積分器で構成されており、整流
回路５１のダイオード５１ａを流れる負の直流電
流I1と、基準電流ISとを加算積分し、その出力で
発振器２０を制御する。７０は電流／電圧変換回
路で、演算増幅器７０ａとその帰還回路に接続さ
れた可変抵抗７０ｂと平滑用コンデンサ７０ｃよ
りなつており、整流回路５１のダイオード５１ｂ
を流れる正の直流電流I1と整流回路５２のダイオ
ード５２ａを流れる負の直流電流I2とを加算し出
力電圧E0に変換する。
図である。第２図において、１０は検出部で、被
測定圧力Ｐによつて可動電極１３ｂが変位し電極
１３ａ，１３ｂ間の容量C1が変化する可変コン
デンサ１３と、被測定圧Ｐに無関係に電極１４
ａ，１４ｂ間の容量C2が一定な基準コンデンサ
１４とを有している。２０は発振器で、その発振
出力eB（周波数，振幅EBPP）を可変コンデンサ
１３と基準コンデンサ１４に印加する。３１，３
２は各々チヤージコンバータである。チヤージコ
ンバータ３１は演算増幅器３１ａを有し、その入
力回路に可変コンデンサ１３が接続され、帰還回
路に互いに逆極性に接続された補償用ダイオード
３１ｂ，３１ｃの並列回路と、容量値がCa1のコ
ンデンサ３１ｄと抵抗値がRa1の抵抗３１ｅの並
列回路が直列に接続され、その接続点３１ｊが調
整用コンデンサ３１ｆを介してコモンに接続され
ている。チヤージコンバータ３２は演算増幅器３
２ａを有し、その入力回路に基準コンデンサ１４
が接続され、帰還回路に互いに逆極性に接続され
た補償用ダイオード３２ｂ，３２ｃの並列回路
と、容量値がCa2のコンデンサ３２ｄと抵抗値が
Ra2の抵抗３２ｅの並列回路が直列に接続され、
その接続点３２ｊが調整用コンデンサ３２ｆを介
してコモンに接続されている。４１，４２は各々
固定コンデンサで、４１にはチヤージコンバータ
３１の出力e1が印加され、４２にはチヤージコン
バータ３２の出力e2が印加される。５１，５２は
各々整流回路で、５１はダイオード５１ａ，５１
ｂからなり、固定コンデンサ４１を流れる交流電
流i1を整流し、５２はダイオード５２ａ，５２ｂ
からなり、固定コンデンサ４２を流れる交流電流
i2を整流する。６０は制御回路で、演算増幅器６
０ａとその帰還回路に接続された積分コンデンサ
６０ｂとからなる積分器で構成されており、整流
回路５１のダイオード５１ａを流れる負の直流電
流I1と、基準電流ISとを加算積分し、その出力で
発振器２０を制御する。７０は電流／電圧変換回
路で、演算増幅器７０ａとその帰還回路に接続さ
れた可変抵抗７０ｂと平滑用コンデンサ７０ｃよ
りなつており、整流回路５１のダイオード５１ｂ
を流れる正の直流電流I1と整流回路５２のダイオ
ード５２ａを流れる負の直流電流I2とを加算し出
力電圧E0に変換する。
このように構成した本発明装置においては、チ
ヤージコンバータ３１，３２の帰還回路の時定数
Ca1，Ra1，Ca2，Ra2を発振器２０の発振周期１／
より充分に大きく選べば、チヤージコンバータ
３１，３２の出力e1，e2の振幅E1PP，E2PPは補償
用ダイオードの電圧降下による振幅が2EDである
ので、 E1PP＝C1／Ca1・EBPP＋2ED ……(2) E2PP＝C2／Ca2・EBPP＋2ED ……(3) となり、e1は可変コンデンサ１３の容量C1に、e2
は基準コンデンサ１４の容量C2に応じた値とな
る。この出力e1，e2がそれぞれ固定コンデンサ４
１，４２に印加され、４１，４２にはその容量
Cb1，Cb2に応じた交流電流i1，i2が流れる。この
交流電流i1，i2を整流回路５１，５２で整流して
得た直流電流I1，I2はそれぞれ次式で与えられ
る。
ヤージコンバータ３１，３２の帰還回路の時定数
Ca1，Ra1，Ca2，Ra2を発振器２０の発振周期１／
より充分に大きく選べば、チヤージコンバータ
