JPS60165560A - 導電率測定方法 - Google Patents
導電率測定方法Info
- Publication number
- JPS60165560A JPS60165560A JP1999384A JP1999384A JPS60165560A JP S60165560 A JPS60165560 A JP S60165560A JP 1999384 A JP1999384 A JP 1999384A JP 1999384 A JP1999384 A JP 1999384A JP S60165560 A JPS60165560 A JP S60165560A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductivity
- electrode
- measurement
- measuring
- measured
- Prior art date
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- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、液体の導電率を無保守の状態で長期間に亘っ
て連続的に、しかも精度良好にして一般に液体の導電率
を連続的に測定する工業用導電率計においては、測定電
極としてステンレス製のものが使用されているが、その
電極衣−面に生じる腐蝕生成物によって導電率を長期間
に亘って連続的に、しかも精度良好にして測定し得ない
のが実状である。この傾向は試料水の腐蝕性が強い程に
顕著である。例えば導電率針が腐蝕性の強い原子力発電
プラントにおける炉水などの測定に使用される場合には
、測定電極面に生じる腐蝕生成物によって導電率測定値
に大きな誤差を生じている。腐蝕生成物による誤差を解
消する方法としては測定電極表面に生じた腐蝕生成物を
保守時に除去することが考えられる。たとえば電解洗浄
などによって測定電極表面より腐蝕生成物を除去するに
してもその完全を期することは困難で、セル定数を変更
するなどして導電率測定値を校正しているのが実状であ
る。そのため測定精度は必すしも良好ではないという欠
点がある。また、これとは別に導電率計が炉水を測定対
象とする場合には、その保守時に保守員が被曝するとい
った安全上の問題も残されている。
て連続的に、しかも精度良好にして一般に液体の導電率
を連続的に測定する工業用導電率計においては、測定電
極としてステンレス製のものが使用されているが、その
電極衣−面に生じる腐蝕生成物によって導電率を長期間
に亘って連続的に、しかも精度良好にして測定し得ない
のが実状である。この傾向は試料水の腐蝕性が強い程に
顕著である。例えば導電率針が腐蝕性の強い原子力発電
プラントにおける炉水などの測定に使用される場合には
、測定電極面に生じる腐蝕生成物によって導電率測定値
に大きな誤差を生じている。腐蝕生成物による誤差を解
消する方法としては測定電極表面に生じた腐蝕生成物を
保守時に除去することが考えられる。たとえば電解洗浄
などによって測定電極表面より腐蝕生成物を除去するに
してもその完全を期することは困難で、セル定数を変更
するなどして導電率測定値を校正しているのが実状であ
る。そのため測定精度は必すしも良好ではないという欠
点がある。また、これとは別に導電率計が炉水を測定対
象とする場合には、その保守時に保守員が被曝するとい
った安全上の問題も残されている。
本発明の目的は、保守を頻繁に行なうことなく液体の導
電率を長期間に亘って連続的に、しかも精度良好にして
測定し得る方法を供するにあるO 〔発明の概要〕 この目的のため本発明は、導電率測定値の誤差の原因が
、腐蝕等で生じた酸化膜による被膜抵抗の増大とヘマタ
イトなどの絶縁性微粒子の付着による電極表面積の減少
とに存することを実験的に究明し、定量的に被膜抵抗と
電極表面積の減少に起因するセル定数の補正係数とをめ
、これらの値にもとづき測定電極による試料水の導電率
測定値を校正あるいは補正することによって正しい導電
率測定値を得んとするものである。
電率を長期間に亘って連続的に、しかも精度良好にして
測定し得る方法を供するにあるO 〔発明の概要〕 この目的のため本発明は、導電率測定値の誤差の原因が
、腐蝕等で生じた酸化膜による被膜抵抗の増大とヘマタ
イトなどの絶縁性微粒子の付着による電極表面積の減少
とに存することを実験的に究明し、定量的に被膜抵抗と
電極表面積の減少に起因するセル定数の補正係数とをめ
、これらの値にもとづき測定電極による試料水の導電率
測定値を校正あるいは補正することによって正しい導電
率測定値を得んとするものである。
即ち、測定電極によって試料水の導電率を連続的に測定
するに際しては、定期的あるいは随時導電率が異なる2
樵類の溶液をそれぞれ基準電極と測定電極に供し、各溶
液に対する基準電極と測定電極による各2種類の導電率