３１，３２の出力e1，e2の振幅E1PP，E2PPは補償
用ダイオードの電圧降下による振幅が2EDである
ので、 E1PP＝C1／Ca1・EBPP＋2ED ……(2) E2PP＝C2／Ca2・EBPP＋2ED ……(3) となり、e1は可変コンデンサ１３の容量C1に、e2
は基準コンデンサ１４の容量C2に応じた値とな
る。この出力e1，e2がそれぞれ固定コンデンサ４
１，４２に印加され、４１，４２にはその容量
Cb1，Cb2に応じた交流電流i1，i2が流れる。この
交流電流i1，i2を整流回路５１，５２で整流して
得た直流電流I1，I2はそれぞれ次式で与えられ
る。
I1＝｛Cb1（E1PP−2ED）−4CDED｝ ……(4)
I2＝｛Cb2（E2PP−2ED）−4CDED｝ ……(5)
(4)，(5)式にそれぞれ(2)，(3)式を代入すると、
I1＝（Cb1C1／Ca1・EBPP−4CDED） ……(6)
I2＝（Cb2C2／Ca2・EBPP−4CDED） ……(7)
となる。したがつて固定コンデンサ４１，４２の
容量Cb1，Cb2を可変コンデンサ１３の容量C1、基
準コンデンサ１４の容量C2およびチヤージコン
バータ３１，３２の帰還回路のコンデンサ３１
ｄ，３２ｄの容量Ca1，Ca2より充分に大きく選
び、 を満足させれば、直流電流I1，I2は、 I1＝Cb1C1／Ca1EBPP ……(9) I2＝Cb2C2／Ca2EBPP ……(10) となり、整流回路５１，５２のダイオードの順方
向電圧EDおよび並列容量CDの影響を有効に除去
することができる。そして、CD＝2PF，ED＝
0.6V，＝100KHz，EBPP＝3VPP，Ca1＝Ca2＝
11PF，C0＝11PFであれば、固定コンデンサ４
１，４２の容量Cb1，Cb2を100PF程度に選べば(8)
式の関係を満足させることができる。
容量Cb1，Cb2を可変コンデンサ１３の容量C1、基
準コンデンサ１４の容量C2およびチヤージコン
バータ３１，３２の帰還回路のコンデンサ３１
ｄ，３２ｄの容量Ca1，Ca2より充分に大きく選
び、 を満足させれば、直流電流I1，I2は、 I1＝Cb1C1／Ca1EBPP ……(9) I2＝Cb2C2／Ca2EBPP ……(10) となり、整流回路５１，５２のダイオードの順方
向電圧EDおよび並列容量CDの影響を有効に除去
することができる。そして、CD＝2PF，ED＝
0.6V，＝100KHz，EBPP＝3VPP，Ca1＝Ca2＝
11PF，C0＝11PFであれば、固定コンデンサ４
１，４２の容量Cb1，Cb2を100PF程度に選べば(8)
式の関係を満足させることができる。
制御回路６０の積分器は負の直流電流I1と正の
基準電流ISとの和が零になるように発振器２０の
発振出力eBを制御するので、次式の関係が成立す
る。
基準電流ISとの和が零になるように発振器２０の
発振出力eBを制御するので、次式の関係が成立す
る。
−Cb1C1／Ca1・EBPP＋IS＝０ ……(11)
一方電流／電圧変換回路７０の出力端に生ずる
出力電圧E0は、可変抵抗７０ｂの抵抗値をR0と
すると次式で与えられる。
出力電圧E0は、可変抵抗７０ｂの抵抗値をR0と
すると次式で与えられる。
E0＝R0（Cb2C2／Ca2−Cb1C1／Ca1）EBPP ……(12)
ここで、(12)式に(11)式を代入し、かつCa1＝Ca2＝
Ca，Cb1＝Cb2＝Cbとすると、出力電圧E0は、 E0＝C2−C1／C1R0IS ……(13) となる。そして、C1＝C0ｄ／ｄ＋ｘ，C2＝C0である ので、E0は、 E0＝ｘ／ｄR0IS ……(14) となり、可変コンデンサ１３の可動電極１３ａの
変位量ｘに比例したものとなる。