測定値より測定電極についての被膜抵抗とセル定数の補
正係数をめ、これらの値にもとづき測定電極による試料
水の導電率wit w値を校正するようにしたものであ
る。
するに際しては、定期的あるいは随時導電率が異なる2
樵類の溶液をそれぞれ基準電極と測定電極に供し、各溶
液に対する基準電極と測定電極による各2種類の導電率
測定値より測定電極についての被膜抵抗とセル定数の補
正係数をめ、これらの値にもとづき測定電極による試料
水の導電率wit w値を校正するようにしたものであ
る。
以下、本発明を添附した図により説明する。
原子力発電プラントに例を採れば、炉水は試料水導入口
12から測定セル15内に連続的に導入され、その導電
率は測定電極16によって測定される。バルブ11ヲ閉
じ、また、バルブ14i連続的に開いておく場合は、試
料水導入口12からの炉水は導入管13、バルブ14を
介し測定セル15内に導入され、測定セル15内に導入
された炉水はその炉水に浸漬すべく設けられた測定を極
16によって連続的にその導電率が測定されるようにな
っている。測定筒の炉水は試料水排出管17を介して測
定セル15内より排出されるようになっている。これ才
で、導電率の測定は以上のようにして行なイ)れていた
が、本発明の実施に際しては測定値校正装置19が必要
とされる。これによって測定電極16による導電率測定
値を校正する。
12から測定セル15内に連続的に導入され、その導電
率は測定電極16によって測定される。バルブ11ヲ閉
じ、また、バルブ14i連続的に開いておく場合は、試
料水導入口12からの炉水は導入管13、バルブ14を
介し測定セル15内に導入され、測定セル15内に導入
された炉水はその炉水に浸漬すべく設けられた測定を極
16によって連続的にその導電率が測定されるようにな
っている。測定筒の炉水は試料水排出管17を介して測
定セル15内より排出されるようになっている。これ才
で、導電率の測定は以上のようにして行なイ)れていた
が、本発明の実施に際しては測定値校正装置19が必要
とされる。これによって測定電極16による導電率測定
値を校正する。
測定電極16による導電率測定値の校正は以下のように
して行なわれる。即ち、バルブ14.11をそれぞれ閉
、開とした状態で移送流量可変定量ポンプ3,4が作動
するようにされる。これにより貯槽lからは一定流量の
校正原液2が、また、貯槽5からは一定流量のイオン交
換水6が取り出され、これらは混合器7で一定の濃度、
したかって一定の導電率の溶液として混合・調整された
後、フィルタ8を介し基準測定セル1゜と測定セル15
に供され、基準電極9および測定電極16によってその
溶液の導電率が測定される。
して行なわれる。即ち、バルブ14.11をそれぞれ閉
、開とした状態で移送流量可変定量ポンプ3,4が作動
するようにされる。これにより貯槽lからは一定流量の
校正原液2が、また、貯槽5からは一定流量のイオン交
換水6が取り出され、これらは混合器7で一定の濃度、
したかって一定の導電率の溶液として混合・調整された
後、フィルタ8を介し基準測定セル1゜と測定セル15
に供され、基準電極9および測定電極16によってその
溶液の導電率が測定される。
これらの測定が終了したならば、次にはポンプ3による
校正原液2の流量を変えることによって前記溶液とは異
なった濃度および導電率の溶液を得る。この溶液の導電
率を先の場合と同様にして基準電極9および測定電極1
6によって測定する。これらの測定に際し基準電極9に
ょる導電率測定値は正確であるべきである。これはi後
述するところから明らかである。
校正原液2の流量を変えることによって前記溶液とは異
なった濃度および導電率の溶液を得る。この溶液の導電
率を先の場合と同様にして基準電極9および測定電極1
6によって測定する。これらの測定に際し基準電極9に
ょる導電率測定値は正確であるべきである。これはi後
述するところから明らかである。
ここで最初の溶液に対する基準電極9、測定電極16に
よる導電率測定値をそれぞれに’ 、 K′x 。
よる導電率測定値をそれぞれに’ 、 K′x 。
また次の溶液に対する4奄率測足値をそれぞれr、にX
とすれば以下の式がhi立する。
とすれば以下の式がhi立する。
1ぐ ; −
g ”’ ”篩°°°゛(す
r = □
W ・・・・・・・・・・・・(3)
但し、c、 iゼ、α、Δr、Wは
C;セル定数、
W;最辺の1;準溶液の抵抗、
α:セル定数Cに対する補正係数、
Δγ;測定電極16における被膜抵抗、W;次の基準溶
液の抵抗。
液の抵抗。
したがって式(す、(2)および式f3) 、 (41
よりΔγとαとの関係は式(5) 、 (6)として、
更に式(51、(6)よリαは式(7)としてめられる
。
よりΔγとαとの関係は式(5) 、 (6)として、
更に式(51、(6)よリαは式(7)としてめられる
。
即ち、式(5)〜(7)よりαとΔγが定量的にめられ
る。Δγは経時的に徐々に変化するが、一般にΔγの値