Ca，Cb1＝Cb2＝Cbとすると、出力電圧E0は、 E0＝C2−C1／C1R0IS ……(13) となる。そして、C1＝C0ｄ／ｄ＋ｘ，C2＝C0である ので、E0は、 E0＝ｘ／ｄR0IS ……(14) となり、可変コンデンサ１３の可動電極１３ａの
変位量ｘに比例したものとなる。
なお、可変コンデンサ１３および基準コンデン
サ１４の電極間にそれぞれストレイ容量CSがあ
り、C1，C2が、 C1＝C0ｄ／ｄ＋ｘ＋CS ……(15) C2＝C0＋CS ……(16) で与えられる場合には、第３図に示すように基準
コンデンサ１４の容量C2に関連した正の直流電
流I2をスベリ抵抗８０で分流して補償電流Ir（αI2）
を制御回路６０の積分器に加え、 I1＋αI2＋IS＝０ ……(17) を満足するように発振器２０を制御すれば、出力
電圧E0は、 E0＝
C0x／（C0＋CS−αC0−αCS）ｄ＋（CS−αC0−αCS）
ｘ R0IS ……(18) ただし、Ca1＝Ca2＝Ca，Cb1＝Cb2＝Cbとなる。
よつて、 C3−α（C0＋CS）＝０ ……(19) を満足するようにスベリ抵抗８０の刷子８０ａを
移動させ、αを調整すれば電極間のストレイ容量
CSの影響を有効に除去することができる。
サ１４の電極間にそれぞれストレイ容量CSがあ
り、C1，C2が、 C1＝C0ｄ／ｄ＋ｘ＋CS ……(15) C2＝C0＋CS ……(16) で与えられる場合には、第３図に示すように基準
コンデンサ１４の容量C2に関連した正の直流電
流I2をスベリ抵抗８０で分流して補償電流Ir（αI2）
を制御回路６０の積分器に加え、 I1＋αI2＋IS＝０ ……(17) を満足するように発振器２０を制御すれば、出力
電圧E0は、 E0＝
C0x／（C0＋CS−αC0−αCS）ｄ＋（CS−αC0−αCS）
ｘ R0IS ……(18) ただし、Ca1＝Ca2＝Ca，Cb1＝Cb2＝Cbとなる。
よつて、 C3−α（C0＋CS）＝０ ……(19) を満足するようにスベリ抵抗８０の刷子８０ａを
移動させ、αを調整すれば電極間のストレイ容量
CSの影響を有効に除去することができる。
なお第３図においては、発振器２０としてイン
バータ２０ａ，２０ｂとコンデンサ２０ｃおよび
抵抗２０ｄ，２０ｅで構成したものを用いてお
り、制御回路６０の出力でインバータ２０ａ，２
０ｂの正の電源電圧＋Ｖを制御し、発振出力eBを
制御するものを示してある。またチヤージコンバ
ータ３１，３２の帰還回路の抵抗３１ｅ，３２ｅ
の代りに、抵抗３１ｇ，３２ｇ，３１ｈ，３２ｈ
およびコンデンサ３１ｉ，３２ｉからなるＴ形フ
イルタを用いることもできる。
バータ２０ａ，２０ｂとコンデンサ２０ｃおよび
抵抗２０ｄ，２０ｅで構成したものを用いてお
り、制御回路６０の出力でインバータ２０ａ，２
０ｂの正の電源電圧＋Ｖを制御し、発振出力eBを
制御するものを示してある。またチヤージコンバ
ータ３１，３２の帰還回路の抵抗３１ｅ，３２ｅ
の代りに、抵抗３１ｇ，３２ｇ，３１ｈ，３２ｈ
およびコンデンサ３１ｉ，３２ｉからなるＴ形フ
イルタを用いることもできる。
本発明においては、可変コンデンサの可動電極
の微小変位を精度よく直流信号に変換できる容量
式変換装置が得られる。
の微小変位を精度よく直流信号に変換できる容量
式変換装置が得られる。
第１図は本発明装置に用いる検出部の一例の断
面図、第２図は本発明装置の一実施例を示す接続
図、第３図は本発明装置の他の実施例を示す接続
図である。 １０……検出部、１３……可変コンデンサ、１
４……基準コンデンサ、２０……発振器、３１，
３２……チヤージコンバータ、３１ｂ，３１ｃ，
３２ｂ，３２ｃ……補償用ダイオード、４１，４
２……固定コンデンサ、５１，５２……整流回
路、６０……制御回路、７０……電流／電圧変換
回路。
面図、第２図は本発明装置の一実施例を示す接続
図、第３図は本発明装置の他の実施例を示す接続
図である。 １０……検出部、１３……可変コンデンサ、１
４……基準コンデンサ、２０……発振器、３１，
３２……チヤージコンバータ、３１ｂ，３１ｃ，
３２ｂ，３２ｃ……補償用ダイオード、４１，４
２……固定コンデンサ、５１，５２……整流回
路、６０……制御回路、７０……電流／電圧変換
回路。
Claims (1)
- １ 被測定量に応じて容量が変化する可変コンデ
ンサと、被測定量に無関係に容量が一定な基準コ
ンデンサと、前記可変コンデンサと固定コンデン
サに発振出力を印加する発振器と、前記可変コン
デンサが入力回路に接続され、その容量に応じた
振幅の交流電圧を出力する第１のチヤージコンバ
ータと、前記基準コンデンサが入力回路に接続さ
れ、その容量に応じた振幅の交流電圧を出力する
第２のチヤージコンバータと、前記第１のチヤー
ジコンバータの帰還回路に接続された第１の補償
用のダイオード回路と、前記第２のチヤージコン
バータの帰還回路に接続された第２の補償用のダ
イオード回路と、前記第１のチヤージコンバータ
の出力が印加される一定容量の第１の固定コンデ
ンサと、前記第２のチヤージコンバータの出力が
印加される一定容量の第２の固定コンデンサと、
前記第１の固定コンデンサを流れる交流電流を整
流するダイオードを有する第１の整流回路と、前
記第２の固定コンデンサを流れる交流電流を整流
するダイオードを有する第２の整流回路と、前記
第１の整流回路で整流して得た可変コンデンサの
容量に関連する電流が所定の値になるように前記
発振器の発振出力を制御する回路と、前記第２の
整流回路で整流して得た基準コンデンサの容量に
関連する電流と前記第１の整流回路で整流して得
た可変コンデンサの容量に関連する電流との差に
応じた出力信号を得る回路とを具備したことを特
徴とする容量式変換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1968684A JPS60164211A (ja) | 1984-02-06 | 1984-02-06 | 容量式変換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1968684A JPS60164211A (ja) | 1984-02-06 | 1984-02-06 | 容量式変換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60164211A JPS60164211A (ja) | 1985-08-27 |
| JPH0430529B2 true JPH0430529B2 (ja) | 1992-05-22 |
Family
ID=12006117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1968684A Granted JPS60164211A (ja) | 1984-02-06 | 1984-02-06 | 容量式変換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60164211A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4553084B2 (ja) * | 2000-12-11 | 2010-09-29 | 株式会社豊田中央研究所 | 物理量検出回路 |
-
1984
- 1984-02-06 JP JP1968684A patent/JPS60164211A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60164211A (ja) | 1985-08-27 |
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