は長期間に亘って安定でありに’ x 、 K’xを相
前後して同時に得る場合は定数と看做し得るのでΔr/
C−1/Koとおき、更に試料水の導電率をに1測定電
極16による導電率測定値をKxとすれば、Kは以下の
ようにしてめられる。
る。Δγは経時的に徐々に変化するが、一般にΔγの値
は長期間に亘って安定でありに’ x 、 K’xを相
前後して同時に得る場合は定数と看做し得るのでΔr/
C−1/Koとおき、更に試料水の導電率をに1測定電
極16による導電率測定値をKxとすれば、Kは以下の
ようにしてめられる。
αとΔr1更にはΔγよりK。をめ、これらの値とKx
より試料水の導電率には式(8)によって与えられる。
より試料水の導電率には式(8)によって与えられる。
導電率には具体的には測定値校正装置19の一部を構成
するマイクロコンピユータ18によって算出される。マ
イクロコンビーータ18は導電率算出プログラムに従い
基準電極9、測定電極16からの導電率測定値を演算処
理することによって連続的に導電率Kを算出している。
するマイクロコンピユータ18によって算出される。マ
イクロコンビーータ18は導電率算出プログラムに従い
基準電極9、測定電極16からの導電率測定値を演算処
理することによって連続的に導電率Kを算出している。
マイクロコンビーータ18はまた導電率にの算出のみな
らずその表示・記録やK。の算出に必要とされるバルブ
11.14の開閉制御やポンプ3,4をも制御している
。
らずその表示・記録やK。の算出に必要とされるバルブ
11.14の開閉制御やポンプ3,4をも制御している
。
本発明は以上のようなものであるが、2si類の溶液と
しては測定対象である試料水の導電率の上限および下限
に対応するもので十分である。。
しては測定対象である試料水の導電率の上限および下限
に対応するもので十分である。。
また、校正原液としては経時変化のないものが望まれる
が、これには例えば濃度が1000ppm程度の塩化カ
リウムが適当である。ところで基準電極は校正時にのみ
使用に供されるが、それ株外の間にその電極表面が劣化
されないように考慮されるべきである。使用に併されて
いない量基準電極は微粒子が含まれていないイオン交換
水に浸漬するか、あるいは窒素などの不活性気体の雰囲
気下で保存するのが適当である。ただイオン交換水に浸
漬した状態で保存する場合は紫外線殺菌灯などによって
細菌類の繁殖を抑えるなどの配躍が必要である。細菌類
の繁殖防止はまたポンプの故障防止にも有効である。と
ころで混合器の下流に配されているフィルタは基準電極
の劣化を防止すべく溶液中1こ含まれている微粒子を除
去するためのもので、これには孔径が0.45μ程度の
メンブランフィルタが適当である。
が、これには例えば濃度が1000ppm程度の塩化カ
リウムが適当である。ところで基準電極は校正時にのみ
使用に供されるが、それ株外の間にその電極表面が劣化
されないように考慮されるべきである。使用に併されて
いない量基準電極は微粒子が含まれていないイオン交換
水に浸漬するか、あるいは窒素などの不活性気体の雰囲
気下で保存するのが適当である。ただイオン交換水に浸
漬した状態で保存する場合は紫外線殺菌灯などによって
細菌類の繁殖を抑えるなどの配躍が必要である。細菌類
の繁殖防止はまたポンプの故障防止にも有効である。と
ころで混合器の下流に配されているフィルタは基準電極
の劣化を防止すべく溶液中1こ含まれている微粒子を除
去するためのもので、これには孔径が0.45μ程度の
メンブランフィルタが適当である。
以上説明したようiこ本発明は、測定電極による試料水
の導電率の連続的測定に際し、測定電極における被膜抵
抗の値とセル定数の補正係数とを定期的に、あるいは随
時求め、これらの値によって連続的に得られる導電率測
定値を補正するようにしたものである。本発明によれば
、保守を行な・うことなく液体の導電率を長期間に亘っ
て連続的に、しかも精度良好にして測定し得る。特に炉
水の導電率を測定する場合には被曝量が低減されるとい
った効果も併せて得られる。
の導電率の連続的測定に際し、測定電極における被膜抵
抗の値とセル定数の補正係数とを定期的に、あるいは随
時求め、これらの値によって連続的に得られる導電率測
定値を補正するようにしたものである。本発明によれば
、保守を行な・うことなく液体の導電率を長期間に亘っ
て連続的に、しかも精度良好にして測定し得る。特に炉
水の導電率を測定する場合には被曝量が低減されるとい
った効果も併せて得られる。
図は1本発明が実施された導電率測定システムの一例で
の構成を示す図である。 2・・・校正原液 3,4・・・ポンプ6・・・イオン
交換水 7・・・混合器9・・・基準電極 12・・・
試料水導入口16・・・測定電極 18・・・マイクロコンヒz −p
の構成を示す図である。 2・・・校正原液 3,4・・・ポンプ6・・・イオン
交換水 7・・・混合器9・・・基準電極 12・・・
試料水導入口16・・・測定電極 18・・・マイクロコンヒz −p
Claims (1)
- 測定電極による試料水の連続的導電率測定に際し、定期
的あるいは随時、測定電極と基準電極によって、それぞ
れ導電率の値が相異なる2種類の溶液の導電率を測定す
ることによりそれらの測定値から測定電極についての被
膜抵抗の値とセル定数に対する補正係数の値とをめ、試
料水についての導電率測定値を校正あるいは補正するこ
とを特徴とする導電率測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1999384A JPS60165560A (ja) | 1984-02-08 | 1984-02-08 | 導電率測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1999384A JPS60165560A (ja) | 1984-02-08 | 1984-02-08 | 導電率測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60165560A true JPS60165560A (ja) | 1985-08-28 |
| JPH052951B2 JPH052951B2 (ja) | 1993-01-13 |
Family
ID=12014685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1999384A Granted JPS60165560A (ja) | 1984-02-08 | 1984-02-08 | 導電率測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60165560A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001296262A (ja) * | 2000-04-13 | 2001-10-26 | Techno Medica Co Ltd | 電気伝導度測定方法 |
| JP2009098128A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-05-07 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置および処理液供給方法 |
| US8491726B2 (en) | 2007-09-26 | 2013-07-23 | Tokyo Electron Limited | Liquid processing apparatus and process liquid supplying method |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58104961U (ja) * | 1982-01-12 | 1983-07-16 | 株式会社日立製作所 | 導電率計測装置 |
-
1984
- 1984-02-08 JP JP1999384A patent/JPS60165560A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58104961U (ja) * | 1982-01-12 | 1983-07-16 | 株式会社日立製作所 | 導電率計測装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001296262A (ja) * | 2000-04-13 | 2001-10-26 | Techno Medica Co Ltd | 電気伝導度測定方法 |
| JP2009098128A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-05-07 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置および処理液供給方法 |
| US8491726B2 (en) | 2007-09-26 | 2013-07-23 | Tokyo Electron Limited | Liquid processing apparatus and process liquid supplying method |
| KR101348437B1 (ko) * | 2007-09-26 | 2014-01-06 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 액처리 장치 및 처리액 공급 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH052951B2 (ja) | 1993-01-13 |
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